JPS6022749U - 走査電子顕微鏡等の試料ホルダ−着脱装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡等の試料ホルダ−着脱装置Info
- Publication number
- JPS6022749U JPS6022749U JP11397583U JP11397583U JPS6022749U JP S6022749 U JPS6022749 U JP S6022749U JP 11397583 U JP11397583 U JP 11397583U JP 11397583 U JP11397583 U JP 11397583U JP S6022749 U JPS6022749 U JP S6022749U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- scanning electron
- detachment device
- electron microscopes
- holder attachment
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置を説明するための図、第２図及び第４
図は本考案の一実施例装置の要部の概略図、第３図は第
２図の実施例装置のＡ−Ａ’断面図、第５図は本考案の
第４図の実施例装置の底面より眺めた図、第６図は本考
案を説明するための図である。 １：試料ホルダー、２：アリ溝、３：試料保持体、４：
試料保持体上、５：圧縮コイルバネ、６：Ｘ軸駆動機構
、７：Ｙ軸駆動機構、８：試料ステージ、９，１０：ア
ーム、１１：試料ホルダー、１２：バネ材、１３：ネジ
穴、１４：試料交換棒、１５：パイプ。
図は本考案の一実施例装置の要部の概略図、第３図は第
２図の実施例装置のＡ−Ａ’断面図、第５図は本考案の
第４図の実施例装置の底面より眺めた図、第６図は本考
案を説明するための図である。 １：試料ホルダー、２：アリ溝、３：試料保持体、４：
試料保持体上、５：圧縮コイルバネ、６：Ｘ軸駆動機構
、７：Ｙ軸駆動機構、８：試料ステージ、９，１０：ア
ーム、１１：試料ホルダー、１２：バネ材、１３：ネジ
穴、１４：試料交換棒、１５：パイプ。
Claims (1)
- 試料ホルダーを交換棒の操作によって試料保持体上の所
定位置へ着脱するようにした装置において、試料ホルダ
ーを試料保持体の表面に係止するための手段とは別に、
試料ホルダーの試料保持体表面における動きを規制する
ストッパーを設け、前記交換棒の操作によって前記スト
ッパーの働きを解除するように構成したことを特徴とす
る走査電子顕微鏡等の試料ホルダー着脱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11397583U JPS6022749U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 走査電子顕微鏡等の試料ホルダ−着脱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11397583U JPS6022749U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 走査電子顕微鏡等の試料ホルダ−着脱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022749U true JPS6022749U (ja) | 1985-02-16 |
Family
ID=30263641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11397583U Pending JPS6022749U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 走査電子顕微鏡等の試料ホルダ−着脱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022749U (ja) |
-
1983
- 1983-07-22 JP JP11397583U patent/JPS6022749U/ja active Pending
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