JPS60230863A - オンデマンド型インクジエツトヘツドの製造方法 - Google Patents
オンデマンド型インクジエツトヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS60230863A JPS60230863A JP8893084A JP8893084A JPS60230863A JP S60230863 A JPS60230863 A JP S60230863A JP 8893084 A JP8893084 A JP 8893084A JP 8893084 A JP8893084 A JP 8893084A JP S60230863 A JPS60230863 A JP S60230863A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wires
- grooves
- nozzle parts
- glass substrate
- substrate
- Prior art date
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
扼檄分Ｉ
未発明は、オンデマンド型インクジェットヘットの製造
方法、より詳細には、インクジェットヘッドの微細穴ノ
ズルの加工技術に間する。
方法、より詳細には、インクジェットヘッドの微細穴ノ
ズルの加工技術に間する。
虹釆韮遺
第５図乃至第７図は、従来のオンデマンド型インクジェ
ットヘッドの一例を説明するための構成図で、第５図は
表面斜視図、第６図は裏面斜視図、第７図は第５図及び
第６図のＡ部拡大図で、図中、ｌは溝が形成されたカラ
ス板、２は蓋、１０１−１０．２はインク波路、Ｐｌ、
〜１１１２はノズル、１２は共同液室、１３はインク流
入口、１４１〜１４１２は電歪振動子である。前記溝が
形成されたガラス板ｌ及び蓋２は例えば、コーニング社
の商品「フオトセラムＪのような感光性ガラスで構成さ
れ、この感光性ガラス板は所定のパターンを紫外線にて
霧光焼付けし、これを熱現像することにより、霧光部分
が結晶化され、その他の部分はカラス質のままで保存さ
れる。
ットヘッドの一例を説明するための構成図で、第５図は
表面斜視図、第６図は裏面斜視図、第７図は第５図及び
第６図のＡ部拡大図で、図中、ｌは溝が形成されたカラ
ス板、２は蓋、１０１−１０．２はインク波路、Ｐｌ、
〜１１１２はノズル、１２は共同液室、１３はインク流
入口、１４１〜１４１２は電歪振動子である。前記溝が
形成されたガラス板ｌ及び蓋２は例えば、コーニング社
の商品「フオトセラムＪのような感光性ガラスで構成さ
れ、この感光性ガラス板は所定のパターンを紫外線にて
霧光焼付けし、これを熱現像することにより、霧光部分
が結晶化され、その他の部分はカラス質のままで保存さ
れる。
従って、この露光、現像ずみの感光性ガラス板をフッ酸
に浸漬すれば、結晶化された部分が深くエツチングされ
る。正確に述れば、ガラス質部分も同様にフッ酸により
エツチング作用をうけるが、その量は結晶化部分ｌに対
して１１５０程度であり、はとんど無視できる。このよ
うにして形成されたｌ及び２は、サーマルポンディング
あるいはインターヒユージョンという接着技術により接
合される。これは、接合する面を高精度に研磨し、これ
らを密着させた後、高温（フオトセラムの場合８００°
Ｃ以ト）で数時間保持し、両面の分子間力によって接合
するものである。
に浸漬すれば、結晶化された部分が深くエツチングされ
る。正確に述れば、ガラス質部分も同様にフッ酸により
エツチング作用をうけるが、その量は結晶化部分ｌに対
して１１５０程度であり、はとんど無視できる。このよ
うにして形成されたｌ及び２は、サーマルポンディング
あるいはインターヒユージョンという接着技術により接
合される。これは、接合する面を高精度に研磨し、これ
らを密着させた後、高温（フオトセラムの場合８００°
Ｃ以ト）で数時間保持し、両面の分子間力によって接合
するものである。
しかし、１−記従来技術のおいては 加熱する際 もと
の溝形状をきれいな形のまま維持することは困難で、イ
ンク流路１１１−１１１２の形状かいびつになるのが常
であった。又、隣りあうノズル例えば１１１とｌｌｚと
の間隔を密にすると、両者に共通な側壁、いわゆる接合
しろか小さイなり、完全なもれのない接合、きれいな（
矩形の）ノズル形状の維持が困難であった。そのため、
現在の技術レベルでは１ｍｍあたり４〜５木位の密度が
限界である。
の溝形状をきれいな形のまま維持することは困難で、イ
ンク流路１１１−１１１２の形状かいびつになるのが常
であった。又、隣りあうノズル例えば１１１とｌｌｚと
