JPS60202014A - 半導体ウエハの搬送方向変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は半導体ウニノーをベルト搬送する途中でその搬
送方向を変換せしめて、搬送ルートの分岐。

若しくは合流、（又はその両方）を行わせる装置に関す
るものである。

〔発明の背景〕

半導体ウェハは一般に薄い板状の部材でｈｂ、異物の付
着や摺触が極度に嫌忌される。このため半導体ウェハの
搬送Ｆｉ２本の平行な搬送ベルト上に載置して行われる
ことが多い。

半導体ウェハを、複雑な工程に従って大量に流れ生産す
る場合、搬送方向を変換して流れの分岐又は合流を必要
とすることが多い。

搬送方向を変換するために（イ）ブツシャ、又は、←）
従来一般に、ベルト搬送途中の半導体ウェー・の上下駆
動式ベルト、の何れかが用いられていた。

第１図は上記ブツシャ式の従来装置を説明するため模式
的に描いた平面図である。

プーリ取付台１がウェハ２の搬送路矢印Ａに沿って設置
され、多数のプーリ３をｄ列に支承している。上記２列
のプーリ３によって２本の搬送ベルト４が支承され、ウ
ェハ２を載せて矢印Ａ方向に送るようになっている。

上記の搬送路矢印Ａから分岐させて矢印Ｂ方向のコンベ
ア５の上に搬出しようとすると、ウェハ２が鎖線で示し
たように分岐点に差しかかった所で搬送ベルト４を止め
、別個に設けたブツシャ６でウェハ２を矢印Ｂ′方向に
押し出す。この装置は別個にブツシャを設けるため搬送
装置全体が大型。

高価なものになる上に、搬送ベルト４に乗っているウェ
ハ２を無理に側方へ押し出して該ウェハ２に擦痕を与え
る虞れが有るので好１しくない。

また、図示を省略するが、矢印Ａ方向、同Ｂ方向の２組
の搬送手段を交差せしめて設置し、双方の搬送手段を又
互に上下させてウェハを受け渡しする搬送方向転換装置
も提案されているが、機構が複雑で高価なものとなる。

〔発明の目的〕

本発明は上記の事情に鑑みて為されたもので、被搬送物
であるウェハに無理な力を加えて擦痕を生せしめる虞れ
の無い、簡単な構成で安価な半導体ウェハ搬送方向変換
装置を提供しようとするものである。

〔発明の概要〕

上記の目的を達成するため、本発明の変換装置は、交差
する搬送用ベルトの一方を交差点で分割・離間せしめる
と共に交差点付近に搬送ローラを設けて上記一方のベル
トによる搬送を継続せしめ得るように構成゛し、かつ、
交差する搬送用ベルトの他方を偏心プーリに捲回して該
他方のベルト上の点が上下にサインカーブ類似の曲線を
描いて移動するように構成し、前記サインカーブ類似曲
線の波頂の点が前記の搬送ローラの上面よシも高くなシ
、波底の点が前記搬送ローラの上面よシも低くなるよう
に構成したことを特徴とする。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の１実施例を添付図面について説明する。

第１図は本発明の搬送方向変換装置の１実施例の平面図
、第２図は同じく側面図である。

矢印入方向の搬送路に沿って設けた搬送用ベルトを交差
点付近において上流側ベル）４ａと下流側ベル）４ｂと
に分割し、それぞれプーリ３に捲回して矢印入方向の搬
送手段を構成する。

上流側の搬送ベル）４ａと下流側の搬送ベルト４ｂとが
離間している交差点に、矢印入方向の搬送機能を有する
搬送ローラ７を設け、上流側搬送ベル）４ａによって矢
印入方向に送られたウェハ２が搬送ローラフに受け渡さ
れ、更に下流側搬送ベル）４ｂに受渡されて交差点を通
過し得るように構成する。

上記の矢印入方向の搬送手段と交差させて、次のように
矢印Ｂ方向の搬送手段８を設ける。

第３図は上記の搬送手段８を示す側面図で、第２図の■
−■断面を描いである。

９はプーリ取付台で、１個のブーＩＪ９ａと、１個のダ
ブル形グーＩＪ　９　ｂと、２個のダブル形プーリ９ｂ
’とを支承している。

１０は駆動用モータで、駆動ブー１）９ｃ及び駆動ベル
）４ｃを介してダブルプーリ９ｂを駆動する。

上記ダブルブーＩＪ　９　ｂと同９ｂ’との間に搬送ベ
ルト４ｄが捲回されておシ、該ベル）４ｄとダブルブー
ＩＪ９ｂ’とが駆動されて回転する。

２個のダブルプーリ９ｂ’は互いに同軸上に固着されて
一緒に回転し、第２図に示した搬送ベルト４ｄ’も一緒
に駆動される。

２個のプーリ９ｄは偏心プーリで、プーリ軸９ｄ−１に
よって支承されている。

上記２個のダブルプーリ９ｂ’と２個の偏心グー１Ｊ９
ｄとの間にそれぞれ波動ベル）４ｅを捲回する。

第３図に示したように、偏心グーＩＪ９ｄは回転に伴っ
て波線位置と１点鎖線位置との間を往復する。

第４図は作動説明図のために模式的に描いた側面図で、
第３図の右半部を示している。

偏心プーリは回転に伴って破線で示した９ｄ−ｕ位置と
１点鎖線で示した９ｄ−ｄ位置との間を往復しつつ図の
左回り方向に回転駆動される。７は第２図について説明
した矢印入方向搬送用のローラである。

