JPS60198413A - 渦流量計 - Google Patents
渦流量計Info
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- JPS60198413A JPS60198413A JP59055483A JP5548384A JPS60198413A JP S60198413 A JPS60198413 A JP S60198413A JP 59055483 A JP59055483 A JP 59055483A JP 5548384 A JP5548384 A JP 5548384A JP S60198413 A JPS60198413 A JP S60198413A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/32—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
- G01F1/3209—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters using Karman vortices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は渦流量計に関し、一層詳細には、導管中に柱状
の渦発生体を配設し、流体の流れと並行する渦発生体の
両側面の圧力差を検出し、流量を測定する渦流量計に関
する。
の渦発生体を配設し、流体の流れと並行する渦発生体の
両側面の圧力差を検出し、流量を測定する渦流量計に関
する。
渦流量計は原理上極めて優れた特長を有しているが同時
にいくつかの欠点も持ち合わせている。
にいくつかの欠点も持ち合わせている。
第1は、渦の検出が難しいことである。現在までに熱セ
ンサ方式、超音波方式、応力検出方式等各種の方式が使
用されてきているが、それぞれ一長一短があり、未だ決
定的と思われる方式は存在しない。しかし、プロセス用
に限れば、セン号が接液しない、堅牢である、構造が簡
単なためメインテナンスフリーである等の理由により応
力検出方式が主流になりつつある。しかしながら従来の
応力検出方式には外部振動の影響を受けやすいという欠
点があった。
ンサ方式、超音波方式、応力検出方式等各種の方式が使
用されてきているが、それぞれ一長一短があり、未だ決
定的と思われる方式は存在しない。しかし、プロセス用
に限れば、セン号が接液しない、堅牢である、構造が簡
単なためメインテナンスフリーである等の理由により応
力検出方式が主流になりつつある。しかしながら従来の
応力検出方式には外部振動の影響を受けやすいという欠
点があった。
渦流量計の欠点の第2は導管内の流速分布に敏感なこと
である。導管内の流速分布が偏流、旋回流等によって乱
れていると、渦発生体部長手方向の流速が均一にならず
安定した渦列が発生しない。
である。導管内の流速分布が偏流、旋回流等によって乱
れていると、渦発生体部長手方向の流速が均一にならず
安定した渦列が発生しない。
このため渦流量計の前後には比較的長い直管部が必要と
されており、口径の50倍程度の前方直管部を要求する
機種もある。
されており、口径の50倍程度の前方直管部を要求する
機種もある。
さらに第3の欠点として、渦流量計の検出信号に多くの
雑音成分が含まれているため信号処理が難しいことが挙
げられる。雑音の成分は渦検出方式によって異なるが、
一般に渦周波数より高い高周波成分と低い低周波成分が
各流速域で特徴的に現れ、さらに狭帯域不規則信号とも
呼ばれるフェージング現象が頻繁に発生し、これらが複
雑に合成されるため電気的な信号処理は容易でない。
雑音成分が含まれているため信号処理が難しいことが挙
げられる。雑音の成分は渦検出方式によって異なるが、
一般に渦周波数より高い高周波成分と低い低周波成分が
各流速域で特徴的に現れ、さらに狭帯域不規則信号とも
呼ばれるフェージング現象が頻繁に発生し、これらが複
雑に合成されるため電気的な信号処理は容易でない。
この様子を第9図(al、(b)に示す。
−第9図(a)はフェージングが発生したもので検出不
可能な状態までレベルが低下した個所がある。
可能な状態までレベルが低下した個所がある。
第9図fblは低周波成分の雑音が渦波形に重畳された
場合でパルス欠損が起こりやすく信号処理が困難な状態
を示している。このように従来の渦流量計には多くの難
点があった。
場合でパルス欠損が起こりやすく信号処理が困難な状態
を示している。このように従来の渦流量計には多くの難
点があった。
本発明はこれらの点に鑑みなされたもので、その目的と
するところは、外部振動の影響を受けにくいとともに、
流れの乱れの影響を受けにくい応力検出方式の渦流量計
を提供し、さらに、本質的に良好な渦波形を得ることに
よって電子装置の簡略化を図ることにある。その特徴は
、カルマン渦を利用した渦流量針において、流体の流れ
る導管中に配設する渦発生体の流体の流れ方向の断面形
状を矩形状とし、前記渦発生体の流体の流れと直交する
方向に感圧部材を挿入するための空洞部を穿設するとと
もに、この空洞部を貫通し前記渦発生体の流体の流れと
並行する両側面を連通ずるスリットを設は導圧孔を構成
し、この導圧孔の空洞部の内径をdO1前記渦発生体の
流体の流れと並行する辺の長さを11として、0.71
1<do<tlの範囲にし、前記感圧部材の外径をdl
とし、0.7dO<di<dOの範囲内にし、前記導圧
孔のスリットの幅をhとして、0.311<h <0.
