JPS60196431A - 空気軸受パツド - Google Patents
空気軸受パツドInfo
- Publication number
- JPS60196431A JPS60196431A JP5468984A JP5468984A JPS60196431A JP S60196431 A JPS60196431 A JP S60196431A JP 5468984 A JP5468984 A JP 5468984A JP 5468984 A JP5468984 A JP 5468984A JP S60196431 A JPS60196431 A JP S60196431A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- pad
- support body
- support
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
本発明は精密測定機、精密ロボット、精密工作機等に適
用する静圧空気軸受に関連し、殊に本発明は、直線運動
型の空気軸受に用いられる空気軸受パッドに関する。
用する静圧空気軸受に関連し、殊に本発明は、直線運動
型の空気軸受に用いられる空気軸受パッドに関する。
従来、斯種空気軸受（参考文献：応用機械工学１９８２
年２月号「空気軸受の精密測定機への応用」）として、
第３図に示す如く、空気供給管に接続される空気導孔７
１を中央に穿設した構造の固定式軸受パッド７が用いら
れている。
年２月号「空気軸受の精密測定機への応用」）として、
第３図に示す如く、空気供給管に接続される空気導孔７
１を中央に穿設した構造の固定式軸受パッド７が用いら
れている。
かかる空気軸受では、案内精度や軸受の剛性を高めるた
めに、軸受案内面８と軸受パッド面７２との間のすきま
ｈを数μｍに設定する必要があり、このため、軸受案内
面８および軸受パッド面７２に高い寸法精度、新に平面
度と平行度が要求され、これが空気軸受の製作手数を増
大し、製品のコスト高の一因をなす。かかる諸問題を解
決するため、第４図に示す如く、固定パッド７３とオリ
フィス７５を有す可動パッド７４とを球体７６を介して
対向させ且つ両パッド７３゜７４間をバネ７７にて連繋
したピボット支持方式の軸受パッドが提案されている。
めに、軸受案内面８と軸受パッド面７２との間のすきま
ｈを数μｍに設定する必要があり、このため、軸受案内
面８および軸受パッド面７２に高い寸法精度、新に平面
度と平行度が要求され、これが空気軸受の製作手数を増
大し、製品のコスト高の一因をなす。かかる諸問題を解
決するため、第４図に示す如く、固定パッド７３とオリ
フィス７５を有す可動パッド７４とを球体７６を介して
対向させ且つ両パッド７３゜７４間をバネ７７にて連繋
したピボット支持方式の軸受パッドが提案されている。
かかる空気軸受では、可動パッド７４がピボット状に揺
動することによって軸受案内面８、軸受パッド面７８の
精度は幾分緩和されるが、該構造では、特に空気配管９
か可動パッド７４に接続されて煩わしく、しかも空気配
管９が軸受性能に悪影響をおよほす。また、上記前れの
軸受パッドも、空気軸受のすきまを一旦設定し軸受部を
組立てた後、軸受すきま寸法りは一定の値に固定される
。従って、軸受部を組立てた後、他の部分の調整、修理
等に際して軸受パッドを後退させることができず、更に
、装置の運搬や保守に際し、軸受面と案内面との間に衝
撃緩衝用クッションやスペーサの挿入が困難であり、軸
受面に損傷を招く虞れがある等、幾多の問題があった。
動することによって軸受案内面８、軸受パッド面７８の
精度は幾分緩和されるが、該構造では、特に空気配管９
か可動パッド７４に接続されて煩わしく、しかも空気配
管９が軸受性能に悪影響をおよほす。また、上記前れの
軸受パッドも、空気軸受のすきまを一旦設定し軸受部を
組立てた後、軸受すきま寸法りは一定の値に固定される
。従って、軸受部を組立てた後、他の部分の調整、修理
等に際して軸受パッドを後退させることができず、更に
、装置の運搬や保守に際し、軸受面と案内面との間に衝
撃緩衝用クッションやスペーサの挿入が困難であり、軸
受面に損傷を招く虞れがある等、幾多の問題があった。
〈発明の目的〉
本発明は、空気供給部を有す支持体に対し、軸受パッド
面にオリフィスを開設した可動パッドを気密部材を介し
て進退自在に連設し且つ弾性部材にて弾圧附勢すること
により、従来の諸問題を一挙に解消し、安定した軸受（
１１作を実現すると共に、特に、軸受案内面や軸受パッ
ド面に高精度を要せず、もって製作容易且つ製品コスト
の低減をはかった新規な空気軸受パッドを提供すること
を目的とする。
面にオリフィスを開設した可動パッドを気密部材を介し
て進退自在に連設し且つ弾性部材にて弾圧附勢すること
により、従来の諸問題を一挙に解消し、安定した軸受（
１１作を実現すると共に、特に、軸受案内面や軸受パッ
