JPS60198435A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
赤外線ガス分析計Info
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- JPS60198435A JPS60198435A JP5586184A JP5586184A JPS60198435A JP S60198435 A JPS60198435 A JP S60198435A JP 5586184 A JP5586184 A JP 5586184A JP 5586184 A JP5586184 A JP 5586184A JP S60198435 A JPS60198435 A JP S60198435A
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- Japan
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- light
- cell
- detector
- comparison
- gas
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/37—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using pneumatic detection
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業−にの利用分野）
本発明は各種工業プロセスのガス濃度の監視や制御、公
害監視のための排ガス濃度測定などに使用される分析計
であって、ガス分子の赤外線吸収効果を利用してガス分
子の赤外線吸収の強さにより試料ガス中の特定成分の濃
度を測定する非分散形赤外線ガス分析計に関する。
害監視のための排ガス濃度測定などに使用される分析計
であって、ガス分子の赤外線吸収効果を利用してガス分
子の赤外線吸収の強さにより試料ガス中の特定成分の濃
度を測定する非分散形赤外線ガス分析計に関する。
（従来技術）
第１図には単光源を用いた従来の赤外線ガス分析計を示
す。１は光源で、その光源１に対し試料セル２と比較セ
ル３が同量の光が入射されるように互し−１に平行に配
置されている。試料セル２には測定成分を含んだ試料ガ
スが流され、比較セル３には赤外線を吸収しない窒素や
空気などの不活性ガスが充填されている。４は光源１か
ら試料セル２と比較セル３に入射される光を同時断続す
る光チョッパ、５，６は各セル２，３を透過して検出器
７に入射する光の量を調整する光量調整器である。検出
器７は金属薄膜８により２個の室９゜１０に仕切られ、
両室９，１０には測定成分ガスが充填されて密閉された
コンデンサマイクロホン方式の検出器であって、金属薄
膜８とそれに対向して設けられた電極１１とでコンデン
サを形成している。】２はその検出器７の信号検出回路
である。
す。１は光源で、その光源１に対し試料セル２と比較セ
ル３が同量の光が入射されるように互し−１に平行に配
置されている。試料セル２には測定成分を含んだ試料ガ
スが流され、比較セル３には赤外線を吸収しない窒素や
空気などの不活性ガスが充填されている。４は光源１か
ら試料セル２と比較セル３に入射される光を同時断続す
る光チョッパ、５，６は各セル２，３を透過して検出器
７に入射する光の量を調整する光量調整器である。検出
器７は金属薄膜８により２個の室９゜１０に仕切られ、
両室９，１０には測定成分ガスが充填されて密閉された
コンデンサマイクロホン方式の検出器であって、金属薄
膜８とそれに対向して設けられた電極１１とでコンデン
サを形成している。】２はその検出器７の信号検出回路
である。
この従来の赤外線ガス分析計では光景調整器５゜６によ
り検出器７の両室９，１０に入射する光量が等しくなら
ないように調整される。まず、赤外線吸収をもたないＮ
２のような不活性なガス（ゼロガス）を試料セル２に流
したとき、検出器７へ入射される光量は比較セル３側の
方が多くなるように光量調整器５，６が調整されている
とする。。
り検出器７の両室９，１０に入射する光量が等しくなら
ないように調整される。まず、赤外線吸収をもたないＮ
２のような不活性なガス（ゼロガス）を試料セル２に流
したとき、検出器７へ入射される光量は比較セル３側の