611の範囲にし、前記スリットの端部のうち少なくと
も一方が前記導管内周面より外側に位置するようにスリ
ットを延在したところにある。
するところは、外部振動の影響を受けにくいとともに、
流れの乱れの影響を受けにくい応力検出方式の渦流量計
を提供し、さらに、本質的に良好な渦波形を得ることに
よって電子装置の簡略化を図ることにある。その特徴は
、カルマン渦を利用した渦流量針において、流体の流れ
る導管中に配設する渦発生体の流体の流れ方向の断面形
状を矩形状とし、前記渦発生体の流体の流れと直交する
方向に感圧部材を挿入するための空洞部を穿設するとと
もに、この空洞部を貫通し前記渦発生体の流体の流れと
並行する両側面を連通ずるスリットを設は導圧孔を構成
し、この導圧孔の空洞部の内径をdO1前記渦発生体の
流体の流れと並行する辺の長さを11として、0.71
1<do<tlの範囲にし、前記感圧部材の外径をdl
とし、0.7dO<di<dOの範囲内にし、前記導圧
孔のスリットの幅をhとして、0.311<h <0.
611の範囲にし、前記スリットの端部のうち少なくと
も一方が前記導管内周面より外側に位置するようにスリ
ットを延在したところにある。
以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づき詳細に
説明する。
説明する。
第F図は本発明の一実施例を示す横断面図である。10
は被測定流体が流れる導管であり、この導管10の所定
位置に開口部12が設けられ、該開口部12は導管10
の外周方向に延出する筒状の開口壁14により形成され
ている。16は渦発生体であり、開口部12から挿入す
るようにして導管10内に配置され、開口壁14端部か
ら延出するフランジ部18にボルト20で固定されると
ともに、開口壁14との間に若干の間隔22が設けられ
ている。
は被測定流体が流れる導管であり、この導管10の所定
位置に開口部12が設けられ、該開口部12は導管10
の外周方向に延出する筒状の開口壁14により形成され
ている。16は渦発生体であり、開口部12から挿入す
るようにして導管10内に配置され、開口壁14端部か
ら延出するフランジ部18にボルト20で固定されると
ともに、開口壁14との間に若干の間隔22が設けられ
ている。
前記渦発生体16は、第2図に示す第1図のA−A断面
図のごとく断面形状が矩形状に形成され、その内部には
渦発生体16の流れと直交する方向に空洞部24が穿設
されるとともに、感圧部材たる検知管28が空洞部24
内壁面と若干の間隙26が存在するように挿入されてい
る。この検知管28の一端は管状に形成され、開口して
いる。また、検知管28の他端部には2つの穴30が穿
設され、この穴30に磁歪素子32を挿入し、接着材3
4を充填し固着することにより歪の検出部を構成してい
る。また、検知管28の一端部にはフランジ部36が延
設され、押えフランジ38を介してポルト40で渦発生
体16の一端部に固定されている。
図のごとく断面形状が矩形状に形成され、その内部には
渦発生体16の流れと直交する方向に空洞部24が穿設
されるとともに、感圧部材たる検知管28が空洞部24
内壁面と若干の間隙26が存在するように挿入されてい
る。この検知管28の一端は管状に形成され、開口して
いる。また、検知管28の他端部には2つの穴30が穿
設され、この穴30に磁歪素子32を挿入し、接着材3
4を充填し固着することにより歪の検出部を構成してい
る。また、検知管28の一端部にはフランジ部36が延
設され、押えフランジ38を介してポルト40で渦発生
体16の一端部に固定されている。
また、前記渦発生体16の流れと並行する両側面42R
と42Lと前記空洞部24が連通ずるようにスリット4
4R,44Lを設け、導圧孔46を構成している。
と42Lと前記空洞部24が連通ずるようにスリット4
4R,44Lを設け、導圧孔46を構成している。
