JPS60204367A - インクジエツト記録ヘツドの作製方法 - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドの作製方法Info
- Publication number
- JPS60204367A JPS60204367A JP6055884A JP6055884A JPS60204367A JP S60204367 A JPS60204367 A JP S60204367A JP 6055884 A JP6055884 A JP 6055884A JP 6055884 A JP6055884 A JP 6055884A JP S60204367 A JPS60204367 A JP S60204367A
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- Japan
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- ink
- ink passage
- recording head
- substrate
- screen
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
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- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明はインクジェット記録ヘッド、即ちインクジェッ
ト記録方式において用いられる記録用インクの小滴を発
生するための記録ヘッドの作製方法に関する。
ト記録方式において用いられる記録用インクの小滴を発
生するための記録ヘッドの作製方法に関する。
（１）
〔従来技術〕
インクジェット記録ヘッドは一般に微細なインク吐出口
（オリフィス）、該吐出口に通ずるインク通路、及び該
インク通路の一部に設けられるインク吐出エネルギー発
生体を備えている。
（オリフィス）、該吐出口に通ずるインク通路、及び該
インク通路の一部に設けられるインク吐出エネルギー発
生体を備えている。
従来、この様なインクジェット記録ヘッドを作製する方
法として、たとえばガラスや金属の板に切削やエツチン
グ等によシ微細な溝を形成した後、この板の溝形成面に
他の適当な板を接合してインク通路を形成することによ
る方法が知られている。
法として、たとえばガラスや金属の板に切削やエツチン
グ等によシ微細な溝を形成した後、この板の溝形成面に
他の適当な板を接合してインク通路を形成することによ
る方法が知られている。
しかし、この従来法によって作製されるヘッドでは、切
削加工されるインク通路内壁面の荒れが大きすぎたシ、
エツチング率の差からインク通路に歪が生じたシして、
精度の良いインク通路が得難く、インク吐出特性にバラ
ツキが出易い。また、切削加工の場合には板のカケや割
れが生じ易く、製造歩留りが悪いという欠点もある。一
方、エツチング加工の場合には作製工程が多く、コスト
上昇を招くという不利がある。更に、上記従来法におい
ては、インク通路を形成した溝付板とエネル（９Ａ ギー発生体たとえば圧電素子又は発熱素子等の駆動素子
が設けられた蓋板との接合の際にこれらの位置合せを精
度良く行なうことが困難であって量産性に欠けるという
欠点があった。
削加工されるインク通路内壁面の荒れが大きすぎたシ、
エツチング率の差からインク通路に歪が生じたシして、
精度の良いインク通路が得難く、インク吐出特性にバラ
ツキが出易い。また、切削加工の場合には板のカケや割
れが生じ易く、製造歩留りが悪いという欠点もある。一
方、エツチング加工の場合には作製工程が多く、コスト
上昇を招くという不利がある。更に、上記従来法におい
ては、インク通路を形成した溝付板とエネル（９Ａ ギー発生体たとえば圧電素子又は発熱素子等の駆動素子
が設けられた蓋板との接合の際にこれらの位置合せを精
度良く行なうことが困難であって量産性に欠けるという
欠点があった。
特開昭５７−４３８７６号公報においては、この様な欠
点を解消するため、インク吐出エネルギー発生体の設け
である基板上に感光性向脂の硬化膜からなるインク通路
壁を形成し、その後インク通路壁の覆いを付設すること
からなるインクジェット記録ヘッドの作製法が提案され
ている。しかしながら、この方法においては、インク吐
出エネルギー発生体の設けである基板と感光性樹脂の硬
化膜からなるインク通路壁の接合力があまり大きくない
ため、インク通路壁の＆Ｇとして感光性樹脂膜を使用し
た場合には、感光性樹脂製の覆いの硬化収縮によりイン
ク通路壁が覆いの収縮の方向へ引っ張られ、インク通路
壁が基板から剥離する場合がある。また、インク通路壁
と基板との結合力が充分な場合においても、インク通路
壁が覆いの収縮方向に引っ張られ、所望の形状をしたイ
ンク通路壁が得られない場合がある。更に、インク通路
壁の覆いを設けるのに常温硬化型接層剤、熱硬化型接着
剤又は光硬化型接着剤尋を用いた場合、インク通路内へ
接着剤が流入しインク通路を閉基してしまい、作製歩留
シを低下させるという欠点がある。
点を解消するため、インク吐出エネルギー発生体の設け
である基板上に感光性向脂の硬化膜からなるインク通路
壁を形成し、その後インク通路壁の覆いを付設すること
からなるインクジェット記録ヘッドの作製法が提案され
ている。しかしながら、この方法においては、インク吐
出エネルギー発生体の設けである基板と感光性樹脂の硬
化膜からなるインク通路壁の接合力があまり大きくない
