JPS6020443A - 質量分析計のイオン源 - Google Patents
質量分析計のイオン源Info
- Publication number
- JPS6020443A JPS6020443A JP12733783A JP12733783A JPS6020443A JP S6020443 A JPS6020443 A JP S6020443A JP 12733783 A JP12733783 A JP 12733783A JP 12733783 A JP12733783 A JP 12733783A JP S6020443 A JPS6020443 A JP S6020443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ion chamber
- filaments
- slits
- base plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/022—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は被検ガスに粒子線を当ててイオン化する質量
分析計のイオン源に関するものである。
分析計のイオン源に関するものである。
近年、肺機能検査や患者監視の分野において。
酸素消費綾や炭酸ガス産生量の測定を行なう必要が高め
られている。このような測定を行なうものとして、一様
な磁鳴のイオン線に対するレンズおよびプリズム作用に
より、イオンを質量分散および方向収束させてａｔスペ
クトルを得る質量分析計がある。
られている。このような測定を行なうものとして、一様
な磁鳴のイオン線に対するレンズおよびプリズム作用に
より、イオンを質量分散および方向収束させてａｔスペ
クトルを得る質量分析計がある。
第１図はこのような従来の資量分析計の一例を示すもの
である。図において１は所定の真空度を保つシリンダ内
に設けられたイオンチャンバーで。
である。図において１は所定の真空度を保つシリンダ内
に設けられたイオンチャンバーで。
このイオンチャンバー１の上面にイオンを所定の方向に
押しだすりペラ２が設けられ、このリペラ２によるイオ
ンビームの射出方向にイオンレンズ系３が設けられてい
る。
押しだすりペラ２が設けられ、このリペラ２によるイオ
ンビームの射出方向にイオンレンズ系３が設けられてい
る。
一方、イオンチャンバー１を挾んで一対のフィラメント
ユニット４ａ、４ｂが相対向して設けられている。この
フィラメントユニット４ａ、 （４ｂ）は絶縁支持体に
熱電子放出用フィラメント５４（５ｂ）とトラップ６ａ
、 （６ｂ）により構成される。熱ｄ子放出用フィラメ
ント５ａ、５ｂと対向するイオンチャンバー１の板面に
スリッｌ−７ａ、７ｂがそれぞれ形成されている。
ユニット４ａ、４ｂが相対向して設けられている。この
フィラメントユニット４ａ、 （４ｂ）は絶縁支持体に
熱電子放出用フィラメント５４（５ｂ）とトラップ６ａ
、 （６ｂ）により構成される。熱ｄ子放出用フィラメ
ント５ａ、５ｂと対向するイオンチャンバー１の板面に
スリッｌ−７ａ、７ｂがそれぞれ形成されている。
なお、第１図においてはフィラメントユニットを一対相
対向させて設けたが、第２図に示すように円筒状に形成
したイオンチャンバー１１の周面に熱電子放出用スイラ
メント５．トラップ６よりなるフィラメントユニット４
を２対あるいはそれ以上配設することもできる。図中２
はりベラ、７はスリットである。
対向させて設けたが、第２図に示すように円筒状に形成
したイオンチャンバー１１の周面に熱電子放出用スイラ
メント５．トラップ６よりなるフィラメントユニット４
を２対あるいはそれ以上配設することもできる。図中２
はりベラ、７はスリットである。
第１図のイオン源は一対のフィラメントユニット
として使用するとともに曲刃のフィラメントユニット４
ｂをトラップ系として１吏用する。
ｂをトラップ系として１吏用する。
いま、フィラメントユニット４ａの加熱柘より発生した
熱ｔトＦはスリット７ａを・ｒηしてイオンチャンバー
