JPS60229323A - モノリシツクセラミツクコンデンサ - Google Patents

モノリシツクセラミツクコンデンサ

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JPS60229323A
JPS60229323A JP60073669A JP7366985A JPS60229323A JP S60229323 A JPS60229323 A JP S60229323A JP 60073669 A JP60073669 A JP 60073669A JP 7366985 A JP7366985 A JP 7366985A JP S60229323 A JPS60229323 A JP S60229323A
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ceramic
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ceramic capacitor
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/465Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1218Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
    • H01G4/1227Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、大きいQ埴および荏綾の一度係叔はぼOを有
する低温焼成のモノリシックセラミックコンデンサ、粘
よびざらIc詳しくは、安1曲な低融点合金埋設電極と
ともに使用するのに適当である、庶幌焼成形チタン緻マ
グネシウムをベースとするセラミックに関する。
従来の技術 チタン戚マグネシウムは、低い酵成ギCK)、はい答−
一諷度%敢(TCC)および縞いクォリティーファクタ
ー(Q)が得られるコンデン?!一体として使用されて
いた。コンデンサの。:ま、測定周彼政における各噛す
アクタンス対等l1fl+直列抵抗の比と定轄され。。
誘電圧4 (DF )は。
の逆数である。
また、米国%杵明祷曹第43υ857oすにバーン(B
urn )により記載されたように、不と 還元性のチタン酸マグネシウls4還元注の陽酸アルカ
リ土類金摘とを合し、同時魂成された鋼*億を有するモ
ノリシックセラミックコンデンサのブロックを形成すΦ
ことが公知である。これらコンデン?Q裏、鋼のd−お
よび鋼の酸化を回蒋するため、021 Ll−1” ′
A圧(7)酸4分1f17))JIIIJfi中で10
500で焼成される。この不還元注のガラスセラミック
は、その2 J=原子をこのような焼成中に維持するこ
とがOJ症であり、鈍って、代表的にますコンデンサの
。の低減として □表わされる半導体化を全(示ざない
。しかしながら、たとえこのような安価なコンデンサの
か極めて太きく、IMHzでfJ 3500であるとし
ても、きらに大きい谷縁Qか心安とされる若干の相違が
あQo 本発明によるモノリシックセラミックコンデンサは、l
 MHzで最低5000のQを有し、緊Vf!VC焼成
されたセラミックブロックおよび前記ブロック中に埋設
された最低1つのノート−極より成り、前記i&低1つ
のa極か7つのブロックIfDrc延び、吟iJ自己ブ
ロックか前6己埋設された゛亀惨と同時焼成ざわており
;前記ブロックが音温焼成形のセラεツク組成物92〜
ゾ8承f!t%およびは1品焼成形の祠威聰フラックス
8〜2貞−チより成り、tjU記尚昌焼成形セラック組
成物が央買的にチタンはマグネシウム亜姶90〜95J
M厘チおよびチタン醒カルシウム10〜5嵐扉%より成
ることを特徴とする。
効果 本発明の利点は、クォリティファクターQ最It!:5
[JIJO(llJHz)を有すルモノリシックセラミ
ソクコンデンサが得られりことである。他の利点は、−
55゛c〜+1250にわたり約6[jppm/−0馨
下趨4+ TCCを何すΦこのようなコンデンサか得ら
れることである。他の利点は、チタン酸マグネ7ウム亜
始および、−1体ブロックに適当であるが、但しわずか
な社のガラスを使用し、g!、χ中焼成可能な栴這を有
するこのようなコンデンサが得られることであ□。
美旗例 以下に、本発明を図面実施列につき詳説す◇。