このように構成した渦流量針において、導管10内を流
体が流れると、渦発生体16の後方に規則的なカルマン
渦列が発生し、この渦列の発生と同時に渦発生体16の
両側面42R,42Lの圧力が変化する。この圧力変化
は差圧として検知管28に作用し曲げ応力を発生させ、
この応力変化を磁歪素子32が検出し電気信号に変換す
るものである。
体が流れると、渦発生体16の後方に規則的なカルマン
渦列が発生し、この渦列の発生と同時に渦発生体16の
両側面42R,42Lの圧力が変化する。この圧力変化
は差圧として検知管28に作用し曲げ応力を発生させ、
この応力変化を磁歪素子32が検出し電気信号に変換す
るものである。
次に渦発生体および検知管の形状・寸法などについて説
明する。
明する。
渦発生体16の流れと並行な側面42R,42Lの幅を
11、導圧孔46のスリット44.R,4,4Lの幅を
h、その長さをl、空洞部24の内径をdO1検知管2
8の外径を61、導管10の内径をDとする。
11、導圧孔46のスリット44.R,4,4Lの幅を
h、その長さをl、空洞部24の内径をdO1検知管2
8の外径を61、導管10の内径をDとする。
渦発生体16の空洞部24に挿入される検知管28は外
径が大きいほど感度は良いが、空洞部24内での検知管
28の歪を電気信号として検出するため、空洞部24内
壁に検知管28が接触しない程度の間隙26を形成する
必要がある。また、この間隙26は、測定流体中のゴミ
等の異物の影響を受けないように考慮して設定する必要
もある。
径が大きいほど感度は良いが、空洞部24内での検知管
28の歪を電気信号として検出するため、空洞部24内
壁に検知管28が接触しない程度の間隙26を形成する
必要がある。また、この間隙26は、測定流体中のゴミ
等の異物の影響を受けないように考慮して設定する必要
もある。
したがって、空洞部と検知管の関係において上部2つの
相反する条件を満足しなければならない。
相反する条件を満足しなければならない。
そこで、本願発明者らは上記条件を考慮に入れて各種の
実験を行った。第6図はその1つの結果を示す線図であ
り、空洞部24の内径dOと渦発生体の側面42R,4
,2Lの幅Hとの比do/Hと、検知管28の外径d1
と空洞部240内径dOとの比di/doの関係におい
て、渦検出の測定可能範囲を示すものである。これによ
るとdo/11の値に対し測定可能な最低検知管径d1
が存在するとともに、do/Hの値が1.0に近づくに
つれて測定可能検知管径d1の範囲は拡大する。逆にd
o/nの値が縮小するとdlの範囲が縮小するとともに
、測定可能な最低検知管径d1の値が上昇する。
実験を行った。第6図はその1つの結果を示す線図であ
り、空洞部24の内径dOと渦発生体の側面42R,4
,2Lの幅Hとの比do/Hと、検知管28の外径d1
と空洞部240内径dOとの比di/doの関係におい
て、渦検出の測定可能範囲を示すものである。これによ
るとdo/11の値に対し測定可能な最低検知管径d1
が存在するとともに、do/Hの値が1.0に近づくに
つれて測定可能検知管径d1の範囲は拡大する。逆にd
o/nの値が縮小するとdlの範囲が縮小するとともに
、測定可能な最低検知管径d1の値が上昇する。
ここで測定可能最低検知管径diが存在するのは、本発
明の渦流量計が渦発生に伴う渦発生体の両側面42R,
42Lの差圧を検知管28にて検出する構成であること
に基づく。例えば第5図(a)に示すように、空洞部2
4と検知管28との間隙26を広く設定した際に、矢印
の方向から圧力が導入されると、空洞部24の弧状壁4
8に沿って間隙26内に流体の流れが生じ、これにより
差圧の逃げが発生して感圧能力の低下を招く。また、間
隙26内の流体の流れにより検知管28の周囲に渦など
流体の乱れが生し、これがノイズとなって渦検出波形に
影響し測定を不可能とすることがある。
明の渦流量計が渦発生に伴う渦発生体の両側面42R,