ド面に高精度を要せず、もって製作容易且つ製品コスト
の低減をはかった新規な空気軸受パッドを提供すること
を目的とする。
〈実施例の説明〉
図面は空気軸受本体１に本発明にかかる空気軸受パッド
２を取付けている。」−記空気軸受パツド２は、本体１
に取付は固定され空気供給部３１を有す支持体３と、該
支持体３に進退自在に支持された可動パッド４と、支持
体３と可動パッド４との間に介装されたバネ、ゴム等の
弾性部材５とからなる。前記空気供給部３１は、軸受本
体１および支持体３に」―下に貫通した空気導孔３２を
穿設し、導孔３２基端に圧縮空気供給管３３を接続する
と共に、導孔３２先端を支持体３の内部空間３３に連通
している。」−配字間３３は支持孔３４を介して軸受側
に開口すると共に、該支持孔３４の内壁には、空間側へ
拡大した球面支承部３５を形成して可動パッド４を支持
している。可動パッド４は、前記支持孔３４に対し０リ
ング等の気密部材４６を介して進退自在に支持された軸
部４１の一端に球面支承部３５と適合する球面支持部４
２、他端に軸受パッド面４３を形成してなり、軸部４１
の軸芯部に導孔４４を穿設して基端を支持体３の空間３
３に連通させ、導孔４４先端は、これを絞り軸受パッド
面４３に開口してオリフィス４５となしている。尚、前
記オリフィス４５の形状、設置個所、個数および気密部
材４６の形状、設置個所、個数は特に限定されることは
ない。
２を取付けている。」−記空気軸受パツド２は、本体１
に取付は固定され空気供給部３１を有す支持体３と、該
支持体３に進退自在に支持された可動パッド４と、支持
体３と可動パッド４との間に介装されたバネ、ゴム等の
弾性部材５とからなる。前記空気供給部３１は、軸受本
体１および支持体３に」―下に貫通した空気導孔３２を
穿設し、導孔３２基端に圧縮空気供給管３３を接続する
と共に、導孔３２先端を支持体３の内部空間３３に連通
している。」−配字間３３は支持孔３４を介して軸受側
に開口すると共に、該支持孔３４の内壁には、空間側へ
拡大した球面支承部３５を形成して可動パッド４を支持
している。可動パッド４は、前記支持孔３４に対し０リ
ング等の気密部材４６を介して進退自在に支持された軸
部４１の一端に球面支承部３５と適合する球面支持部４
２、他端に軸受パッド面４３を形成してなり、軸部４１
の軸芯部に導孔４４を穿設して基端を支持体３の空間３
３に連通させ、導孔４４先端は、これを絞り軸受パッド
面４３に開口してオリフィス４５となしている。尚、前
記オリフィス４５の形状、設置個所、個数および気密部
材４６の形状、設置個所、個数は特に限定されることは
ない。
然して、常時は、可動パッド４は弾性体４６に弾圧附勢
されて球面支持部４２が支承部３５に面接合し、軸部４
１は気密部材４６を介して支持孔３４に支持されて、支
持体３と可動パッド４との間の気密が保たれている。今
、供給管３３から導入された圧縮空気は支持体３中の空
間３３より可動パッド４の導孔４４を経てオリフィス４
５より噴出し、可動パッド４と軸受案内面６との間に設
定された数μｍのすきま１１を形成し、非接触にてスラ
イド案内動作する。軸受案内面６によって可ｉω１パッ
ド４か揺動するとき、この揺動は球面支持部４２と支承
部３５により吸収され、以て、軸受本体１は水平状態を
保ち安定動作する。いま、軸受面積をＳｐ、軸受すきま
における平均空気圧をＰｐ、支持体３の球面支承部３５
の面積を釘、空間３３の空気圧力をＰ工、弾性部材４６
の圧力をＦとするとき、軸受案内面を支持する力の大き
さ、つまり負荷容量Ｗは、Ｗ＝Ｐ工・８十Ｆ −Ｐｐ、
ｓｐ となり、弾性部材の力だけ軸受の負荷容量が増
大し、同様に軸受剛性、つまり、軸受すきま単位長当り
の負荷変化量も増大し、従って軸受特性が良好となる。
されて球面支持部４２が支承部３５に面接合し、軸部４
１は気密部材４６を介して支持孔３４に支持されて、支
持体３と可動パッド４との間の気密が保たれている。今
、供給管３３から導入された圧縮空気は支持体３中の空
間３３より可動パッド４の導孔４４を経てオリフィス４
５より噴出し、可動パッド４と軸受案内面６との間に設
定された数μｍのすきま１１を形成し、非接触にてスラ
イド案内動作する。軸受案内面６によって可ｉω１パッ
ド４か揺動するとき、この揺動は球面支持部４２と支承
部３５により吸収され、以て、軸受本体１は水平状態を
保ち安定動作する。いま、軸受面積をＳｐ、軸受すきま
における平均空気圧をＰｐ、支持体３の球面支承部３５
の面積を釘、空間３３の空気圧力をＰ工、弾性部材４６
の圧力をＦとするとき、軸受案内面を支持する力の大き
さ、つまり負荷容量Ｗは、Ｗ＝Ｐ工・８十Ｆ −Ｐｐ、
ｓｐ となり、弾性部材の力だけ軸受の負荷容量が増
大し、同様に軸受剛性、つまり、軸受すきま単位長当り
の負荷変化量も増大し、従って軸受特性が良好となる。
〈発明の効果〉
本発明は上記の如く、支持体３と可動パッド４とを球面
支持したため、可動パッド４は回転揺動、自動調心動作