第1図は、耐還元性のガラスセラミックブロック10と
ともにその中に埋設された1方の一極11、埋設電極1
1のための外部俵点12、およびブロック1oと接触し
かっ種設題慣11と答社関係にある他の電極13を角す
るモノリゾツクフンデン丈の前面図である。
第2図は、ガラスセラミックブロック20゜その中VC
埋設された1#の4!21とともにこれらとd址調係で
埋設された・而の辞の1使22を有するモノリンツクコ
ンデンサの萌聞図である。外部−子23および24か、
電極群21および′成極群22にそれぞれ結合されてい
Q。
一般に1本5!l明のモノリッツクセラミックコンデン
サは、市m焼成形の結晶a組成物92〜98MMパーセ
ントおよび、1氏いブロック焼結を晶匿を得るための低
温焼成形の硼葭塩フラックス8〜2 爪mj−4より成
るコンデンサブロック中で同時jA成された1つまたは
それ以上の低融点埋設屯+jAt注何する。従って、埋
設゛(極の耐火温Ilを下廻る焼成畠就がoJ能である
r% 髄焼成形の結晶性組成物は、チタン酸マグネ/ク
ム亜珀90〜95重−パーセントおよびチタン改カルシ
ウム10〜5虚破パーセントより成る。チタン酸マグネ
シウム亜鉛は、式:MgXZnyTi03 k有し、有
利に式中Xが[1,5〜U、85およびyが0.2〜0
.4である組成物から選択されΦ。ざら知詳しくは、有
利に、式中Xが0.67およびyが0.66である組成
物が卓−相のチタン酸マグネシウム亜鉛を生じ、これか
エックス−分元副元またはエレクトロンマイクログロー
グにより容易に同定されかつ製造中の1b1」御がl!
JIrLかつ容易である。
本発明の弔1の有利な実軸9“りにおいて、第1図およ
び第2図におけるよなモノリッツクセラミックコンデン
サは、70Ag30Pd(止敏比)合金より成る埋設奄
億を有する。この合金は、約1150″°Cの融点を何
する。このコンデン丈f)クロッ/I’L、’/ 3.
4 (Mg弛”n)S ’rto3) 6.6(CaT
iO3) (重量比)より成る高諷焼成形の1.、晶注
成分96亜澁パーセント、およびガラス状のフラックス
相、すなわちCdO: 2ZnO: B203(記号:
はこれら酸化ζ勿のモル比ケ示j)4嵐tパーセントよ
り成る。
このlの多数の試験用コンデンサを、イIり造的に第2
図の多層埋設コンデンサに埴以Kd造した。若干のもの
が定@#M3[Jprτ何し、かつ他のものが大さいグ
ロックとともに〉を俗gbh30 (J pf乞何する
。これらコンデンサは、IMHzで5”000〜+ 1
 uuoのQを何する。
TCCは、−55℃で正、すなわちP±5ppm/°C
であり、かつ++25”CでP30±5ppm/Cであ
る。誘屯率はf120である。これらデータを、第1衣
中にレリ28としてまとめた。
前述と同種の試験用コンデンサは、セラミックコンパウ
ンドMg4. Zn5HTt03が得らねる割合のMg
CO3、ZnOおよびTiO2に加え、分配される前記
6.6 m彼パーセントのCaTiO3の址および割合
のCaO#6よびTiO2の1子工学グレードの粉末乞
はじめに1時間ボールミル粉砕することにより製造す0
゜その後KS粉砕された粉末を、乾燥し、造位しυ)つ
115U〜1200℃で収焼した。その後に、このもの
を平均拉径豹1.5ミクロンになるまで噴射倣粉砕した
。その後圧、得られ粉末に7ラツクスの酸化物成分粉末
を混合した。この粉木混曾物を有偵フラックスビヒクル
および結合剤混合物とボールミル中で合し、、っ14.
び6時間、0伜した。この彷伜された材料θゝらスンリ
ーを製造し、これを薄いシートに成形し1J’つ+gm
した。銀およびパラジウムを含何丁Φ亀使用インキケ、
右十のこれらシートにスクリーンLI]刷した。果頂体
乞これら印桐シートから形成し、かつ最低1枚の未印刷
ソート乞この果槓体頂部の印刷奄慣上Vc載iff し
た。この果禎体をチッグにダイス切断し、かつこれらテ
ラfを8LlO℃に加熱して残存付城材+−1を除去し
た。これらチッグ?:2%時間+11JU”Cで督閉坩
堝中で焼成し、完全に出来上った緊密な無孔賀グロック
を裏瑣し01つ同時に@L使幌およびブロックの両者を
焼結した。
第2の旬“4りな実施料において、モノリッツクセラミ
ックコンデンサは7 LJ Ag 30 pa会Qより
成る棚設゛也極を何丁勺。このブロックは、尚as成形
成分: y6.4 (MggZngTi03 ) 6.