偏心ブー＋７９　ｄが上下に往復するので、これに捲回
された波動ベル）４ｅの上辺は図示の波線位置と鎖線位
置との間を上下に動きつつ左方へ送られる。

波動ベル）４ｅ上の１点イの軌跡を観察すると、前記の
上下動と左方への送シとが合成されて２点鎖線で示した
イ９９ロ、ハ二の如くサインカーブに類似した波形を描
く。

上記の作動によシ、搬送ローラフの上にウェハが乗って
いる場合、これを持ち上げて左方へ送ったシ持ち下げて
搬送ロー２７の上に置いたシしながら間欠的に左方へ送
シ、搬送ベル）４ｄに受け渡す。

以上のように構成した搬送方向変換装置の使用方法につ
いて、第２図を参照しつつ次に述べる。

矢印Ａ方向に搬送されている途中のウェハ２が交差点に
さしかかったとき、これを検知する為のセンサ１１を設
け、該セン？ｌｌがウェハ２を検知したとき矢印Ａ方向
の搬送を停止する。

次いでモータ１０を作動させ、波動ベル）４ｅにサイン
カーブ類似の作動を行わせてウエノＳ２を矢印Ｂ方向に
間欠的に搬送する。

本実施例によれは簡単な装置で矢印Ａ方向に搬送中のウ
ェハ２を矢印Ｂ方向に分岐させることができる。

また、同じ装置を用いてモータ１０を逆転させると、ウ
ェハを反矢印Ｂ方向に送シ込んで矢印Ａ方向の搬送路に
合流させることもできる。そして、搬送路矢印Ｂへ分岐
させず、矢印人の方向へウェハをそのまま搬送する場合
や、反矢印Ｂ方向にウェハを送シ込み、矢印Ａｌるいは
反矢印Ａ方向にウェハを搬送する場合には、偏心グーＩ
ＪＱｄを第４図の９ｄ−ｄの位置で停止させ、搬送ベル
）４ａならびに４ｂ上のウェハに波動ベル）４ｃが干渉
せず滑らかに矢印Ａ方向または反矢印入方向にウェハを
搬送させることもできる。

前記の実施例においては、真直なプーリ軸９ｄ−１に偏
心プーリ９ｄを取シ付けたが、クランク状のプーリ軸（
図示せず・）の端部に対してプーリを同心状に固着して
も偏心プーリが構成され、前記実施例と同様の作用・効
果が得られる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明によれば、被搬送物である
半導体ウエノ・に無理な力を加えず、擦疵を生じさせる
虞れなく、簡単な構成で搬送方向を変換することができ
る。

【図面の簡単な説明】 第１図は従来のブツシャ式搬送方向変換装置を説明する
ために模式化して描いた平面図である。 第２図乃至第４図は不発明の搬送方向変換装置の１実施
例を示し、第２図は平面図、第３図は第２図の■−■断
面図、第４図は第３図の右手部を模式化して描いた作用
説明図である。 １・・・プーリ取付台、２・・・ウエノ洩、３・・・プ
ーリ、４−・・搬送ベルト、４ａ・・・上流側ベルト、
４ｂ・・・下流側ベルト、４Ｃ・・・駆動ベル）、４ｄ
、４ｄ’・・・搬送ベル）、４ｅ・・・波動ベルト、５
・・・コンベア、６・・・ブツシャ、７・・・搬送ロー
ラ、８・・・矢印Ｂ方向の搬送手段、９ａ・・・プーリ
、９ｂ、９ｂ’・・・ダブルプーリ、９ｃ・・・駆動プ
ーリ、９ｄ・・・偏心プーリ、９ｄ−１・・・プーリ軸
、１０・・・モータ、ｌｌ・・・センサ。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ベルト搬送途中の半導体ウニノーを、上記の搬送路から
   分岐させて側方に搬出する装置、及び側方から上記搬送
   路の途中に搬入する装置の、少なくともいずれか一方に
   おいて、交差する搬送用ベルトの一方を交差点で分割・
   離間せしめると共に交差点付近に搬送ローラを設けて上
   記一方のベルトによる搬送を継続せしめ得るように構成
   し５．かつ、交差する搬送用ベルトの他方を偏心プーリ
   に捲回して該他方のベルト上の点が上下にサインカーブ
   類似の曲線を描いて移動するように構成し、前記サイン
   カーブ類似曲線の波頂の点が前記の搬送ローラの上面よ
   シも高くなり、波底の点が前記の搬送ローラの上面よシ
   も低くなるように構成したことを特徴とする半導体ウエ
   ノ・の搬送方向変換装置。