JPS60218583A - 高温高圧炉における温度計測装置 - Google Patents
高温高圧炉における温度計測装置Info
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- JPS60218583A JPS60218583A JP7565284A JP7565284A JPS60218583A JP S60218583 A JPS60218583 A JP S60218583A JP 7565284 A JP7565284 A JP 7565284A JP 7565284 A JP7565284 A JP 7565284A JP S60218583 A JPS60218583 A JP S60218583A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B30—PRESSES
- B30B—PRESSES IN GENERAL
- B30B11/00—Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses
- B30B11/001—Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses using a flexible element, e.g. diaphragm, urged by fluid pressure; Isostatic presses
- B30B11/002—Isostatic press chambers; Press stands therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は加圧焼結炉、熱間静水圧加圧成形装置(以下、
HIP装置と略記するンなど、ガス加圧雰囲気下、20
00℃近傍の温度において使用する高温温度4測装置、
特に高温計測用熱電対の構成に関するものである。
HIP装置と略記するンなど、ガス加圧雰囲気下、20
00℃近傍の温度において使用する高温温度4測装置、
特に高温計測用熱電対の構成に関するものである。
(ロ)従来の技術
近年、窒化珪素(5i3N4)や炭化珪素(5in)な
ど非酸化物系セラミックスが高効率ガスタービンあるい
はディーゼルエンジン等に供する高強度部材として注目
され活溌な研究開発投資が行なわれており、その製造プ
ロセスの手段として例えばSi3N。
ど非酸化物系セラミックスが高効率ガスタービンあるい
はディーゼルエンジン等に供する高強度部材として注目
され活溌な研究開発投資が行なわれており、その製造プ
ロセスの手段として例えばSi3N。
ではN2雰囲気、温度1800〜2100℃、圧力10
〜100”ly/lの加圧焼結炉や、N2雰囲気、温度
1700〜1800℃、圧力1000〜2000Kg箇
のH工P装置の使用が検討されている。
〜100”ly/lの加圧焼結炉や、N2雰囲気、温度
1700〜1800℃、圧力1000〜2000Kg箇
のH工P装置の使用が検討されている。
ところで、これら加圧焼結炉あるいはH工P装置におけ
る炉内温度の測定手段としては1700℃を越える高温
度領域での使用ということから放射温度計などの光学的
測温手段の適用が好ましいが、この手段ではセンサー部
に炉室の放射光を直接導く必要があるため、例えば第8
図に示すHIP装置においては上!(21)、下蓋(2
2)を備えた圧力容器に)、更には圧力容器内壁と炉室
(23)との熱絶縁をはかる断熱層(2滲とに夫々開孔
(2η(281を設ける必要がある。
る炉内温度の測定手段としては1700℃を越える高温
度領域での使用ということから放射温度計などの光学的
測温手段の適用が好ましいが、この手段ではセンサー部
に炉室の放射光を直接導く必要があるため、例えば第8
図に示すHIP装置においては上!(21)、下蓋(2
2)を備えた圧力容器に)、更には圧力容器内壁と炉室
(23)との熱絶縁をはかる断熱層(2滲とに夫々開孔
(2η(281を設ける必要がある。
ところが、この場合、開孔(2力は圧力容器(財)の強
度低下をもたらし、さらに開孔(ハ)は内部の圧媒ガス
の循環に伴なう熱損失を招くので光学的測温手段の適用
は実質的に不可能であり、加圧焼結炉においても精々、
10に9名io程度1での適用が見らnるにすぎない。
度低下をもたらし、さらに開孔(ハ)は内部の圧媒ガス
の循環に伴なう熱損失を招くので光学的測温手段の適用
は実質的に不可能であり、加圧焼結炉においても精々、
10に9名io程度1での適用が見らnるにすぎない。
従って、いわゆる高圧ガス取締法の適用を受けル:c
o ”% 0以上の加圧焼結炉あるいはH工P装を対象
とした測温手段としては現在市販のW−Re系熱電対(
例えば米国HO3KIIs社製、φ0.5.W−Re乙
熟熱電対を適用することしか手段は残されていない。
o ”% 0以上の加圧焼結炉あるいはH工P装を対象
とした測温手段としては現在市販のW−Re系熱電対(
例えば米国HO3KIIs社製、φ0.5.W−Re乙
熟熱電対を適用することしか手段は残されていない。
そのため、前記HIF装置などにおいて、絶縁管内に上
記市販の熱電対を挿入し、これを絶縁管上端部で保持せ
しめて、これら絶級管放rに軌雷叡[を先端が閉鎖され
た保護管内に収設して圧力容器内の断熱層内部に配役す
ることが試みら社でおシ、その取付手段などに工夫が加
えられている。
記市販の熱電対を挿入し、これを絶縁管上端部で保持せ
しめて、これら絶級管放rに軌雷叡[を先端が閉鎖され
た保護管内に収設して圧力容器内の断熱層内部に配役す
ることが試みら社でおシ、その取付手段などに工夫が加
えられている。
しかしながら、上記市販のW −Re 系熱電対は通常
