JPS60200434A - 陰極フイラメントの製造方法 - Google Patents
陰極フイラメントの製造方法Info
- Publication number
- JPS60200434A JPS60200434A JP59056789A JP5678984A JPS60200434A JP S60200434 A JPS60200434 A JP S60200434A JP 59056789 A JP59056789 A JP 59056789A JP 5678984 A JP5678984 A JP 5678984A JP S60200434 A JPS60200434 A JP S60200434A
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- JP
- Japan
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- tip
- discharge
- electron discharge
- electron
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/04—Manufacture of electrodes or electrode systems of thermionic cathodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は耐熱性金属線からなるフィラメント又は陰極材
の改良に関する。
の改良に関する。
従来耐熱性金属のタングステンの表面に電子放出性物質
のバリウム、ストロンチウム、カルシウムを主体とした
酸化物を塗布して用いることが行なわれている。
のバリウム、ストロンチウム、カルシウムを主体とした
酸化物を塗布して用いることが行なわれている。
本発明は更に電子放出効率を高めるために電子放出性物
質に希土類金属と硼素を含有する物質を用い、これを母
材表面に単に塗布するのではなくて、被覆材と母材との
間に放電を行ない母材表面に一部拡散する状態の被覆層
を形成するか被覆材のイオン打込による拡散層を形成す
ることにより耐消耗性を高めるように設けたことを特徴
どするものである。
質に希土類金属と硼素を含有する物質を用い、これを母
材表面に単に塗布するのではなくて、被覆材と母材との
間に放電を行ない母材表面に一部拡散する状態の被覆層
を形成するか被覆材のイオン打込による拡散層を形成す
ることにより耐消耗性を高めるように設けたことを特徴
どするものである。
以下一実施例によって説明する。第１図は本発明の一実
施例断面図で、耐熱性金属の母材４の表面に拡散結合す
る電子放出性物質の薄い被覆層３１を形成する。母材の
耐熱性金属としては、Ｗ、Ｔａ、ｐｔ、ｌｒのような融
点が高く良導電性の電子放出性材を用いる。この母材表
面に被覆する電子放出性物質としては、１ａＳｐｒＸＣ
ｅ等の希土類と硼素Ｂを含み、３ａ 、 Ｃａ 、３ｒ
からなるもので、ｐｒ （Ｂａ ｏ、ｓ Ｂｏ、４ ）
ｅ 、ｐｒ （Ｃａｏ、ｓ ％ Ｓｒｏ、ｒ、 ）ｓ
）Ｌａ （ＢａＯ−３、Ｂｏ、７ ）ｅ 、Ｃｅ （
Ｃａ０．２ ％ Ｓｒｏ、４％ Ｂｏ、４ ＞６等を用
いる。
施例断面図で、耐熱性金属の母材４の表面に拡散結合す
る電子放出性物質の薄い被覆層３１を形成する。母材の
耐熱性金属としては、Ｗ、Ｔａ、ｐｔ、ｌｒのような融
点が高く良導電性の電子放出性材を用いる。この母材表
面に被覆する電子放出性物質としては、１ａＳｐｒＸＣ
ｅ等の希土類と硼素Ｂを含み、３ａ 、 Ｃａ 、３ｒ
からなるもので、ｐｒ （Ｂａ ｏ、ｓ Ｂｏ、４ ）
ｅ 、ｐｒ （Ｃａｏ、ｓ ％ Ｓｒｏ、ｒ、 ）ｓ
）Ｌａ （ＢａＯ−３、Ｂｏ、７ ）ｅ 、Ｃｅ （
Ｃａ０．２ ％ Ｓｒｏ、４％ Ｂｏ、４ ＞６等を用
いる。
母材４へのこれら電子放出性物質３１の被覆には第２図
の放電被覆手段が用いられる。１はバイブレータで、振
動ヘッドを構成し、先端チセツク２に被覆材チップ３を
取付け、母材４に対向して先端をバイブレータ １の振
動によって接触開離を繰返すように設定する。５はチッ
プ３と母材４間に放電を行なわせるパルス電源である。
の放電被覆手段が用いられる。１はバイブレータで、振
動ヘッドを構成し、先端チセツク２に被覆材チップ３を
取付け、母材４に対向して先端をバイブレータ １の振
動によって接触開離を繰返すように設定する。５はチッ
プ３と母材４間に放電を行なわせるパルス電源である。
被覆加工雰囲気は不活性ガス雰囲気とづるために気密容
器６で囲まれ内部を真空ポンプ７により排気するととも
にボンベ８から不活性ガスを供給する。尚、気密容器６
にはベローズ６ａが一部設けてあり、上下振動は自在に
行なわれる。
器６で囲まれ内部を真空ポンプ７により排気するととも
にボンベ８から不活性ガスを供給する。尚、気密容器６
にはベローズ６ａが一部設けてあり、上下振動は自在に
行なわれる。
放電による被覆加工は、被覆材チップ３が下降して母材
４に接近したとき放電が発生し放電熱で溶解したチップ
月が母材４に接触溶着し、これを振動ザイクル毎に繰返
して被覆が行なわれ、加工は放電電界により母材４内に
一部拡散する状態で被覆され母材４の移動により被覆部
分を変えることにより、母材４の所定部分若しくは全面
に被覆層３１を形成することができる。実験は被覆材デ
ツプ３の振動数を１００〜４００１−ｌｚで振動させ、
放電電源５のパルス幅を１〜５０μｓ、放電電流波高値
Ｉｐを５０〜２００Ａで行なった。被覆層の厚さは通常
１０μｍ以下が用いられる。
４に接近したとき放電が発生し放電熱で溶解したチップ
月が母材４に接触溶着し、これを振動ザイクル毎に繰返
して被覆が行なわれ、加工は放電電界により母材４内に
一部拡散する状態で被覆され母材４の移動により被覆部
分を変えることにより、母材４の所定部分若しくは全面
に被覆層３１を形成することができる。実験は被覆材デ
ツプ３の振動数を１００〜４００１−ｌｚで振動させ、
放電電源５のパルス幅を１〜５０μｓ、放電電流波高値
Ｉｐを５０〜２００Ａで行なった。被覆層の厚さは通常
１０μｍ以下が用いられる。
又被覆加工は前記被覆ｌデツプ３の振動に加え、或いは
単独にデツプ３を軸を中心に回転を加えて行なうことが
でき、被覆効果が向上できる。
単独にデツプ３を軸を中心に回転を加えて行なうことが
でき、被覆効果が向上できる。
