JPS6022864U - 基板移送機構 - Google Patents
基板移送機構Info
- Publication number
- JPS6022864U JPS6022864U JP11358483U JP11358483U JPS6022864U JP S6022864 U JPS6022864 U JP S6022864U JP 11358483 U JP11358483 U JP 11358483U JP 11358483 U JP11358483 U JP 11358483U JP S6022864 U JPS6022864 U JP S6022864U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer mechanism
- substrate transfer
- rails
- pair
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案に係る基板移送機構の実施例を示す概略平面
図である。 １・・・プリント基板、２Ａ、２Ｂ、４Ａ、４Ｂ。 ６Ａ、６Ｂ・・・レール、３・・田−ダー、５・・・ア
ンローダ−１７・・・ＸＹテーブル、１１，１５，２１
゜３１・・・パルスモータ、１２．１６，２２．３２・
・・ポール螺子。
図である。 １・・・プリント基板、２Ａ、２Ｂ、４Ａ、４Ｂ。 ６Ａ、６Ｂ・・・レール、３・・田−ダー、５・・・ア
ンローダ−１７・・・ＸＹテーブル、１１，１５，２１
゜３１・・・パルスモータ、１２．１６，２２．３２・
・・ポール螺子。
Claims (1)
- 基板を摺動自在に支持する一対のレールを有するロータ
ーと、基板を摺動自在に支持する一対のレールを有する
アンローダ−と、基板を摺動自在に支持する一対のレー
ルを有するＸＹテーブルとを備えた基板移送機構におい
て、前記ローダー、アンロータ゛−及びＸＹテーブルの
一方のレールを他方のレールに対し移動自在とするとと
もに、該一方のレールに螺合する螺子軸をモータで回転
することにより前記夫々の一対のレール間隔を可変とし
たことを特徴とする基板移送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11358483U JPS6022864U (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 基板移送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11358483U JPS6022864U (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 基板移送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022864U true JPS6022864U (ja) | 1985-02-16 |
Family
ID=30262874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11358483U Pending JPS6022864U (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 基板移送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022864U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5363576A (en) * | 1976-11-18 | 1978-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Device for holding thin plate |
| JPS5378561A (en) * | 1976-12-20 | 1978-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device for supplying and delivering thin plates |
-
1983
- 1983-07-21 JP JP11358483U patent/JPS6022864U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5363576A (en) * | 1976-11-18 | 1978-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Device for holding thin plate |
| JPS5378561A (en) * | 1976-12-20 | 1978-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device for supplying and delivering thin plates |
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