方が多くなるように光量調整器５，６が調整されている
とする。。
検出器７では室１０の方が室９より多くの光量が入射さ
れるので金属薄膜８け左方向へふ＜ｌ）む。
れるので金属薄膜８け左方向へふ＜ｌ）む。
検出器７の両室９，１０へ入射する光は光チョッパ４に
より同時断続されているので、金属薄膜８も一定周波数
で振動し、その検出信号は第２図の記号１５で示される
ように得られ、この信号の振幅がゼロ点となる。
より同時断続されているので、金属薄膜８も一定周波数
で振動し、その検出信号は第２図の記号１５で示される
ように得られ、この信号の振幅がゼロ点となる。
次に試料セル２に一定濃度の測定成分を含むガス（スパ
ンガス）を流して同様の測定をすれば、試料セル２で赤
外線の吸収が起って試料セル２を透過する光量が減少す
るので、検出信号は第２図の記号Ｊ６で示されるように
その振幅が大きくなる。この検出信号１６の振幅がスパ
ン点となる。
ンガス）を流して同様の測定をすれば、試料セル２で赤
外線の吸収が起って試料セル２を透過する光量が減少す
るので、検出信号は第２図の記号Ｊ６で示されるように
その振幅が大きくなる。この検出信号１６の振幅がスパ
ン点となる。
そして、試料セル２に測定ガスを流して同様の測定を行
なうと、第２図の記号１７で示されるように成分ガスの
濃度に応じた振幅の検出信号が得られるので、これをゼ
ロ点とスパン点の間で比例配分して試料ガス濃度をめる
ことができる。
なうと、第２図の記号１７で示されるように成分ガスの
濃度に応じた振幅の検出信号が得られるので、これをゼ
ロ点とスパン点の間で比例配分して試料ガス濃度をめる
ことができる。
この従来の赤外線ガス分析計では」−述の如く試料セル
２と比較セル３の透過光をそれぞれ検出器７の別々の室
９と１０に入射させ、再透過光量の差により試料セル２
中の成分ガスの濃度を測定するものであり、かつ試料セ
ル２と比較セル３の透過光量が等しくなっては検出器７
の金属薄膜８が停止して検出ができなくなるため、光量
調整器５゜６により試料セル２と比較セル３の透過光量
が異３− なるように調整していた。
２と比較セル３の透過光をそれぞれ検出器７の別々の室
９と１０に入射させ、再透過光量の差により試料セル２
中の成分ガスの濃度を測定するものであり、かつ試料セ
ル２と比較セル３の透過光量が等しくなっては検出器７
の金属薄膜８が停止して検出ができなくなるため、光量
調整器５゜６により試料セル２と比較セル３の透過光量
が異３− なるように調整していた。
そのため、従来のこの赤外線ガス分析Ｈ１を長時間連続
して使用する場合、単光源を使用したとしても周囲の温
度変化や光源の劣化、検出器の感度変化などにより、ゼ
ロ点およびスパン点が変化する。このため従来の赤外線
ガス分析Ｈ１では分析部（光学系）を一定温度に温度調
節することが必要であり、その結果コストの高いものと
なっている。
して使用する場合、単光源を使用したとしても周囲の温
度変化や光源の劣化、検出器の感度変化などにより、ゼ
ロ点およびスパン点が変化する。このため従来の赤外線
ガス分析Ｈ１では分析部（光学系）を一定温度に温度調
節することが必要であり、その結果コストの高いものと
なっている。
また、温度調節が完全なものでない場合には誤差の原因
となっていた。従来ではこれらのｔｌｆｔ差を小さくす
るため、一定周期でゼロガス及びスパンガスを定期的に
（高感度分析計ではより頻度が高く）流してゼロ点とス
パン点を校正する必要があった。
となっていた。従来ではこれらのｔｌｆｔ差を小さくす
るため、一定周期でゼロガス及びスパンガスを定期的に
（高感度分析計ではより頻度が高く）流してゼロ点とス
パン点を校正する必要があった。
また、ゼロ点測定時に試料セル側の透過光量と比較セル
側の透過光量をある一定の差にするために光学系の光量
バランスを調整する必要があり、この調整のための光量
調整器の機構が必要であり、これを調整するための工数
も必要であった。
側の透過光量をある一定の差にするために光学系の光量
バランスを調整する必要があり、この調整のための光量
調整器の機構が必要であり、これを調整するための工数
も必要であった。
（目的）
４一
本発明は、周囲温度の変化、光源の光量変化、検出器の
感度変化などを検出信号の処理により自動的、かつ連続
的に補正することができ、恒温槽や光量調整器を不要に
して、安定性がよく低コストの赤外線ガス分析計を提供
することを目的とするものである。
