JPS60236062A

JPS60236062A - 超音波探傷装置

Info

Publication number: JPS60236062A
Application number: JP59092454A
Authority: JP
Inventors: Kuniharu Uchida; 内田　邦治; Kiyoshi Kakihara; 柿原　清
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-05-09
Filing date: 1984-05-09
Publication date: 1985-11-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明はアレイＩ−リ探触子を用いｈ　ＩＫ了ノ１（Ｉ
ｒ）−〇の超音波探傷装置の「に良に関Ｊ’６゜〔発明
の技術的背甲と−ｔの間１−１１）、１．４．１電子走
査型の超１イ波探傷装隨ヲ」、ｌ＋ｌλげ・Ｖルス反射
法では、複数個の超音波ビームを的純状、曲線状或いは
平面状に配列しｌＦ−γレイＱｌｌ探触ｒを用い、各振
動イを夫々ＨＩＩｒｒＪさ０て励Ｊｔｒｊｌ−１彼検体
中に形成される超音波ビームを１１自り県中制御すると
共に名振動子で受信（７て得た超ｉｉ波受信信号を夫々
遅延させて加勢することＶとより、被検体の所望領域内
から超音δν情報を選Ｖ〈的に収集し、被検体の探陽に
供するようにしたものである。

ここで、アレイ型探触子の送受面にアクリル、水等の接
触媒体を介して探傷する場合について第１図を参照して
説明する。即ち、アレイ１−リ探触子１の中央部から送
信される超音波主ビーム２に注目し、所望の集束点３（
距ｔｌｉｆ１７−ｚ）から図中のように演算される仮想
集中点４（Ｎ［Ｉｔｔｚ　ＸＣ２／Ｃ＋　）を中心とし
た円筒面５と各掘動子の距離差６に対応した時間差を各
振動子にｔｊえて夫々励振する。このように励振すると
各振動子からの超音波ビームは所望の集束点３に集束せ
ず、所謂集差を生じる。この集差は、接触媒体（距離ｔ
Ｉ　：音速ＣＩ）７と被検体（音速ＣＩ　）Ｓの音速差
Ｃ１−Ｃ言が大きく、また、被検体８中の超音波集束距
離１．が、アレイ型探触子の開口寸法Ａに比較して十分
大きくない場合に著しく生じるものである。

従って上記接触媒体７を用いた探傷では各振動子に遅延
時間を与えて励振しても、十分な超音波集束が得られず
、よって良好な超音波探傷ケま行なえなかった。

また、上述した電子走査型の超音波探傷装置では、名振
動子に対応させて送信器が必要である。また受信信号は
夫々送信時に対応して所定の時間だけ遅延させ波形加算
することが必要である。この場合、この受信信号の遅延
方式とし−（け、遅延線を組合わせたアナログ遅延方式
や、ＣＣｎ素ｒ−、アナログ／デジタル変換によるデジ
タル遅延方式等があるが、こＪ＋らの遅匂冒ｊ式では上
記送信器の設置個数の必’＆Ｐ１と相ｉって構成が複雑
であり、（ｇす処理が掬＃（ｌであるという不具合があ
った。

〔発明の目的〕

本発明は」−二記小情に基づいｒ−なさ！１にもので、
その目的とするところは、東ｉ髪町び）ない−イ１１″
ｔ１７シ集束を得、また、超音波送信器のｔＩＩを少＜
−１−るとともに、受イ８信りの〃々１しを簡素化゛す
ることがｌｌｉ能な超音波探傷装置ｆＩＭ供することに
ある。

〔発明の概曹〕

本発明による超ｔ（岐Ｉｆ１％ツノ／Ｉ１．：を、１１
、局Ｅｌｓ本σ法等のように、アレイ型探触子と被険体
との間ＶＣ超音波接触媒体を介し７て探傷する−０に、
？’＋　ｌｂ４動子の送信タイミングを、−１・ｈ１１
波神体表１〕記超音波接触媒体との超音波屈折色黒に基
づ＾設定し、超音波送信時の超庁波集中人ｊ、Ｉを、振
即１ｒの配列ピッチの整数部の１毎に」！＋６　！ＩＩ
Ｉ＋−ｆ配列ノブ向に移動させて電子走査゛Ｉ“るに際
し、１４ｈ己送信タイミングを規定する遅延時間を超音
波送信器だけにｅ　’ｚｊ：　ｌ／、受信時には、各振
動子からの受信信号を・同時廂詩゛するようにしたこと
を特徴としてい、６．。