、線径が0.5 a程度という細径であり、これを20
00℃の温度領域をもつ2oommφ、長さ500簡の
H工P装置において適用する場合には上記熱電対が上下
両端において半拘束状態にあるため熱膨張に起因して弓
なりの状態を呈し、結局、その寿命は1回の稼動に耐え
るのがやっとという感じで、2000℃仕様のH工P装
置など高温高圧炉を工業生産に供する際の大きな障害と
なっている。
、線径が0.5 a程度という細径であり、これを20
00℃の温度領域をもつ2oommφ、長さ500簡の
H工P装置において適用する場合には上記熱電対が上下
両端において半拘束状態にあるため熱膨張に起因して弓
なりの状態を呈し、結局、その寿命は1回の稼動に耐え
るのがやっとという感じで、2000℃仕様のH工P装
置など高温高圧炉を工業生産に供する際の大きな障害と
なっている。
(ハ) 発明が解決しようとする問題点即ち、本発明は
上述の如き実状に対処し、W −Re系熱電対の寿命の
低下を阻止し、かつ熱膨張に起因する破損を防止して高
温高圧炉の測温手段の効率化ならびにその工業生産上の
障害を除去することを課題とし、熱電対構成因子である
線径と、その支持態様に着目してその解決をはかること
を目的とするものである。
上述の如き実状に対処し、W −Re系熱電対の寿命の
低下を阻止し、かつ熱膨張に起因する破損を防止して高
温高圧炉の測温手段の効率化ならびにその工業生産上の
障害を除去することを課題とし、熱電対構成因子である
線径と、その支持態様に着目してその解決をはかること
を目的とするものである。
に) 問題点を解決するための手段
しかして上記目的に適合する本発明の特徴とするところ
は、保護管内に挿入孔をもつ絶縁管を収設し、該絶縁管
内に熱電対線全挿入して絶縁管上端部で前記熱電対線を
鉛直下方に保持せしめた前記高温高圧炉における温度計
測装置において、前記熱電対線を大径のプラス側及びマ
イナス側ロッド部材となし、かつ絶縁管の各対応する熱
電対ロッド部材挿入孔を前記各ロッド部4′A径に比し
大径ならしめ、少くとも高温領域において各ロッド部材
と絶縁管の各ロッド部材挿入孔との間に間’mf:存せ
しめて各ロッド部材を殆んど非接触状態で絶縁管の挿入
孔内に同心的に懸垂保持せしめた点にある。
は、保護管内に挿入孔をもつ絶縁管を収設し、該絶縁管
内に熱電対線全挿入して絶縁管上端部で前記熱電対線を
鉛直下方に保持せしめた前記高温高圧炉における温度計
測装置において、前記熱電対線を大径のプラス側及びマ
イナス側ロッド部材となし、かつ絶縁管の各対応する熱
電対ロッド部材挿入孔を前記各ロッド部4′A径に比し
大径ならしめ、少くとも高温領域において各ロッド部材
と絶縁管の各ロッド部材挿入孔との間に間’mf:存せ
しめて各ロッド部材を殆んど非接触状態で絶縁管の挿入
孔内に同心的に懸垂保持せしめた点にある。
ここで、熱電対は通常、W又は/及びW −Re系材料
で構成されるものであり、又、絶縁管は通常BN材料か
らなる。
で構成されるものであり、又、絶縁管は通常BN材料か
らなる。
そして、熱電対の要部をなすロッド部材は従前の熱電対
線に比し、遥かに剛性の大なる太い径を有し、プラス側
、マイナス側ともに3爺以上である。
線に比し、遥かに剛性の大なる太い径を有し、プラス側
、マイナス側ともに3爺以上である。
これら両ロンド部材は両端部にねじ加工が施され、ロッ
ド部材締結ボタンにねじ込まれるか、し1りばめその他
の機械的手段又は溶接によって結合されて熱電対として
構成される。
ド部材締結ボタンにねじ込まれるか、し1りばめその他
の機械的手段又は溶接によって結合されて熱電対として
構成される。
この場合、ロッド部材締結ボタンの材質としては熱電対
ロッド部材のプラス側、マイナス側を構成する材料の何
れでもよいが、ねじ加工及び強度上の観点からはより延
性を有するマイナス側の材料を用いることが好捷しい。
ロッド部材のプラス側、マイナス側を構成する材料の何
れでもよいが、ねじ加工及び強度上の観点からはより延
性を有するマイナス側の材料を用いることが好捷しい。
しかし、勿論、プラス側、マイナス側以外の材料を使用
しても熱電対としての構成が可能であることは明らかで
あり、両者の中間組成の材料を使用しても差支えない。
しても熱電対としての構成が可能であることは明らかで
あり、両者の中間組成の材料を使用しても差支えない。
なお、ロッド部材と、前記締結ボタンとのねじ結合をよ
シ強固にするため、増締用ナツトを使用することもあり
、この場合、該ナツトはプラス側はプラス側材料、マイ
ナス側はマイナス側材料で製作するのが材料の熱膨張係
数の差にもとづくゆるみ等を防止し熱起電力を安定的に
発生させる上から好適である。
シ強固にするため、増締用ナツトを使用することもあり
、この場合、該ナツトはプラス側はプラス側材料、マイ
ナス側はマイナス側材料で製作するのが材料の熱膨張係
数の差にもとづくゆるみ等を防止し熱起電力を安定的に
発生させる上から好適である。
以上のような構成からなる熱電対は夫々、プラス側、マ
イナス側971部材を挿入する2つの挿入孔を有する絶
縁管に装着され、各ロッド部材が絶縁管の上端部よシそ
の挿入孔内に鉛直下方に懸垂保持されるが、この絶縁管
は長尺の1本の管体で構成することも可能であるが、任
意の長さに調整可能ならしめる点から短尺の管体を複数
個用い、多段に積み重ね構成することが好捷しく、通常
はかかる多段積み重ねによる絶縁管が用いられる。
イナス側971部材を挿入する2つの挿入孔を有する絶
縁管に装着され、各ロッド部材が絶縁管の上端部よシそ
の挿入孔内に鉛直下方に懸垂保持されるが、この絶縁管
は長尺の1本の管体で構成することも可能であるが、任
意の長さに調整可能ならしめる点から短尺の管体を複数
個用い、多段に積み重ね構成することが好捷しく、通常