ため、インク通路壁の＆Ｇとして感光性樹脂膜を使用し
た場合には、感光性樹脂製の覆いの硬化収縮によりイン
ク通路壁が覆いの収縮の方向へ引っ張られ、インク通路
壁が基板から剥離する場合がある。また、インク通路壁
と基板との結合力が充分な場合においても、インク通路
壁が覆いの収縮方向に引っ張られ、所望の形状をしたイ
ンク通路壁が得られない場合がある。更に、インク通路
壁の覆いを設けるのに常温硬化型接層剤、熱硬化型接着
剤又は光硬化型接着剤尋を用いた場合、インク通路内へ
接着剤が流入しインク通路を閉基してしまい、作製歩留
シを低下させるという欠点がある。
また、この方法においては、インク吐出エネルギー発生
体たとえば発熱素子を形成するのにス・にツタリングや
蒸着等の高度な薄膜技術と大規模な成膜装置とを要し、
工程も複雑である。従って、インク吐出エネルギー発生
体形成と上記インク通路形成とを合わせると、この従来
法においては工程数が膨大となり、大がかりな設備を要
し、歩留シも悪いという問題点がある。
体たとえば発熱素子を形成するのにス・にツタリングや
蒸着等の高度な薄膜技術と大規模な成膜装置とを要し、
工程も複雑である。従って、インク吐出エネルギー発生
体形成と上記インク通路形成とを合わせると、この従来
法においては工程数が膨大となり、大がかりな設備を要
し、歩留シも悪いという問題点がある。
本発明は、以上の如き従来技術に礒み、簡単な工程にて
高精度且つ高信頼性を有するインクジェット記録ヘッド
を作製することを目的とする。
高精度且つ高信頼性を有するインクジェット記録ヘッド
を作製することを目的とする。
本発明によれば、以上の如き目的は、基板上にスクリー
ン印刷によシ発熱素子とインク通路を形成するインク通
路壁とを付与し、しかる後にインク通路壁土に蓋板を付
与してインク通路及びインク吐出口を形成することによ
シ達成される。
ン印刷によシ発熱素子とインク通路を形成するインク通
路壁とを付与し、しかる後にインク通路壁土に蓋板を付
与してインク通路及びインク吐出口を形成することによ
シ達成される。
以下、図面を参照しつつ本発明の作製方法の実施例を説
明する。
明する。
第１図（、）〜（ｆ）は本発明方法の工程を示す断面図
である。
である。
第１図（＆）において、１は基板であ）、該基板１トシ
てはシリコン、アルミナ、セラミック又はガラス等が例
示される。該基板１の表面には予め絶縁断熱層２が付さ
れている（厚さ、たとえに２μ）。
てはシリコン、アルミナ、セラミック又はガラス等が例
示される。該基板１の表面には予め絶縁断熱層２が付さ
れている（厚さ、たとえに２μ）。
該絶縁断熱層２としてはｓ ｔｏ２膜が例示される。基
板１の表面上にはスクリーン印刷のためのスクリーン３
が位置決めして置かれる。該スクリーン３は形成される
べき発熱素子の・母ターンの開口を有する。
板１の表面上にはスクリーン印刷のためのスクリーン３
が位置決めして置かれる。該スクリーン３は形成される
べき発熱素子の・母ターンの開口を有する。
次に、第１図（ｂ）の如く、スクリーン３上からスクリ
ーン印刷が行なわれ、基板１上に発熱素子４（５） が付与される（厚さ、たとえば０．２μ）。発熱素子４
としてはたとえばＨｆＢ２が用いられ、これはたとえば
エポキシ系の高温接着剤と混合してスクリーン３上から
付与される。
ーン印刷が行なわれ、基板１上に発熱素子４（５） が付与される（厚さ、たとえば０．２μ）。発熱素子４
としてはたとえばＨｆＢ２が用いられ、これはたとえば
エポキシ系の高温接着剤と混合してスクリーン３上から
付与される。
次に、第１図（Ｃ）の如く、発熱素子４を覆って絶縁層
５が付与される。絶縁層５としては５１０２．Ｔａ等の
耐インク性のある材料が用いられる。
５が付与される。絶縁層５としては５１０２．Ｔａ等の
耐インク性のある材料が用いられる。
次に、第１図（ｄ）の如く、絶縁層５上にスクリーン印
刷のためのスクリーン６が位置決めして置かれる。該ス
クリーン５は形成されるべきインク通路壁の・母ターン
の開口を有する。
刷のためのスクリーン６が位置決めして置かれる。該ス
クリーン５は形成されるべきインク通路壁の・母ターン
の開口を有する。
次に、第１図（、）の如く、スクリーン５上からスクリ
ーン印刷が行なわれ、絶縁層５上の所定の位置にインク
通路壁７が付与される（厚さ、たとえば４０〜６０μ）
。インク通路壁７としてはたとえばポリイミド樹脂等の
耐インク性及び発熱素子間のバリヤー性に優れた材料が
用いられる。
ーン印刷が行なわれ、絶縁層５上の所定の位置にインク
通路壁７が付与される（厚さ、たとえば４０〜６０μ）
。インク通路壁７としてはたとえばポリイミド樹脂等の
耐インク性及び発熱素子間のバリヤー性に優れた材料が
用いられる。
次に、第１図（ｆ）の如く、通路壁７の上に蓋板８を接
合する。蓋板８としてはたとえばガラス、アルミナ、セ
ラミック、シリコン等の耐インク性の（６） 良好な材料が用いられる。また、接合に際してはたとえ
ばエポΦシ系接着剤やＵＶ硬化型接着剤が用いられる。
合する。蓋板８としてはたとえばガラス、アルミナ、セ
ラミック、シリコン等の耐インク性の（６） 良好な材料が用いられる。また、接合に際してはたとえ
ばエポΦシ系接着剤やＵＶ硬化型接着剤が用いられる。
蓋板８の接合によりインク通路９が形成される。
第２図は、かくして作製されたインクジェット記録ヘッ
ドの分解斜視図である。図において、１０はインク室で
あシ、１１はインクタンクからインク室１０内にインク
を導入するためのインク供給管の接続孔である。また、
１２はインク吐出口である。伺、本図においては絶縁断
