JPS6021374A - Ｎｉ−Ｔｉ合金部材の被覆方法 - Google Patents
Ｎｉ−Ｔｉ合金部材の被覆方法Info
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- JPS6021374A JPS6021374A JP13001983A JP13001983A JPS6021374A JP S6021374 A JPS6021374 A JP S6021374A JP 13001983 A JP13001983 A JP 13001983A JP 13001983 A JP13001983 A JP 13001983A JP S6021374 A JPS6021374 A JP S6021374A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0209—Pretreatment of the material to be coated by heating
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)
- Heat Treatment Of Nonferrous Metals Or Alloys (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）技術分野
本発明は形状記憶合金部材の耐食性、生体親和性等の向
上した材料に関する。
上した材料に関する。
多くの分野で実用化のための検討が進んでいる。
即ち形状記憶合金とはある一定温度以上で稍定の形状に
ある時間保つと、その形状を記憶し、より低い温度で別
の形状に変形させても変態点以上に加熱すると記憶した
形状に戻るとの秀れた特性をもっている。この特性をよ
り有効に利用するために、形状記憶合金の耐食性、生体
との親和性等を高めるために、被覆された形状記憶合金
が考えられている。この主な製造方法として、部材に加
工した後、被覆処理し形状記憶処理する方法と、部利加
工後形状記憶処理しさらに被覆する方法があるが、いず
れも、形状記憶処理と被覆処理の２つの工程を必要とす
る。さらに前記、後者の例では、形状記憶した後、被覆
するために、被覆時の高温のために、処理中に記１１行
全消失してしまったり、寸だ形状回復に伴う発生応力が
小さく実用上、問題になる。本願発明はかかる問題点を
解決するためのものである。
ある時間保つと、その形状を記憶し、より低い温度で別
の形状に変形させても変態点以上に加熱すると記憶した
形状に戻るとの秀れた特性をもっている。この特性をよ
り有効に利用するために、形状記憶合金の耐食性、生体
との親和性等を高めるために、被覆された形状記憶合金
が考えられている。この主な製造方法として、部材に加
工した後、被覆処理し形状記憶処理する方法と、部利加
工後形状記憶処理しさらに被覆する方法があるが、いず
れも、形状記憶処理と被覆処理の２つの工程を必要とす
る。さらに前記、後者の例では、形状記憶した後、被覆
するために、被覆時の高温のために、処理中に記１１行
全消失してしまったり、寸だ形状回復に伴う発生応力が
小さく実用上、問題になる。本願発明はかかる問題点を
解決するためのものである。
る形状記憶合金の製造法において、被捷処理と形状記憶
処理を同時にすること′ｆｆ：：’Ｉ’！＋”徴とする
もので被ｒｂ層としてば、Ａｌ２Ｏ２、ＴＩＮＸＴＩＣ
タイヤモント、アバタイ（・、バイオグラス等の１種型
たは２神具−１−を被覆したものであり、その方法はＰ
ＶＤ 。
処理を同時にすること′ｆｆ：：’Ｉ’！＋”徴とする
もので被ｒｂ層としてば、Ａｌ２Ｏ２、ＴＩＮＸＴＩＣ
タイヤモント、アバタイ（・、バイオグラス等の１種型
たは２神具−１−を被覆したものであり、その方法はＰ
ＶＤ 。
ＣＶＤまたは、スパッタリング法であるとと全特徴４’
、：’する。即ち被覆処理後、高温で所望の形状に記・
］、８処理するかまたは形状記１．き処理後に被覆処理
するのが一般的である。かかる処ｊ！１１に於ては前記
し／ζ如く高温の熱処理を２回くり返す必要があり、経
済的といえないし、寸だ形状記１，０処理と被覆処理を
別々にすることによって、形状記憶処理を先にした場合
には、形状記憶効果が消失する可能性があり、また被覆
処理を先にした場合には一形状記憶処理時に被覆層の７
・クリや変質が起り得策とは言えないのである。被覆方
法としては、ＰＶＤ 。
、：’する。即ち被覆処理後、高温で所望の形状に記・
］、８処理するかまたは形状記１．き処理後に被覆処理
するのが一般的である。かかる処ｊ！１１に於ては前記
し／ζ如く高温の熱処理を２回くり返す必要があり、経
済的といえないし、寸だ形状記１，０処理と被覆処理を
別々にすることによって、形状記憶処理を先にした場合
には、形状記憶効果が消失する可能性があり、また被覆
処理を先にした場合には一形状記憶処理時に被覆層の７
・クリや変質が起り得策とは言えないのである。被覆方
法としては、ＰＶＤ 。
ＣＶＤあるいは、スパッタリング法が適当である。
いずれの方法も比較的低温の３００〜８００°Ｃで各種
の物質を被覆することが、可能であるからである。
の物質を被覆することが、可能であるからである。
被覆方法としては上記３つのどの方法でも利用可能であ
るが、その選定方法は形状記憶処理条件と被覆処理条件
との関連により決定することができる。温度が３００〜
８００’Ｃ以外になると、形状記憶処理が不可能であり
、よって不適当である。ａ ｏ ｏ ’ｃ以下では形状
を記憶しにくいｓｏｏ’ｃ以上では、回バイオグラス等
の場合は生体との親和性に富んでおり、この分野への応
用上有効であり、また、ＴｉＮＸＴｉＣ等は耐食性、装
飾性に秀れた材料である。
るが、その選定方法は形状記憶処理条件と被覆処理条件
との関連により決定することができる。温度が３００〜
８００’Ｃ以外になると、形状記憶処理が不可能であり
、よって不適当である。ａ ｏ ｏ ’ｃ以下では形状
を記憶しにくいｓｏｏ’ｃ以上では、回バイオグラス等
