JPS60208249A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は記録液としての液体を飛翔的液滴として噴射し
、該液滴を用いて記録を行なう液体噴射記録装置に装備
される記録ヘット、なかでも熱エネルギーを利用して液
体を噴射させる液体噴射記録装置に使用される記録ヘッ
ドに関する。

インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
於ける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点、前速記録が０■能であり、しかも所謂普通紙に定
着という特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点に
於いて注１」され最近種々のタイプのものが活発に研究
されている。

その中でも、熱エネルギーを静体に作用させ、液体吐出
のための原動力を得る方式、即ち、熱エネルギーの作用
を受だ液体が急峻な体積の増大を１工なう状ｊＥ変化を
起し、該状態変化に基く作用力によって、記録ヘント部
先端のオリフィス（液体吐出孔）より液体が吐出されて
、飛翔的液滴が形成され、該液滴を紙等の被記録材に伺
着させて記録を行なう方式は、所謂ｄｏｒｏｐ−ｏｎ　
ｄｅ＋５ａｎｄ記ｔｌｊ　ｉｌｌに極めて有効に適用さ
れるばかりでなく、記録ヘン上部をｆｕｌｌ　１ｉｎｅ
タイプで高密度マルチオリフィス化された記録ヘッドが
容易に具現化できるので、高解像度、高品質の画像を高
速で得られる方式として注目されている。

このような方式を適用した記録法に用いられる装置の記
録ヘッド部は、液体を吐出する為に設けられたオリフィ
スと、該オリフィスに連通し、液体を吐出するための熱
エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成
の一部とする液流路とを右する液吐出部と、熱エネルギ
ーを発生する１段としての電気熱変換体とを具備してい
る。

そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これらの
−７ｔｔ極に接続し、これらの電極の間に発熱する領域
（熱発生部）を有する発熱抵抗層とを具備している。

このような液体噴射記録ヘットの構造を示す典型的な例
が第１図（ａ）及び第１図（ｂ）に示される。

第１図（＆）は、液体噴射記録ヘッドのオリフィス側か
ら見た正面部分図、ｆｆ１１図（ｂ）は、第１図（ａ）
に一点鎖線Ｘ−Ｙで示す部分で切断した場合の切断面部
分図である。

これらの図に示された記録へット１０１は、その表面に
電気熱変換体１０２が設けられている基板１０３上に、
所定の線密度で所定の１１１と深さの溝が所定数設けら
れている溝付板１０４を覆うように接合することによっ
て、液吐出部１０６が形成された構造を有している。液
吐出部１０６は、液体を吐出するためのオリフィス１０
５と、電気熱変換体１０２より発生される熱エネルギー
が液体に作用して気泡を発生し、その体積の膨張と収縮
に依る急激な状態変化を引き起すところである熱作用部
１０７　とを有する。

熱作用部＋０７は、電気熱変換体１０２の熱発生部＋０
８の上部に位置し、熱発生部＋０８の液体と接触する面
としての熱作用部１０８をその低面としている。

発熱抵抗層Ｉ１１には、熱を発生させるために該層Ｉｌ
ｌ　に通電するための電極１１３　、１１４がその表面
に設けられており、これらの電極間の発熱抵抗層によっ
て熱発生部１０８が形成されている。

１１餉１１３は、各液吐出部の熱発生部に共通の電極で
あり、＋［極１１４は、各液吐出部の熱発生部を選択し
Ｃ発熱させるための選択電極であって、液吐出部の液流
路に沿って設けられている。

保１］へ層１１２は、熱発生部１０８に於いては発熱抵
抗層Ｉ１１　を、使用する液体から化学的、物理的に保
護するために発熱抵抗！ＩＩＩと液吐出部１０６の液流
路を満たしている液体とを隔絶すると共に、液体を通じ
て電極１１３　、１１４間が短絡するのを防止する保護
的機能を有し、更に隣接する電極間に於ける電気的リー
クを防止する役［１も有している。

各液吐出部に設けられている液流路は、各液吐出部のに
流に於いて、液流路の一部を構成する共通液室（不図示
）を介して連通されている。各液吐出部に設けられた発
熱抵抗層Ｉ１１に接続されている電極！１３．１１４は
その設計上の都合により、前記保護層に保護されて熱作
用部の上流側に於いて前記共通液室下を通るように設け
られている。