〔発明の′夾施例〕

」゛ノ下本）へ明に係る超音波探傷装置を、第２図に７
１＜す一実施例に従い説明する。第２図においで、７＆
：を枚数の振動子９から構成されたプレイＱｌｉ接触子
である。１０は各振動子９夫々に対応さＪ＋た？ｔｆ数
の超音波送信器で構成される送信器／ＩＴ＋である。１
１は各撮動子９夫々からの受信信号を選定する市１子ス
イッチである。１２は電子スイソゴＩＩを通過した受信
信号が取込まれる［りの受（Ｈ器で構成される受信器群
である。

１３１、Ｊ、受イｄ器群１２の夫々の受信器の出力を取
ｉへみ、それらを加勢する加算器である。

１４を１送信器群１０Ｉ７）名送信器に送信遅延時間（
ｉｔ　’−ｉ（＋：４え、受信器群Ｉ２の各受信器に上
記１’ｉ　１ｊ４　ｉｊｄ　４＋ｌ；時間信号に同期し
た受信遅延時間信号を・ｌ）える％　４Ｑ□時間設定器
である。１５はデータ＋ｊ寸Ｉｎ、：器１６からの１８
号に基づき、遅延時間設定５− 器１４、電子スイッチ１ノおよび加η器ｔ　’ｔへ制御
信号を与えると共に信月処ｊ’ｑｌ器１７と１１）号の
入出力を行なうコンピュータである。ｔ：　Ｉｉ＋：：
　ニおいてデータ設定器１６１Ｊ伯号処理器１７Ｑ）ｆ
−夕読取りを制御する（Ｍ　）ｊ’ｃ　ｊＲ＞　’ｚｉ
、（するものである。１８は、信号処理器１７の出力を
六小−ｆる画像表示器であり、この画１ψ六／１〈器７
　ｓ　Ｃ，（１られた信号は信号処理器Ｉ７に人力され
る。

次に上記構成の詳却１について第２図：Ｌ’　、ｈび第
を受けることにより対応する振動子９に励掘月１単発波
を与えるものである。遅延時間設定器１４は、コンピー
タノ５からの遅延時間７°−タを受取り、内部のレゾス
ターに７リセ、ト叶能としており、さらに所定のレジス
ターのｒ−タデリセットが終了すると遅延時間設定ｚ４
ｉｔの内部発振器が作動しゾリセ、トされた値に応じて
送信器群１０ヘノ９ルス信号を送（＋Ｔするもの６− である。

なお、遅延時間設定器１４内のレジスターの選定は、電
子スイッチ１ノのセットと加算器１３の加算信号の選定
と信号処理器１７への選定された振動子群データの送信
とをコンピュータ１５より出力されるものである。

次に、電子スイッチ１１で選定された振動子群９からの
受信信号群は夫々受信機群１２で増幅された後、加算器
１３に入力されこの加算器１３内でアナログ加算される
。ここで加算器１３は人力された受信信号を非遅延加算
又は遅延加算するもであり、この加算受信信号は加算器
Ｉ３が内蔵する減衰器及び増幅器によって適正信号レベ
ルにまで調整した後信号処理器１７に入力される。

信号処理器１７に入力された加算受信信号は、信号処［
１１！器！７内で検波された後、任意に設定できる信号
処理器１７内のディスクリレベルによってＣＲＴ　（陰
極線管）を有した画像表示器１８への輝度変調用信号を
生成する。この輝度変調用信号は、所定の信号レベルを
１００俤とすれば、１００％以上、１００〜５０チ、５
０％〜２０チ、２０％以下の各段階に対して階駐・１を
持った信号出力であり、もちろん超１’を波のに’１１
離減衰特性を考慮した輝度変調用４１１　’ｊとなって
いる。また、信号処理器１７け、コンビ、−タＪ５から
の選定された振動子群のデータと超ｉ″１波集束位置の
データを受り、面白ψ衣示器１８への画像掃引速度りを
作成して出力する。３Ｎらに、画像表示器１８からは後
述ｒるカーソル１１°ｌ醒１１１号を受け、画像掃引速
度との対応から、カーソル位置を超音波ビーム伝播距離
長さに換ＮＬ’Ｃコンピュータへ出力する。々」、・±
六：、１？！弓処理器１７は、画ｆ象衣が器Ｉ　８から
、１曲１象宍２１り月１７Ｌ査線群を選択したデータ出
力（ｒ受＋ｊ、ＡスＩ　−ゾ衣示群を選定し、これらの
Ａス：７−　ｆ表小用の波形信号群を画像表示器１１４
へ出力１７ている。