感度変化などを検出信号の処理により自動的、かつ連続
的に補正することができ、恒温槽や光量調整器を不要に
して、安定性がよく低コストの赤外線ガス分析計を提供
することを目的とするものである。
（構成）
本発明の赤外線ガス分析計では、１個の光源を用い、こ
の光源からの光が試料セルと比較セルをそれぞれ透過し
た透過光を１個の検出器に交互に導入し、両透過光の検
出信号を別々に取り出す。
の光源からの光が試料セルと比較セルをそれぞれ透過し
た透過光を１個の検出器に交互に導入し、両透過光の検
出信号を別々に取り出す。
検出器としてはコンデンサマイクロホン方式又はマイク
ロフローセンサ方式のものが用いられ、その検出器への
透過光の導入は試料セルと比較セルの入射側又は透過側
に設けられた光チヨツパ手段により制御されるが、試料
セル透過晃の検出信号（以下測定信号という）と比較セ
ル透過光の検出信号（以下比較信号という）が相互に干
渉しない程度の時間間隔（僅かに干渉があっても実質的
に影響のない程度）をもって両透過光が検出器に導入さ
れる。
ロフローセンサ方式のものが用いられ、その検出器への
透過光の導入は試料セルと比較セルの入射側又は透過側
に設けられた光チヨツパ手段により制御されるが、試料
セル透過晃の検出信号（以下測定信号という）と比較セ
ル透過光の検出信号（以下比較信号という）が相互に干
渉しない程度の時間間隔（僅かに干渉があっても実質的
に影響のない程度）をもって両透過光が検出器に導入さ
れる。
そして、測定信号と比較信号の差が出力信号どして用い
られ、また、比較信号が光学系全体の感度を検出するた
めにも用いられ、この感度が一定になるように出力信号
が補正されるのである。また、温度変化による試料ガス
の密度変化に起因する測定信号の変化は、測定セルの洞
度を検出することにより補正することができる。
られ、また、比較信号が光学系全体の感度を検出するた
めにも用いられ、この感度が一定になるように出力信号
が補正されるのである。また、温度変化による試料ガス
の密度変化に起因する測定信号の変化は、測定セルの洞
度を検出することにより補正することができる。
（実施例）
第３図は本発明の一実施例の光学系を表わす。
光源１から放射された赤外線は光チョッパ２０により一
定の時間間隔で断続されて、試料セル２と比較セル３に
交互に導入される。２１は試料セル２又は比較セル３を
透過した光をＪｌｌ−の検出器２２に入射させる集光型
である。検出器２２は光の入射に対して前後に配置され
た２個の室２２−１．２２−２を有し、各室２２−１．
２２−２には測定成分ガスが充填されて密閉されており
、入射光はまず前室２２−１に入り、その透過光が後室
２２−２に入る。画室２２−］、２２−２における光吸
収の差に応じた圧力差は画室間に設けられた圧力差検出
素子２３により検出される。圧力差検出素子２３として
は、コンデンサマイクロホン又はマイクロフローセンサ
が使用される。
定の時間間隔で断続されて、試料セル２と比較セル３に
交互に導入される。２１は試料セル２又は比較セル３を
透過した光をＪｌｌ−の検出器２２に入射させる集光型
である。検出器２２は光の入射に対して前後に配置され
た２個の室２２−１．２２−２を有し、各室２２−１．
２２−２には測定成分ガスが充填されて密閉されており
、入射光はまず前室２２−１に入り、その透過光が後室
２２−２に入る。画室２２−］、２２−２における光吸
収の差に応じた圧力差は画室間に設けられた圧力差検出
素子２３により検出される。圧力差検出素子２３として
は、コンデンサマイクロホン又はマイクロフローセンサ
が使用される。
光チョッパ２０は光源１からの光を試料セル２と比較セ
ル３に交互に入射させるように光束を断続する。そのよ
うな光チョッパ２０は例えば第４図に示されるようなも
のであり、試料セル２用の開口２４と比較セル３用の開
口２５が互いに離れた位置に設けられている。２６．２
７はこの光チョッパ２０が光束を断続するタイミングを
検出する光検出器で、そのための開口２８．２９からの
光を受光して第５図に示されるパルス信号３０゜３１を
発生する。
ル３に交互に入射させるように光束を断続する。そのよ
うな光チョッパ２０は例えば第４図に示されるようなも
のであり、試料セル２用の開口２４と比較セル３用の開
口２５が互いに離れた位置に設けられている。２６．２
７はこの光チョッパ２０が光束を断続するタイミングを
検出する光検出器で、そのための開口２８．２９からの