はかかる多段積み重ねによる絶縁管が用いられる。
この場合、前記各短尺の管体の同心配置全確実ならしめ
ることが必要であり5.そのため、前記ロッド部材挿入
孔とは別に2つの貫通孔を設け、この貫通孔に軸線方向
全長にわたり棒材全通してロッド部材挿入孔が全長にわ
たり軸線方向に同心となるようにすることが好適である
。このとき使用する棒材としては2000℃での耐性を
考慮して熱電対のロッド部材と同様、W又は/及びW
−Re系材料とすることが望ましい。
ることが必要であり5.そのため、前記ロッド部材挿入
孔とは別に2つの貫通孔を設け、この貫通孔に軸線方向
全長にわたり棒材全通してロッド部材挿入孔が全長にわ
たり軸線方向に同心となるようにすることが好適である
。このとき使用する棒材としては2000℃での耐性を
考慮して熱電対のロッド部材と同様、W又は/及びW
−Re系材料とすることが望ましい。
更に上記の外、前記挿入孔の同心配置と兼ねて熱電対の
起電力特性を市販検定情熱電対、例えば米国HO5KI
NS社製品により検定可能な如く絶縁管を構成してもよ
い。
起電力特性を市販検定情熱電対、例えば米国HO5KI
NS社製品により検定可能な如く絶縁管を構成してもよ
い。
なお、以上の絶縁管の材質としては2000℃レベルで
の耐性、加工性ならびにコストの観点から前述の如(B
Ni使用することが好適であるが、熱電対ユニットの下
方、温度が1800’C以下の領域ではAL203を使
用することも可能である。
の耐性、加工性ならびにコストの観点から前述の如(B
Ni使用することが好適であるが、熱電対ユニットの下
方、温度が1800’C以下の領域ではAL203を使
用することも可能である。
かくして、以上の絶縁管中にその上端部で!′ヒ垂保持
された熱電対ロッド部材を含む熱電対に対し一端部を閉
じた保護管を被せて炉室内に鉛直に設置することにより
終局的に目的とする本発明における高温計測用熱電対ユ
ニットが構成される。
された熱電対ロッド部材を含む熱電対に対し一端部を閉
じた保護管を被せて炉室内に鉛直に設置することにより
終局的に目的とする本発明における高温計測用熱電対ユ
ニットが構成される。
この場合、保護管の材質としては、絶縁管と同様、20
00℃レベルでの耐性、加工性及びコストの観点からB
Nが好ましいものとして使用される。
00℃レベルでの耐性、加工性及びコストの観点からB
Nが好ましいものとして使用される。
なお、上記の如く構成された熱電対ユニットは高温高圧
炉の炉内に使用されるが、このとき、前記H工P装置の
炉室内下方の断熱の役目を果たす試料設置台の上端部位
置より下方の領域に位置する少くとも1つの絶縁管の熱
電対ロッド部材挿入孔を熱電対ロッド部材と略同径とす
ることにより剛性を有する熱電対ロンド部拐と絶縁管と
の接触は高温炉室領域においては絶縁管上端部のみとな
り、絶縁管材質の高温下での電気絶縁性の低下にもとづ
くシャントエラーを回避する上で好適となる。
炉の炉内に使用されるが、このとき、前記H工P装置の
炉室内下方の断熱の役目を果たす試料設置台の上端部位
置より下方の領域に位置する少くとも1つの絶縁管の熱
電対ロッド部材挿入孔を熱電対ロッド部材と略同径とす
ることにより剛性を有する熱電対ロンド部拐と絶縁管と
の接触は高温炉室領域においては絶縁管上端部のみとな
り、絶縁管材質の高温下での電気絶縁性の低下にもとづ
くシャントエラーを回避する上で好適となる。
しかし、何扛にしても、絶縁管上端部では熱電対ロッド
部材締結用ボタンを介して熱電対ロッド部材は懸垂保持
されているため、熱′電対ロンド部材と絶縁管とは接触
が起っていることは間違いなく、従って、最上部絶縁管
の上端挿入孔部を細径としても同様の効果を発揮させる
ことが出来ることは勿論であり、とにかく、シャントエ
ラーの発生を防止する上から非接触とすることが好まし
い。
部材締結用ボタンを介して熱電対ロッド部材は懸垂保持
されているため、熱′電対ロンド部材と絶縁管とは接触
が起っていることは間違いなく、従って、最上部絶縁管
の上端挿入孔部を細径としても同様の効果を発揮させる
ことが出来ることは勿論であり、とにかく、シャントエ
ラーの発生を防止する上から非接触とすることが好まし
い。
その他、大部分の個所では接触が起っていないわけで、
かかる意味では殆んど非接触状態にあるといえる。
かかる意味では殆んど非接触状態にあるといえる。
更に、熱電対ロッド部材と絶縁管が高温下で接触すれば
、ENが分解し熱電対ロッド部材中にBが拡散滲透して
長期的に見扛ば熱起電力の低下を来たすので、これを改
善する手段として絶縁管の最上部に前記締結用ボタンと
の間に絶縁管とは異種物質の、例えば2つの孔を有する
スペーサを介装することが好ましい手段として適用され
る。このスペーサはその量が僅かであることから加工性
。
、ENが分解し熱電対ロッド部材中にBが拡散滲透して
長期的に見扛ば熱起電力の低下を来たすので、これを改
善する手段として絶縁管の最上部に前記締結用ボタンと
の間に絶縁管とは異種物質の、例えば2つの孔を有する
スペーサを介装することが好ましい手段として適用され
る。このスペーサはその量が僅かであることから加工性
。
コストなどを比較的無視でき、性能最優先での材質選定
が可能であるところから、例えば電気絶縁はすぐれてい
るが、毒性の問題のあるBed、放射性が問題となるT
h、Q2.その他コスト面で高価となるHfO2,Y2
O3の使用も可能である。
が可能であるところから、例えば電気絶縁はすぐれてい
るが、毒性の問題のあるBed、放射性が問題となるT
h、Q2.その他コスト面で高価となるHfO2,Y2
O3の使用も可能である。
なお、熱電対ロッド部材とBN絶縁管とが大部分の高温
度領域において非接触に保たれる前記構成は、前記シャ