画像表示ａ　１　Ｂ　＆１　ｓｌｌ述り、＃　、ｔ：　
’）　Ｋ　ＣＲＴ　ｙｌ　ａｌｏｆｖ！掃引上の任意に
移動設定可能なカーソルと＾スフ−１表示用のｙＩｌ査
線群の選シ１“カーソル３１一台−表示するとともに、
これらのカーソル位置信号を信号処理器１７へ出力して
いる。また、信号処理１７から画像表示用の掃引信号と
輝度変調信号を受け、被探傷材のＢスコープ像（断面画
像）を表示するとともに、Ａスフ−１表示の波形信号群
を受け、Ａスフ−１表示をＣＲＴに行う。

次にデータ設定器１６は、例えば第４図に示すようにデ
ジタルスイッチ１９等によシ、外部から電子走査の設定
に必要な、超音波接触媒体での音速ＣＩと、被検体での
音速Ｃ２と、アレイ型探触子１の振動子配列ピッチＰと
送受信時の振動子９の組合せの数と、電子走査線のピッ
チとをデコーダ２０およびインポート２１を介してデー
タパスラインによりコンピュータ１５へ与えるものであ
る。コンピュータ１５は、これらの数値データと、前記
した信号処理器１７からのカーソル位置に対応した超音
波伝播距離によって超音波接触媒体長さと被検体中の超
音波集束距離とを用いて、所定の各振動子に設定すべき
遅延時間を演算する。また、コンビュ、−９− タ１５は、１ｇ号処理器Ｉ７から出ＪＪさｔする曲白ψ
掃引用信号に同期してタイミング（ｒｔ　’ｊ　’Ｋ　
４ｇ　’３　姐理器１７から受け、このコンピュータＩ
　５ｐ４１１（あらかじめ設足場ねたプログラム＆（’
Ｉｒｔい次回に走査すべき振動子群の絹合せを選定し７
てＪ！′１ヘク１１一時間設定器１４、電子スイ、ｆｌ
　Ｉ、加’ｐＥ　ｌ：；　ｔ　３および信号処理器Ｉ７
へ出力すイ、ものである。

次に本実施例の作用（探傷力θ、）を列挙（７−（順に
説明する。

第１の方法は、第４図に２１：すようＶこ、γし・イ型
探触子１の選定式れた振動子群によイ、探Ｍ’ｌ’　ｆ
開口寸法人の中央点Ｐから距離ａ−（ある揚動−ｒ９に
与える遅延時間ΔＴ１は次のように定められ。

る。ここでアレイ型探触子１と徘検体８とが角度θで傾
いて設定さねているとする。この場自には、超音波接触
媒体７の音速Ｃ，と被検体８の音速Ｃ意とから下記式（
１）　−ＣｙＨｅさＪするスネル・の法則によって被検
体８への超音波ビーム屈折角ψが容易にめられる。さら
に中央点Ｐからの超音波ビームが超音波接触ＩＮ体７中
をＭ＋１離１１１０− だけ伝播し、被検体８中を集束点３１で距離ｔ１だけ伝
播することを知り、下記式（２）で決定される。

Ｊ−θ／自　−８石ψ／Ｃ！　・・・（１）ΔＴ、　＝
　（＋　（８４−ｂｌｃｏｓ）２＋（ｔＩ　−ｂｌｓｌ
ｎθ）２）／ＣＩ（１＋　／自＋ｔ＠／ＣＺ）　・・・
（２）ここで、ｂ、は第４図に示されるように、Ｉ１１
位置の１λ！動子からの超音波ビームと中央点Ｐからの
超音波ビームとが被検体８の表面上でなす距離であり、
スネルの法則により下記（３）でめられる。

（ｔ１ｓｌｎθ十ａｌ（ＸＩＳθ−＋）　ｌ　）／　（
〆（ａＩ−１）ＩＣＯ８θ）２＋（ｔＩ−ｂ　ｌ５ｉｎ
θ）２×ｃ１）ここで、ｂｌは式（３）で陰関数となっ
ており、一般に、閉じた形ではめることは困難である。

