JPS60233512A - 三次元座標値測定における高精度角度検出方法 - Google Patents
三次元座標値測定における高精度角度検出方法Info
- Publication number
- JPS60233512A JPS60233512A JP8888884A JP8888884A JPS60233512A JP S60233512 A JPS60233512 A JP S60233512A JP 8888884 A JP8888884 A JP 8888884A JP 8888884 A JP8888884 A JP 8888884A JP S60233512 A JPS60233512 A JP S60233512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- approach
- measuring
- displacement
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 62
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 3
- 238000013208 measuring procedure Methods 0.000 abstract 1
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/22—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Copy Controls (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は三次元自由曲面の座標値測定における角度検出
方法に関し、さらに詳しくは、三次元自由曲面の座標値
測定に於いて、倣い工作機の自動アプローチ機能を用い
た場合に起こる測定球と被測定物との接触点での摩擦を
低減させて高精度な角度検出を行う角度検出方法である
。
方法に関し、さらに詳しくは、三次元自由曲面の座標値
測定に於いて、倣い工作機の自動アプローチ機能を用い
た場合に起こる測定球と被測定物との接触点での摩擦を
低減させて高精度な角度検出を行う角度検出方法である
。
口、従来技術
最近の傾向として切削加工から成形加工へと需要が変化
してきており、しかも、ますます高精度で、かつ、短納
期が要求されるようになってきている。そして成形加工
の中でも、特に三次元自由曲面を持つ金型の高精度の外
形測定は三次元測定機以外では計測が困難である。しか
し、三次元測定機は高価で、中小企業の多い金型メーカ
ーでは経済的な面で入手できない。
してきており、しかも、ますます高精度で、かつ、短納
期が要求されるようになってきている。そして成形加工
の中でも、特に三次元自由曲面を持つ金型の高精度の外
形測定は三次元測定機以外では計測が困難である。しか
し、三次元測定機は高価で、中小企業の多い金型メーカ
ーでは経済的な面で入手できない。
上記の事情から、簡易的に倣い工作機のトレーサを用い
てオン・ザ・マシンで高精度な計測の可能性を検討した
。公知の倣い工作機の三次元座標測定原理は1軸固定自
動アプローチ機能を用い、被測定物に対してアプローチ
をかけ、アプローチ終了点における測定の合成変位のベ
クトルから、測定球と被測定面との接触点での角度を算
出し、アプローチ終了時のx、ySz軸方向の座標と、
測定球径及び演算によって得られた角度により、x、y
、z軸方向の座標を補正し、被測定物と測定球との接触
点の座標を得るものである。
てオン・ザ・マシンで高精度な計測の可能性を検討した
。公知の倣い工作機の三次元座標測定原理は1軸固定自
動アプローチ機能を用い、被測定物に対してアプローチ
をかけ、アプローチ終了点における測定の合成変位のベ
クトルから、測定球と被測定面との接触点での角度を算
出し、アプローチ終了時のx、ySz軸方向の座標と、
測定球径及び演算によって得られた角度により、x、y
、z軸方向の座標を補正し、被測定物と測定球との接触
点の座標を得るものである。
第1図は、測定球中心(0)と被測定物(2)と測定球
(1)との接触点(T)を含む平面で切ったものである
。第1図において、測定球(1)はXY軸を固定してz
軸方向に下降し、はじめT゛点で被測定物(2)に接触
、この時の球心位置を0′とする。さらに測定球(1)
はアプローチを続け、仮想球中心□l lの位置まで下
降して停止する。実際には、被測定物と接触することに
より、接触点Tを含む被測定物表面の法線上、点0に測
定球中心が移動することになる。5斤は測定球径に対応
した変位量であり、o o”が測定球の実際の変位量と
して検出される。仮想球中心点0°゛の座標値を(X、
Y、Z)としたとき、測定球と被測定物とのと接触点
Tの座標値をめるには(X、Y、Z”)から、斜線部で
示した補正量(Hx、Hy、Hz)を減算してやればよ
い。補正量は測定球半径をRとして Hz=R・□−Ex Ex +Ey +Ez でめられる。
(1)との接触点(T)を含む平面で切ったものである
。第1図において、測定球(1)はXY軸を固定してz
軸方向に下降し、はじめT゛点で被測定物(2)に接触
、この時の球心位置を0′とする。さらに測定球(1)