6(CaTiO3) 97 ML gパーセントオよび
ガラス相、すなわち’73 MgO: % ZnO: 
B2O3(または2Mg0 : ZnO: 3 B2O
3) 621mバーセントより成り。この材料より成り
モノリンツクコンデンサは、以下の例21のデータケベ
ースとしてQl 0LILILI以上およびTCC±6
0ppm/’0以P3を有するものと勘侍された。
多収のウエーハコンデンfを、1男lt体組成変動の電
気的パラメータに対する相対的効果を創建するため製造
した。
原料粉末より成るスラリーを、板ガラス上にドクターブ
レード法を使用し流娘した。流延シートを乾燥するpl
AVC,約101×10關X0.5鵜の正方形に切断し
た。有機納会剤を、2時間800“Cで加熱すること罠
より除去した。これら四角片を、そ閉坩堝中で11Ll
O’O(他に別記しない限り)で2%時間焼成した。そ
の後に妓°也極を谷焼成四用片の対ICII主面に施こ
した。
全ての試験材料の4竃率は約20であり、かつこれらウ
ェーへのキャバ/タンス1直は、TCCおよびQ(また
はDF)の絶対測定を行なうことが不可能である程度に
わずかであ金;但しウエーハコンデンを特注の相対差が
、)虫々の配合の相対的%註の確実な表示を提供する。
第1表にそのデータ馨抜とめた例1〜22において、誘
成体の萬m焼成形の成分は、前記第1の有利な実施例の
93.4 (Mg、ZnHTLO3)6.6 ((’a
Tt03 )である。
第 1 表 2 I6.OLl、Ll8 P2I F703 I4.
0 υ、08 F74 F824 CdO:2Z口o:
52o3 6.(J 11 0.03 N14 F65
 2CdO:ZnO:8203 6.o 1−[J 0
.08 P76Pb!06 0.37ZnO:0.63
B2032.U 2.2 u−(J4 F28 F57
7 #4.0 4.5 0.[J6 N19 F148
 I6.U υ、07 NS1 NV)9 12aig
o、:s2o、 4.0 、I8”U、Ll6 F9 
F5410 BaO:4B203 1.5 1.8 0
−065NTON2711 14.0 υ、12 N2
7 PIO12BaO:2B203 1.51−5 L
l、Ll67 NV NI413 I4.U U、11
 1”64 F2044 BaO:8203 L!5 
、ソ+ 0.56 P183P4田+s 14.0 [
J、85 F144 F23116 3M5o:52o
31.0 .7L] 0.75 P19LIP1a[J
17 lb5 11 (J、17 F7[JOP4(I
48 13、(J 2.1U、I3 P+OF4619
 14、U 2.9 0.I4 F22 F3820 
lb、0 3.8 LJ、lON6 P30注e:肴1
125”[で焼成!1ilivB化例1,2および6に
おいて、1100’Cで完全な焼結を得るのに十分な多
itの珪酸力にミウムフシックスが、大きいDF4生じ
る。
利40噛酸カドミウム亜始が、クリ5のそ、flよりも
さらに低いDF’Mよびさらに直騙的なTCCを生じる
9’ll 6 (1) 2 ill pi バー (!