の間隔を密にすると、両者に共通な側壁、いわゆる接合
しろか小さイなり、完全なもれのない接合、きれいな（
矩形の）ノズル形状の維持が困難であった。そのため、
現在の技術レベルでは１ｍｍあたり４〜５木位の密度が
限界である。
ルーー順
本発明は、ト述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、均一なノズル部を形成することがで、”ｓ、カッ
高密度なノズル部配夕１を実現することができるオン
デマンド型インクジェットヘッドを提供することを目的
としてなされたものである。
特に、均一なノズル部を形成することがで、”ｓ、カッ
高密度なノズル部配夕１を実現することができるオン
デマンド型インクジェットヘッドを提供することを目的
としてなされたものである。
横−一一一或
本発明の構成について、以下、実施例に基づいて説明す
る。
る。
第１図は、本発明によるインクジェットヘッド製造方法
の一実施例を説明するための工程図で、図中、ｌは感光
性ガラス基板、２は善、３は銅等の金属で、（ａ）〜ｒ
ｄ）図の１程より成っている。
の一実施例を説明するための工程図で、図中、ｌは感光
性ガラス基板、２は善、３は銅等の金属で、（ａ）〜ｒ
ｄ）図の１程より成っている。
（ａ）図の工程
すでに説明したように、感光性ガラス１によって形成さ
れたノズル部になる部分を示している。このような溝ｌ
１１〜１ｔ１２の形成は、感光性ガラスで形成する方法
が最も良いと思われるが、他の方法でもできないことは
ない。例えば、機械的に切削したり、あるいは超音波前
「等によっても形成できる。又、普通のガラスにフォト
〔シストを塗布し、いわゆるフォトリソ技術を用い、ガ
ラスの等方性エツチングによっても形成されうる。ただ
し、ガラスの等方性エツチングの場合 溝形状は矩形で
はなく半円状になる。
れたノズル部になる部分を示している。このような溝ｌ
１１〜１ｔ１２の形成は、感光性ガラスで形成する方法
が最も良いと思われるが、他の方法でもできないことは
ない。例えば、機械的に切削したり、あるいは超音波前
「等によっても形成できる。又、普通のガラスにフォト
〔シストを塗布し、いわゆるフォトリソ技術を用い、ガ
ラスの等方性エツチングによっても形成されうる。ただ
し、ガラスの等方性エツチングの場合 溝形状は矩形で
はなく半円状になる。
（ｂ）図の１程
溝部１１．〜ｌ１１２に銅のワイヤー３１〜３１？を配
列したところである。配列のしかたは後述する。材料は
、銅に限定されることはなど 後にエツチングで除去で
きるものであれば、何でもよく、タングステン、ニッケ
ル等でも良い。×、ワイヤーに限定されることなく、例
えば、チューブ状のものでも良ぐ、ヌ、形状も丸でなく
ても良い。
列したところである。配列のしかたは後述する。材料は
、銅に限定されることはなど 後にエツチングで除去で
きるものであれば、何でもよく、タングステン、ニッケ
ル等でも良い。×、ワイヤーに限定されることなく、例
えば、チューブ状のものでも良ぐ、ヌ、形状も丸でなく
ても良い。
（ｅ）１１Ｘ！Ｉの１程
蓋２をしたＴｆＪを示す。
（ｄ）図の１程
加熱して感光性カラスｌと蓋２が融着したところを示す
。従来のヘットでは、溝の形状がくずれないようにして
接合するところにポイントかあったが、本発明では、溝
の中にワイヤーを入れであるので、積極的に溝がくずれ
、ワイヤーをとりかこむようにやや高めの温度で接合す
る。接合後は不要なワイヤーを切断し、ノズル外面を研
磨した後、ワイヤーを化学的に腐食させ、ノズル部を形
成する。
。従来のヘットでは、溝の形状がくずれないようにして
接合するところにポイントかあったが、本発明では、溝
の中にワイヤーを入れであるので、積極的に溝がくずれ
、ワイヤーをとりかこむようにやや高めの温度で接合す
る。接合後は不要なワイヤーを切断し、ノズル外面を研
磨した後、ワイヤーを化学的に腐食させ、ノズル部を形
成する。
第２図乃至ｔ！Ｓ４図は、前記ワイヤーの配列の仕方を
説明するための図で、第３図において、４はノズル部１
ｔ、−ｔ ！、２と同しピッチの溝が施された基板で
、この基板４は、前述のように感光性カラスを用いて加
工することができる。この場合断面形状は矩形になるが
、望ましくは 単結晶Ｓｔ （１００）面の異方性エツ
チングを利用した方が高精度なものができ、その場合は
、第４図に示すような三角溝が形成される。この基板４
トにワイヤー３１〜３１２を配列した後、エポキシ等の
接着剤でワイヤーを固定し、第２図に示す感光性ガラス
ｌのノズル部１１．〜１１１２にさし込む。その後の工
程は、前述のとおりである。
説明するための図で、第３図において、４はノズル部１
ｔ、−ｔ ！、２と同しピッチの溝が施された基板で
