JPS60203844A - 湿度検出装置 - Google Patents
湿度検出装置Info
- Publication number
- JPS60203844A JPS60203844A JP6177884A JP6177884A JPS60203844A JP S60203844 A JPS60203844 A JP S60203844A JP 6177884 A JP6177884 A JP 6177884A JP 6177884 A JP6177884 A JP 6177884A JP S60203844 A JPS60203844 A JP S60203844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- tuning fork
- electric flux
- humidity
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、湿度検出装置に関する。
従来技術とその問題点
最近の湿度検出方式は、抵抗値検出方式が最も一般的で
ある。この場合、感湿素子の感′ｆＩｊｐ？Ｂへの直流
印加は、分極による特性劣化を招くだけでなく高抵抗と
なるため、不適当であり、一般には交流印加方式が取ら
れる。交流印加方式を取る場合でも、寿命特性から入力
波形が正弦波であることが望ましい。
ある。この場合、感湿素子の感′ｆＩｊｐ？Ｂへの直流
印加は、分極による特性劣化を招くだけでなく高抵抗と
なるため、不適当であり、一般には交流印加方式が取ら
れる。交流印加方式を取る場合でも、寿命特性から入力
波形が正弦波であることが望ましい。
ところが、交流印加の場合、高温高湿になる程、低抵抗
値となるため、一定の交流電圧を印加した場合、抵抗値
の極端に低くなる領域においては、ジュール熱発生によ
る温度−ヒ昇を起し、抵抗値が逆に増大してしまうと言
う問題がある。
値となるため、一定の交流電圧を印加した場合、抵抗値
の極端に低くなる領域においては、ジュール熱発生によ
る温度−ヒ昇を起し、抵抗値が逆に増大してしまうと言
う問題がある。
本発明の目的
本発明は上述する従来の問題点を解決し、広範囲の抵抗
値変化に対して過入力を阻１卜することができ、しかも
感湿部の耐久性を向上させ得るようにした湿度検出装置
を提供することを目的とする。
値変化に対して過入力を阻１卜することができ、しかも
感湿部の耐久性を向上させ得るようにした湿度検出装置
を提供することを目的とする。
本発明の構成
上記目的を達成するため、本発明に係る湿度検出装置は
、間隔をおいて対向配置された一対の電極を備え、一方
の電極から他方の電極に至る電束を交流化し、他方の電
極で得られた交流入力を、感湿素子に対する駆動入力源
とすることを特徴とする。
、間隔をおいて対向配置された一対の電極を備え、一方
の電極から他方の電極に至る電束を交流化し、他方の電
極で得られた交流入力を、感湿素子に対する駆動入力源
とすることを特徴とする。
実施例
第１図は本発明に係る湿度検出装置の構成を示す電気回
路図である。図において、１は固定電極、２はこの固定
電極に対して間隔りをおいて対向配置されたもう一方の
固定電極、３はこれらの固定電極１−２間の電束をチョ
ッピングすべく、その間に配置された音叉、４は感湿素
子、５は電界効果トランジスタで構成された増幅器、Ｖ
ＣＣは直流電源、Ｒｚは抵抗である。
路図である。図において、１は固定電極、２はこの固定
電極に対して間隔りをおいて対向配置されたもう一方の
固定電極、３はこれらの固定電極１−２間の電束をチョ
ッピングすべく、その間に配置された音叉、４は感湿素
子、５は電界効果トランジスタで構成された増幅器、Ｖ
ＣＣは直流電源、Ｒｚは抵抗である。
前記音叉３の相対向する脚部３１．３２には圧電振動子
６．７が貼着されており、これらの圧電振動子６．７を
利用し、第２図に示すような自ｌ１ｉｌｊ発振回路を構
成することによって、音叉３を一定の周波数で励振する
ようになっている。即ち、増幅器８の出力を、音叉３の
一方の脚部３１に貼着された圧電振動子６に印加して電
歪振動を発生させ、この電歪振動によって音叉３を振動
させると同時に、音叉３の振動により他の脚部３２に貼
着した圧電振動子７にその振動周波数の電圧信号を発生
させ、この電圧信号を抵抗Ｒ２、Ｒ３及びコンデンサ０
１等を通して増幅器８に帰還させることにより、所定の
共振周波数で自動発振動作を継続させるものである。
６．７が貼着されており、これらの圧電振動子６．７を
利用し、第２図に示すような自ｌ１ｉｌｊ発振回路を構
成することによって、音叉３を一定の周波数で励振する
ようになっている。即ち、増幅器８の出力を、音叉３の
一方の脚部３１に貼着された圧電振動子６に印加して電
歪振動を発生させ、この電歪振動によって音叉３を振動
させると同時に、音叉３の振動により他の脚部３２に貼
着した圧電振動子７にその振動周波数の電圧信号を発生
させ、この電圧信号を抵抗Ｒ２、Ｒ３及びコンデンサ０
１等を通して増幅器８に帰還させることにより、所定の
共振周波数で自動発振動作を継続させるものである。
感湿素子４としては、従来より周知のもの、例えば、櫛