42Lの差圧を検知管28にて検出する構成であること
に基づく。例えば第5図(a)に示すように、空洞部2
4と検知管28との間隙26を広く設定した際に、矢印
の方向から圧力が導入されると、空洞部24の弧状壁4
8に沿って間隙26内に流体の流れが生じ、これにより
差圧の逃げが発生して感圧能力の低下を招く。また、間
隙26内の流体の流れにより検知管28の周囲に渦など
流体の乱れが生し、これがノイズとなって渦検出波形に
影響し測定を不可能とすることがある。
したがって、検知管28の周囲に生ずる流れの影響を受
けない程度の検知管28の大きさを必要とし、測定可能
な最低検知管径d1が存在する。
けない程度の検知管28の大きさを必要とし、測定可能
な最低検知管径d1が存在する。
また、第6図において、上記のようにdo/Hの値が縮
小方向に変化するとdi/doの値が上昇するというの
は、次の理由による。つまり、空洞部24の内径dOが
大きな値では第5図+a)に示すように弧状壁48が長
く、空洞部24の内径dQが小さな値では第5図fbl
に示すように弧状壁48が短く形成される。ここで第5
図(alお、よび(b)に示すように矢印の方向から渦
発生に伴う圧力差が導入された際、間隙26の幅が一定
ならば壁面から受ける粘性抵抗は、弧状壁48の長いも
のが大きく、弧状壁48の短いものが小さい。したがっ
て、第5図(b)に示すように、弧状壁48が短いもの
は、間隙26内に流体の流れが発生しやすいため、その
流体の流れに伴い渦などの乱れが発生し、渦検出に悪影
響を及ぼす。そのため、空洞部24の内径dOが小さい
場合は、必然的にdi/doO値を上昇させ、間隙26
の幅を狭くして流体の流れを抑える必要性がでてくる。
小方向に変化するとdi/doの値が上昇するというの
は、次の理由による。つまり、空洞部24の内径dOが
大きな値では第5図+a)に示すように弧状壁48が長
く、空洞部24の内径dQが小さな値では第5図fbl
に示すように弧状壁48が短く形成される。ここで第5
図(alお、よび(b)に示すように矢印の方向から渦
発生に伴う圧力差が導入された際、間隙26の幅が一定
ならば壁面から受ける粘性抵抗は、弧状壁48の長いも
のが大きく、弧状壁48の短いものが小さい。したがっ
て、第5図(b)に示すように、弧状壁48が短いもの
は、間隙26内に流体の流れが発生しやすいため、その
流体の流れに伴い渦などの乱れが発生し、渦検出に悪影
響を及ぼす。そのため、空洞部24の内径dOが小さい
場合は、必然的にdi/doO値を上昇させ、間隙26
の幅を狭くして流体の流れを抑える必要性がでてくる。
以上の事実を本発明者らは考慮し、空洞部の内径dO1
検知管の外径d1、渦発生体の流れと並行する辺の長さ
1■として次の最適条件を設定した。
検知管の外径d1、渦発生体の流れと並行する辺の長さ
1■として次の最適条件を設定した。
0.711<dO<H
O,7dO<di<dO
さらに、本発明者らは、スリットの最適条件を1≦g/
D O,3H<h <0.6H の範囲に決めた。その理由を以下に述べる。
D O,3H<h <0.6H の範囲に決めた。その理由を以下に述べる。
一般に断面矩形状の渦発生体は直線性が良くない。この
ため特公昭55−20171号または特公昭55−28
485号のように渦発生体両側面に連通ずる連通孔を設
は吸い込み、吹き出しを行わせ直線性の向上を図る方法
が知られている。しかしながら本実施例においては、渦
発生体の空洞部24内に、検知管28を挿入しであるの
で流体の吸い込み、吹き出しは事実上行われない。つま
り渦発生体両側面に開口部はあるものの実質的に、柱状
の渦発生体と変わりがないのである。
ため特公昭55−20171号または特公昭55−28
485号のように渦発生体両側面に連通ずる連通孔を設
は吸い込み、吹き出しを行わせ直線性の向上を図る方法
が知られている。しかしながら本実施例においては、渦