この第１の方法でを、１、式（３）を変形し、’ｔ’Ｖ
式（４）のように表わし、（４）式のルート内に７バさ
Ｊ＋るｂ　を、式（５）のｂｌ車で近似的に〜えている
。即ち、第５図に示すように仮想集中虚４’ｆ−岐検１
１・Ｈの表面から距離１　＊　Ｘ　Ｃ＊　ＩＣｌｌ１ｒ
　’ｉｔ？ｃ時前Ｎ＋：　（１７＄１ａ１の振動子９か
らの超音波ビームが被検体８０表面−Ｆで中央点Ｐから
の超音波ビームとなす距離であり、ｂ　＊＝　ａ　−１４Ｃ２／（１＋　Ｃ１＋ｌＩ　Ｃ２
）ｃｍθ　−（５）１従って式（４）と式（５）とからｂｌが下記式（６）か
ら容易に決定され、式（２）から遅延時間Δ′ｒ１力中
ら７しる。

・・・（６）一方、アレイ型探触子１が被検体８と平行に配置された
場合には簡略となシ、夫々（２）１式および（６）１式
で示される。

ΔＴ１７　／（ａＨ−ｂρ２＋ｔ＋　２／ｃＩ　ｖｂｌ
　２＋ｔ２’／Ｃｚ−（４／ｃＩ　＋に／Ｃｓ）・・・
（２）′ あっても式（２）　、　（３）を用いて厳密にめた値の
１チ以１の精度で一致し、従来式（５）と式（２）から
めた遅延時間ΔＴ１の値が厳密値と１０％以上の誤差を
生じていたのに較べ、極めて高精度となる。

１３− 以上述べたように、本例で（」、ｒ−タｆｌｙ）　５ｉ
４器１６からの出力に基づき容易にＭＩｎ波ピームル（
折角ψがめらＪｌ、この超音波屈折角ψにより遅延時間
ΔＴ、（送信タイミング）が設定されるので、所望の位
置に超音波集中がなされ、良好な探傷画像（Ａスコープ
、Ｂスコープ）が１１４られる。

次に、本実施例における第２の方法である電子走査方向
へ超音波集束点を振動子配列ピッチのＮ７Ｍ（Ｎ、Ｍｄ
整数、Ｎ≦（Ｍ／２））だけ移動させて電子走査する場
合の作用例をｄ９明する。即ち、第６図（ａ）に示すよ
うに、所定の振動子の組合せを同一としｆＣまま、超音
波主ビーム２が、被検体８の所定の集束深を位Ｗ　ｌ　
ｍで振動子ピッチＰのＮ７Ｍだけ移動する。１−うに遅
延時間ΔＴ、を設定するものであり、式（６）　を左目
、（６）′によって与えられるａｌに超音波集束点の移
動数ＰＸ（Ｎ７Ｍ）だけ加算、或いは減衰した値を用い
てｂ［を演算し、式（２）または（２）′から存延時間
ΔＴ１が得られる。第６図（ｂ）には振動子ピッチＰの
１４− １／３だけ超音波集束点を左右に移動させた例を示した
が、振動子の組合せＡＩ　とＡ！とＡＩとで夫々・印、
○印およびＸ印で示されるように超音波集束点が移動さ
れ、超音波の走査線密度が振動子♂ッチＰの３倍となる
ことが認められる。なお、第６図（、）　（ｂ）は簡単
のために超音波接触媒体を有さない場合について示した
ものであるが、もちろん、第１の方法の如く超音波接触
媒体７を用いた場合にも適用できる。

第７図は上述した方法によって、電子走査する例を示し
たものである。即ち、超音波主ビーム２を第７図中の一
点鎖線のＳノ方向へ傾は電子走査２２した後、次に実線
Ｓ２方向へ傾け、電子走査し、さらに破線Ｓ３方向に傾
けて電子走査している。このように電子走査毎に超音波
主ビーム２の傾き方向を変更することによシ、−回の電
子走査時には、第８図に示すように被検体８への超音波
屈折角が特定化されるため、被検体８内部の欠陥２３の
傾き角に応じた超音波反射を生じる。したがって特定化
された超音波屈折角に応じた超音波探傷ｉｄ＋ｉ像が得
ら７１、傾斜欠陥に対するｆ−１１断も容易となる。