このような液体噴射記録ヘットに於いては、従来電気熱
変換体は、第２図に示すように、基板１０３の一方の面
りに所定の形状に積層された発熱抵抗体層上に、所定の
形状を有する電極層が、　−夕４の電極（共通電極１１
３、選択電極＋１４　）間に接続された前記発熱抵抗体
層からなる熱発生部１０８が基板−Ｆの所定に位置に配
置されるように積層されて形成されていた。従って、共
通電極＋１３は折返し形状となり、共通電極１１３と選
択電極＋１４　とが交互に配列されるために、複数の熱
発生部＋０８は共通電極を挾んだように配置されていた
。

このような電極の配線を適用した場合、電極１１３　と
電極１１４とがｌＬいに隣合わせに過電に配列されてい
るために、保護層１１２を前述したような保護的機能を
効果的に有するように積層することが容易でなく、また
電極１１３　、１１４間のショートや保護層１１２を介
して接触している液体への電気的リークの起る場合が多
い、また、液吐出の際のキャヒテーシゴンによって生じ
るショックを受け易い構造となっており、保護層１１２
や熱発生部１０８の長期耐久性を低下させる原因となっ
ており、このために記録ヘッドの機能の低下や寿命を短
くするという問題があった。

更に、多数の電極＋１３．１１４を設けることにより、
特に共通電極の配線に於けるポンディング箇所が多く、
またその密度もあがるため、ポンディング箇所での接続
の不良等を起こす可能性が高く、信頼性を低ドさせる原
因となっていた。

一方、複数のオリフィスの高密度化を行なう場合、　一
般にこれらのオリフィスのそれぞれに対応した熱発生部
の各々の間隔を所望のオリフィス密度が１１）られるよ
うに狭くすること、即ち各電極間の間隔を狭く、あるい
は各電極のｆｉｌを細くすることによってオリフィスの
高密度化を行なってきた。

ところが、各電極間の間隔を狭くし過た場合、前述した
ような電極１１３　、１１４間のショートや電気的リー
クの起るｉ＋１能性がより高くなり、また各電極の巾を
必要以上に細くすることは、電極としての機能を低下さ
せる原因になるなど、各電極間の間隔を狭く、あるいは
各電極のｒｆＪを細くすること、即ち更に高密度化を進
めることには構造トの限界があった。

本発明は、これらの問題に鑑みなされたものであり、前
述したような隣接する電極間のショートが起にくい構造
を有し、記録へントの機能や信頼性の低ドを防ぐと共に
、従来の熱エネルギーを利用した液体噴射記録ヘットに
於いて限界となっていたオリフィスの高密度化を更に進
めることが可能な液体噴射記録ヘッドを提供することを
そのＩＪ的とする。

上記の目的は以下の本発明によって構成することができ
る。

すなわち、本発明はの液体噴射記録へ、トは、液体を吐
出して飛翔的液滴を形成するために設けられたオリフィ
スと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するため
の熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を
有する支持体上に形成された液流路と、支持体上に設け
られた発熱抵抗層に°電気的に接続して、少なくとも一
対の対置する電極が設けられ、これら電極の間に前記熱
エネルギーを発生させるための熱発生部が形成されてい
る電気熱変換体とをＪＪｃｆｉする液体噴射記録へント
に於いて、前記電気熱変換体が、前記熱発生部を基体の
一面Ｆに形成し、かつ前記−夕４の電極が分離されて前
記基体の一面に相接した左右両面にそれぞれ配線されて
構成され、該基体と支持部材どが接合一体化されて前記
支持体が構成されていることを特徴とする。

以Ｆ、図面に従って本発明の一例を詳細に説明する。

第３１剥（ａ）〜（ｄ）は本発明の液体噴射記録ベント
の　例を説明するための模式図である。

第３１Ｎ（ａ）は本発明の液体噴射記録ヘッドの例の−
に気熱変換体の設けられた基体の主要部の模式的斜視図
、第３図（ｂ）は第３図（＆）に示したノ、（体上賛部
の模式的断面部分図、第３図（Ｃ）は第３図（ａ）に示
した基体を８成の一部とする支持体を有する液体噴射記
録ヘッドの「要部の模式的断面部分図、ｐｉＳａ図（ｄ
）は第３図（Ｃ）に示した記録ヘッドの主要部をオリフ
ィス側からみた正面部分図である。