光を受光して第５図に示されるパルス信号３０゜３１を
発生する。
この光チョッパ２０が試料セル２と比較セル３に交互に
光を入射させる回転速度は検出器２２の応答時間より遅
くなるように設定されている。その結果、検出器２２の
検出信号は、第５図に示されるように比較信号３２と測
定信号３３とが相互に干渉しない孤立波となる。
光を入射させる回転速度は検出器２２の応答時間より遅
くなるように設定されている。その結果、検出器２２の
検出信号は、第５図に示されるように比較信号３２と測
定信号３３とが相互に干渉しない孤立波となる。
７−
次に第５図のように得られる本実施例の検出信号の処理
系統を第６図により説明する。
系統を第６図により説明する。
検出器２２で検出された比較信号３２及び測定信号３３
は増幅器４０で増幅された後、光チョッパ２０のタイミ
ングで比較信号Ｒと測定信号Ｍに分離される。両信号は
引き算器４１に入力されて差がめられるとともに、比較
信号Ｒはまた比較器４２へも入力されて基準設定電圧ｖ
ｒと比較され、■ｒからのずれがあれば増幅器４０にフ
ィードバックがかけられてその比較信号Ｒが一定になる
ように増幅器４０の利得が制御される。すなわち、光学
系の光量や検出器の感度が変化した場合、信号処理系の
方で感度が一定になるように制御しているのである。
は増幅器４０で増幅された後、光チョッパ２０のタイミ
ングで比較信号Ｒと測定信号Ｍに分離される。両信号は
引き算器４１に入力されて差がめられるとともに、比較
信号Ｒはまた比較器４２へも入力されて基準設定電圧ｖ
ｒと比較され、■ｒからのずれがあれば増幅器４０にフ
ィードバックがかけられてその比較信号Ｒが一定になる
ように増幅器４０の利得が制御される。すなわち、光学
系の光量や検出器の感度が変化した場合、信号処理系の
方で感度が一定になるように制御しているのである。
このように感度補正された比較信号Ｒと測定信号Ｍを入
力した引き算器４１の出力は試料セル中の成分ガスの濃
度に対応した出力信号となる。
力した引き算器４１の出力は試料セル中の成分ガスの濃
度に対応した出力信号となる。
４３は試料セル温度Ｔの変化により測定ガスの密度が変
化することに伴う濃度補正を行なうための比較器である
。
化することに伴う濃度補正を行なうための比較器である
。
８一
本実施例において、試料セル２にまず測定成分を含まな
いゼロガスを流し、そのときの出力信号をゼロ点とする
。この場合、試料セル２と比較セル３のそれぞれの透過
光量が等しくなるようにしておけばゼロ点の出力レベル
が０レベルになり、仮に光源の光量が変化したり検出器
の感度が変化したりしたとしても測定信号と比較信号に
全く同じ割合で影響が表われるので、両信号の差として
出力されるゼロ点のレベルは変化しない。
いゼロガスを流し、そのときの出力信号をゼロ点とする
。この場合、試料セル２と比較セル３のそれぞれの透過
光量が等しくなるようにしておけばゼロ点の出力レベル
が０レベルになり、仮に光源の光量が変化したり検出器
の感度が変化したりしたとしても測定信号と比較信号に
全く同じ割合で影響が表われるので、両信号の差として
出力されるゼロ点のレベルは変化しない。
次に、試料セル２に測定成分を一定濃度含有するスパン
ガスを流し、そのときの出力信号をスパン点とする。
ガスを流し、そのときの出力信号をスパン点とする。
次に、試料セル２に測定しようとする試料ガスを流して
得られる出力信号を、既に測定したスパン点とゼロ点の
間で比例配分してその試料ガスの濃度がめられる。
得られる出力信号を、既に測定したスパン点とゼロ点の
間で比例配分してその試料ガスの濃度がめられる。
長時間の測定により試料セル２が汚れ、測定信号が変化
することがある。この変化は比較信号とは独立に起るも
のであるので、前述の増幅器４０の利得制御では補正す
ることはできない。そのため、一定時間測定した後は、
再びゼロガスとスパンガスを流して、ゼロ点とスパン点
を測定し直すことにより、このようなａｌ１１定セル汚
染による誤差を補正することができる。
することがある。この変化は比較信号とは独立に起るも
のであるので、前述の増幅器４０の利得制御では補正す
ることはできない。そのため、一定時間測定した後は、
再びゼロガスとスパンガスを流して、ゼロ点とスパン点
を測定し直すことにより、このようなａｌ１１定セル汚
染による誤差を補正することができる。