上記においては、第１の方法と第２の方法とを併用して
行う場合、また個別に行なう場合とがあり随時選定でき
るものである。

次に本実施例の第３の力ｒＪ：、である超音波送信時に
超音波ビームの集中と集束点の移４１１ノとを行い、受
信時には超昌波ビームを平行ビームとして、すなわち各
撮動：ｆ間での１１Ｙ帆時間をりえずムの送信および受
信時の様相を図軍したものである。第８図において超音
波送波ビーム２４ｆＪ遅延時間のｆｌｉ制御により集束
さ１ｔ−Ｃ欠陥２３に入射されるが、反射された超餡θ
シビームｔ、Ｉ欠陥の反射指向性に従う。したがって、
本）Ｊメツ、に工れば超音波集束さＪｌたｄｆ（音波ビ
ームの領ＩＪ１．かＣ）の反射エコーを適格の−Ｊ１３
触子で受波すると同時の効果を生じる。これにより通′
畠の一探触ｒ−による超音波の送ｆｉ　ｊｆｌび受信に
比較し本ノＪθくによれげ集束精度が従来より高いため
方位分解能が格段に向上するものである。第９図は、人
工的な横穴の欠陥２３を探傷しアレイ型探触子を用い送
信と受信を超音波集束させた場合、送信だけ超音波集束
させ、受信は集束させない場合、送信と受信をともに集
束させない場合の超音波受信波形を示したものである。

この第９図からも超音波集束が送信時だけ行なわれても
十分な探傷性能があることが認められる。なお第９図は
超音波媒体を介さない時の例であシ、第９図（ａ）は探
傷の様相を示しており、第９図（ｂ）においてＥｌは送
（８時及び受信時共に超音波集束でない場合の欠陥２３
（Ａ）の反射エコーのＡクコ−１表示であり、Ｅｌは送
信時には超音波集束で受信時には超音波集束がない場合
の欠陥２．９（Ａ）の反射エコーのＡスコー７″表示で
あり、Ｅ３は送信、受信時共に超音波集束の場合の欠陥
２３（Ａ）の反射エコーのＡクコ−１表示である。

第９図（−）　（ｂ）に示される如く、超音波接触媒体
を用いた場合でも同様な効果が得られることは１７− 明らかである。よって、アナログ（ａ　′ｒ！Ｊの１１
≠帆加算を行なう複雑な構成が省略できる。に制のおい
ては、第１、第２、第３の方法を併用り、てｈなう場合
、また個別に行なう場合とがあり随時選定できるもので
ある。

本実施例は以下のダ１１挙した如く変形（７て実施して
もよい。即ち、 ■　本実施例では、被検体８の表面とアレイ型探触子１
の振動配列方向と直行Ｅ７た方向が平行に配置された場
合を示したが、も１〕ろん第１（）図に示すように傾け
て配置ｆｆ　してもよい。

■　本実施例では送信用振動子群と受伯用据動子群を同
一としたが、受信月１振動子群と送信用振動子群とを異
ならせて実施してもよい。この場合には第１１図（ａ）
に示すように受信用４ｋｉ　！ｌ！＋子群を固定し、送
信用Ｄｉ動子群だけを′１攬子ル査２２させ、第１１図
（１１）に小すように送波用４に＊　Ｉｋ１４子群を固
定し、受波用」辰動子群だ＋ｊを′酊ｒ−ノｌ：査２２
させたりすることが＋ｒ丁能となる。し友がって、従来
、タンガム探１易法を本’ｔ！　ｈｉＩＮ　ＶＣ上りり
！１８− に精度よく実現できるものである。

（３）　送信用振動子群の遅延時間をプログラム的に順
次変更し、所謂セクタ走査（扇形走査）方式で超音波ビ
ームを送信することもできる。なお、上記■の場合には
、例えばＣＲＴ上のＢスコーゾ衣示は、第１２図に示す
ように受信用振動子群３、ツと送信用振動子群３４の主
ビーム間の距離１〕と、遅延時間制御による送波ビーム
設定角度αと、アレイ型探触子と、被検体との距離ｔｓ
を知ることにより、受信信号のビーム伝播時間■、を用
い下記式（７）によって画像掃引信号Ｔを作成すれをｊ
”よい。

但しｃ、’（ｃ２　・・・（７）ここ〒、Ｃ２’＋Ｃ２は夫々被検体への超音波ビーム送
イ１時および受信時の音速であシ、Ｌ　−んＣ！＝Ｃ２
′の場合より簡略化された式となることは明らかである
。