発生体の空洞部24内に、検知管28を挿入しであるの
で流体の吸い込み、吹き出しは事実上行われない。つま
り渦発生体両側面に開口部はあるものの実質的に、柱状
の渦発生体と変わりがないのである。
そこで、本願発明者らは、各種実験の結果、スリット4
4R,44Lの端部の少なくとも一方を0 導管内周面より外側に位置させることにより、著しく直
線性を改善できることを見い出した。
4R,44Lの端部の少なくとも一方を0 導管内周面より外側に位置させることにより、著しく直
線性を改善できることを見い出した。
すなわち、流体の流れにより発生した渦発生体I6の両
側面42R,42Lの圧力差により変位する流体は、例
えば、第1図および第4図に示すように、吸い込み側の
側面42Lのスリット44Lを上昇し、このスリット4
4L上部から間隔22へ逃げ、開口壁14に沿ってもう
一方の側面42R方向まで達し、この側面42Rのスリ
ンI−44Rの上部で吸い込まれ、続いてスリット44
Rに沿って降下し吹き出される。これら一連の動作は、
導圧孔46のスリット44R,44L、空洞部24と検
知管28の間隙26および開口壁14と渦発生体16の
間隔22を通して行われ、結局スリット44R,44L
の吸い込み、吹き出しをスムーズに行い渦の剥離の助長
および抑制の効果を生じ、直線性の向上が図られる。
側面42R,42Lの圧力差により変位する流体は、例
えば、第1図および第4図に示すように、吸い込み側の
側面42Lのスリット44Lを上昇し、このスリット4
4L上部から間隔22へ逃げ、開口壁14に沿ってもう
一方の側面42R方向まで達し、この側面42Rのスリ
ンI−44Rの上部で吸い込まれ、続いてスリット44
Rに沿って降下し吹き出される。これら一連の動作は、
導圧孔46のスリット44R,44L、空洞部24と検
知管28の間隙26および開口壁14と渦発生体16の
間隔22を通して行われ、結局スリット44R,44L
の吸い込み、吹き出しをスムーズに行い渦の剥離の助長
および抑制の効果を生じ、直線性の向上が図られる。
したがって、前記スリット44R,44Lの端部の少な
くとも一方を導管内周面より外側に位置させればよい。
くとも一方を導管内周面より外側に位置させればよい。
さらに、一層好適にはスリット44R,44Lの長さβ
を導管10の内径りよりも長く形成することが望ましい
。
を導管10の内径りよりも長く形成することが望ましい
。
また、スリット44上部の圧力の逃げを効率良くするた
め、スリットの幅りを広げることも考えられる。このこ
とは併せて導圧孔46への圧力の導入の効率も良いとい
う結果となる。しかしながら、第5図(C1に示すよう
に弧状壁48が短くなり、間隙26内を流体が流れ易く
なり差圧の逃げが生じ感圧能力を低下させる。一方、ス
リットの幅りを狭めた場合は、検知管28周囲への差圧
の逃げは発生しなくなるが、直線性が低下し、差圧の効
率良い検出が困難となる。
め、スリットの幅りを広げることも考えられる。このこ
とは併せて導圧孔46への圧力の導入の効率も良いとい
う結果となる。しかしながら、第5図(C1に示すよう
に弧状壁48が短くなり、間隙26内を流体が流れ易く
なり差圧の逃げが生じ感圧能力を低下させる。一方、ス
リットの幅りを狭めた場合は、検知管28周囲への差圧
の逃げは発生しなくなるが、直線性が低下し、差圧の効
率良い検出が困難となる。
以上実験結果からスリットの最適条件を決定した。
次に上記実施例の動作について説明する。
渦発生体を前記最適条件の範囲内に設定した上記構成の
渦流量計を導管10内へ配設することにより、渦発生体
16の周囲を回る流れが強く加速され、渦発生体16の
後方に交互に規則的なカルマン渦が発生する。このカル
マン渦の発生に伴っ1 て渦発生体16の流体と並行する両側面42R142L
間に圧力差が生しる。この圧力差により、スリット44
R,44Lおよび渦発生体16と開口壁14の間隔22