の場合は生体との親和性に富んでおり、この分野への応
用上有効であり、また、ＴｉＮＸＴｉＣ等は耐食性、装
飾性に秀れた材料である。
被覆層は、Ｎ１−Ｔｉ合金部材との親和性や、被覆層の
強度向上のために、前記被覆贋金多層にすることも可能
である。
強度向上のために、前記被覆贋金多層にすることも可能
である。
に）実施例
実施例１
断面形状が５Ｘ０．３ｍｍの板状の５４重−ａｔ’％Ｎ
ｉ −４５重：４８％Ｔｉ−１重箱％Ｆｅ 合金を第１
図のように鍾をつけ、直面ぐになった状態で０２雰囲気
１０ Ｔｏｒｒ。
ｉ −４５重：４８％Ｔｉ−１重箱％Ｆｅ 合金を第１
図のように鍾をつけ、直面ぐになった状態で０２雰囲気
１０ Ｔｏｒｒ。
基板温度４００℃の条件下でＡ７？２０３ヲ電イ銃にて
蒸発させ高周波プラズマを発生させ３００ｖのノくイア
ス印加によりｋ１２０３を被覆した。
蒸発させ高周波プラズマを発生させ３００ｖのノくイア
ス印加によりｋ１２０３を被覆した。
この部材は高温でも安定な絶縁特性を有する。
無負荷１Ｉ−１ｉ貞的ぐな形状を有する室温で超弾性挙
動な゛示すＲ１１材となった。
動な゛示すＲ１１材となった。
２図のように尚径２５ｍｍφのリング状に固定して、固
定点をつり具でつった状態にて、炭化水素ガスと水素ガ
スの混合比ｔ ０．１ ％圧力ｋ ２００Ｔｏｒｒ ％
合金温度ヲ６００°ＣとしてＲＦプラス゛７ （ｌ ３
．５６ ＭＨｚ ） により励起してＣｎＨ２ｎ −１
−１−＋ ｎＣ＋ （ｎ ＋４− ）Ｒ２の反応により
炭素を被覆した。
定点をつり具でつった状態にて、炭化水素ガスと水素ガ
スの混合比ｔ ０．１ ％圧力ｋ ２００Ｔｏｒｒ ％
合金温度ヲ６００°ＣとしてＲＦプラス゛７ （ｌ ３
．５６ ＭＨｚ ） により励起してＣｎＨ２ｎ −１
−１−＋ ｎＣ＋ （ｎ ＋４− ）Ｒ２の反応により
炭素を被覆した。
この部材は常温で容易に変形され、約６０°Ｃ以上の温
度に加熱すると２５ｍｍφのリング状を呈する形状記憶
効果を示し、ＨＦ 、 Ｈ２ＳＯ４，ＨＮＯ３、ＨＣ７
７におかされない形状記憶部材となった。
度に加熱すると２５ｍｍφのリング状を呈する形状記憶
効果を示し、ＨＦ 、 Ｈ２ＳＯ４，ＨＮＯ３、ＨＣ７
７におかされない形状記憶部材となった。
第１図、第２図は本発明によって得られた方法で被覆さ
れた形状記憶合金部材の１例を示す。図中の記号、Ｉは
鍾、２はツリ具、３は表面被覆された形状記憶合金を示
す。 芳１図 ７”２図 第１頁の続き ０発 明 者 横田稔 大阪市此花区島屋１丁目１番３ 号住友電気工業株式会社大阪製 作所内
れた形状記憶合金部材の１例を示す。図中の記号、Ｉは
鍾、２はツリ具、３は表面被覆された形状記憶合金を示
す。 芳１図 ７”２図 第１頁の続き ０発 明 者 横田稔 大阪市此花区島屋１丁目１番３ 号住友電気工業株式会社大阪製 作所内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （Ｉ） Ｎｉ ５Ｑ〜６０重＠、％、残部Ｔｉからなる
合金、もしくｌ’ｌ：Ｎｉｔたｌ’Ｊ Ｔ ｉの１部ｉ
ｃｕ 、 ／Ｖ ＋ Ｖ 、 Ｚｒ ＋Ｆｅ ＋ Ｃ。 等の１（小もしくは２種以−４−の元素で置きかえてな
る組成のＮｉ−Ｔｉ合金部拐を被覆する方法において、
所定の形状に拘束した状態で３００〜８００℃で熱処理
すると同時にＰＶＤ マたはＣＶＤによりセラミックを
被覆することを特徴とするＮｉ−Ｔｉ合金部材の被抜刀
法。 被抜刀法。 （３） セラミックがアルミナ、ダイヤモンド、ＴｉＣ
。 ”ｌ”ｉＮ、アパタイト、バイオグラスの１種捷たけ２
種以上であること全特徴とする特許請求の範囲第（０項
記載のＮｉ−Ｔｉ合金部材の被覆方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13001983A JPS6021374A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | Ｎｉ−Ｔｉ合金部材の被覆方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13001983A JPS6021374A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | Ｎｉ−Ｔｉ合金部材の被覆方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021374A true JPS6021374A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=15024149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13001983A Pending JPS6021374A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | Ｎｉ−Ｔｉ合金部材の被覆方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021374A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6470791A (en) * | 1987-08-10 | 1989-03-16 | Alcan Int Ltd | Modified validation structure |
-
1983
- 1983-07-16 JP JP13001983A patent/JPS6021374A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6470791A (en) * | 1987-08-10 | 1989-03-16 | Alcan Int Ltd | Modified validation structure |
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