JPS6022387A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6022387A JPS6022387A JP58131250A JP13125083A JPS6022387A JP S6022387 A JPS6022387 A JP S6022387A JP 58131250 A JP58131250 A JP 58131250A JP 13125083 A JP13125083 A JP 13125083A JP S6022387 A JPS6022387 A JP S6022387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- flow
- gas flow
- tube
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高出力のレーザ発振器に関するものでおる。
従来例の構成とその問題点
高出力のレーザ発振器として高速軸流型レーザ発振器が
知られている。
知られている。
第１図は高速軸流型レーザ発振器の一般的な構成を示す
ものである。１が放電管、２，４が熱交換器、３がガス
循環ポンプである。７は媒質ガス導入部、６げ配管、６
はガス流方向、矢印８はレーザ光線である。
ものである。１が放電管、２，４が熱交換器、３がガス
循環ポンプである。７は媒質ガス導入部、６げ配管、６
はガス流方向、矢印８はレーザ光線である。
前記構成において、レーザガスはガス循環ポンプ３によ
り配管５を通って媒質ガス導入部７を介して放電管１内
に供給されるが、この媒質ガス導入部子の構造により放
電管１内の流速分布が左右される。
り配管５を通って媒質ガス導入部７を介して放電管１内
に供給されるが、この媒質ガス導入部子の構造により放
電管１内の流速分布が左右される。
第２図は放電管１内を流れるガスの流速分布図で、ａは
ガス流分布が不均一な場合、ｂに均一な場合を示す。ｂ
げａと比較して放電体積が大きく放電が安定で投入電力
も多くできるので出力も大きい。
ガス流分布が不均一な場合、ｂに均一な場合を示す。ｂ
げａと比較して放電体積が大きく放電が安定で投入電力
も多くできるので出力も大きい。
従って媒質ガス導入部７の構造を工夫することにより放
電管１内の流速分布をｂ図の状態に近づけることが試み
られている。
電管１内の流速分布をｂ図の状態に近づけることが試み
られている。
第３図から第６図迄が従来の媒質ガス導入部の構造であ
る。以下順を追って説明する。
る。以下順を追って説明する。
第３図はオリフィス型開口部の例でるる。１が放電管、
７０は反射鏡、７１がオリフィス板でろる。配管５を通
ってきたガス流６げオリフィス板７１を通過すると乱流
化が促進され流速分布が第２図すの様にはソ一様になっ
て放電管１内に流入する。
７０は反射鏡、７１がオリフィス板でろる。配管５を通
ってきたガス流６げオリフィス板７１を通過すると乱流
化が促進され流速分布が第２図すの様にはソ一様になっ
て放電管１内に流入する。
第４図にドーナツ型開口部の例である。７２が開口部で
放電管１の円筒の端面と媒質ガス導入部７の内管の端面
が作るドーナツ状のすき間からガスを噴出させることに
より一様な流速分布を得ている。
放電管１の円筒の端面と媒質ガス導入部７の内管の端面
が作るドーナツ状のすき間からガスを噴出させることに
より一様な流速分布を得ている。
第６図は媒質ガス導入部の内部にスリット７３を有する
場合の例である。
場合の例である。
第６図はノズル型で、レーザガスはノズ）ｖ７４から噴
出され、直角に曲って放電管１内に流入する場合の例で
ある。
出され、直角に曲って放電管１内に流入する場合の例で
ある。
これら従来例ではいずれも開口部の断面積を小さくし開
口部の前後で圧力差を得ることにより局所的に高速流を
得て乱流化の促進をはかっている・このため開口部のコ
ンダクタンスが小袋〈ナリガス循環ポンプは圧縮比が大
きく、（例えば開口部入口が６０Ｔｏｒｒ、出口、つま
り放電管内が３０Ｔｏｒｒとすれば圧縮比２である。）
、かつ高圧下で（上記例でｎ ６０ Ｔｏｒｒ以上）で
排気能力が大きいことが要求される。又、ポンプの型式
が限定される事、大型化して消費電力も増大すること、
発熱による損出量も大きくなりポンプの冷却のための冷
却器も大型になり装置全体の価格もこの循環ポンプ系が
大きな比重を占めていた。
口部の前後で圧力差を得ることにより局所的に高速流を
得て乱流化の促進をはかっている・このため開口部のコ
ンダクタンスが小袋〈ナリガス循環ポンプは圧縮比が大
きく、（例えば開口部入口が６０Ｔｏｒｒ、出口、つま
り放電管内が３０Ｔｏｒｒとすれば圧縮比２である。）