を介して吸い込み、吹き出しが効率良く行われるととも
に、この圧力差がスリンl□44R,44Lを通して検
知管28に差圧として作用し曲げ応力を発生させる。こ
の応力変化を磁歪素子32が検出し電気信号に変換する
。
渦流量計を導管10内へ配設することにより、渦発生体
16の周囲を回る流れが強く加速され、渦発生体16の
後方に交互に規則的なカルマン渦が発生する。このカル
マン渦の発生に伴っ1 て渦発生体16の流体と並行する両側面42R142L
間に圧力差が生しる。この圧力差により、スリット44
R,44Lおよび渦発生体16と開口壁14の間隔22
を介して吸い込み、吹き出しが効率良く行われるととも
に、この圧力差がスリンl□44R,44Lを通して検
知管28に差圧として作用し曲げ応力を発生させる。こ
の応力変化を磁歪素子32が検出し電気信号に変換する
。
したがって、渦発生体16の間隙を通して吸い込み、吹
き出しは行われないが、スリットの長さを長くすること
により実質的に同様の作用を成し、直線性が向上すると
ともに、被測定流体が偏流や旋回流などによって乱れて
いてもカルマン渦が安定して発生する。
き出しは行われないが、スリットの長さを長くすること
により実質的に同様の作用を成し、直線性が向上すると
ともに、被測定流体が偏流や旋回流などによって乱れて
いてもカルマン渦が安定して発生する。
すなわち各種の実験によって吸い込み、吹き出しはカル
マン渦を安定に発生させる効果のあることは公知の事実
となっているが、本発明のように擬似的な吸い込み、吹
き出しであっても同様の効果が得られるのである。
マン渦を安定に発生させる効果のあることは公知の事実
となっているが、本発明のように擬似的な吸い込み、吹
き出しであっても同様の効果が得られるのである。
また、検知管28が渦発生体16に内設してい 9
2
るため、流れの抗力の影響を受けることがないとともに
、渦発生体16の両側面42R,42Lの差圧が検知管
28に効率良く作用するため、安定で良好な渦検出波形
(第7図参照)を得ることができる。さらに、検知管2
8の一端が筒状に形成しているため固有振動数が高くな
り高速領域まで計測できる一方、検知管28の一端の質
量も小さくすることができるので外部振動の影響も受け
にくい等の作用効果がある。
、渦発生体16の両側面42R,42Lの差圧が検知管
28に効率良く作用するため、安定で良好な渦検出波形
(第7図参照)を得ることができる。さらに、検知管2
8の一端が筒状に形成しているため固有振動数が高くな
り高速領域まで計測できる一方、検知管28の一端の質
量も小さくすることができるので外部振動の影響も受け
にくい等の作用効果がある。
また、検知管28は渦発生体内部に位置するため摩耗の
おそれがないのでアルミニウムなど軽量の材料を用いて
も良く、また筒状の一端のみを薄肉のパイプを溶着する
など種々の軽量化が図れるため、耐振動特性を更に向上
させることができる。
おそれがないのでアルミニウムなど軽量の材料を用いて
も良く、また筒状の一端のみを薄肉のパイプを溶着する
など種々の軽量化が図れるため、耐振動特性を更に向上
させることができる。
この点において従来の渦発生体の応力を直接検出する方
式ではこのような対策がとれないため本発明とは性能上
極めて大きな差が生じるのである。
式ではこのような対策がとれないため本発明とは性能上
極めて大きな差が生じるのである。
上記実施例では、渦発生体16の断面形状を矩形状に形
成したが、これは加工が容易であるとともに、前後どち
らの方向からの流れであっても測4 定することができ、また直線性、渦検出波形も良好であ
る等優れた特徴を有している。また、渦発生体16のス
リット44R,44tの面積が大きく形成されているた
め被測定流体に含まれている異物により詰まることもな
い。
成したが、これは加工が容易であるとともに、前後どち
らの方向からの流れであっても測4 定することができ、また直線性、渦検出波形も良好であ
