JPS60195986U - 圧電体振動子ポンプ - Google Patents

圧電体振動子ポンプ

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Publication number
JPS60195986U
JPS60195986U JP8517584U JP8517584U JPS60195986U JP S60195986 U JPS60195986 U JP S60195986U JP 8517584 U JP8517584 U JP 8517584U JP 8517584 U JP8517584 U JP 8517584U JP S60195986 U JPS60195986 U JP S60195986U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
passage
discharge
suction
flat casing
Prior art date
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Pending
Application number
JP8517584U
Other languages
English (en)
Inventor
奥山　英憲
永野　進
Original Assignee
株式会社三鈴エリー
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社三鈴エリー filed Critical 株式会社三鈴エリー
Priority to JP8517584U priority Critical patent/JPS60195986U/ja
Publication of JPS60195986U publication Critical patent/JPS60195986U/ja
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  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
□　　　　第１図は従来の圧電体振動子ポンプの第１例
を゛示す断面図、第２図は同じくその第２例を示す断面
図、第３図は本考案圧電体振動子ポンプの一実施例を示
す断面図、第４図は従来の第１例と本考案実施例による
ポンプをガス吸込み、吐出用に適用した場合の吐出流量
対吐出圧の特性線図である。 １・・・平板状ケーシング、２・・・圧電体、３，４・
・・、電極、５・・・圧電体振動子、６・・・吸孔込通
路、７・・・吐出通路、８，９・・・吸込用、吐出用チ
ェック弁、１２．１３・・・吸込側、吐出側ポンプ室、
１４・・・連絡通路、１５・・・連絡用チェック弁、１
６・・・シール材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ゛　　　　平板状ケーシングの内側周面に圧電体振動子
    の外周部を支持し、この圧電体振動子の両面に対向する
    平板状ケーシング部にそれぞれ吸込通路及び吐出通路を
    設け、この吸込通路及び吐出通路にそれぞれ吸込用、吐
    出用チェック弁を設けると共に、圧電体振動子の両面と
    平板状ケーシングとの間に形成される吸込側、吐出側ポ
    ンプ空間を連通・　　する連絡通路を平板状ケーシング
    に設け、この連絡通路に連絡用チェ］ツク弁を設けてな
    る圧電体振動子ポンプ。
JP8517584U 1984-06-08 1984-06-08 圧電体振動子ポンプ Pending JPS60195986U (ja)

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JP8517584U JPS60195986U (ja) 1984-06-08 1984-06-08 圧電体振動子ポンプ

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JP8517584U JPS60195986U (ja) 1984-06-08 1984-06-08 圧電体振動子ポンプ

Publications (1)

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JPS60195986U true JPS60195986U (ja) 1985-12-27

Family

ID=30635329

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63162980U (ja) * 1987-04-10 1988-10-25
JPS63162981U (ja) * 1987-04-10 1988-10-25
KR100582892B1 (ko) 2004-09-14 2006-05-25 삼성전자주식회사 마이크로 펌프

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4971508A (ja) * 1972-11-13 1974-07-10
JPS5543226A (en) * 1978-09-21 1980-03-27 Toshiba Corp Pump

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