はアプローチを続け、仮想球中心□l lの位置まで下
降して停止する。実際には、被測定物と接触することに
より、接触点Tを含む被測定物表面の法線上、点0に測
定球中心が移動することになる。5斤は測定球径に対応
した変位量であり、o o”が測定球の実際の変位量と
して検出される。仮想球中心点0°゛の座標値を(X、
Y、Z)としたとき、測定球と被測定物とのと接触点
Tの座標値をめるには(X、Y、Z”)から、斜線部で
示した補正量(Hx、Hy、Hz)を減算してやればよ
い。補正量は測定球半径をRとして Hz=R・□−Ex Ex +Ey +Ez でめられる。
但し、ExsX軸方向の変位置
EyrY軸方向の変位置
EzsZ軸方向の変位置
第2図は、上記の性能を満足するトレーサヘッドの基本
構造で、測定球が平滑な被測定面に対し法線方向に変位
し停止させるには、測定球を三次元方向に自由支持し、
x、y、z方向とも変位−荷重特性(バネ常数)が等し
い特性が必要である。
構造で、測定球が平滑な被測定面に対し法線方向に変位
し停止させるには、測定球を三次元方向に自由支持し、
x、y、z方向とも変位−荷重特性(バネ常数)が等し
い特性が必要である。
第2図において、測定球(1)は円筒状に分布した複数
の弾性リボン(3)とそれに直角なフランジ(5)で支
持される。弾性リボンでXY平面内の動作、フランジと
トレーサ軸(8)との間のリニアボール(6)で2軸方
向の動作を保証し、トレーサ軸は常に垂直方向を保ち平
行移動式で弾性変位する機構である。変位の検出はxS
y、z軸方向にそれぞれ差動トランス(7)を設けて検
出する。(4)は重量調整器である。
の弾性リボン(3)とそれに直角なフランジ(5)で支
持される。弾性リボンでXY平面内の動作、フランジと
トレーサ軸(8)との間のリニアボール(6)で2軸方
向の動作を保証し、トレーサ軸は常に垂直方向を保ち平
行移動式で弾性変位する機構である。変位の検出はxS
y、z軸方向にそれぞれ差動トランス(7)を設けて検
出する。(4)は重量調整器である。
ところで、上記の針側方法は、第3図に示す様に、倣い
工作機の同時1軸自動アプローチ機能を用いて角度θを
検出し、接触点の座標を算出している。この同時1軸自
動アプローチは測定球(1)が被測定物と接触し、軸方
向変位量Ex、Ey、Ezを入力しながら測定球(1)
が被測定物に沿って移動し、合成変位量(E=Ex2+
Ey2+Ez2)が設定値に達した時終了する。ところ
が、この時アプローチ方向による被測定物と測定球(1
)との間の摩擦力(f)の影響によって測定球(1)の
被測定物による抗力(N)が測定点(T)での面法線方
向を向かない。この為、軸方向変位(Ex、By、Ez
)から算出される測定点Tの角度は実際の値とは異なる
ものとなり、この角度がらめられる測定点の座標は測定
球径に比例した誤差が、介入する。
工作機の同時1軸自動アプローチ機能を用いて角度θを
検出し、接触点の座標を算出している。この同時1軸自
動アプローチは測定球(1)が被測定物と接触し、軸方
向変位量Ex、Ey、Ezを入力しながら測定球(1)
が被測定物に沿って移動し、合成変位量(E=Ex2+
Ey2+Ez2)が設定値に達した時終了する。ところ
が、この時アプローチ方向による被測定物と測定球(1
)との間の摩擦力(f)の影響によって測定球(1)の
被測定物による抗力(N)が測定点(T)での面法線方
向を向かない。この為、軸方向変位(Ex、By、Ez
)から算出される測定点Tの角度は実際の値とは異なる
ものとなり、この角度がらめられる測定点の座標は測定
球径に比例した誤差が、介入する。
ハ0発明の目的
本発明は倣い工作機のトレーサを用い、測定球と被測定
物との間の摩擦力の影響を除去して角度検出精度を向上
させ高精度な三次元座標値測定を行うことである。
物との間の摩擦力の影響を除去して角度検出精度を向上
させ高精度な三次元座標値測定を行うことである。
二00発明構成
本発明は自動アプローチ機能、及び同時3軸制御機能を
有する倣い工作機を用い、1軸固定で自動アプローチを
かけ、自動アプローチ終了点における変位量から接触点
の被測定物からの抗力の方向ベクトルをめ、つづいて同
時3軸NC自動送りによってベクトル方向に測定球と被
測定物とが完全に離れるまで測定球を移動させる第1の
測定手順と、同時3軸NC自動送りで前回のアプローチ
終了点へ位置決めし、再び変位量を読み取り、被測定物
からの抗力の方向ベクトルをめ、その後同時3軸NC自
動送りによってそのベクトル方向に測定球と被測定物と
が完全に離れるまで測定球を移動させる第2の測定手順
と、前回のアプローチ終了時の変位量と今回のアプロー
チ終了時の変位量とを比較してその差が成る一定範囲内
に入るまで第2の測定手順を繰り返し、最終的なアプロ
ーチ終了時の変位量を取り込む第3の測定手順と、上記
第3の測定手順で得た最終のアプローチ終了時の変位量
からNCの内部演算によって接触点の角度をめ、かつ請
求められた角度と測定球径とによって接触点の座標を算
出する第4の測定手順からなる三次元座標値測定におけ
る高精度角度検出方法である。
有する倣い工作機を用い、1軸固定で自動アプローチを
かけ、自動アプローチ終了点における変位量から接触点