１内に入射される。このとき、イオンチャし出される。
熱ｔトＦはスリット７ａを・ｒηしてイオンチャンバー
１内に入射される。このとき、イオンチャし出される。
イオン化されたガスはイオンレンズ系３を通りイオンビ
ームとなって分析ｒ４ＲＩ’こ入射する。
ームとなって分析ｒ４ＲＩ’こ入射する。
なお、イオン化に供されな〃）ったＭ４子はトラップ６
ｂに吸収される。
ｂに吸収される。
このように、一対のフィラメントユニット４ａ。
４ｂを相対向さけて設けることにより、フィラメントユ
ニット４ａ、４ｂを這気的にｇＪ換接読してル子発生系
とトラップ系とを交換することができる。
ニット４ａ、４ｂを這気的にｇＪ換接読してル子発生系
とトラップ系とを交換することができる。
しかしながら、フィラメント１本に対して必ずトラップ
が１つ必要になるため、フィラメントの数を増すほど構
造が複雑化する。また切換接続配線をイオンチャンバー
１の周囲？こ対称的に配線しなければならないため、配
線が複雑化する欠点があった。
が１つ必要になるため、フィラメントの数を増すほど構
造が複雑化する。また切換接続配線をイオンチャンバー
１の周囲？こ対称的に配線しなければならないため、配
線が複雑化する欠点があった。
マタ、フィラメント５ａ、５ｂを交換する場合には。
構造上イオンチャンバー１およびリペラ２．トラップ６
ａ、６ｂ等を全部取り外さなければならないため、フィ
ラメントの交換が大変面倒であった。しかも、イオンチ
ャンバー１およびリペラ２．トラフ９ ッｆｆ６ａ、６ｂ等の相対的な位Ｉｔ関係がずれるため
。
ａ、６ｂ等を全部取り外さなければならないため、フィ
ラメントの交換が大変面倒であった。しかも、イオンチ
ャンバー１およびリペラ２．トラフ９ ッｆｆ６ａ、６ｂ等の相対的な位Ｉｔ関係がずれるため
。
イオンビームの軌道軸の調整を再び行なわなければなら
ない煩わしさがあった。
ない煩わしさがあった。
この発明は上記の欠点を除去し複数のフィラメントを容
易に切換および交換することができるとともに、構成を
簡略化することができる買置分析計のイオン源を提供す
ることを目的とする。
易に切換および交換することができるとともに、構成を
簡略化することができる買置分析計のイオン源を提供す
ることを目的とする。
この発明はイオンビーム射出方向に対して平行に位置す
るイオンチャンバーの一平面に熱電子の入射用のスリッ
トを複数形成し、このスリットに対応させて単一絶縁基
板上に設けられた複数の熱４子放出用フイラメントをイ
オンチャンバーの一側に配設する吉ともに、これらのフ
ィラメントと相対向するイオンチャンバーの他側に共通
のトラップを設けたことを特徴としている。
るイオンチャンバーの一平面に熱電子の入射用のスリッ
トを複数形成し、このスリットに対応させて単一絶縁基
板上に設けられた複数の熱４子放出用フイラメントをイ
オンチャンバーの一側に配設する吉ともに、これらのフ
ィラメントと相対向するイオンチャンバーの他側に共通
のトラップを設けたことを特徴としている。
この発明は腹度々のＭ ｄ子放出用フィラメントを絶縁
基板に保持する吉ともに基板をイオンチャンバーに着脱
自在に設けているので、複数のフィラメントを容易に交
換あるいは切換えることができるとともに、構成を簡略
化することができる。
基板に保持する吉ともに基板をイオンチャンバーに着脱
自在に設けているので、複数のフィラメントを容易に交
換あるいは切換えることができるとともに、構成を簡略
化することができる。
〔発明の実施例］
以下２図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
第３図において２１はイオン銃のシリンダ２２内にねじ
等により固定されたイオンチャンバーで。
等により固定されたイオンチャンバーで。
このイオンチャンバー２１１こ彼検ガスを導入するガス
導入口２３を設け、かつイオンチャンバー２１内でイオ
ン化されたイオンガスをプラス電位をかけて所定の方向
に押し出すりペラ２４を設ける。
導入口２３を設け、かつイオンチャンバー２１内でイオ
ン化されたイオンガスをプラス電位をかけて所定の方向
