JPS6020865B2 - パルスx線発生装置 - Google Patents
パルスx線発生装置Info
- Publication number
- JPS6020865B2 JPS6020865B2 JP17672282A JP17672282A JPS6020865B2 JP S6020865 B2 JPS6020865 B2 JP S6020865B2 JP 17672282 A JP17672282 A JP 17672282A JP 17672282 A JP17672282 A JP 17672282A JP S6020865 B2 JPS6020865 B2 JP S6020865B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coaxial line
- ray
- container
- target
- voltage pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/22—X-ray tubes specially designed for passing a very high current for a very short time, e.g. for flash operation
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被検体のX線結晶解析及び非破壊検査に使用さ
れるパルスX線発生菱直に関する。
れるパルスX線発生菱直に関する。
従来のX線発生装置はガラス容器内に陰極とこれに対向
する部分にターゲットを有する陽極とを収設し、容器内
を高真空に封じて構成したX線発生部と、陽極と陰極間
に直流高圧を印加すると同時に陰極を加熱するための電
源部とよりなり、陽極と陰極間に印加した直流高圧によ
って陰極の加熱により発生した熱電子を加速し、ターゲ
ットに衝突させることによりX線を発生するものである
。このような従来のX線発生装置は、■連続したX線が
発生し大強度、短パルスのX線を発生させることができ
ないためX線の照射時間が長くなり、被検体のX線結晶
解析及び非破壊検査において長時間照射の制約から静止
像のみを得ることしかできず、例えば相転移等における
結晶構造の時間変化を連続的に観察することができない
。
する部分にターゲットを有する陽極とを収設し、容器内
を高真空に封じて構成したX線発生部と、陽極と陰極間
に直流高圧を印加すると同時に陰極を加熱するための電
源部とよりなり、陽極と陰極間に印加した直流高圧によ
って陰極の加熱により発生した熱電子を加速し、ターゲ
ットに衝突させることによりX線を発生するものである
。このような従来のX線発生装置は、■連続したX線が
発生し大強度、短パルスのX線を発生させることができ
ないためX線の照射時間が長くなり、被検体のX線結晶
解析及び非破壊検査において長時間照射の制約から静止
像のみを得ることしかできず、例えば相転移等における
結晶構造の時間変化を連続的に観察することができない
。
■X線発生部は熱電子放出現象を利用しており、陰極が
比較的大形で、容器外部での高圧絶縁が必要であるため
大形になり、かつ電源部も直流高圧と陰極加熱用の電圧
を得るため大形になるので装置全体が大形になる。■高
真空ガラス容器を使用しているため機械的衝撃に弱く取
扱いに注意を払わねばならず、かつ不必要な部分へのX
線照射を防止できない。■X線発生部が大形であり、し
かも電源部が一体になっているので、特に被検体が複雑
な形状である場合、必要な観測部分への取付けが極めて
困難になる等の欠点がある。本発明は上記の欠点を解消
することを目的としたものであって、以下図面によって
その一実施例を説明する。
比較的大形で、容器外部での高圧絶縁が必要であるため
大形になり、かつ電源部も直流高圧と陰極加熱用の電圧
を得るため大形になるので装置全体が大形になる。■高
真空ガラス容器を使用しているため機械的衝撃に弱く取
扱いに注意を払わねばならず、かつ不必要な部分へのX
線照射を防止できない。■X線発生部が大形であり、し
かも電源部が一体になっているので、特に被検体が複雑
な形状である場合、必要な観測部分への取付けが極めて
困難になる等の欠点がある。本発明は上記の欠点を解消
することを目的としたものであって、以下図面によって
その一実施例を説明する。
本発明においては、第1図〜第3図に示すようにターゲ
ット1を中心部に設けた陽極2を管体3の内面に一体に
収設して容器4を形成し、この容器4の陽極2に電子放
出用同軸線5の外部導体5aを冷陰極となるこの電子放
出用同軸線5の中心導体5bがターゲット1に対向する
よう接続し、容器4の側方部にターゲット1より放出さ
れるX線を取出すための×線取出窓6を設け、容器4内
にガスを封入してX線発生部7を構成すると共に、高圧
パルス発生用同軸線8と、この高圧パルス発生用同軸線
8の外部導体8aと中心導体8b間に形成される静電容
量を充電するための直流電源9とより高圧パルス電源部
10を構成し、高圧パルス発生用同軸線8と電子放出用
同軸線5との間を開閉手段11を介して接続せしめてな
る。
ット1を中心部に設けた陽極2を管体3の内面に一体に
収設して容器4を形成し、この容器4の陽極2に電子放
出用同軸線5の外部導体5aを冷陰極となるこの電子放
出用同軸線5の中心導体5bがターゲット1に対向する
よう接続し、容器4の側方部にターゲット1より放出さ
れるX線を取出すための×線取出窓6を設け、容器4内