、かつ高圧下で（上記例でｎ ６０ Ｔｏｒｒ以上）で
排気能力が大きいことが要求される。又、ポンプの型式
が限定される事、大型化して消費電力も増大すること、
発熱による損出量も大きくなりポンプの冷却のための冷
却器も大型になり装置全体の価格もこの循環ポンプ系が
大きな比重を占めていた。
発明の目的
本発明は以上の様な従来の問題点を解決するためになさ
れたもので放電管入口のガス噴出口のコンダクタンスを
大きくとりながら従来以上の乱流化促進と流速分布の均
一化をはかり出力の増大化とポンプの小型化、低コスト
化を達成することを目的としている。
れたもので放電管入口のガス噴出口のコンダクタンスを
大きくとりながら従来以上の乱流化促進と流速分布の均
一化をはかり出力の増大化とポンプの小型化、低コスト
化を達成することを目的としている。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので、レーザ管内に媒質
ガスを導入する媒質ガス導入部ｆ Ｉｆ“１ｊえ、レー
ザ管内に媒質ガスを高速で流通させる（７η造を有し、
前記媒質ガス導入部にガス流で回動口ｆ能な回転翼を設
け、ガスが回転翼を通過する時にガスの流れの方向が変
えられ、乱流化が促進されると共に、ガス流に回転が加
わり内壁付近の流速をより増大化させ流速分布の均一化
をはかり、ガス循環ポンプの負荷を小さくするものであ
る。
ガスを導入する媒質ガス導入部ｆ Ｉｆ“１ｊえ、レー
ザ管内に媒質ガスを高速で流通させる（７η造を有し、
前記媒質ガス導入部にガス流で回動口ｆ能な回転翼を設
け、ガスが回転翼を通過する時にガスの流れの方向が変
えられ、乱流化が促進されると共に、ガス流に回転が加
わり内壁付近の流速をより増大化させ流速分布の均一化
をはかり、ガス循環ポンプの負荷を小さくするものであ
る。
実施例の説明
以下本発明の一実施例を図面を用いて説明する・第７図
は本発明の一実施例である。１げ放電管、７５が回転翼
で媒質ガス導入部７の内管に回転軸受７６を介して保持
されている。６に配管、６にガス流方向、７０は反射鏡
である。第８図に回転翼の一例を示す。各羽根は回転軸
に対しねじりθを有している。
は本発明の一実施例である。１げ放電管、７５が回転翼
で媒質ガス導入部７の内管に回転軸受７６を介して保持
されている。６に配管、６にガス流方向、７０は反射鏡
である。第８図に回転翼の一例を示す。各羽根は回転軸
に対しねじりθを有している。
ガス流６が羽根に当ると回転翼７５を回転させると共に
ガス流自身も曲げられてレーザガス全体としては放電管
１内を螺旋運動を行ないながら進行し、管壁付近の流速
を高め均一な流速分布をつくる。又、羽根のエツジに当
るガス及びエツジから離れるガスは乱流化を一層促進す
ることになる。
ガス流自身も曲げられてレーザガス全体としては放電管
１内を螺旋運動を行ないながら進行し、管壁付近の流速
を高め均一な流速分布をつくる。又、羽根のエツジに当
るガス及びエツジから離れるガスは乱流化を一層促進す
ることになる。
又、開口部でのコンダクタンスの低下も発生しない。
この様に本実施例によれば、従来方式の様に開口部を狭
くして乱流化をはかる必要がなく、コンダクタンスを低
下させずに理想的な流速分布及び、乱流化促進を行なわ
せることができる。
くして乱流化をはかる必要がなく、コンダクタンスを低
下させずに理想的な流速分布及び、乱流化促進を行なわ
せることができる。
回転翼入口側のガス圧を従来と同じ（６０Ｔｏｒｒとす
れば放電管内ガス圧に約５０Ｔｏｒｒ（従来は３ ｏ
Ｔｏｒｒ ）となり循環ポンプの圧縮比が１．２（従来
［２，０）と小さく、従来のポンプで余裕を持って運転
することが出来るのでポンプからの発熱量が著しく減少
しポンプの冷却系が小型化される。又、放電管１内ガス
圧の上刃により約１゜７倍の出力を得ることができる。
れば放電管内ガス圧に約５０Ｔｏｒｒ（従来は３ ｏ
Ｔｏｒｒ ）となり循環ポンプの圧縮比が１．２（従来
［２，０）と小さく、従来のポンプで余裕を持って運転
することが出来るのでポンプからの発熱量が著しく減少
しポンプの冷却系が小型化される。又、放電管１内ガス
圧の上刃により約１゜７倍の出力を得ることができる。
このことは、同じ出力を得るためにはより小型の循環ポ
ンプで良く大ｌ］なコストダウンが実現できる。
ンプで良く大ｌ］なコストダウンが実現できる。
さらに回転翼の慣性によりポンプの小さな脈流を吸収す
る効果があり出力の安定性に寄与すること大である。
る効果があり出力の安定性に寄与すること大である。
発明の効果
以上のように本発明は、媒質ガス導入部を介してレーザ
管内に媒質ガスを流通させる（苗造合有し、前記媒質ガ
ス導入部に、ガス流によって回動可能な回転翼を設けた