に押し出すりペラ２４を設ける。
さらに、イオンチャンバー２１の外側には、リペラ２４
のイオンビーム射出方向に、マイナス４位をかけてイオ
ンガスを引きだすイオンレンズ係２５を上記リペラ２４
に相対向させて設ける。
のイオンビーム射出方向に、マイナス４位をかけてイオ
ンガスを引きだすイオンレンズ係２５を上記リペラ２４
に相対向させて設ける。
一方、イオンビームの射出方向に対して平行なイオンチ
ャンバー２１の図示左側面２１ａに複数（図示例では２
本）のスリット２６ａ、２６ｂを形成するとともに、こ
のスリット２６ａ、 ２６ｂに相対向するイオンチャン
バー２１の図示右側面２１ｂに開口２７を形成する。こ
の開口２７に対向させて共通のトラップ２８を配設する
とともに、スリット２６ａ、２６ｂに対向させて絶縁基
板２９をイオンチャンバー２１の左側面２１ａに着脱自
在に設ける。
ャンバー２１の図示左側面２１ａに複数（図示例では２
本）のスリット２６ａ、２６ｂを形成するとともに、こ
のスリット２６ａ、 ２６ｂに相対向するイオンチャン
バー２１の図示右側面２１ｂに開口２７を形成する。こ
の開口２７に対向させて共通のトラップ２８を配設する
とともに、スリット２６ａ、２６ｂに対向させて絶縁基
板２９をイオンチャンバー２１の左側面２１ａに着脱自
在に設ける。
絶縁基板２９の中央に第４図に示すように、絶縁基板２
９をイオンチャンバー２１に着脱させる治具を装着する
ねじ穴３０を形成する。才だ絶縁基板２９の一方の板面
に電極３１ａγ３１ｄを固定し、この電極３１ａ〜３１
ｂおよび電極３１ ｃ ＊ ３１ ’間にスリット２６
ａ 、２６ｂに対応させて２本の熱覗子放出用フィラメ
ント３２ａ ３２ｂを溶接等の手段により固定する。
９をイオンチャンバー２１に着脱させる治具を装着する
ねじ穴３０を形成する。才だ絶縁基板２９の一方の板面
に電極３１ａγ３１ｄを固定し、この電極３１ａ〜３１
ｂおよび電極３１ ｃ ＊ ３１ ’間にスリット２６
ａ 、２６ｂに対応させて２本の熱覗子放出用フィラメ
ント３２ａ ３２ｂを溶接等の手段により固定する。
なお、電極３１ａ〜３１ｄにピン状の接続端子３３ａ〜
３３ｄを電気的に接続し、一端を他方の板面より突出さ
せて設ける。
３３ｄを電気的に接続し、一端を他方の板面より突出さ
せて設ける。
この実施例では絶縁基板２９をスリブｌ−２６８゜２６
ｂとＭ成子放出用フィラメント３２ａ、 ３２ｂとの位
１ξ関係を正確に規制するために、イオンチャンバー２
１の左側面２１ａｊＣ第５図に示すように位置合せの基
準となる凸部基準面４１ａ、４１ｂを２面設け。
ｂとＭ成子放出用フィラメント３２ａ、 ３２ｂとの位
１ξ関係を正確に規制するために、イオンチャンバー２
１の左側面２１ａｊＣ第５図に示すように位置合せの基
準となる凸部基準面４１ａ、４１ｂを２面設け。
それぞれの基＋ｌ ＩＭ ４１ａ、４１ｂに相対向させ
て固定用の板ばね４２ａ、 ４２ｂをイオンチャンバー
２１に取付けている。板ばね４２ ａ ｅ ４２ ｂは
絶縁基板２９を各基準面４１ａ、４１ｂに押しつけると
同時に、イオンチャンバー２１の左側面２１ａ１こ圧接
するように山型に形成されている。また、フィラメント
３２ａ、 ３２ｂおよび電極３１ａ〜３１ｄがイオンチ
ャンバー２１に接触しないように左側面２１ａに凹部４
３を形成する。
て固定用の板ばね４２ａ、 ４２ｂをイオンチャンバー
２１に取付けている。板ばね４２ ａ ｅ ４２ ｂは
絶縁基板２９を各基準面４１ａ、４１ｂに押しつけると
同時に、イオンチャンバー２１の左側面２１ａ１こ圧接
するように山型に形成されている。また、フィラメント
３２ａ、 ３２ｂおよび電極３１ａ〜３１ｄがイオンチ
ャンバー２１に接触しないように左側面２１ａに凹部４
３を形成する。
上記シリンダ２２の図示左側面には、絶縁基板２９と対
向する位置に、基板２９をシリンダ２２の外部に取り出
してフィラメント３２ａ 、３２ｂを交換ｒるための作
業用窓風４を設ける。この作業用窓３４には第１図に示
すようにシリンダ２２の側ｌ＠ζこＱリング３５を介し