る等優れた特徴を有している。また、渦発生体16のス
リット44R,44tの面積が大きく形成されているた
め被測定流体に含まれている異物により詰まることもな
い。
なお、上記実施例において、検知管の検出部を構成する
磁歪素子に替えて、圧電素子やストレートゲージ等の歪
検出センサを用いるようにしても良い。
磁歪素子に替えて、圧電素子やストレートゲージ等の歪
検出センサを用いるようにしても良い。
第8図+a)、 (b)は本発明の渦流量計の優れた特
性を示す一例で配管条件を変えた場合の実験データであ
る。
性を示す一例で配管条件を変えた場合の実験データであ
る。
第8図(blは第8図611に示すように、本発明の渦
流量計50をエルボ52の直後に取り付けた場合の器差
変化を示したものであり、このような悪条件下において
も器差変化は微少で使用可能であることを示している。
流量計50をエルボ52の直後に取り付けた場合の器差
変化を示したものであり、このような悪条件下において
も器差変化は微少で使用可能であることを示している。
このようにして本発明によれば導管内に配置された渦発
生体の流体と並行する両側面の差圧を極めて安定した良
好な渦検出波形として検出することができ、また被測定
流体の乱れの影響を受けることもない。さらに、渦流量
計の前後の直管部を短くすることも可能であるなどの著
効を奏する。
生体の流体と並行する両側面の差圧を極めて安定した良
好な渦検出波形として検出することができ、また被測定
流体の乱れの影響を受けることもない。さらに、渦流量
計の前後の直管部を短くすることも可能であるなどの著
効を奏する。
以上本発明の好適な実施例を挙げて種々説明してきたが
、本発明が上述した実施例に限定されることなく、例え
ば、渦発生体の断面形状が必ずしも矩形状でなく六角形
などの多角形でもよ(、発明の精神を逸脱しない範囲内
で多くの改変を施しうろことはもちろんである。
、本発明が上述した実施例に限定されることなく、例え
ば、渦発生体の断面形状が必ずしも矩形状でなく六角形
などの多角形でもよ(、発明の精神を逸脱しない範囲内
で多くの改変を施しうろことはもちろんである。
第1図は本発明の一実施例を示す横断面図、第2図は第
1図のA−AlJi面図、第3図は渦発生体の一部を示
す側面図、第4図は第1図のB−B断面図、第5図(a
l、 (blはそれぞれ空洞部の内径を大きく設定した
場合と小さく設定した場合の、第5図(C1はhを大き
く設定した場合の渦発生体と検知管の状態を示す断面説
明図、第6図は空洞部の内径と検知管の外径の比の測定
可能範囲を示す線図、第7図は本発明の渦流量針による
検出波形を示す。 第8図(alはエルボ直前に本発明の渦流量計を設け5 た説明図、第8図(blはその結果を示す線図である。 第9図(al、 (b)は渦流量計における検出困難な
検出波形を示す。 10・・・導管、12・・・開口部、14・・・開口壁
、16・・・渦発生体、18・・・フランジ部、20・
・・ボルト、22・・・間隔、24・・・空洞部、26
・・・間隙、28・・・検知管、30・・・穴。 32・・・磁歪素子、34・・・接着剤。 36・・・フランジ部、38・・・押えフランジ、40
・・・ボルト、 42R,42L・・・側面、 44R
,44L・・・スリット。 46・・・導圧孔、48・・・弧状壁、50・・・渦流
量計、52・・・エルボ。 特許出願人 株式会社 長野計器製作所 代表者 溝 呂 木 雅 之 7 6 K 棚 塾
1図のA−AlJi面図、第3図は渦発生体の一部を示
す側面図、第4図は第1図のB−B断面図、第5図(a
l、 (blはそれぞれ空洞部の内径を大きく設定した
場合と小さく設定した場合の、第5図(C1はhを大き
く設定した場合の渦発生体と検知管の状態を示す断面説
明図、第6図は空洞部の内径と検知管の外径の比の測定
可能範囲を示す線図、第7図は本発明の渦流量針による