、この基板４は、前述のように感光性カラスを用いて加
工することができる。この場合断面形状は矩形になるが
、望ましくは 単結晶Ｓｔ （１００）面の異方性エツ
チングを利用した方が高精度なものができ、その場合は
、第４図に示すような三角溝が形成される。この基板４
トにワイヤー３１〜３１２を配列した後、エポキシ等の
接着剤でワイヤーを固定し、第２図に示す感光性ガラス
ｌのノズル部１１．〜１１１２にさし込む。その後の工
程は、前述のとおりである。
丸−一１
以トの説明から明らかなように、本発明によると、
（１）、ワイヤーの形状によって、ノズル部形状が決定
されるので、均一なノズル部を形成することができる。
されるので、均一なノズル部を形成することができる。
（２）従来のヘットでは、ノズル部のくずれをさけるた
めにある程度、接合しろを多くとる必要があり、高密度
なノズル配列は不可能であったが、本発明においては
ノズル部の溝のくずれを積極的に利用しているので、そ
のような心配はなく、高密度なノズル配列が可能である
。
めにある程度、接合しろを多くとる必要があり、高密度
なノズル配列は不可能であったが、本発明においては
ノズル部の溝のくずれを積極的に利用しているので、そ
のような心配はなく、高密度なノズル配列が可能である
。
等の利点がある。
ｆＢ１図は、未発明によるインクシェツトヘットの製造
方法の一実施例を説明するための工程図。 第２１４１５至第４図は、金属ワ・Ｃヤーの配列の仕方
の一例を説明するための図、第５図乃至第７図は、従来
のインクシェツトヘッドの一例を説明するための＊成図
で、第５図は表面斜視図、第６図は裏面斜視図、第７図
は第５図及び第６図のＡ部拡大１Δである。 ■・・・移光性カラス、２・・・蓋、３１〜３１２・・
・徐属ワイヤー、１０．〜１０．２・・・インク疏路、
１１１〜１１１２・・・ノズル、１２・・・共同液室、
１３・・・インク歳入（コ、１４１〜１４１２・・・電
歪振動子。 第５図 第６図
方法の一実施例を説明するための工程図。 第２１４１５至第４図は、金属ワ・Ｃヤーの配列の仕方
の一例を説明するための図、第５図乃至第７図は、従来
のインクシェツトヘッドの一例を説明するための＊成図
で、第５図は表面斜視図、第６図は裏面斜視図、第７図
は第５図及び第６図のＡ部拡大１Δである。 ■・・・移光性カラス、２・・・蓋、３１〜３１２・・
・徐属ワイヤー、１０．〜１０．２・・・インク疏路、
１１１〜１１１２・・・ノズル、１２・・・共同液室、
１３・・・インク歳入（コ、１４１〜１４１２・・・電
歪振動子。 第５図 第６図
Claims (1)
- カラス基板りに溝を形成する工程と、前記溝に基板材質
と異なる材質のワイヤーもしくは中空あるいは中実のピ
ンを配列する工程と、前記基板の溝がある面にガラス基
板で蓋をする工程と、加熱してカラス基板どうしを熱融
着する工程と、前記ワイヤーあるいはピンを除去する工
程とよりなることを特徴とするオンデマント型インクジ
ェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8893084A JPS60230863A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | オンデマンド型インクジエツトヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8893084A JPS60230863A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | オンデマンド型インクジエツトヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230863A true JPS60230863A (ja) | 1985-11-16 |
Family
ID=13956613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8893084A Pending JPS60230863A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | オンデマンド型インクジエツトヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60230863A (ja) |
-
1984
- 1984-05-02 JP JP8893084A patent/JPS60230863A/ja active Pending
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