歯状の電極を設けたアルミナ基板上に、一種の導電性高
分子を主体とした感湿膜を形成した構造の、いわゆる高
分子感湿素子等が適当である。
歯状の電極を設けたアルミナ基板上に、一種の導電性高
分子を主体とした感湿膜を形成した構造の、いわゆる高
分子感湿素子等が適当である。
次の動作について説明する。音叉３が」二連の発振回路
によって励振されると、固定電極ｌから音叉３の脚部３
１−３２間の隙間ｄを通って固定電極２に向う電束（イ
）が、音叉３の振動周波数によってチョッピングされ、
電極２側では交流化された電束（ロ）となる。従って、
固定電極２側には、前記チョッピング周波数に依存した
周波数の交流電圧が発生する。本発明では、この固定電
極２に発生した交流電圧を感湿素子４に対する駆動入力
源として利用する。
によって励振されると、固定電極ｌから音叉３の脚部３
１−３２間の隙間ｄを通って固定電極２に向う電束（イ
）が、音叉３の振動周波数によってチョッピングされ、
電極２側では交流化された電束（ロ）となる。従って、
固定電極２側には、前記チョッピング周波数に依存した
周波数の交流電圧が発生する。本発明では、この固定電
極２に発生した交流電圧を感湿素子４に対する駆動入力
源として利用する。
このような構成であれば、直流電圧印加の場合に問題と
なっていた分極による特性の劣化及び高抵抗化が阻止で
きる。のみならず、交流電源を利用して直接駆動する場
合と異なって、電束をチョッピングして得られた交流で
感湿素子４を駆動する構成であるので、低温から高温高
湿までの広範囲の抵抗値変化に対して、過入力が防止で
き、かつ感湿抵抗部の耐久性を著しく向上させることが
可能である。
なっていた分極による特性の劣化及び高抵抗化が阻止で
きる。のみならず、交流電源を利用して直接駆動する場
合と異なって、電束をチョッピングして得られた交流で
感湿素子４を駆動する構成であるので、低温から高温高
湿までの広範囲の抵抗値変化に対して、過入力が防止で
き、かつ感湿抵抗部の耐久性を著しく向上させることが
可能である。
更に、電束変化を利用するため、感湿部の変化を敏感に
キャッチすることが可能であり、非常に応答速度の速い
湿度検出装置を実現することができる。
キャッチすることが可能であり、非常に応答速度の速い
湿度検出装置を実現することができる。
しかも、音叉３のチョッピングにより、電極２側で受け
られる電圧波形は正弦波となるから、感湿素子４の寿命
特性が良好になる。
られる電圧波形は正弦波となるから、感湿素子４の寿命
特性が良好になる。
上記実施例では、音叉３によって電極１−２間の電束を
交流化する構成を示したが、電極ｌに交流を印加して電
極２側で受けられる電束を交流化する構成であっても、
同様の効果が得られる。
交流化する構成を示したが、電極ｌに交流を印加して電
極２側で受けられる電束を交流化する構成であっても、
同様の効果が得られる。
本発明の効果
以上述べたように、本発明に係る湿度検出装置は、間隔
をおいて対向配置された一対の電極を備え、一方の電極
から他方の電極に至る電束を交流化し、他方の電極で得
られた交流入力を、感湿素子に対する駆動入力源とする
ことを特徴とするから、広範囲の抵抗値変化に耐して過
入力を阻止することができ、しかも感湿部の耐久性を向
上させ得るようにした湿度検出装置を提供することがで
きる。
をおいて対向配置された一対の電極を備え、一方の電極
から他方の電極に至る電束を交流化し、他方の電極で得
られた交流入力を、感湿素子に対する駆動入力源とする
ことを特徴とするから、広範囲の抵抗値変化に耐して過
入力を阻止することができ、しかも感湿部の耐久性を向
上させ得るようにした湿度検出装置を提供することがで
きる。
第１図は本発明に係る湿度検出装置の電気回路図、第２
図は音叉励振回路図である。 １．２昏・Φ電極 ３・・ｅ音叉 ４・・・感湿素子 第１図 濁 第２図
図は音叉励振回路図である。 １．２昏・Φ電極 ３・・ｅ音叉 ４・・・感湿素子 第１図 濁 第２図
Claims (4)
- （１） 間隔をおいて対向配置された一対の電極を備え
、一方の電極から他方の電極に至る電束を交流化し、他
方の電極で得られた交流入力を、感湿素子に対する駆動
入力源とすることを特徴とする湿度検出装置。 - （２） 前記一対の電極間に音叉を設け、該音叉を励振
して前記電束をチョッピングすることにより、前記一対
の電極間の電束を交流化することを特徴とする湿度検出
装置。 - （３） 前記音叉は表面に貼着された圧電振動子を含む
自動発振回路によって励振されることを特徴とする特許
請求の範囲第２項に記載の湿度検出装置。 - （４） 前記一対の電極の少なくとも一方に交流電圧を
印加して、前記前記一対の電極間の電束な交流化するこ