検出波形を示す。 第8図(alはエルボ直前に本発明の渦流量計を設け5 た説明図、第8図(blはその結果を示す線図である。 第9図(al、 (b)は渦流量計における検出困難な
検出波形を示す。 10・・・導管、12・・・開口部、14・・・開口壁
、16・・・渦発生体、18・・・フランジ部、20・
・・ボルト、22・・・間隔、24・・・空洞部、26
・・・間隙、28・・・検知管、30・・・穴。 32・・・磁歪素子、34・・・接着剤。 36・・・フランジ部、38・・・押えフランジ、40
・・・ボルト、 42R,42L・・・側面、 44R
,44L・・・スリット。 46・・・導圧孔、48・・・弧状壁、50・・・渦流
量計、52・・・エルボ。 特許出願人 株式会社 長野計器製作所 代表者 溝 呂 木 雅 之 7 6 K 棚 塾
Claims (1)
- ■、カルマン渦を利用した渦流量計において、流体の流
れる導管中に配設する渦発生体の流体の流れ方向の断面
形状を矩形状とし、前記渦発生体の流体の流れと直交す
る方向に感圧部材を挿入するための空洞部を穿設すると
ともに、この空洞部を貫通し前記渦発生体の流体の流れ
と並行する両側面を連通ずるスリットを設は導圧孔を構
成し、この導圧孔の空洞部の内径をdo、前記渦発生体
の流体の流れと並行する辺の長さをHとして、0.7H
<do<11の範囲にし、前記感圧部材の外径をdlと
し、0.7dO<di<doの範囲内にし、前記導圧孔
のスリットの幅をhとして、0.311<h <0.6
Hの範囲にし、前記スリットの端部のうち少なくとも一
方が前記導管内1周面より外側に位置するようにスリッ
トを延在したことを特徴とする渦流量針。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59055483A JPS60198413A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 渦流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59055483A JPS60198413A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 渦流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60198413A true JPS60198413A (ja) | 1985-10-07 |
| JPH0458564B2 JPH0458564B2 (ja) | 1992-09-17 |
Family
ID=12999865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59055483A Granted JPS60198413A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 渦流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60198413A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3173926B2 (ja) | 1993-08-12 | 2001-06-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 薄膜状絶縁ゲイト型半導体装置の作製方法及びその半導体装置 |
-
1984
- 1984-03-22 JP JP59055483A patent/JPS60198413A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0458564B2 (ja) | 1992-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |