JPS6022245U - Ｘｙステ−ジ - Google Patents

Ｘｙステ−ジ

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Publication number
JPS6022245U
JPS6022245U JP11595983U JP11595983U JPS6022245U JP S6022245 U JPS6022245 U JP S6022245U JP 11595983 U JP11595983 U JP 11595983U JP 11595983 U JP11595983 U JP 11595983U JP S6022245 U JPS6022245 U JP S6022245U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
movable guide
pairs
linear motor
surface plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11595983U
Other languages
English (en)
Inventor
定夫 杉山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Priority to JP11595983U priority Critical patent/JPS6022245U/ja
Publication of JPS6022245U publication Critical patent/JPS6022245U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本案ＸＹステージの平面図、第２図は第１図■
−■線断面図、第３図は従来例の平面図、第４図はＴＶ
−ＩＶ線断面図である。 １・・・・・・定盤、２Ｘ、２Ｙ・・・・・・固定ガイ
ド、３Ｘ、３Ｙ・・・・・・可動ガイド、４・・・・・
徹テージ、５Ｘ、５Ｙ・・・・・・リニアモータ、５１
Ｘ、５１Ｙ・・・・・・ヨーク、５３Ｘ、５３Ｙ・・・
・・・コイル。　　　。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上面に互いに直交して２対の固定ガイドを配設した定盤
    と、該定盤上に直交して配備され、夫々両端部を空気軸
    受を介して固定ガイドに連繋した縦横可動ガイドと、上
    記可動ガイドの交叉部に空気軸受を介して配備され可動
    ガイドの移行による交叉部の変位に応じて移行する自在
    ステージとからなるＸＹステージにおいて、縦横可動ガ
    イドには長手方向に沿ってリニアモータヨークを配備す
    ると共に、自在ステージには各リニアモータヨークと対
    をなすりニアモータコイルを配備したＸＹステージ。
JP11595983U 1983-07-25 1983-07-25 Ｘｙステ−ジ Pending JPS6022245U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11595983U JPS6022245U (ja) 1983-07-25 1983-07-25 Ｘｙステ−ジ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11595983U JPS6022245U (ja) 1983-07-25 1983-07-25 Ｘｙステ−ジ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6022245U true JPS6022245U (ja) 1985-02-15

Family

ID=30267501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11595983U Pending JPS6022245U (ja) 1983-07-25 1983-07-25 Ｘｙステ−ジ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6022245U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62187213U (ja) * 1986-05-19 1987-11-28
JPS6445210U (ja) * 1987-09-16 1989-03-17
JP2009012169A (ja) * 2007-06-30 2009-01-22 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co Kg リニア駆動装置を有する機能ユニットを備えた工作機械及びリニア駆動装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49100518A (ja) * 1973-01-31 1974-09-24
JPS5244667A (en) * 1975-10-05 1977-04-07 Shimadzu Corp Weight measuring apparatus

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