てフランジ３６を着脱自在に設ける。
向する位置に、基板２９をシリンダ２２の外部に取り出
してフィラメント３２ａ 、３２ｂを交換ｒるための作
業用窓風４を設ける。この作業用窓３４には第１図に示
すようにシリンダ２２の側ｌ＠ζこＱリング３５を介し
てフランジ３６を着脱自在に設ける。
このイオン源は熱シ子放出用フィラメント３２ａ。
３２ｂの片方または両方を使用して、イオンチャンバー
２１に封入された被検ガスに熱電子を当でてイオン化さ
せるものである。ここでイオン化されたイオンガスはリ
ペラ２４によりイオンレンズ係２５ζこ押し出され、イ
オンビームとなって分Ｎ部に入射される。このとき、イ
オン化に供されなかった熱電子はトラップ２８に吸収さ
れる。
２１に封入された被検ガスに熱電子を当でてイオン化さ
せるものである。ここでイオン化されたイオンガスはリ
ペラ２４によりイオンレンズ係２５ζこ押し出され、イ
オンビームとなって分Ｎ部に入射される。このとき、イ
オン化に供されなかった熱電子はトラップ２８に吸収さ
れる。
いま、熱電子放出用フィラメント３２ａ、３２ｂカ断線
して新しいフィラメントと交換する場合、フランジ３６
を取り外して治具を絶縁基板２９のねじ穴３０にねじ込
んで装着させる。そして、治具を用いて基板２９をシリ
ンダ２２の外に取り出し。
して新しいフィラメントと交換する場合、フランジ３６
を取り外して治具を絶縁基板２９のねじ穴３０にねじ込
んで装着させる。そして、治具を用いて基板２９をシリ
ンダ２２の外に取り出し。
基板２９に取りつけられたフィラメントを取り除いて新
しいフィラメントと交換する。次にこの基板２９を作業
用窓３４より挿入し、基板２９の２つの端面を基準面４
１ａ 、４１ｂに合せる。この状態で治具を押し込んで
基板２９をイオンチャンバー２１の左側面２１ａに押し
付けると、基板２９は板ばね４２ａ 、４２ｂのばね力
により基準面４１ａ〜４１ｂに押し付けられて取り付は
位置が規正されるとともに、左側面に押し付けられてイ
オンチャンバ〜２１に装着される。
しいフィラメントと交換する。次にこの基板２９を作業
用窓３４より挿入し、基板２９の２つの端面を基準面４
１ａ 、４１ｂに合せる。この状態で治具を押し込んで
基板２９をイオンチャンバー２１の左側面２１ａに押し
付けると、基板２９は板ばね４２ａ 、４２ｂのばね力
により基準面４１ａ〜４１ｂに押し付けられて取り付は
位置が規正されるとともに、左側面に押し付けられてイ
オンチャンバ〜２１に装着される。
したがって、このような構成によれば、複数の熱′ル子
放出用フィラメント３２ａ、３２ｂを一枚の絶縁基板２
９上に取り付けるこきにより、複数のフィラメント３２
ａ、３２ｂに対してトラップ２８を共通１こ構成するこ
とができるため、構成を著しく簡略化することができる
。しかも、トラップ２８の配線を減少し、かつフィラメ
ン） ３２ａ、３２ｂの配線を集積化することができる
ため、これを簡素化するこ吉ができる。
放出用フィラメント３２ａ、３２ｂを一枚の絶縁基板２
９上に取り付けるこきにより、複数のフィラメント３２
ａ、３２ｂに対してトラップ２８を共通１こ構成するこ
とができるため、構成を著しく簡略化することができる
。しかも、トラップ２８の配線を減少し、かつフィラメ
ン） ３２ａ、３２ｂの配線を集積化することができる
ため、これを簡素化するこ吉ができる。
また、絶縁基板２９をイオンチャンバー２１に着脱可能
に設けるとともに基板２９に相対向させて作業用窓３４
を設けることにより１作業用窓３４を通して基板２９を
シリンダ２２の外に取り出すことができるため、熱１に
手放出用フィラメント３２゜３２ｂの交換を容易に行な
うことができる。しかも板ばね４２ａ 、４２ｂを用い
て基板２９をイオンチャンバー２１に保持させることに
より、基板２９をイオンチャンバー２１に簡単に装着さ
せることができる。
に設けるとともに基板２９に相対向させて作業用窓３４
を設けることにより１作業用窓３４を通して基板２９を
シリンダ２２の外に取り出すことができるため、熱１に
手放出用フィラメント３２゜３２ｂの交換を容易に行な