 y ト17) rM 戚11i 1B ハ、11[]
0℃で十分な焼結を生じるが、但し例7および8の場合
さらに多緻であることからみて、低いDFのための、2
重皺パーセント&下廻る#JIttが、適当な焼結を得
るのに十分であることを示唆する。
例9の硼酸ビスマスは、適当な焼結のため少くとも11
25’C程夏で焼成される必νがあるが、但し過大なり
F4示す材料が得らt′L金。
例10〜15の11IJI戚パリクムは過大なりFを生
じ、バリタムはフラックス中の主元系たりえないといプ
結−が得られた。
例18の硼酸マグネシウムは、他の謔を使用した例16
.17.19および2oと比べ、最低のDFおよび最良
のTCC直−哩を祷るのにj杖遇であると思われる。
例21および22で使用さ才またゎ1かなhlの吻酸マ
グネシウム亜狛フラックスは相対的に小さいDFか得ら
れ、かつ実幀にゎ1がな赦でさえ最適であることを示唆
する。この材料は、目的物乞さらにその中に配置11合
体させろための潰れたフラックスであると思われる。
ざらに第1長のデータ中で、最i4組成を生じΦ曲の髄
内を示すのが、α化繭糸の、その場合のチタニウム雇に
対するモル、ホ(モル%)である。フラックス中に存在
する他の元糸に対し最低限を定めるとすれは、同置撮り
2モルパーセントかほぼ最適であると思ゎf′1Φ。列
えは列6゜18および21の大きいDF値かこのような
イパーを示す。これらデータから、B2O3はチタニウ
ムの1.0〜6.5モル%の軸回にあれはよいとの結−
が侍もれΦ。
1519において、軸素(tJ、08七ルカ)はそのセ
ラミック組成妨馨児全に売結するのに明白に不十分であ
り、かつ硼素罠対するわずかなビスマス比を有するfl
故ビスマスフラックスが良好な結果を生じると予−りさ
れ0゜クリ21で得られた、ワずか2重臘パーセントの
7ラツクスか完全焼結を生じるという優れた結果は、さ
ら罠良好な結果か、幀改マグネ/ウム亜鉛フラックスの
破をさらKはるかに下方へrA節すりこと罠より得られ
うることを示唆する。
フラックス中の多縦の他元素は同辺されるべきであり。
例えは、バリウム(同10〜15)およびカドミウム(
しI11〜5)は、DFを劣化させΦ作用を(4する。
珪素(例1,2および6)は、la′温焼結を行なう場
合硼系程有効ではない。
従って、IIII素は著◇しく有利であり、かつ面木の
モルt、tは少くとも珪素の2倍でなければならない。
全てりフラックスまたは冷仄物がなけれは、前mi:2
 qia Mのチタン献マグネシウム亜鉛は1250C
で焼結すると■」明した。他のf、験において、偶然に
も、わすD)な皺のチタンばカルシウムの暉加がTCC
を下方へ満開するだけでな(、また′焼結温度をia減
させるように配・、恨された。クリえは、CaTiO3
5垂jlt %のぶ加が1200′CKGける焼結を許
容する。
大きいマグネシウム言分を角するチタンばマグネシウム
亜鉛を例26〜27で試・灰した。この高マグネシウム
セラミックは、タムセラミックス社(TAM Cera
mlcs C0rpOraL10n+ Nlagara
Falls、 New York )により供6 gれ
た名称”タム“(TAM ) 、% 5222であり。
この材料は、ル「成かほぼMg%zn、 T i 03
である。
第 2 次 26bcao:2sio26.L) 11U□” −−
−24CdO:2ZnO:820+ 6.Q IIU[
I U、υ3 P8P672b 41.8CdO:lj
、2Bi203:17Pboニア、5Zno+ 118
203’16Si02:1.bA1203 D−LJ 
II[JLJ”Ll、16 P2LLI FEUD井蒼
ナタンばカルシウムk ’b%加せす第2衣において、
マグネシウムVこt tr Mg曇Zn3.TiO3’
t CaTiO37,5& ’km %と甘しυ)つ七
の後に61虞の7ラツクスの1梱と脅し、1100”O
K低減させた・焼結−厘、すなわら11500の固相移