又被覆材のイオンプラントを行なうことができ、イオン
打込みは雰囲気圧を１０（７ｏｒｒ程度にし被覆材に放
電を行ないイオン発生を行なっても電界加速制御して打
込むようにする。又被１＋Ｊのワイヤを電極間に張って
おいて、これを衝撃放電にＪ：つて溶融飛散させて母材
に衝突溶着させたり、被覆材の粉末を放電衝撃により噴
ｑ４させて衝突溶着させる方法等を利用して被覆するこ
とができる。
打込みは雰囲気圧を１０（７ｏｒｒ程度にし被覆材に放
電を行ないイオン発生を行なっても電界加速制御して打
込むようにする。又被１＋Ｊのワイヤを電極間に張って
おいて、これを衝撃放電にＪ：つて溶融飛散させて母材
に衝突溶着させたり、被覆材の粉末を放電衝撃により噴
ｑ４させて衝突溶着させる方法等を利用して被覆するこ
とができる。
次に本発明の電子放出性物質を被覆した陰極材のエミッ
ション効果を説明すると、Ｗ線を１０００°Ｃに加熱し
保持したときの放射効率を１とした場合に比較して次の
表の通りであった。
ション効果を説明すると、Ｗ線を１０００°Ｃに加熱し
保持したときの放射効率を１とした場合に比較して次の
表の通りであった。
尚いずれも１０００℃に加熱した。
用材 被 覆 祠 効率
Ｗ な し １
ｐｒ （Ｂａ ｏ、ｓ、Ｂｏ、４） ｓ ６ｐｒ （Ｃ
ａ ｏ、ｓ、Ｓｒ Ｏ，４） ６ ５，３１ ａ （Ｂ
ａ Ｏ，３，８０，７） ６７．６〃 Ｃｅ（Ｃａｏ、
２．Ｓｒｏ、４、Ｂｏ、４）ｓ ８．４以上のように
極めて効率の高い安定したエミッション効果が得られ、
実用使用状態の加熱温度は３６０℃程麿であるので、充
分安定した利用ができることが確認された。
ａ ｏ、ｓ、Ｓｒ Ｏ，４） ６ ５，３１ ａ （Ｂ
ａ Ｏ，３，８０，７） ６７．６〃 Ｃｅ（Ｃａｏ、
２．Ｓｒｏ、４、Ｂｏ、４）ｓ ８．４以上のように
極めて効率の高い安定したエミッション効果が得られ、
実用使用状態の加熱温度は３６０℃程麿であるので、充
分安定した利用ができることが確認された。
又被覆層は用材に対して一部拡散する状態に結合してお
り、電子、イオン等の衝撃に対しても強く、寿命が高く
良好な陰極が得られる効果がある。
り、電子、イオン等の衝撃に対しても強く、寿命が高く
良好な陰極が得られる効果がある。
第１図は本発明の一部切断面図、第２図は被覆装置の一
実施例構成図である。 ４・・・・・・・・・母材 ３１・・・・・・・・・被覆層 ５− ；ｆｌｌ沼 才２濶
実施例構成図である。 ４・・・・・・・・・母材 ３１・・・・・・・・・被覆層 ５− ；ｆｌｌ沼 才２濶
Claims (1)
- タングステン等の電極母材の表面に真空中若しくは不活
性ガス雰囲気中で、希土類金属と硼素を含有する電子放
出性物質の放電被覆層若しくはイオンプラント層を形成
したことを特徴とする陰極フィラメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59056789A JPS60200434A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 陰極フイラメントの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59056789A JPS60200434A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 陰極フイラメントの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200434A true JPS60200434A (ja) | 1985-10-09 |
| JPH0354825B2 JPH0354825B2 (ja) | 1991-08-21 |
Family
ID=13037178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59056789A Granted JPS60200434A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 陰極フイラメントの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200434A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5611981A (en) * | 1979-06-21 | 1981-02-05 | Raybestos Manhattan Inc | Abrasive composition |
| JPS57128436A (en) * | 1981-02-02 | 1982-08-10 | Koichi Kanetani | Manufacture of lanthanum-boride thermionic emission electrode |
| JPS60130023A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Inoue Japax Res Inc | 電極フイラメント |
-
1984
- 1984-03-23 JP JP59056789A patent/JPS60200434A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5611981A (en) * | 1979-06-21 | 1981-02-05 | Raybestos Manhattan Inc | Abrasive composition |
| JPS57128436A (en) * | 1981-02-02 | 1982-08-10 | Koichi Kanetani | Manufacture of lanthanum-boride thermionic emission electrode |
| JPS60130023A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Inoue Japax Res Inc | 電極フイラメント |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0354825B2 (ja) | 1991-08-21 |
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