の被測定物からの抗力の方向ベクトルをめ、つづいて同
時3軸NC自動送りによってベクトル方向に測定球と被
測定物とが完全に離れるまで測定球を移動させる第1の
測定手順と、同時3軸NC自動送りで前回のアプローチ
終了点へ位置決めし、再び変位量を読み取り、被測定物
からの抗力の方向ベクトルをめ、その後同時3軸NC自
動送りによってそのベクトル方向に測定球と被測定物と
が完全に離れるまで測定球を移動させる第2の測定手順
と、前回のアプローチ終了時の変位量と今回のアプロー
チ終了時の変位量とを比較してその差が成る一定範囲内
に入るまで第2の測定手順を繰り返し、最終的なアプロ
ーチ終了時の変位量を取り込む第3の測定手順と、上記
第3の測定手順で得た最終のアプローチ終了時の変位量
からNCの内部演算によって接触点の角度をめ、かつ請
求められた角度と測定球径とによって接触点の座標を算
出する第4の測定手順からなる三次元座標値測定におけ
る高精度角度検出方法である。
ホ、実施例
第4図乃至第8図において、斜線部分は測定斜面(11
)を示し、円は倣い工作機の測定球(12)を示し、一
点鎖線(C)は測定点(P)での面法線を示し、矢印(
D)は測定球の運動方向を示し、矢印(N)は演算結果
による抗力の方向を示す。
)を示し、円は倣い工作機の測定球(12)を示し、一
点鎖線(C)は測定点(P)での面法線を示し、矢印(
D)は測定球の運動方向を示し、矢印(N)は演算結果
による抗力の方向を示す。
以下、第4図乃至第8図によって本発明による三次元測
定における角度検出方法を説明する。
定における角度検出方法を説明する。
第、1の測定手順
測定球(12)を被測定物に対し、x、y、z軸、のう
ち−軸固定で自動アプローチさせ、自動アプローチ終了
点、即ち測定点 (T)における変位量E” 、’E
y % E zを読み取り、NCの内部演算によって測
定点(T)の斜面からの抗力の方向ベクトルをめる(第
4図)。この演算によってめられた抗力の方向ベクトル
は、理論的には第1図のT−0線の方向に向いている筈
であるが、現実的には摩擦力(f)の存在によって、測
定点(T)での法線より若干反時計方向、例えば矢印(
N)で示す方向に向いている(第5図)。そこで、演算
による上記抗力の方向ベクトルの方向に測定球(12)
と斜面とが完全に離れる距離だけ、測定球(12)を同
時3軸NC自動送りによって移動させる(第6図)。
ち−軸固定で自動アプローチさせ、自動アプローチ終了
点、即ち測定点 (T)における変位量E” 、’E
y % E zを読み取り、NCの内部演算によって測
定点(T)の斜面からの抗力の方向ベクトルをめる(第
4図)。この演算によってめられた抗力の方向ベクトル
は、理論的には第1図のT−0線の方向に向いている筈
であるが、現実的には摩擦力(f)の存在によって、測
定点(T)での法線より若干反時計方向、例えば矢印(
N)で示す方向に向いている(第5図)。そこで、演算
による上記抗力の方向ベクトルの方向に測定球(12)
と斜面とが完全に離れる距離だけ、測定球(12)を同
時3軸NC自動送りによって移動させる(第6図)。
第2の測定手順
第1の測定手順でめたアプローチ終了点へ同時3軸NC
自動送りによって測定球(12)を位置決めしく第7図
)、再び変位量Ex’、E yl、Ez”を読み取り、
この状態での斜面からの抗力の方向ベクトルをめ、つづ
いて同時3軸NC自動送りによって上記抗力の方向ベク
トルにそって、測定球(12)が斜面から完全に離れる
まで移動させる。
自動送りによって測定球(12)を位置決めしく第7図
)、再び変位量Ex’、E yl、Ez”を読み取り、
この状態での斜面からの抗力の方向ベクトルをめ、つづ
いて同時3軸NC自動送りによって上記抗力の方向ベク
トルにそって、測定球(12)が斜面から完全に離れる
まで移動させる。
第3の測定手順
第1の測定手順によるアプローチ終了点の変位量と第2
の測定手順によるアプローチ終了点の変位量とを比較し
、その差が一定範囲内に入るまで、上記第2の測定手順
を繰り返す(第8図)。
の測定手順によるアプローチ終了点の変位量とを比較し
、その差が一定範囲内に入るまで、上記第2の測定手順
を繰り返す(第8図)。
第4の測定手順
第3の測定手順によって最終的なアプローチ終了時の変
位量を取り込み、NCの内部演算によって接触点の角度
をめる。そしてめられた角度と測定球径とによって接触
点の座標を算出する。
位量を取り込み、NCの内部演算によって接触点の角度
をめる。そしてめられた角度と測定球径とによって接触
点の座標を算出する。
へ9発明の効果
上記の第1から第4の測定手順において、第3の測定手
順によってアプローチ方向が原因で注じる摩擦を減じ、
斜面からの抗力を接触点の面法線方向へ近づけることが
可能となる。
順によってアプローチ方向が原因で注じる摩擦を減じ、
斜面からの抗力を接触点の面法線方向へ近づけることが
可能となる。
本発明は同時3軸制御機能及び自動アブローチ機能を備
えた倣い工作機のトレーサを用いた測定のみでなく、ア
ナログ式三次元座標測定機にも応用できる。
えた倣い工作機のトレーサを用いた測定のみでなく、ア
ナログ式三次元座標測定機にも応用できる。
第1図は倣い工作機のトレーサによる三次元座標測定実