1を有する7 0 Ag 30 Pd 、ffl設′畦
虜に開用1−るための冴全焼結一度と丁Φ。例26にお
いて、6里址チの珪融カドミウムは、焼結を生じさせる
のに不十分であ96例24にす6いて、6ルlj[%の
、!lI!鉛にMむ輔藏カドミウム亜鉗は、十分な焼結
および州轟に低いDFか得られ金。
これらは、それぞれ例1〜4で使用したのと同25 J
k m%でさえセラミックfL!:児全に焼結丁QのV
Ci<不十分であり、そのφ尖ρ)大きいDFおよび大
ごいTCCに反映され℃いる。
約1〜25は、ウエーハコンデン? K J jΦ。
第6衣に、70 Ag/ 30 pd也憤を何する4つ
の群のモノリッツクセラミックコンデンサから市ら第1
たテゞ−タ乞交とN5た。このも舎 J−tlぞノ′j
例26袷よひ・24のフシツクスフ1史↓11シた?1
J25および27において、さら[予1.1の4 Il
l I+i矛の珪を俊カドミウムが、’晃請’;”:・
tじ/、) カ1+、4 t、七ノリシックセラミック
111a14 ’!勿の過大なQY小す。
し127の硼酸カドミウム亜冷が後れた特ロミをボ丁。
注目されるのは、このモノリシックのD Fかウェーハ
のそれよりも低いことでD)Φが、!IiJ述の曳尿は
、このような←l!I 5j¥馨1処めて小ざいIIη
のウェーハコンデンサでイi rlうことの困熾注と関
連している。
第 6 表 26 5cao:2sio、 4.0 1110 U、
U35 P2OP5ULI27 CdO:2ZnO:8
203 4−0 1100 0.0I P2り P53
28CdO:2ZnO:82034.0 +1Ll[I
 U、01 P5 P3L1292MgO:tls03
 4.ONUO[1,02P7 P50例ン8において
、l/lI4のフラックスを匝H1丁Φとともに同じ比
奴=1能な結果が潜らJまた。まlこtMホマグネシウ
ムーま、丙2?のモノリフツクコンデンサ甲で後れた結
果馨生じQ。最後の6つのこれら七ノリシックコンデン
fVCおいて、きらにb丁IP 7.C慮りCa’I’
f03の水加か、TCCを零付近と丁ΦことをボしIこ
。iV6.8虚絋饅が破過に遅いものと期待されり0 ナタ/、iカルシウムは、チクンUマグネ/ウム亜ml
中ではいfgrイ腿を有しθ)つグロック中のQ72相
として4仕す0゜ iAlの有々すな実軸列の誘屯体材料乞角するコノf’
ンサの涌れ抵抗測シift イボなうため、4つの大き
い1400pfコyデフ f f 、並列に接続しかつ
150’Dに加熱した。160ボルトの尚DC屯圧を加
えると、これら未件下の1れ4訛は8 X 10’ M
オーム(または8 X 1 [1”オーム)であった。
抜だ測定を、fiの感度で、1.りX107オームにな
った至諷(25′C)1μに外」申すΦようにして行っ
た(これはは戚VC副建することができなかった)。こ
の、ijg’i4L体材料の相応丁Φ活注化エネルイ特
注は0.58Vであると判明した。
チタン鍍マグネシウム!11!此かゾチタン鍍マダイゾ
ウムのように不還元註でありうΦというロ■dピ註は、
前述の本山・佇cfF明則ジ第450857L1号によ
り示唆されていり。もしチタン版マグネシウム亜玲か不
還元注たりえたならは、こハは、鋼筐たは圏の安111
+1な礒基陛金桶屯憾と、一台ゼΦことを01能にす0
0 96.4 (Mg、fa ZnM T” 03 ) 6
−6 (CaTi○3)およびMgo : B2O3の
ウェーハコンデン?ン、jβ累10−9気圧の還元雰囲
気中で1o65”Cで2時間焼成し熟成させた。このブ
ロックは半導体であった。その色調は、債A焼成麦罠示
される背萼のクリーム色よりはむしろ〃灰色であった。
駅インキをブロック終端部に自相しかつ仝紮(中で80
 [J =Oで焼成し、淑端子を形成した。この全スを
焼成か、実際の丹戚化およびクリーム色への山啼ヲ生じ
た。しかしながら、これらコンデンサのQが匣めて低く
、かつこれらは使用不nごであった。
不殆明のコンデンサ中のチタン版マグネ/ウム亜此組成