本発明の液体噴射記録ヘット３ｏ＋の石する基体３０３
上には、第３図（ａ）及び第３図（ｂ）に示したように
、その上面には選択１ｇ、Ｍ！３０８が、更にその下面
には共通電極３０８が積層され、これらの電極端部に接
続した発熱抵抗層３１３からなる熱発生部３０２がその
側面に配設されている。

発熱抵抗層３１３及び選択電極３０８は、それぞれ所望
の位置に共通電極３０８と選択電極３０８　との間に熱
発生部３０２が配置されるような形状及び大きさにバタ
ーニングされている。

なお、共通電極３０９は基体３０３の下面仝而に・体化
されて設けられていることが好ましい、これは、共通電
Ｍｉｉ３０９を一体化して設けることにより、７Ｅ極の
ポンディング箇所を少なくして接続不良等を起こす口Ｉ
飽性を低くすることが＋ｊｆ能となり、記録ヘットの信
頼性を向上させることができるためである。

このように選択電極３０８と共通電極３０８を分離して
配線することによって、熱発生部３０２を、第２図の前
述したような従来例に於いては、共通電極＋１３を挾ん
だ一部おきの選択電極１１４に対応して配置されていた
のに対し、隣り合せに配列された複数の選択電極３０８
に対応して配置できるようになり、複数の熱発生部３０
２のそれぞれの間隔を狭くすることが＝＝７能となった
。

このようにして、これらの熱発生部３０２の設置密１’
ｆｉを、従来の１２個／層層程度から、３２個／■程度
にまで高密度化することが可能となり、熱発生部３０２
に対応して設けられるオリフィスの高密度化がｉｊ）能
となった。

更に、共通電極と選択電極とが分離されて配線されるこ
とによって、本発明の記録ヘッドはこれらの′「［極間
でのショートの起りにくい構造となった。

このような構成をその表面に有する基体３０３は、第３
図（Ｃ）及び第３図（ｄ）に示したように、その」二面
と下面を介して支持部材３０Ｂ−１と支持部材３０６−
２の間に接合されてこれらと一体化され、そのようにし
て支持体３１７が構成される。更に、該支持体が治具３
１１によって位置決めされたにで、これに天板３０４及
び溝側壁３１２が接合されることによって、熱発生部３
０２に対応したオリフィス３０５　と、該オリフィスに
連通し、熱作用部３１５を構成の一部とする液流路３１
６と、該液流路に液体を供給するための共通液室３１０
が設けられ１本発明の液体噴射記録ヘッドが形成されて
いる。

支持部材３０Ｂ−２には、液流路３１Ｂの一部を構成す
る熱作用部３１５に液体を供給するための供給孔３０７
が設けられている。従って、ｉ１ｇ！側壁３１２によっ
て仕９Ｊられた各液流路３１Ｂは、この供給孔３０７　
と共通液室３１０を介して連通されている。

第３図（Ｃ）及び第３図（ｄ）に示した本発明の一例に
於いては、上記のように、電気熱変換体がその表面に設
けられた基体３０３が、２つの支持部材３０Ｂ−１と３
０８−２との間に接合されていたが、これら支持部材の
内の１つ（３０６−１）は、冶具３１１と　一体化され
ていても良い。

なお、図には示されていないが、熱発生部３０２が配置
された基体上には保護層が設けられていても良い。

この保護層は、電極３０Ｂ　、３０９と熱発生部３０２
を構成している発熱抵抗層を、これらの上部にある液体
から化学的、物理的に保護するとともに、液体を通して
起る＋ｉｉｊ記電極間の短絡１通電された電極が液体と
接触することによって起る電極の電蝕を防止し、更に熱
発生部に於いて発生した熱エネルギーを液体に効率良く
伝達することを主な１」的として設けらる。なお１発熱
抵抗層にＴａ合金等の耐液性のある材料を使用した場合
には、発熱抵抗層トには、ｌ二記のような保護層を設け
なくても良い。

このような構造の本発明の液体噴射記録ヘッドに於いて
は、支持体が、電気熱変換体の設けられた基体が支持部
材によって挾まれている構造を有しているので、熱発生
線以外で電極が液体と直接接触する部分のない構造とな
っており、この部分に、従来の記録ヘッドのように於け
るような保護層を設ける必要がなくなり、保護層の剥離
、電極と液体との接触よって起る電蝕等の欠陥が起るこ
とはなくなった。また、液吐出の際のキャビテーション
によって生じるショックを受け難い構造となっており、
記録へンドの耐久性が向トした。