理図、第2図はトレーサの内部構造を示す図面、第3図
は自動アプローチ終了点での測定球と斜面間の力関係を
示す図面であり、第4図乃至第8図は本発明の測定手順
の説明図である。 (11) −測定斜面、(12)−・−測定球、(T)
−・測定点、(N)−測定点(T)での面法線。 第1WJ 1( 千 第8図
理図、第2図はトレーサの内部構造を示す図面、第3図
は自動アプローチ終了点での測定球と斜面間の力関係を
示す図面であり、第4図乃至第8図は本発明の測定手順
の説明図である。 (11) −測定斜面、(12)−・−測定球、(T)
−・測定点、(N)−測定点(T)での面法線。 第1WJ 1( 千 第8図
Claims (1)
- (11自動アプローチ機能、及び同時3軸制御機能を有
する倣い工作機を用い、1軸固定で自動アプローチをか
け、自動アプローチ終了点における変位量から接触点の
斜面からの抗力の方向ベクトルをめ、つづいて同時3軸
NC自動送りによってベクトル方向に測定球と斜面とが
完全に離れるまで測定球を移動させる第1の測定手順と
、同時3軸NC自動送りで前回のアプローチ終了点へ位
置決めし、再び変位量を読み取り、斜面からの抗力の方
向ベクトルをめ、その後同時3軸NC自動送りによって
そのベクトル方向に測定球と斜面とが完全に離れるまで
測定球を移動させる第2の測定手順と、前回のアプロー
チ終了時の変位量と今回のアプローチ終了時の変位量と
を比較してその差が成る一定範囲内に入るまで第2の測
定手順を繰り返し、最終的なアプローチ終了時の変位量
を取り込む第3の測定手順と、上記第3の測定手順で得
た最終のアプローチ終了時の変位量からNCの内部演算
によって接触点の角度をめ、かつ請求められた角度と測
定球径とによって接触点の座標を算出する第4の測定手
順からなる三次元座標値測定における高精度角度検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8888884A JPS60233512A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 三次元座標値測定における高精度角度検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8888884A JPS60233512A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 三次元座標値測定における高精度角度検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60233512A true JPS60233512A (ja) | 1985-11-20 |
| JPH0229965B2 JPH0229965B2 (ja) | 1990-07-03 |
Family
ID=13955508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8888884A Granted JPS60233512A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 三次元座標値測定における高精度角度検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60233512A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131016A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-03 | Mitsutoyo Corp | 測定方法 |
| KR100457315B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2004-11-16 | 현대자동차주식회사 | 기계가공 부품용 검사장치 |
| JP2008268118A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | 形状測定方法及び装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5121292B2 (ja) * | 2007-04-24 | 2013-01-16 | 株式会社牧野フライス製作所 | 形状測定方法及び装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943308A (ja) * | 1982-09-03 | 1984-03-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 三次元形状の検出方法と装置 |
-
1984
- 1984-05-02 JP JP8888884A patent/JPS60233512A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943308A (ja) * | 1982-09-03 | 1984-03-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 三次元形状の検出方法と装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131016A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-03 | Mitsutoyo Corp | 測定方法 |