にガスを封入してX線発生部7を構成すると共に、高圧
パルス発生用同軸線8と、この高圧パルス発生用同軸線
8の外部導体8aと中心導体8b間に形成される静電容
量を充電するための直流電源9とより高圧パルス電源部
10を構成し、高圧パルス発生用同軸線8と電子放出用
同軸線5との間を開閉手段11を介して接続せしめてな
る。
なお、12は電源スイッチである。′ 電子放出用同軸
線5及び高圧パルス発生用同藤線8としては同軸ケーブ
ル、同軸コード等を使用することができる。
線5及び高圧パルス発生用同藤線8としては同軸ケーブ
ル、同軸コード等を使用することができる。
X線取出窓6としてはX線を透過するベリリウム、アル
ミニウム等の金属箔(10仏程度)を使用することがで
きる。ガスとしてはヘリウム、アルゴン等の不活性ガス
を使用することができる。開閉手段11としては手動ス
イッチ、リレー競点及び高気圧ギャップ、半導体スイッ
チ等を使用することができる。本発明は上記のような構
成であるから、鰭猿スイッチ12を閉じると、直流電源
9により高圧パルス発生用同軸線8の外部導体8aと中
心導体8b間に形成される静電容量に電荷が充電される
。
ミニウム等の金属箔(10仏程度)を使用することがで
きる。ガスとしてはヘリウム、アルゴン等の不活性ガス
を使用することができる。開閉手段11としては手動ス
イッチ、リレー競点及び高気圧ギャップ、半導体スイッ
チ等を使用することができる。本発明は上記のような構
成であるから、鰭猿スイッチ12を閉じると、直流電源
9により高圧パルス発生用同軸線8の外部導体8aと中
心導体8b間に形成される静電容量に電荷が充電される
。
しかる後、開閉手段11を閉じると、静電容量の充電電
圧が高圧パルス発生用同軸線8の外部導体8aに電子放
出用同軸線5の外部導体5aを介して接続した陽極2と
、パルス発生用同軸線8の中心導体8bに接続した電子
放出用同軸線5の中心導体5bとの間に印加される。電
子放出用同軸線5の中心導体5bを袴陰極とし、陽極2
との間に印加された充電電圧による電界により中心導体
5bの先端より多量の電子ビームが放出される。X線発
生部7のインピーダンスは容器4内にガスが封入されて
いるので低く、低インピーダンスの高圧パルス発生用同
軸線8と整合しているので、電子放出用同軸線5の中心
導体5bの先端より多量の電子ビーム(数十KV〜数百
KV、数KA以上、パルス幅1仇B以上)が得られるも
のである。この多量の露子ビ−ムはターゲット1に衝突
し、単発の大強度短パルスX線を発生させる。開閉手段
11の開閉を高速度で操返えせば、高燥返し大強度短パ
ルスX線を発生させることができる。本発明によるパル
スX線発生装置により得られるX線は、発生するX線の
性質上、かつ装置の機造上、比較的低エネルギー領域(
電子ビームエネルギーとして数十KeV〜数百KeV)
の単発または高燥返し(10の/s以上)の大強度(電
子ビーム電流として数KA〜数十KA)、短パルス(パ
ルス幅数的〜数百ns)のX線である。
圧が高圧パルス発生用同軸線8の外部導体8aに電子放
出用同軸線5の外部導体5aを介して接続した陽極2と
、パルス発生用同軸線8の中心導体8bに接続した電子
放出用同軸線5の中心導体5bとの間に印加される。電
子放出用同軸線5の中心導体5bを袴陰極とし、陽極2
との間に印加された充電電圧による電界により中心導体
5bの先端より多量の電子ビームが放出される。X線発
生部7のインピーダンスは容器4内にガスが封入されて
いるので低く、低インピーダンスの高圧パルス発生用同
軸線8と整合しているので、電子放出用同軸線5の中心
導体5bの先端より多量の電子ビーム(数十KV〜数百
KV、数KA以上、パルス幅1仇B以上)が得られるも
のである。この多量の露子ビ−ムはターゲット1に衝突
し、単発の大強度短パルスX線を発生させる。開閉手段
11の開閉を高速度で操返えせば、高燥返し大強度短パ
ルスX線を発生させることができる。本発明によるパル
スX線発生装置により得られるX線は、発生するX線の
性質上、かつ装置の機造上、比較的低エネルギー領域(
電子ビームエネルギーとして数十KeV〜数百KeV)
の単発または高燥返し(10の/s以上)の大強度(電
子ビーム電流として数KA〜数十KA)、短パルス(パ
ルス幅数的〜数百ns)のX線である。
上述のように本発明によれば、■大強度短パルスのX線
を発生させ、X線取出窓6より取出すことができるので
、X線の照射時間を短縮することができ、被検体のX線
結晶解析及び非破壊検査において静止像を得ることがで
きるばかりでなく、例えばX線結晶解析における結晶構
造の時間変化を光の場合のストロボ写真のように1つの
パルス幅を時間の単位として連続的に観測することがで
きる。
を発生させ、X線取出窓6より取出すことができるので
、X線の照射時間を短縮することができ、被検体のX線
結晶解析及び非破壊検査において静止像を得ることがで
きるばかりでなく、例えばX線結晶解析における結晶構
造の時間変化を光の場合のストロボ写真のように1つの
パルス幅を時間の単位として連続的に観測することがで
きる。
これは相転移に代表される構造変化の不連続部分を解明
する、X線解析による有力な手段として期待できる。■
X線発生部7は電界放出現象を利用しており、冷陰極が
電子放出用同軸線5で比較的小形で、容器外部での高圧
絶縁も不要であるため小形になり、かつ電源部10も直
流電源9と高圧パルス発生用同軸線8よりなるため4・
形になるので、装置全体を小形にできる。■X線発生部
7の容器4は陽極2と管体3を一体にした構造になって