以上の実施例は本発明の一例であり、本発明の範囲内で
種々の変更が可能である。例えば光チョッパ２０は測定
セル２と比較セル３とに交互に、望ましくは測定信号と
比較信号とが相互に干渉しない程度の低速で光源１の光
を導入できるものであればよく、開口の位置や形状は種
々変形することができる。
種々の変更が可能である。例えば光チョッパ２０は測定
セル２と比較セル３とに交互に、望ましくは測定信号と
比較信号とが相互に干渉しない程度の低速で光源１の光
を導入できるものであればよく、開口の位置や形状は種
々変形することができる。
検出器２２は光の入射に対し前後２室に分離されたコン
デンサマイクロホン方式のものを使用したが、測定成分
ガスが充填されたガス室が単一のコンデンサマイクロホ
ン方式のものでもよい。また、マイクロフローセンサ方
式の検出器を使用してもよい。
デンサマイクロホン方式のものを使用したが、測定成分
ガスが充填されたガス室が単一のコンデンサマイクロホ
ン方式のものでもよい。また、マイクロフローセンサ方
式の検出器を使用してもよい。
また、検出信号の処理方式も一例を示したにすぎず、要
は測定信号と比較信号を別個に検出してその差から成分
ガス濃度をめ１、かつ比較信号により検出系の感度を一
定に保つように制御する方式であればよい。したがって
、実施例のように比較信号により増幅器の利得にフィー
ドバックをかける方式だけでなく、比較信号を用いてデ
ジタル的に演算することにより検出信号の変化を補正す
るようにしてもよい。
は測定信号と比較信号を別個に検出してその差から成分
ガス濃度をめ１、かつ比較信号により検出系の感度を一
定に保つように制御する方式であればよい。したがって
、実施例のように比較信号により増幅器の利得にフィー
ドバックをかける方式だけでなく、比較信号を用いてデ
ジタル的に演算することにより検出信号の変化を補正す
るようにしてもよい。
（効果）
本発明の効果を列挙すれば以下の如くである。
（１）従来の赤外線ガス分析計では温度変化による測定
値の変動が大きいため、完全な温度調節機構が必要であ
ったが、本発明では温度が変化しても比較セルからの比
較信号によりゼロ点、スパン点及び測定信号が絶えず補
正がなされているため、温度調節機構が不要になり、ケ
ースの構造が簡単になって小型、低コスト化が実現でき
る。
値の変動が大きいため、完全な温度調節機構が必要であ
ったが、本発明では温度が変化しても比較セルからの比
較信号によりゼロ点、スパン点及び測定信号が絶えず補
正がなされているため、温度調節機構が不要になり、ケ
ースの構造が簡単になって小型、低コスト化が実現でき
る。
（２）光源の劣化や検出器の感度低下によるドリフトも
自動的に補正されていることになるので、従来のものに
比べて安定性がよくなっている。
自動的に補正されていることになるので、従来のものに
比べて安定性がよくなっている。
特に本発明では試料セルの透過光量と比較セルの透過光
量とを等しくしてゼロ点を０レベルにする１１− こともでき、その場合には温度変化、光源劣化、検出器
の感度低下によってもゼロ点は不変であり、一層安定性
がよくなる。
量とを等しくしてゼロ点を０レベルにする１１− こともでき、その場合には温度変化、光源劣化、検出器
の感度低下によってもゼロ点は不変であり、一層安定性
がよくなる。
（３）温度調節機構が不要であるので暖機が短かく、す
ぐに測定を開始することができる。
ぐに測定を開始することができる。
（４）測定信号と比較信号を電気的に合わせれば、測定
セルと比較セルの、光量調整を行なう必要がなく、した
がって従来のような複雑な調整工程が不要になる。
セルと比較セルの、光量調整を行なう必要がなく、した
がって従来のような複雑な調整工程が不要になる。
（５）マイクロコンピュータを用いて処理することもで
き、その場合には種々の校正を自動的に行なうことがで
きる。
き、その場合には種々の校正を自動的に行なうことがで
きる。
第１図は従来の赤外線式ガス分析計を一部断面で示す概
略図、第２図は同分析計の検出信号を示す波形図、第３
図は本発明の一実施例を一部断面で示す概略図、第４図
は同実施例で使用されている光チョッパを示す平面図、
第５図は同実施例の検出信号を示す波形図、第６図は同
実施例の検出信号処理系統を示すブロック図である。 ＝１２− １・・・・・・光源、 ２・・・・・・測定セル、 ３
・・・・・・比較セル、 ２０・・・・・・光チ巨ツバ