ントエラー発生の観点のみならず上述の測温精度向上の
観点からも好ましいことはいうまでもない。
度領域において非接触に保たれる前記構成は、前記シャ
ントエラー発生の観点のみならず上述の測温精度向上の
観点からも好ましいことはいうまでもない。
(ホ)実施例
以下、更に添付図面にもとづき本発明の詳細な説明する
。
。
第1図は本発明装置の要部を構成する熱電対ユニットの
1例を示し、(T)は熱電対ユニット、(1)はねじ締
結構造で構成された熱電対、(2)は熱電対のプラス側
ロンド部材、(3)は同じく熱電対のマイナス側ロッド
部材であり、これら両部+J(2) (3)はその両端
部にねじ加工が施され、第1図(ロ)に示す如くロッド
部材挿入孔(+a) (135を有する絶縁管(11)
の前記挿入孔α3) (13)の内部に挿入されて絶−
管(11)上端部においてロッド部材(2)(3)をね
じ込むべく2個所に雌ねじ加工が施された締結用ボタン
(4)に上部ねじ部がねじ込まれ、更にねじ結合をより
強固にする増締用ナツ) (5) (6)で締め付けら
れて第2図図示の如き短尺管体が多段に積み重ねられた
絶縁管0υの上端部より鉛直下方に懸吊保持さtて熱電
対(1)を形成し、下方へ突出したロンド部拐下端部が
同じく前記ナラ) (5) (6)と同一材料、同一形
状で製作さ扛たナラ) (7) (8)によって温度記
録計(図示せず)等への接続を容易ならしめるリード線
(9)α0)に接続されている。そして、前記熱電対(
])の外面は保護管(I2)によって被覆保護されてい
る。
1例を示し、(T)は熱電対ユニット、(1)はねじ締
結構造で構成された熱電対、(2)は熱電対のプラス側
ロンド部材、(3)は同じく熱電対のマイナス側ロッド
部材であり、これら両部+J(2) (3)はその両端
部にねじ加工が施され、第1図(ロ)に示す如くロッド
部材挿入孔(+a) (135を有する絶縁管(11)
の前記挿入孔α3) (13)の内部に挿入されて絶−
管(11)上端部においてロッド部材(2)(3)をね
じ込むべく2個所に雌ねじ加工が施された締結用ボタン
(4)に上部ねじ部がねじ込まれ、更にねじ結合をより
強固にする増締用ナツ) (5) (6)で締め付けら
れて第2図図示の如き短尺管体が多段に積み重ねられた
絶縁管0υの上端部より鉛直下方に懸吊保持さtて熱電
対(1)を形成し、下方へ突出したロンド部拐下端部が
同じく前記ナラ) (5) (6)と同一材料、同一形
状で製作さ扛たナラ) (7) (8)によって温度記
録計(図示せず)等への接続を容易ならしめるリード線
(9)α0)に接続されている。そして、前記熱電対(
])の外面は保護管(I2)によって被覆保護されてい
る。
上記構成においてロッド部材(2) (3)はその材質
として、プラス側ロッド部材はW及びW −Re糸材料
例えばW−3%Re 、 W −5%Reなどで、一方
、マイナス側、ロッド部材(3)はプラス側材料のW及
びW−5%Reに対応してW−26%Re 、 W −
3%Reに対応してW−25%Rθ材料などが使用され
、ロンド径は剛性の確保、ねじ加工、特に嵌合する雌ね
じ加工を容易にすること、工業装置に適用した場合の期
待寿命の観点から3爺以上となっている。
として、プラス側ロッド部材はW及びW −Re糸材料
例えばW−3%Re 、 W −5%Reなどで、一方
、マイナス側、ロッド部材(3)はプラス側材料のW及
びW−5%Reに対応してW−26%Re 、 W −
3%Reに対応してW−25%Rθ材料などが使用され
、ロンド径は剛性の確保、ねじ加工、特に嵌合する雌ね
じ加工を容易にすること、工業装置に適用した場合の期
待寿命の観点から3爺以上となっている。
又、ロンド部拐をねじ込む前記締結用ボタン(4)は第
1図(ロ)に示す如く2個所に雌ねじ加工が施されてお
り、通常、前記プラス側又はマイナス側ロンド部材を構
成する材料もしくは両者の中間組成の材料からなり、ナ
ラ) (5) (6) (7) (&)はプラス側はプ
ラス側ロッド部材(2)の材料、マイナス側はマイナス
側ロッド部材(3)の材料と同一材料からなるO更に前
記大径のロンド部材(2) (3)から温度記録計等へ
の接続を容易ならしめるためのリード線(9) (10
)としては、例えば市販のHOSKINS社製0.5φ
W −Re用補償導線が用いられる。
1図(ロ)に示す如く2個所に雌ねじ加工が施されてお
り、通常、前記プラス側又はマイナス側ロンド部材を構
成する材料もしくは両者の中間組成の材料からなり、ナ
ラ) (5) (6) (7) (&)はプラス側はプ
ラス側ロッド部材(2)の材料、マイナス側はマイナス
側ロッド部材(3)の材料と同一材料からなるO更に前
記大径のロンド部材(2) (3)から温度記録計等へ
の接続を容易ならしめるためのリード線(9) (10
)としては、例えば市販のHOSKINS社製0.5φ
W −Re用補償導線が用いられる。
なお、絶縁管(11)は前記ロッド部材(2) (3)
に比し、その挿入孔径が大径であると共に、第1図(イ
)、第2図図示の如く短尺の管体が多段に積み重ねられ
ることによって構成されてなり、この場合、各管体のロ
ッド部材挿入孔(1a) (ta)が夫々軸線方向に同
心的に積み重ねら゛れることか肝要である。
に比し、その挿入孔径が大径であると共に、第1図(イ
)、第2図図示の如く短尺の管体が多段に積み重ねられ
ることによって構成されてなり、この場合、各管体のロ
ッド部材挿入孔(1a) (ta)が夫々軸線方向に同
心的に積み重ねら゛れることか肝要である。
絶縁管材質としては、2000℃レベルでは、BNが使
用されるが、1800℃以下の領域ではA403e使用
することも可能である。
用されるが、1800℃以下の領域ではA403e使用
することも可能である。