を行なうことができ、案内面の表面起伏に応じて滑らか
な軸受案内動作を実現する。また軸受パッド面４３に負
荷容量以上の力が加わると、可動パッド４は弾性部材４
６を弾圧して後退するため、軸受周辺部の調整、保守等
に際して好都合となり、しかも、運搬等ニ際し、軸受す
きまへのクッション材、スペーサの挿入か容易となる等
、構成簡易にして発明目的を達成した効果を有す。
支持したため、可動パッド４は回転揺動、自動調心動作
を行なうことができ、案内面の表面起伏に応じて滑らか
な軸受案内動作を実現する。また軸受パッド面４３に負
荷容量以上の力が加わると、可動パッド４は弾性部材４
６を弾圧して後退するため、軸受周辺部の調整、保守等
に際して好都合となり、しかも、運搬等ニ際し、軸受す
きまへのクッション材、スペーサの挿入か容易となる等
、構成簡易にして発明目的を達成した効果を有す。
第１図は本発明にかかる空気軸受パッドの縦断面図、第
２図は底面図、第３図および第４図は従来例の断面図で
ある。 ２・・・・・空気軸受パッド ３ ・・・支持体３１
・・空気供給部 ３４・・・支持孔３５ ・・・球面支
承部 ４・・・・可動パッド４２・・・球面支持部 ４
３・・・軸受パッド面４５ ・・・・オリフィス ５
・・・弾性部材特許出願人 立石電機株式会社 升３ ［図 ７２ 、。。 蒔ｋ 図 １ カー２ 図
２図は底面図、第３図および第４図は従来例の断面図で
ある。 ２・・・・・空気軸受パッド ３ ・・・支持体３１
・・空気供給部 ３４・・・支持孔３５ ・・・球面支
承部 ４・・・・可動パッド４２・・・球面支持部 ４
３・・・軸受パッド面４５ ・・・・オリフィス ５
・・・弾性部材特許出願人 立石電機株式会社 升３ ［図 ７２ 、。。 蒔ｋ 図 １ カー２ 図
Claims (1)
- 空気供給部３１および支持孔３４の内面を拡大した球面
支承部３５か形成された支持体３と、前記支持孔３４に
対し気密部材４６を介して出没自在に嵌挿支持せられ、
内部に球面支承部３５と適合する球面支持部４２および
外部に軸受パッド面４３を具え該パッド面４３に空気供
給部３１に連通したオリフィス４５が開設された可動パ
ッド４と、支持体３と可動パッド４との間に介装され球
面支持部４２を支承部３５に附勢した弾性部材５とから
成るを特徴とする空気軸受パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5468984A JPS60196431A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 空気軸受パツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5468984A JPS60196431A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 空気軸受パツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60196431A true JPS60196431A (ja) | 1985-10-04 |
Family
ID=12977761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5468984A Pending JPS60196431A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 空気軸受パツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60196431A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63171726U (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-08 | ||
| US5326177A (en) * | 1991-11-08 | 1994-07-05 | Pluritec Italia S.P.A. | Perfected air pad |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP5468984A patent/JPS60196431A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63171726U (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-08 | ||
| US5326177A (en) * | 1991-11-08 | 1994-07-05 | Pluritec Italia S.P.A. | Perfected air pad |
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