切が還元雰囲気中で焼成されえない足せよ、これらは低
融点の70 Ag 3 (J Pd−倹をき何す9こと
ができθ)っ11 U O”Cで惨めてわ1゛かなフラ
ックスを圧用し・焼1戎されΦことができ;かつこれら
は有利に憧めて大きい。1直を示す。
4 図LIIlり間車な睨明 第1図および弔2図は、本発明てよQコンデンサの省漬
のそれぞれ1天〃l!1列’(!l” 15丁4■而区
jである。
10・・・セラミックゾロツク、11・・・埋設置α4
J3゜12・・・外部接点、13・・・′ぼ怜、20・
・・セラミックゾロツク、21・・・1群の4 r+Q
 :4惟、22・・・期の群の埋設電惰、23.24・
・・外部4子lf) − 11 13−・ IG i F工G 2 乞うミソ7ノロソク 1デを交ソート電オル (ネy

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、iMHzで最低5000のQを荷するコンデンサに
    おい工、緊密に焼成されたセラミックブロック(10)
    および前記ブロック中罠埋設されたNk低1つの7−ト
    亀憾(11)より成り、目tIR己最低1つの′電極(
    13)か1つのブロック面に延び、前記ブロックが前記
    埋設された電極と同時焼成されており;前記グロックが
    高温・焼成形のセラミック組成′4I!192〜98嵐
    klk%粘よび低温焼成形の硼ば塩7ラツクス8〜2真
    鼠−より成り、前dC高温焼成形二 セラック組成物か実質的にチタ/r:I!マグネ7ウム
    亜鉛ソO〜ソ5重首チおよびチタン醒カルシウム10〜
    5皿童チより成ることを特徴とするモノリ7ツクセラミ
    ツクコンデン?12、前He低m焼成形の硼酸塩フシッ
    クスが5〜2mjt斧の皺であることを′#象とす金、
    特許請求の範囲第1項記載りモノリフツクセラミックコ
    ンデンサ。 6、前記チタン醒マグネシウム亜鉛が、分子式:%式% 〔式中、Xか0.5〜0.85テア’)a−ッyカL1
    .2〜U、4である〕を有することヲ待叙とする、′特
    許請求の範囲第1項記載の七ノリノックセラミックコン
    デンサ。 4、 前記チタン咳マグネシウム411!鉛がMg、4
     Znys’I’LO5テあり、カつ@ie CaT 
    i03が前記=ms成形セラミックの亜瀘の6.8%を
    形成することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    モノリフツクセラミックコンデンサ。 5、 前記硼$m7ラツクスカ、oCd : 25LO
    2+CdO: 2 ZnO: 8203 、0.57 
    ZnO: 0−638203 + 6 MgO: 82
    03および2 MgO: ZnO:6B203から選択
    されることを特徴とする特許請求の範囲第1項記賊のモ
    ノリフツクセラミックコンデンサ。 6、 0’tl記ブロツク中の8203の祷朧が、チタ
    ニラム原子の連の1〜6.5モルパーセントであること
    を特徴とする特if’Fj?1求の範囲第1項ml叔の
    モノリシックセラミックコンデンサ。 Z 前dピッラックス中の硼素が、珪素の址の最低2倍
    であることをtPi徴とする、特許請求の範囲第1項記
    載のモノリシックセラミックコンデンサ。 8、前記埋設′電極が、約1150’Cの融点を有する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1、!Jl記幀のモ
    ノリシックセラミックコンデンサ。
JP60073669A 1984-04-09 1985-04-09 モノリシツクセラミツクコンデンサ Granted JPS60229323A (ja)

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