第3図乃至第5図はかかる同心配置を容易に確保するた
めの各構成例であり、第3図においては前記ロッド部材
挿入孔α3)(踊の外に、それとは別個に2つの貫通孔
θ→α5)を設け、この貫通孔04) (15)に軸線
方向全長にわたり、熱電対のロッド部材(2) (3)
と同じくW又は/及びW−Re系材料からなる棒材を通
すようにしている。一方、第4図及び第5図ではロッド
部材挿入孔α萄りの同心配置と兼ねて市販の検定情熱電
対によシ検定可能な如く絶縁管α1)全構成している。
めの各構成例であり、第3図においては前記ロッド部材
挿入孔α3)(踊の外に、それとは別個に2つの貫通孔
θ→α5)を設け、この貫通孔04) (15)に軸線
方向全長にわたり、熱電対のロッド部材(2) (3)
と同じくW又は/及びW−Re系材料からなる棒材を通
すようにしている。一方、第4図及び第5図ではロッド
部材挿入孔α萄りの同心配置と兼ねて市販の検定情熱電
対によシ検定可能な如く絶縁管α1)全構成している。
即ち、図中、(17) (18)はそれら検定済熱電対
線の挿入孔であり、(19)は最上部絶縁管に設けた座
ぐり部で検定情熱電対(T’lの先端部を収納せしめて
いる。
線の挿入孔であり、(19)は最上部絶縁管に設けた座
ぐり部で検定情熱電対(T’lの先端部を収納せしめて
いる。
第6図は本発明における熱電対の他の実施例を示し、そ
の基本的構成は前述したところと同様で、同一符号をも
って同一部分を示しているが、本例にあっては絶縁管(
11)の最上部に締結用ボタン(4)との間に絶縁管0
1)とは異種材質の、例えば2つの孔を有するスペーサ
(10)ff:挿入し、熱電対と絶縁管との接触による
高温下での長期的な熱起電力の低下を防止し、測温精度
をよシ改善せしめている。
の基本的構成は前述したところと同様で、同一符号をも
って同一部分を示しているが、本例にあっては絶縁管(
11)の最上部に締結用ボタン(4)との間に絶縁管0
1)とは異種材質の、例えば2つの孔を有するスペーサ
(10)ff:挿入し、熱電対と絶縁管との接触による
高温下での長期的な熱起電力の低下を防止し、測温精度
をよシ改善せしめている。
本発明の要部を構成する熱雷対ユニットの構成は叙上の
如くであり、これを高温高圧炉の炉内に設置する場合は
例えば第7図に図示するHIP装置では断熱層(24+
内方の加熱装置(26)内側に支持部材によって装着さ
れる。
如くであり、これを高温高圧炉の炉内に設置する場合は
例えば第7図に図示するHIP装置では断熱層(24+
内方の加熱装置(26)内側に支持部材によって装着さ
れる。
このとき、ロッド部材(2) <3)は絶縁管(11)
のロッド部材挿入孔α3) oa)内に上端部で支持さ
れて懸垂保持されるが、挿入孔(向鋤の径がロッド部材
(2) (8)の径よシ大径であるため両者の間には間
隙が存し、第1図の熱電対の場合に上部の(B)点にお
いて熱電対ロッド部材(2) (3)と絶縁管(U)と
が接触するだけで、他は殆んど接触が起らず、非接触状
態に維持される。(第7図(ロ)上部参照) 即ち、炉室(23)下方の断熱の役目を果たす試料設置
3a ) (13a’)をロッド部材(2) (3)と
略同径とすること−によシ(第7図(ロ)下部参照)両
者接触しても剛性を有する熱電対ロッド部材(2) (
3)と絶縁管α1)(lla)との接触は熱電対ロッド
部材挿入孔(13) (135が同心であるために高温
炉室領域では第1図(B)点のみとなり絶縁管材質の高
温下での電気絶縁性の低下にもとづくシャントエラーを
回避することができる。
のロッド部材挿入孔α3) oa)内に上端部で支持さ
れて懸垂保持されるが、挿入孔(向鋤の径がロッド部材
(2) (8)の径よシ大径であるため両者の間には間
隙が存し、第1図の熱電対の場合に上部の(B)点にお
いて熱電対ロッド部材(2) (3)と絶縁管(U)と
が接触するだけで、他は殆んど接触が起らず、非接触状
態に維持される。(第7図(ロ)上部参照) 即ち、炉室(23)下方の断熱の役目を果たす試料設置
3a ) (13a’)をロッド部材(2) (3)と
略同径とすること−によシ(第7図(ロ)下部参照)両
者接触しても剛性を有する熱電対ロッド部材(2) (
3)と絶縁管α1)(lla)との接触は熱電対ロッド
部材挿入孔(13) (135が同心であるために高温
炉室領域では第1図(B)点のみとなり絶縁管材質の高
温下での電気絶縁性の低下にもとづくシャントエラーを
回避することができる。
なお、上記細径挿入孔(13a ) (13s: )を
有する絶縁管(lla)の配置温度領域としてはW−R
e系熱電対とBN絶縁管との組合せにおいては、BN絶
縁管の高温下での電気絶縁性が1600℃を境として急
速に低下してゆくことから、これを考慮し16oo℃以
下とすることが好ましい。
有する絶縁管(lla)の配置温度領域としてはW−R
e系熱電対とBN絶縁管との組合せにおいては、BN絶
縁管の高温下での電気絶縁性が1600℃を境として急
速に低下してゆくことから、これを考慮し16oo℃以
下とすることが好ましい。
しかし、上記の如く第1図(B)点において熱電対ロッ
ド部材と絶縁管の接触が起っても充分、本発明の所期の
目的が達成されることからして、最上部絶縁管の上記(
B)点部分挿入孔部を細径としてもシャントエラーの発
生を防止する上から非接触とすることが好寸しい。最上
部以外の領域では接触が起らない以」二、充分、所期の
効果を期待することができる。
ド部材と絶縁管の接触が起っても充分、本発明の所期の
目的が達成されることからして、最上部絶縁管の上記(
B)点部分挿入孔部を細径としてもシャントエラーの発
生を防止する上から非接触とすることが好寸しい。最上
部以外の領域では接触が起らない以」二、充分、所期の
効果を期待することができる。
次に、前記本発明測温装置を用いて実際にテストした状
況を述べる。
況を述べる。
(テスト例1)
熱電対線としてロッド径3 m 、長さ800=のW−
5%Re及びW−26%Reロッド部材を試作し、両端
部にM3X0.5のねじ加工を施した。又、締結用ボタ
ンとしてW−26%Rθ、ナツトとしてW−5%Re、
W −26%ReOものを熱電対ロッド部材製作材料と
同一ロッドにて試作した。
5%Re及びW−26%Reロッド部材を試作し、両端
部にM3X0.5のねじ加工を施した。又、締結用ボタ
ンとしてW−26%Rθ、ナツトとしてW−5%Re、
W −26%ReOものを熱電対ロッド部材製作材料と
同一ロッドにて試作した。
一方、絶縁管として、外径12咽、長さ50無のBNを
試作し、ロッド部材挿入孔径を4謹とした。又、ロッド
部材挿入孔とは別個に2.2mの貫通孔を2個所に設け
、外径2耶のW棒材を全長にわたり挿入し、ロッド部材
挿入孔の同心をとった。
試作し、ロッド部材挿入孔径を4謹とした。又、ロッド
部材挿入孔とは別個に2.2mの貫通孔を2個所に設け
、外径2耶のW棒材を全長にわたり挿入し、ロッド部材
挿入孔の同心をとった。
更に炉室温度を2000℃としたHIP装置の1600
℃以下の温度領域に位置する絶縁管のロッド部材挿入孔
径を3.2閣とした。
℃以下の温度領域に位置する絶縁管のロッド部材挿入孔
径を3.2閣とした。
かくして、以上の構成から熱電対のロッド部材と絶縁管
との炉室部分での接触は第1図(B)点に限定された。
との炉室部分での接触は第1図(B)点に限定された。
以上の熱電対ロンド部材、絶縁管の組合せに対し、BN
保護管をかぶせて熱電対ユニットをh”1ソ成し、A
r l OO、0K94 X 2000℃X1hrの繰
り返し耐久試験を実施した。
保護管をかぶせて熱電対ユニットをh”1ソ成し、A
r l OO、0K94 X 2000℃X1hrの繰
り返し耐久試験を実施した。
この際、同時に比較のためHO3KINS社製o、!5
t+o++φ、W−Rθ%6熱電対、同1.omφ、W
Re 4熱電対及び上記本発明におけると同様な組成
で特に絶縁管との接触に配慮を払わない構成を対照品と
して同様テストを実施した。
t+o++φ、W−Rθ%6熱電対、同1.omφ、W
Re 4熱電対及び上記本発明におけると同様な組成
で特に絶縁管との接触に配慮を払わない構成を対照品と
して同様テストを実施した。
その結果、0.5■φ熱電対の寿命は最高1サイクル、
1.omφ熱電対の寿命は2〜3サイクルであったのに
対し、試作熱電対は絶縁管との接触に配慮を払わない場
合においても精度保証±1.0%の範囲で最低10サイ
クルの寿命を確保でき、特に配慮を払った本発明例の場
合には上記の場合より1.5倍以上の寿命向上が認めら
れた。
1.omφ熱電対の寿命は2〜3サイクルであったのに
対し、試作熱電対は絶縁管との接触に配慮を払わない場
合においても精度保証±1.0%の範囲で最低10サイ
クルの寿命を確保でき、特に配慮を払った本発明例の場
合には上記の場合より1.5倍以上の寿命向上が認めら
れた。
(テスト例2)
次に、上記の構成に、さらに最上部絶縁管と締結用ボタ
ンとの間にスペーサとしてBeO、Th02゜HfO2
,Y2O3を使用し耐久試験を実施した。
ンとの間にスペーサとしてBeO、Th02゜HfO2
,Y2O3を使用し耐久試験を実施した。
この結果は、上記側れの組み合わせにおいてもAr l
OOOK% X 2000℃X1hrX20サイクル
テスト後の熱電対起電力の2000℃に於る低下量を、
スペーサを使用しない場合に比して平均18%改善する
ことが出来た。
OOOK% X 2000℃X1hrX20サイクル
テスト後の熱電対起電力の2000℃に於る低下量を、
スペーサを使用しない場合に比して平均18%改善する
ことが出来た。
(へ) 発明の効果
本発明は以上の如く高温高圧炉における温度計測装置に
おいて、熱電対線を太径のロッド部材となし、かつ絶縁
管のロッド部材挿入孔を前記ロッド部材より更に大径と
して各ロッド部材を絶縁管のロッド部材挿入孔内に絶縁
管と殆んど接触させることなく懸垂保持せしめたもので
あり、太径の熱電対ロッド部材の使用によシ熱電対線の
結晶粒の粗大化にもとづく断線までの寿命の長期化をも
たらし、かつ雰囲気中の不純物ガス成分による汚染に対
する耐性が増し、著しい寿命の向上が可能となシ、熱電
対交換頻度を減少して高温高圧下の測温装置としての実
効を増大させH工P装置など高温高圧炉の工業生産を容
易ならしめる顕著な効果を有すると共に、高温領域下に
おける熱電対ロッド部材と絶縁管との接触部が極めて(
it、′Lかで最]二端部に限定されているため、高温
下の絶縁管の電気絶縁性の低下にもとづくシャントエラ
ー発生を抑止できるばかりでなく、BNの分解にょるB
Nの拡散滲透にもとづく熱起電力の低下をも抑止出来、
極めて実質的かつ精度の高い測flik可能とする。
おいて、熱電対線を太径のロッド部材となし、かつ絶縁
管のロッド部材挿入孔を前記ロッド部材より更に大径と
して各ロッド部材を絶縁管のロッド部材挿入孔内に絶縁
管と殆んど接触させることなく懸垂保持せしめたもので
あり、太径の熱電対ロッド部材の使用によシ熱電対線の
結晶粒の粗大化にもとづく断線までの寿命の長期化をも
たらし、かつ雰囲気中の不純物ガス成分による汚染に対
する耐性が増し、著しい寿命の向上が可能となシ、熱電
対交換頻度を減少して高温高圧下の測温装置としての実
効を増大させH工P装置など高温高圧炉の工業生産を容
易ならしめる顕著な効果を有すると共に、高温領域下に
おける熱電対ロッド部材と絶縁管との接触部が極めて(
it、′Lかで最]二端部に限定されているため、高温
下の絶縁管の電気絶縁性の低下にもとづくシャントエラ
ー発生を抑止できるばかりでなく、BNの分解にょるB
Nの拡散滲透にもとづく熱起電力の低下をも抑止出来、
極めて実質的かつ精度の高い測flik可能とする。
しかも、又、本発明においては熱電対ロッド部材が絶縁
管上端部より懸垂保持されていて、下方は自由状態とな
っており、かつ前記の如くロッド部材と絶縁管との接触
が殆んどないので、個々のロッド部材の熱膨張による伸
びを下方に吸収でき同種の熱電対において屡々見受けら
れる熱膨張による破損を招くこともない。
管上端部より懸垂保持されていて、下方は自由状態とな
っており、かつ前記の如くロッド部材と絶縁管との接触
が殆んどないので、個々のロッド部材の熱膨張による伸
びを下方に吸収でき同種の熱電対において屡々見受けら
れる熱膨張による破損を招くこともない。
なお、絶縁管、保護管としてBNを多用し、又、EeO
、Th02 、 HfO2、Y2O3を用いたスペーサ
を介装することにより高温下での熱起電力の精度向上に
極めて有効な、かつ低コストの熱電対の構成を可能なら
しめる利点も期待できる。
、Th02 、 HfO2、Y2O3を用いたスペーサ
を介装することにより高温下での熱起電力の精度向上に
極めて有効な、かつ低コストの熱電対の構成を可能なら
しめる利点も期待できる。
第1図(イ)は本発明装置に用いる熱電対ユニットの1
例を示す一部省略断面図、第1図(ロ)は前記(イ)の
X−X矢視図、第2図は第1図(イ)の絶縁管とロッド
部材との挿入態様を示す部分拡大説明図、第3図(イ)
(ロ)は絶縁管の上面図及び(イ)のY−Y断面一部寄
略図、第4図(イ)(ロ)及び第5図(イ)(ロ)は絶
縁管の挿入孔を同心とするための他の各構成例で(イ)
は上面図、(ロ)は(イ)矢視縦断面図である。又第6
図は本発明に使用する熱電対ユニットの他の実施例を示
す一部省略断面図、第7図(イ)(ロ)はHIP装置に
おける熱電対の配置態様を示す断面図、及び熱電対の上
部、下部の拡大図、第8図は従来の測温手段を適用する
H工P装置の断面概要図である。 (T)・・・・・・熱電対ユニッ)、(1)・・・・・
・・熱電対。 (2)・・・・・・プラス側ロンド部拐。 (3)・・・・・・マイナス側ロッド部材。 (4)・・・・・・・ロッド部材締結用ボタン。 (5) (6)・・・上部のナラ) 、(7)(8)・
・・・・・・下部のナツト。 (9)α0)・・・・リード線、(11)・・・・・・
・絶縁管。 (2)・・・・・・・保護管。 (1a)(ta5 (13a)(13a’)・・−oラ
ド部材挿入孔。 (1→α5)・・・貫通孔、06)・・−・・・・スペ
ーサ。 α7)(2))・・・貫通孔、(20)・・・・・・・
圧力容器。 (23)・・・・・・・炉室。 躬2図 (イ) (ロ) コY y 」 第7図 (イ) 第8図 f 2
例を示す一部省略断面図、第1図(ロ)は前記(イ)の
X−X矢視図、第2図は第1図(イ)の絶縁管とロッド
部材との挿入態様を示す部分拡大説明図、第3図(イ)
(ロ)は絶縁管の上面図及び(イ)のY−Y断面一部寄
略図、第4図(イ)(ロ)及び第5図(イ)(ロ)は絶
縁管の挿入孔を同心とするための他の各構成例で(イ)
は上面図、(ロ)は(イ)矢視縦断面図である。又第6
図は本発明に使用する熱電対ユニットの他の実施例を示
す一部省略断面図、第7図(イ)(ロ)はHIP装置に
おける熱電対の配置態様を示す断面図、及び熱電対の上
部、下部の拡大図、第8図は従来の測温手段を適用する
H工P装置の断面概要図である。 (T)・・・・・・熱電対ユニッ)、(1)・・・・・
・・熱電対。 (2)・・・・・・プラス側ロンド部拐。 (3)・・・・・・マイナス側ロッド部材。 (4)・・・・・・・ロッド部材締結用ボタン。 (5) (6)・・・上部のナラ) 、(7)(8)・
・・・・・・下部のナツト。 (9)α0)・・・・リード線、(11)・・・・・・
・絶縁管。 (2)・・・・・・・保護管。 (1a)(ta5 (13a)(13a’)・・−oラ
ド部材挿入孔。 (1→α5)・・・貫通孔、06)・・−・・・・スペ
ーサ。 α7)(2))・・・貫通孔、(20)・・・・・・・
圧力容器。 (23)・・・・・・・炉室。 躬2図 (イ) (ロ) コY y 」 第7図 (イ) 第8図 f 2
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 保護管内に挿入孔をもつ絶縁管を収設し、該絶縁
管内に熱電対線を挿入して絶縁管上端部で前記熱電対線
を鉛直下方に保持せしめた高温高圧炉における温度計測
装置において、1)′J記熱′市対線を大径のプラス側
及びマイナス側面ロンド部4′Aとなし、かつ絶縁管の
各対応する熱電対ロンド部4J挿入孔の孔径を前記各ロ
ッド部材の径に比し犬ならしめ少くとも高温領域におい
て各ロンド部利と絶縁管の各ロッド部材挿入孔との間に
間隙を存せしめて各ロッド部材を殆んど非接触状態で絶
縁管の挿入孔内に懸垂保持せしめたことを特徴とする高
温高圧炉における温度計測装置。 2 下部低温領域において、少なくとも1つの絶縁管の
熱電対ロッド部材挿入孔径をロッド部材径と略同径とな
した特許請求の範囲第1項記載の高温高圧炉における温
度計測装置。 8 熱電対をW又は/及びW−Re系材料で構成し、絶
縁管を少くとも高温領域部ばBNで構成せしめた特許請
求の範囲第1項又は第2項記載の高温高圧炉における温
度計測装置。 4 熱電対のロッド部材の径が3咽以上である特許請求
の範囲第1項、第2項又は第3項記載の高温高圧炉にお
ける温度計測装置。 5、 絶縁管が複数の短尺絶縁管を多段に積み重ね構成
さtている特81:請求の範囲第1項、第2項。 第8項又は第41項記載の高温高圧炉における温度計測
装置。 6、 多段に積み重ねた短尺絶縁管を同心的に保持する
手段が絶縁管に熱電対ロッド部材挿入孔とともに設けら
れた2つの貫通孔と、該貫通孔に挿入された棒材である
特許請求の範囲第5項記載の高温高圧炉における温度計
測装置。 7、 棒材の材質がW又は/及びW−Re糸材料である
特許請求の範囲第6項記載の高温高圧炉における温度計
測装置。 8、 多段に積み重ねた複数個の短尺絶縁管を軸線方向
に同心的に保持する手段が絶縁管に熱電対口ラド部材挿
入孔とともに設けられた2つの貫通孔と、該貫通孔に挿
入された熱電対ロンド部材検定用の熱起電力特性が既知
なる熱電対線である特許請求の範囲第5項記載の高温高
圧炉における温度計測装置。 9、 熱電対が絶縁管上端部にそのロンド部材締結用ボ
タンを当接させることにより懸垂保持されている特許請
求の範囲第1〜8項の何れかの項に記載の高温高圧炉に
おける温度ま1測装置。 10、熱電対が絶縁管上端部に、絶縁管上部と、熱電対
のロンド部材締結ボタンとのff1Jに絶縁管とは異種
材質のスペーサを介して懸垂保持されている特許請求の
範囲第1〜8項の何れかの項に記載の高温高圧炉におけ
る温度計測装置。 11、スペーサの材質がBeO、Th02 、 HfO
2、Y2O3からなる群よシ選ばれた少くとも1種であ
る特許請求の範囲第10項記載の高温高圧炉における温
度計測装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7565284A JPS60218583A (ja) | 1984-04-14 | 1984-04-14 | 高温高圧炉における温度計測装置 |
| DE19853513441 DE3513441A1 (de) | 1984-04-14 | 1985-04-15 | Temperaturmessfuehler |
| US07/258,113 US5092938A (en) | 1984-04-14 | 1988-10-14 | Temperature detector for use in high temperature and high pressure furnaces |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7565284A JPS60218583A (ja) | 1984-04-14 | 1984-04-14 | 高温高圧炉における温度計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218583A true JPS60218583A (ja) | 1985-11-01 |
| JPH0317075B2 JPH0317075B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=13582389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7565284A Granted JPS60218583A (ja) | 1984-04-14 | 1984-04-14 | 高温高圧炉における温度計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218583A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63194300U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-14 | ||
| JPH01180629U (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-26 | ||
| WO2018163981A1 (ja) | 2017-03-08 | 2018-09-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 高温高圧炉用の温度計測器 |
-
1984
- 1984-04-14 JP JP7565284A patent/JPS60218583A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63194300U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-14 | ||
| JPH01180629U (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-26 | ||
| WO2018163981A1 (ja) | 2017-03-08 | 2018-09-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 高温高圧炉用の温度計測器 |
| JP2018146472A (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-20 | 株式会社神戸製鋼所 | 高温高圧炉用の温度計測器 |
| KR20190115048A (ko) | 2017-03-08 | 2019-10-10 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 고온 고압로용 온도 계측기 |
| US11346607B2 (en) | 2017-03-08 | 2022-05-31 | Kobe Steel, Ltd. | Temperature measuring instrument for high temperature and pressure furnace |
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