おり、金属で被われているので、機械的衝撃に極めて強
く、取扱いが容易であり、かつ管体3としてX線を遮蔽
する黒鉛等の金属を用いれば不必要な部分へのX線照射
を防止できる。■×線発生部7が小形であり、電源部1
0との接続が可捻挫の電子放出用同軸線5によりなされ
ているので、特に被検体が複雑な形状であってもどのよ
うな位置にあってもX線発生部7の容器4を必要な観測
部分に極めて容易に取付けることができる等の効果を奏
する。図面の筋単な説明 第1図は本発明装置の一実施例を示す斜視図、第2図は
その回路図、第3図は本発明における×線発生部の断面
図である。
する、X線解析による有力な手段として期待できる。■
X線発生部7は電界放出現象を利用しており、冷陰極が
電子放出用同軸線5で比較的小形で、容器外部での高圧
絶縁も不要であるため小形になり、かつ電源部10も直
流電源9と高圧パルス発生用同軸線8よりなるため4・
形になるので、装置全体を小形にできる。■X線発生部
7の容器4は陽極2と管体3を一体にした構造になって
おり、金属で被われているので、機械的衝撃に極めて強
く、取扱いが容易であり、かつ管体3としてX線を遮蔽
する黒鉛等の金属を用いれば不必要な部分へのX線照射
を防止できる。■×線発生部7が小形であり、電源部1
0との接続が可捻挫の電子放出用同軸線5によりなされ
ているので、特に被検体が複雑な形状であってもどのよ
うな位置にあってもX線発生部7の容器4を必要な観測
部分に極めて容易に取付けることができる等の効果を奏
する。図面の筋単な説明 第1図は本発明装置の一実施例を示す斜視図、第2図は
その回路図、第3図は本発明における×線発生部の断面
図である。
1…・・・ターゲット、2・・・・・・陽極、3・・・
・・・管体、4・・…・容器、5・・・・・・電子放出
用同軸線、5a・…・・外部導体、5b…・・・中心導
体、6・・・・・・×線取出窓、7…・・・X線発生部
、8・・・・・・高圧パルス発生用同軸線、8a……外
部導体、8b・・・・・・中心導体、9・・・・・・直
流鰭源、10・・・・・・高圧パルス電源部、11・・
・・・・開閉手段、12…・・・電源スイッチ。
・・・管体、4・・…・容器、5・・・・・・電子放出
用同軸線、5a・…・・外部導体、5b…・・・中心導
体、6・・・・・・×線取出窓、7…・・・X線発生部
、8・・・・・・高圧パルス発生用同軸線、8a……外
部導体、8b・・・・・・中心導体、9・・・・・・直
流鰭源、10・・・・・・高圧パルス電源部、11・・
・・・・開閉手段、12…・・・電源スイッチ。
多‐Z図多2鰯
多3図
Claims (1)
- 1 ターゲツトを中心部に設けた陽極を管体内面に一体
に収設して容器を形成し、この容器の陽極に電子放出用
同軸線の外部導体を冷陰極となるこの電子放出用同軸線
の中心導体がターゲツトに対向するよう接続し、容器の
側方部にターゲツトより放出されるX線を取出すための
X線取出窓を設け、容器内にガスを封入してX線発生部
を構成すると共に、高圧パルス発生用同軸線と、この高
圧パルス発生用同軸線の外部導体と中心導体間に形成さ
れる静電容量を充電するための直流電源とより高圧パル
ス電源部を構成し、高圧パルス発生用同軸線と電子放出
用同軸線との間を開閉手段を介して接続せしめてなるパ
ルスX線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17672282A JPS6020865B2 (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | パルスx線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17672282A JPS6020865B2 (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | パルスx線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5966041A JPS5966041A (ja) | 1984-04-14 |
| JPS6020865B2 true JPS6020865B2 (ja) | 1985-05-24 |
Family
ID=16018629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17672282A Expired JPS6020865B2 (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | パルスx線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020865B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2019069686A1 (ja) * | 2017-10-05 | 2020-09-10 | 東レ株式会社 | 構造物の検査装置 |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17672282A patent/JPS6020865B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5966041A (ja) | 1984-04-14 |
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