、 ２２・・・・・・検出器、２３・・・・・・圧力差
検出素子。 代理人 弁理士 野口繁雄 し Ｇ 纒 ヤ田
略図、第２図は同分析計の検出信号を示す波形図、第３
図は本発明の一実施例を一部断面で示す概略図、第４図
は同実施例で使用されている光チョッパを示す平面図、
第５図は同実施例の検出信号を示す波形図、第６図は同
実施例の検出信号処理系統を示すブロック図である。 ＝１２− １・・・・・・光源、 ２・・・・・・測定セル、 ３
・・・・・・比較セル、 ２０・・・・・・光チ巨ツバ
、 ２２・・・・・・検出器、２３・・・・・・圧力差
検出素子。 代理人 弁理士 野口繁雄 し Ｇ 纒 ヤ田
Claims (1)
- （１）単一光源からの赤外線光をそれぞれ測定セルと比
較セルに導入し、両セルの透過光をセルの入射側又は透
過側に設けられた光チヨツパ手段により断続して検出器
に導入するガス分析計において、 前記検出器はコンデンサマイクロホン方式又はマイクロ
フローセンサ方式でＱｌ−の受光部をもつ検出器であり
、前記光チ９ツバ手段は測定セル透過光と比較セル透過
光をそれらの検出信号が相互に干渉しない程度の時間間
隔で交互に検出器に導入させる構造を有し、かつ測定セ
ルの温度を検出する手段が備えられ、 比較セル透過光の検出信号により感度変化を検出しつつ
、測定セル透過光の検出信号と比較セル透過光の検出信
号との差から測定セルのガス濃度を測定し、かつ、温度
による補正を行なうことを特徴とする赤外線ガス分析計
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5586184A JPS60198435A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5586184A JPS60198435A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 赤外線ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60198435A true JPS60198435A (ja) | 1985-10-07 |
Family
ID=13010838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5586184A Pending JPS60198435A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 赤外線ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60198435A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01104552U (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-14 | ||
| JPH01142848U (ja) * | 1988-03-26 | 1989-09-29 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548576A (en) * | 1977-06-22 | 1979-01-22 | Fuji Electric Co Ltd | Infrated ray gas analyzer |
| JPS5779438A (en) * | 1980-09-19 | 1982-05-18 | Mine Safety Appliances Co | Infrared ray analyzer |
| JPS582640A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-08 | Shimadzu Corp | 非分散型赤外分析計 |
| JPS5876742A (ja) * | 1981-10-31 | 1983-05-09 | Shimadzu Corp | ２光束非分散形赤外線亜硫酸ガス分析方法 |
-
1984
- 1984-03-22 JP JP5586184A patent/JPS60198435A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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