うことができる。しかも板ばね４２ａ 、４２ｂを用い
て基板２９をイオンチャンバー２１に保持させることに
より、基板２９をイオンチャンバー２１に簡単に装着さ
せることができる。
また、基準面４１ａ、４１ｂを設けて基＋１ｉ２９の取
付は位置を規正するこきにより、常にａ数の熱電子放出
用フィラメント３２ａ 、 ３２ｂをスリット２６ａ、
２６ｂに正確に合せるこきができる。したがって、この
イオン源は熱１子放出用フイラメント３２ａ、 ３２ｂ
の交換に際して、イオンチャンバー２１を取り出す必要
がないことと相まって、イオンビームの軌道軸のずれが
なくなり大変面倒なイオンビームの軌道軸の再調整を省
略することができる。
付は位置を規正するこきにより、常にａ数の熱電子放出
用フィラメント３２ａ 、 ３２ｂをスリット２６ａ、
２６ｂに正確に合せるこきができる。したがって、この
イオン源は熱１子放出用フイラメント３２ａ、 ３２ｂ
の交換に際して、イオンチャンバー２１を取り出す必要
がないことと相まって、イオンビームの軌道軸のずれが
なくなり大変面倒なイオンビームの軌道軸の再調整を省
略することができる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではなく
、要旨を変更しない範囲において種々変形して実施する
ことができる。
、要旨を変更しない範囲において種々変形して実施する
ことができる。
１、第１図すたけ第２図は従来のイオン源を示す概１
略的な構成図、第３図はこの発明の一実施例を示す概略
的な構成図、第４図は同実施例の絶縁基板とフィラメン
トを具体的に示した斜視図、第５図は同実施例のイオン
チャンバーを具体的に示した斜視図である。 １・・・イオンチャンバー ２・・・リペラ３・・・イ
オンレンズ系 ４、４ａ、４ｂ・・・フィラメントユニット５．５ａ、
５ｂ・・・熱心手放出用フィラメント６、６ａ、 ６ｂ
・・・トラップ ７．７ａ、 ７ｂ・・・スリット１１
・・・イオンチャンバー ２１・・・イオンチャンバー ２１ａ・・・左ＩＩＩ
＋１２１ｂ・・・右側面 ２２・・・シリンダ２３・・
・ガス導入口 ２４・・・リペラ２５・・・イオンレン
ズ系 ２６ａ、 ２６ｂ・・・スリット２７・・・開口
２８・・・トラップ ２９・・・絶縁基板 ３０・・・ねじ穴３１ａ〜３１ｄ
・・・成極 ３２ａ、 ３２ａ・・・熱電手放出用フィラメント３３
８〜３３ｄ・・・接続端子 ３４・・・作業用窓３５・
・・Ｏリング ３６・・・フランジ４１ａ、４１ｂ・・
・凸部基準面 ４ ’ｌ ａ Ｔ ４２ ｂ・・・板ば
ね４３・・・凹部
略的な構成図、第３図はこの発明の一実施例を示す概略
的な構成図、第４図は同実施例の絶縁基板とフィラメン
トを具体的に示した斜視図、第５図は同実施例のイオン
チャンバーを具体的に示した斜視図である。 １・・・イオンチャンバー ２・・・リペラ３・・・イ
オンレンズ系 ４、４ａ、４ｂ・・・フィラメントユニット５．５ａ、
５ｂ・・・熱心手放出用フィラメント６、６ａ、 ６ｂ
・・・トラップ ７．７ａ、 ７ｂ・・・スリット１１
・・・イオンチャンバー ２１・・・イオンチャンバー ２１ａ・・・左ＩＩＩ
＋１２１ｂ・・・右側面 ２２・・・シリンダ２３・・
・ガス導入口 ２４・・・リペラ２５・・・イオンレン
ズ系 ２６ａ、 ２６ｂ・・・スリット２７・・・開口
２８・・・トラップ ２９・・・絶縁基板 ３０・・・ねじ穴３１ａ〜３１ｄ
・・・成極 ３２ａ、 ３２ａ・・・熱電手放出用フィラメント３３
８〜３３ｄ・・・接続端子 ３４・・・作業用窓３５・
・・Ｏリング ３６・・・フランジ４１ａ、４１ｂ・・
・凸部基準面 ４ ’ｌ ａ Ｔ ４２ ｂ・・・板ば
ね４３・・・凹部
Claims (4)
- （１）所定の真空度を保つシリンダと、このシリンダ内
に設けられ被検ガスを封入するイオンチャンバーと、こ
のイオンチャンバーに取付られイオンを所定の方向に押
しぞしイオンビームを形成させるリペラと、このイオン
ビームの射出方向に対して平行な上記イオンチャンノく
−の一方の平面上に設けられた複数のスリットと、単一