本発明の液体噴射記録ヘッドの有する基体３０３として
は、シリコン、ガラス、セラミックス等の板、あるいは
アルミニウム等の金属板の表面に。

Ｍ化アルミニウム、酸化ジルコニラ１１、醇化タンタル
等の金属鹸化物からなる絶縁性層を、蒸着法、スパッタ
リング法あるいは金属の所定の表面の酸化処理等の方法
によって設けたもの等の絶縁性のあるものを使用するこ
とができる。

支持部材３０Ｂ、溝側壁３１２及び天板３０４は、シリ
コン、ガラス、セラミックス、樹脂等の材ｔ’ｌから形
成することができるが、液体と直接接触する部分に於け
る耐液性に優れていることが望ましい。

本発明の液体噴射記録へ・ントの有する熱発生部３０２
を構成する発熱抵抗層３１３を形成することのできる材
料としては１通電されることによって、所望の熱を発生
させることのできるものであれば大概のものが挙げられ
る。

このような材料としては、例えば窒化タンタル、ニクロ
ム、銀−パラジウム合金及びシリコンオ導体、更にハフ
ニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン、タンタル、
タングステン、モリブデン、ニオブ、クロム、へナジウ
ム等の金属及びその合金韮びにそれらのホウ化物等が好
ましい材料として挙げられる。

これらの発熱抵抗層３１３を形成することのできる材ネ
ｉのなかでも、最も好ましい発熱抵抗層としての特性に
優れているものとして、Ｔａ系合金、Ｎｂ系合金、Ｎｌ
系合金等を挙げることができる。

発熱抵抗層３１３は、上記の材料を用いて、蒸着法やス
パッタリング法等によって形成することができる。

発熱抵抗Ｊｉ１３１３の層厚は、単位時間の発熱機が所
望の値となるように、その面積、材料及び熱作用部の形
状と大きさ、更に実際面での消費電力等の諸条件に応じ
て適宜決定されが、好ましくは０．００１〜５−１より
好ましくは０．０１〜１−とされる。

電極３０８及び３０９を形成することのできる材料とし
ては、通常使用されている電極材料の大概のものが使用
され、例えばＡ１、Ａｇ、　Ａｕ、Ｐｔ、　Ｃｕ等の金
属が挙げられ、これらを使用して、蒸着法等を用いて形
成することができる。

電極３０８　、３０９及び熱発生部３０２１に保護層を
設ける場合には、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物
等の無機材料及び樹脂等の有機材＄１から、設けられる
場所に応じて要求される特性を満足するように適宜選択
された１挿具りの材料から形成することができる。

第３図（ａ）〜第３図（ｄ）に小した本発明の記録へン
ドでは、オリフィスが横方向に−・列配夕曜されたもの
であったが、本発明の記録ヘッドは支持体３１７を２枚
以上重ねて形成された、オリフィスが１−ドに２列以上
配列されたものであっても良い、そのような構成の本発
明の記録ヘッドの一例を、第４図（ａ）及び第４図（ｂ
）に示す。

この例に於いては、オリフィス４０５−１　、４０５−
２が熱発生部４０２−１．４０２−２にそれぞれ対応し
、更にｊ（通液室４１０が２つの基体４１７−１　、４
１７−２の間に配置されるように、これら基体が治具４
１１１．４＋１−２　、４１１−３によって所定の間隔
を保って左右に配置されて位置決めされ、これに、オリ
フィス４０５−１．４０５−２の設けられた天板４０４
と液流路４１８−１　、４１６−２を仕ν）る溝側板４
１２−１　、４１２−２が接合されて記録ヘットが形成
されている。

この記録ヘンドを用いて記録を行なう際には、共通液室
４１０から液流路４１６−１　、４１６−２供飴された
記録液は、これら液流路の一部を構成している熱作用部
４１５−１　、４１５−２に於いて熱発生部４０２−１
　、４０２−２によって発生された熱エネルギーによる
吐出エネルギーを受て、オリフィス４０５−１　、４０
５−２から吐出される。