| KR100457315B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2004-11-16 | 현대자동차주식회사 | 기계가공 부품용 검사장치 |
| JP2008268118A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | 形状測定方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0229965B2 (ja) | 1990-07-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10209107B2 (en) | Geometric error identification method of multi-axis machine tool and multi-axis machine tool | |
| US5501096A (en) | Calibration method for determining and compensating differences of measuring forces in different coordinate directions in a multi-coordinate scanning system | |
| US4636960A (en) | Method of operating a machine tool with a sensing probe in order to gather positional data for the calculation of tool offset parameters | |
| US3840994A (en) | Method and device of automatic measurement for use with a numerically-controlled lathe | |
| JP7576520B2 (ja) | 工作機械の誤差同定方法、誤差同定プログラム、工作機械 | |
| CN100387931C (zh) | 实现大量程自由曲面的高精度测量方法 | |
| JP5444590B2 (ja) | ワーク基準点機上検出方法及びその方法を用いた加工装置 | |
| CN109341471A (zh) | 基于球列实现三轴机床几何误差检测的鉴定方法 | |
| US20210010791A1 (en) | Method and Apparatus for Determining a Relative Position of an Axis of Rotation of a Rotary Table for a Coordinate Measuring Machine | |
| CN102362143B (zh) | 形状测定装置 | |
| US4542467A (en) | Method of operating a machine tool with a sensing probe in order to gather positional data for the calculation of tool offset parameters | |
| JP5201871B2 (ja) | 形状測定方法及び装置 | |
| EP1491287B1 (en) | Self-centring sensing device | |
| CN113733102B (zh) | 一种用于工业机器人的误差标定装置 | |
| GB2108715A (en) | Method of operating a machine tool | |
| JP2831610B2 (ja) | 測定装置 | |
| CN111536877A (zh) | 一种三坐标测量机上的线激光传感器姿态标定方法 | |
| CN102873586A (zh) | 数控加工工件曲率半径快速在线测量装置 | |
| JPS60233512A (ja) | 三次元座標値測定における高精度角度検出方法 | |
| Guo et al. | Continuous measurements with single setup for position-dependent geometric errors of rotary axes on five-axis machine tools by a laser displacement sensor | |
| CN216846033U (zh) | 基于深矢高工件的内壁测量系统 | |
| CN114018174B (zh) | 复杂曲面轮廓测量系统 | |
| JP2002267438A (ja) | 自由曲面形状測定方法 | |
| JP2628523B2 (ja) | 表面形状測定用トレーサ | |
| JPH02281102A (ja) | ボールエンドミルの真球度測定方法 |