熱層２及び絶縁層５は図示を省略した。
ドの分解斜視図である。図において、１０はインク室で
あシ、１１はインクタンクからインク室１０内にインク
を導入するためのインク供給管の接続孔である。また、
１２はインク吐出口である。伺、本図においては絶縁断
熱層２及び絶縁層５は図示を省略した。
以上の作製工程において、スクリーン印刷は精度が高い
ので、インク吐出口の配列密度を高めることができ（た
とえば８ ｐｅｔ／ｍ）、更に比較的大きな基板上に多
数のインク吐出系統を形成して後でＤＩＳＣＯ裁断具な
どで切断して分割することにより一工程で多数のヘッド
を作製することも可能となる。
ので、インク吐出口の配列密度を高めることができ（た
とえば８ ｐｅｔ／ｍ）、更に比較的大きな基板上に多
数のインク吐出系統を形成して後でＤＩＳＣＯ裁断具な
どで切断して分割することにより一工程で多数のヘッド
を作製することも可能となる。
同、本発明における「インク通路」は基板上に形成され
る上記インク室をも含む意味で用いられ（７） １２：インク吐出口。
る上記インク室をも含む意味で用いられ（７） １２：インク吐出口。
ている。
以上の如き本発明のヘッド作製方法によれば、発熱素子
とインク通路壁とを同じスクリーン印刷で連続して形成
することができるので、これらの位置決め精度が向上し
、良好な信頼性をもってインク吐出口の高密度化が可能
となる。また、発熱素子とインク通路壁とを同一ライン
にて作製するので、大巾な工程数及び工数の削減が実現
し、更に作製のための設備も少なくてすみ、従ってイン
クジェット記録ヘッドのコスト低減を図ることができる
。
とインク通路壁とを同じスクリーン印刷で連続して形成
することができるので、これらの位置決め精度が向上し
、良好な信頼性をもってインク吐出口の高密度化が可能
となる。また、発熱素子とインク通路壁とを同一ライン
にて作製するので、大巾な工程数及び工数の削減が実現
し、更に作製のための設備も少なくてすみ、従ってイン
クジェット記録ヘッドのコスト低減を図ることができる
。
第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明方法の工程を示す断面図
であシ、第２図は本発明方法により作製された記録ヘッ
ドの分解斜視図である。 １一基板、２−絶縁断熱層、３ニスクリーン、４：発熱
素子、５：絶縁層、６：スクリーン、７：インク通路壁
、８二蓋板、９：インク通路、１０：インク室、１１：
インク供給管接続孔、（８） （９）
であシ、第２図は本発明方法により作製された記録ヘッ
ドの分解斜視図である。 １一基板、２−絶縁断熱層、３ニスクリーン、４：発熱
素子、５：絶縁層、６：スクリーン、７：インク通路壁
、８二蓋板、９：インク通路、１０：インク室、１１：
インク供給管接続孔、（８） （９）
Claims (1)
- （１） インク吐出口、該吐出口に通ずるインク通路、
及び該インク通路の一部に設けられるインク吐出エネル
ギー発生用発熱素子を備えてなるインクジェット記録ヘ
ッドの作製方法において、基板上にスクリーン印刷によ
り発熱素子とインク通路を形成するインク通路壁とを付
与し、しかる後にインク通路壁土に蓋板を付与してイン
ク通路及びインク吐出口を形成することを特徴とする、
インクジェット記録ヘッドの作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6055884A JPS60204367A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | インクジエツト記録ヘツドの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6055884A JPS60204367A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | インクジエツト記録ヘツドの作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60204367A true JPS60204367A (ja) | 1985-10-15 |
Family
ID=13145722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6055884A Pending JPS60204367A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | インクジエツト記録ヘツドの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60204367A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479641U (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-10 |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6055884A patent/JPS60204367A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479641U (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-10 |
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