天板４０４の所定の位置に設けられたオリフィスは、左
右にそれぞれオリフィス４０５−１　、！ニオリフイス
４０５−２が一列づつ配列され、しかもオリフィス４０
５−１　とオリフィス４０５−２のそれぞれは、オリフ
ィスの配列方向に対して垂直な方向に於いて爪なり合わ
ないように配列されている。

このように、オリフィスを２列配置した場合。

オリフィス４０５−１の配置とオリフィス４０５−２の
配置を左右でずらすことにより、３２ドツト／１ｍ１ｌ
程度までの高密度ドツト印字がＩＩ工能となる。

なお、冶具４＋１１及び１ｈ具４１１−２はそれぞれ支
持部材４０Ｂ−］及び４０６−２と一体化されていても
良い。また、この例に於いては、基体４１７−１．４１
７−２の間に共通液室４１０が設けられていたが。

治具４１１＋及び治具４＋１２が配置されている（＆置
にそれぞれ液流路４１Ｂ−１、４１８−２に連通した別
々の共通液室を設けても良く、この場合シｚ−は共通液
室４１０の位置に治具を配置し、供給孔４０７−１　。

４０７−２はそれぞれ、共通液室側に位置する支持部材
に設ければ良い、更に、支持体を３枚以上重ねて、複数
のオリスイスが３列以りに配夕曜された本発明の記録ヘ
ッドを形成することもできる。

以にのような構造を有する本発明の液体噴射記録ヘット
に於いては、基体と支持部材とを有してなる支持体の基
体側面に熱発生部を設けたことにより、共通電極と選択
電極を基体の上面とＦ面に分離して配線するのに好適な
構造を右し、このようにこれらの電極を配線することに
よって、従来の折り返し電極パターンに於いて限界とな
っていた熱発生部の高密度化かり能となり、しかも本発
明の記録ヘットはこれらの電極間でのショートの起りに
くいａ造となった。

更に、本発明の記録ヘットの構造は、オリフィスがトド
（左右）に２列以七列配された記録へツ］・を構成する
のに好適な構造となっており、２Ａｕりのオリフィスの
配置を−にＦでづらすことにより、より高密度のドツト
印字がＯｆ能となった。

一方、熱発生部以外で電極が液体と直接接触する部分の
ない構造となっており、この部分に、従来の記録ヘッド
に於けるような保護層を設ける必要がなくなった。また
、液吐出の際のキャビテーションによって生じるショッ
クを受け難い構造となっており、記録ヘッドの耐久性が
向■−シた。

更に、共通電極を１つの電極として一体化したので、電
極のポンディング箇所が少なくなり、ポンディング箇所
での接続不良等を起こすＯｆ能性が低くなり、記録へ一
／　トの信頼性は高くなった。

重重、実施例に従って本発明の液体記録噴射記録ヘンド
を更に詳細に説明する。

実施例１ 以下のようにして、第３図（ａ）〜（ｄ）に示した未発
りＪの液体噴射記録ヘットの作成を実施した。

まず、アルミナ基体３０３　（３５！ｌ＠　Ｘ　３？量
ｍＸ　Ｏ，５ｍｍ）の一方の側面を平に、更に該側面と
基体の上面及び上面とからなる角を丸く研摩した。

次に、基体３０３の側面に該側面に対し垂直な方向から
発熱抵抗層３１３として、Ｔａ−Ａｌ合金を所定の形状
を有するパターンマスクを用いたマスク蒸着法によって
、所定の位置に発熱抵抗Ｍ３１３　（厚さ０．２μｓ）
を設けた。

次に、Ａｕを基体３０３の両面に蒸着法により、０．５
μの厚さに積層し、更に基体３０３の上面にあるＡｕ層
を所定の形状のパターンマスクを用し＼てエツチングし
て、第３図（ａ）に示してような所定の形状及び個数の
電極３０Ｂを発熱抵抗層３１３に対応させて設け、電極
３０８．３０８に接続した熱発生部３０２　（３０μｘ
１５０ｕ）を形成した。形成された熱発生部３０２の配
列密度は、１６個／１１１となった。

このよ）にして所定の位置に熱発生部３０２の設けられ
た基体３０３の上面に支持部材３０ｆｔ−１を、Ｆ面に
、熱発生部３０２に対応した位置に供給孔３０７が設け
られた支持部材３０Ｂ−２をそれぞれ接着剤を用いて接
着し、支持体３１７を形成した。