とを特徴とする特許請求の範囲Ｍ１項に記載の湿度検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6177884A JPS60203844A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | 湿度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6177884A JPS60203844A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | 湿度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60203844A true JPS60203844A (ja) | 1985-10-15 |
Family
ID=13180886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6177884A Pending JPS60203844A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | 湿度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60203844A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5559335A (en) * | 1978-10-27 | 1980-05-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Humidity detector |
| JPS56157844A (en) * | 1980-05-10 | 1981-12-05 | Hitachi Ltd | Humidity detector |
-
1984
- 1984-03-28 JP JP6177884A patent/JPS60203844A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5559335A (en) * | 1978-10-27 | 1980-05-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Humidity detector |
| JPS56157844A (en) * | 1980-05-10 | 1981-12-05 | Hitachi Ltd | Humidity detector |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1998041822B1 (en) | Dust sensor apparatus | |
| KR960029673A (ko) | 정전형 변환수단의 용량성분 저감회로 및 정전형 변환수단의 구동장치 및 검출장치 | |
| KR960001721A (ko) | 진동 자이로 | |
| KR840006102A (ko) | 전기 음향 변환기 | |
| FI841794A0 (fi) | Vaexelriktaranordning foer matning av urladdningslampor. | |
| JPS60203844A (ja) | 湿度検出装置 | |
| US3843897A (en) | Supersonic transducer | |
| US7343802B2 (en) | Dynamic-quantity sensor | |
| GB2057805A (en) | Piezo-electric coupling devices | |
| JPH0477859B2 (ja) | ||
| US4577164A (en) | Drive regulator utilizing variable pulse width signal | |
| US5962953A (en) | Piezoelectric transformer with monitor electrodes for sensing unbalanced vibration of the transformer | |
| JPS6117944A (ja) | 湿度検出装置 | |
| JPS60120267A (ja) | 非接触型表面電位検出装置 | |
| JP3094333B2 (ja) | 温度測定装置を持つ進行波モータ及びその温度測定方法 | |
| JPS60231176A (ja) | 表面電位センサ | |
| JPH0615997B2 (ja) | 温度圧力検出装置 | |
| KR100256090B1 (ko) | 압전 변압기 및 그를 이용한 고전압 발생회로 | |
| JPH05110368A (ja) | 圧電セラミツクス矩形板の製造方法，その製造された圧電セラミツクス矩形板を用いた圧電トランス及びその圧電トランスを用いた発振回路 | |
| US3041549A (en) | Temperature control systems | |
| JPH0410982B2 (ja) | ||
| JPH0643929B2 (ja) | 振動式力検出器 | |
| JPS631547B2 (ja) | ||
| JP2518506B2 (ja) | 電位センサ | |
| SU1430998A1 (ru) | Вибрационный ограничитель переменного тока |