の絶縁基板上に設けられ上記スリットに対応して上記イ
オンチャンバーの一側に配設された複数個のフィラメン
トと、これらのフィラメントと相対向するイオンチャン
ノく−の他側に設けられた共通トラ、プとを具備したこ
とを特徴上する質量分析計のイオン源。 - （２） 上記絶縁基板はイオンチャンノく−の一方の平
面上に着脱自在に設けられていることを特徴とする特許
請求のＳ囲第１項記載の質量分析計のイオン源。 - （３） 上記イオンチャンバーの一方の平面上には絶縁
基板の取付は位置β規正する凸部基準面が設けられてい
ることを特徴とする特、請求の範囲４２項記載の＊を分
析計のイオン源。 - （４）上記シリンダには上記絶縁基板に対応した位置に
交換用の作条、δが形成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項ないし第３項記載の質量分析計のイ
オン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12733783A JPS6020443A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 質量分析計のイオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12733783A JPS6020443A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 質量分析計のイオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020443A true JPS6020443A (ja) | 1985-02-01 |
Family
ID=14957420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12733783A Pending JPS6020443A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 質量分析計のイオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020443A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0539480U (ja) * | 1991-10-31 | 1993-05-28 | ジユーキ株式会社 | ミシンの針棒 |
| KR20220116178A (ko) * | 2019-12-18 | 2022-08-22 | 라이볼트 게엠베하 | 적어도 하나의 필라멘트를 위한 유지 장치 및 질량 분석계 |
-
1983
- 1983-07-13 JP JP12733783A patent/JPS6020443A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0539480U (ja) * | 1991-10-31 | 1993-05-28 | ジユーキ株式会社 | ミシンの針棒 |
| KR20220116178A (ko) * | 2019-12-18 | 2022-08-22 | 라이볼트 게엠베하 | 적어도 하나의 필라멘트를 위한 유지 장치 및 질량 분석계 |
| JP2023507996A (ja) * | 2019-12-18 | 2023-02-28 | ライボルト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 少なくとも１つのフィラメントの保持装置及び質量分析計 |
| US12278100B2 (en) | 2019-12-18 | 2025-04-15 | Leybold Gmbh | Holding device for at least one filament and mass spectrometer |
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