これとは別に、２０ｕの感光性ドライフィルムを天板３
０４に積層し、所定のパターンマスクによる露光及び現
像を行ない、溝側壁３１２を形成し、この溝側壁３１２
によって仕切られた天板３０４の所定の位置にオリフィ
ス３０５を設けた。

耐後に、このようにして作成された溝側壁３１２イ１き
天板３０４を、エポキシ系接着剤を用いて先に作成した
支持体３１？に、熱発生部３０２に対応した位置にオリ
フィス３０５が配置されるように接着して、本発明の記
録ヘッドを完成した。

この本発明の液体噴射記録ヘッドは、ＩＢ×２個／ｌｌ
ｌ１ｌの密度でオリフィスの配列された高密度マルチオ
リフィス化された記録ヘッドとなった。

この未発ＩＪＩの液体噴射記録ヘットを用いて記録を行
なったところ、高解像度、高品質の画像を高速で得られ
、更に長期間にわたる使用に際しての（ご頼性も高いも
のであった。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は従来の液体噴射記録ヘットの一例のオリ
フィスの設けられた面の模式的止面部分図、第１図（ｂ
）は、第１図（ａ）の一点ｔＣＪＩＩＸ−Ｙでの切断面
部分図、第２図は従来の液体噴射記録ヘッドの一例の電
気熱変換体の設けられた基体の１１而部分図、第３図（
ａ）は本発明の液体噴射記録ヘットの一例の電気熱変換
体の設けられた基体の主要部の模式的斜視図、第３図（
ｂ）は第３図（ａ）に示した基体主要部の模式的断面部
分図、第３図（ｅ）は第３図（ａ）に示した基体を構成
の一部とする支持体を有する液体噴射記録ヘッドの主要
部の模式的断面部分図、第３図（ｄ）は第３図（Ｃ）に
ボした記録ヘットの主要部をオリフィス側からみた正面
部分図、第４図（ａ）は第３図（ａ）にボした支持体を
２枚有する本発明の液体噴射記録ヘットの主要部の模式
的断面部分図、ｆｆｉ４１ｍ（ｂ）はｗＳ４１′１４（
ａ）にポした記録ヘッドの主要部をオリフィス側からみ
た正面部分図である。 １０１．３０１，４０１：記録ヘッド １０２：電気熱変換体　１０３：基板 ＋０４溝利き板 １０５．１０５−１．１０５−２，１０５−３，３０５
，４０５＋オリフィス１０６：液吐出部 １０７．３１５，４１５−１，４１５−２：熱作用部１
１７８．３０２，４０２−１，４０２−２：熱発生部１
０９：熱作川面 １１１．１１１−１，１１１−２，１１１−３，３１３
：発熱抵抗層１１２：保護層 １１３．３０９，４０９−１，４０９−２二八ａｔｅ１
１４．３０８，４０８−１．４０８−２：選択電極３０
３：基体 ３０４．４０４：天板 ３０Ｂ−１，３０６−２，４０８−１，４０８−２：支
持部材３０７．４０７−１，４０７−２：供給孔３１０
．４１０：共通液室 ３１１．４１１−１，４１１−２，４１１−３：治具３
１２．４１２−１，４１２−２：溝側壁３１Ｇ：液流路 ３１７．４１７−１，４１７−２＋支持体ＮＳ　１　図
（ａ） 第　１　図（ｂ） １１）４ 第　２　図 第　３　図　（ａン １）３　図　（ｂ） 第　３　しＱ　（ｃン 第　３　図（ｄ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体を吐出して飛翔的液滴を形成するために、没
   けられたオリフィスと、該オリフィスに連通し前記液滴
   を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分で
   ある熱作用部を有する支持体１−に形成された液流路と
   、発熱抵抗層に電気的に接続して、少なくとも一対の対
   置する電極が設けられ、これら電極の間に前記熱エネル
   ギーを発生するための熱発生部が形成されている電気熱
   変換体とを具備する液体噴射記録へ７１・に於いて、前
   記電気熱変換体が、前記熱発生部を基体の一面上に形成
   し、かつ前記一対の電極が分離されて前記基体の一面に
   相接した左右両面にそれぞれ配線されて構成され、該基
   体と支持部材とが接合一体化されて前記支持体が構成さ
   れていることを特徴とする液体噴射記録ヘンド。