レーザ発振器を提供するもので、レーザ管内の媒質ガス
の乱流化促進と流速分布の均−化、出力の増大化、循環
ポンプの小型化、低コスト化を達成することができる利
点をイ］する。
管内に媒質ガスを流通させる（苗造合有し、前記媒質ガ
ス導入部に、ガス流によって回動可能な回転翼を設けた
レーザ発振器を提供するもので、レーザ管内の媒質ガス
の乱流化促進と流速分布の均−化、出力の増大化、循環
ポンプの小型化、低コスト化を達成することができる利
点をイ］する。
第１図は高速軸流型レーザ発振器の一般的構成を示す概
略図、第２図げレーザ管内の流速分布を示す図で、ａ［
ガス流速分布の不均一な例、ｂはガス流速分布の均一な
例を示す。第３図〜第６図は従来の媒質ガス導入部の断
面図、第７図は本発明の一実施例における媒質ガス導入
部の断面図、第８図は本発明の一実施例に使用される回
転翼の斜視図である。 １・・・・・・レーザ管、５・・・・・・配管、６・・
・・・・ガス流、７・・・・・・媒質ガス導入部、７０
・・・・・・し射鏡、７６・・・・・・回転翼、７６・
・・・・・回転軸受。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 誰か１名第１
図 第２図 ！ 第３図 第５図 ７ 第６図 第７図 第８図
略図、第２図げレーザ管内の流速分布を示す図で、ａ［
ガス流速分布の不均一な例、ｂはガス流速分布の均一な
例を示す。第３図〜第６図は従来の媒質ガス導入部の断
面図、第７図は本発明の一実施例における媒質ガス導入
部の断面図、第８図は本発明の一実施例に使用される回
転翼の斜視図である。 １・・・・・・レーザ管、５・・・・・・配管、６・・
・・・・ガス流、７・・・・・・媒質ガス導入部、７０
・・・・・・し射鏡、７６・・・・・・回転翼、７６・
・・・・・回転軸受。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 誰か１名第１
図 第２図 ！ 第３図 第５図 ７ 第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- 媒質ガス導入部を介してレーザ管内に媒質ガスを流通さ
せるように構成され、前記媒質ガス導入部に、ガス流に
よって回動可能な回転翼を設けたことを特徴とするレー
ザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58131250A JPS6022387A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58131250A JPS6022387A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022387A true JPS6022387A (ja) | 1985-02-04 |
| JPH0317232B2 JPH0317232B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=15053511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58131250A Granted JPS6022387A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022387A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015220292A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | ファナック株式会社 | ガス循環式のレーザ発振装置 |
-
1983
- 1983-07-18 JP JP58131250A patent/JPS6022387A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015220292A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | ファナック株式会社 | ガス循環式のレーザ発振装置 |
| US9484704B2 (en) | 2014-05-15 | 2016-11-01 | Fanuc Corporation | Gas circulation type laser oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0317232B2 (ja) | 1991-03-07 |
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