上記式（″）によ・て・＋ｒ！＋ｉ像掃り１イ阿号１は
７−Ｅ２”乙となり、ビーム伝播時間りに応じて作成す
ればよい。さらに画像掃引（Ｍ号Ｔから超音波に°−ム
集束のための遅延時間を演算するためにｔ、ｔ　７ｉ＋
　Ｍピした画像掃引１．ｘのカーソルからｌ’　ｍ：式
に、Ｌ：　ツーＣ１ｔ、およびｔ２をめ式（２）　−４
ｈ−ｒ、Ｊ一式（２）′を月１いＪｌばよい。

なお、ｔ３は送悄用振動子／＋Ｆと受信用振動子群を十
分近づけて被検体の異面からのｌ’ｊ−ｍＪ　ＪＬココ
−検出することにより、容易にｃｒｔＴｔｉｌｅ像りの
カーソルを設定してめらハる。また、送信時と受信時の
被検体中の１［を速Ｃ２’　＋　Ｃ＊　Ｖ′、ｉ、送波
ビーム設定角度αからスネルの法則により−（超音波ビ
ームのモード（縦波、横波、表面波ギト）を選定するこ
とによって決定できる。なお、送信ビーム設定角度αに
よっては、被検体に１Ｍ　Ａ＆の超音波モードが生じる
が、送波ビームｎｕ　＞ｉ：角度αが定′まれは被検体
中への屈折角βは超音波モードによって定まるため、超
音波エコーがいずれの送信時の超音波モードによってい
るものであるかは、第１２図に示した幾何学的関係から
容易に判定できる。なおまた、送波ビーム設定角をαと
して場合には、各振動子の遅延時間設定は式（２）又は
式（２）′の値に、前記設定角に対応した部延時間が付
加される。例えばａｉ位置の振動子については１４１ｄ
ｌｌθ／　Ｃｓの遅延時間が加算さＪするものであるこ
とは言うまでもない。

土Ｈ【：方式以外に本発明ではその要旨を逸脱しない範
囲で欅々変形して実施できるものである。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、以下の如くの効果を
奏する超音波探傷装置が提供できる。

即ち、超音波ビームの集束が高精度に実施できる。−ま
た、「モ意の超音波ビーム集束距離で超音波ビームを電
子操作方向に微小に移動できるため、少い超音波振動数
で高い電子走査密度を得ることが可能となり探傷分解能
が向上する。

２１− さらに、超音波ビームを送４８する時だけ各振動子の励
振時点に遅延時間を持たせ、受信時には各振動子間に遅
延時間を持た亡ないため、アナログ信号の遅延加算とい
う複雑４回路が不要となる他、装置の小型化が可能とな
る。さらに、受信信号の遅延加算を行なわず平行ビーム
として受信するため、受信時も集束を行うに比べ、広範
囲の領域を見逃しなく探傷できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の超音波集束における集差を説明する図、
第２図は本発明に係る超音波探傷装置の一実施例を示す
プロ、り図、第３図は第２図におけるデータ設定器の一
例を示す図、第４図は本実施例の超音波集束を説明する
図、第５図は本実施例の超音波集束のためのｄ［算方式
を説明する図、第６図は本実施例の超音波集束点の移動
を説明する図、第７図は本実施例の方法によって電子走
査を行う例を説明する図、第８図は本実施例の送信時の
集束と受信時の集束無しによる効果を説明する図、第９
図は本実施例２２− の超音波集束の効果を説明する図、第１０図及び第１１
図は夫々本発明の他の実施例を説明する図、第１２図は
第１１図における適用法を説明する図である。１・・・アレイ型探触子、１０・・・送信器群、１ノ・
・・電子スイッチ、Ｉ２・・・受信器群、１３・・・加
算器、１４・・・遅妙時間設定器、１５・・・コンピュ
ータ、１６・・・データ設定器、Ｉ７・・・信号処理器
、１８・・・画像表示器。出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第３図２１第４図、−１Ａ −へ−／ −−−、／／／ｈ、〜１、・ｉＩ　Ｐ７７〜　・　・°“、′ぐ’−！扇；がＪ　、／／／／／／。７′／８〜　／／！２・７−／／／−／Ｌ”ｆ’２５図第７図ｚ３第８図（ａ）　（ｂ）ン３　２３第９図（ａ）

Claims

【特許請求の範囲】

被検体との間に超音波接触媒体を配置したアレイ型探触
子を用いて電子走査する超音波探傷装置において、送信
時には、上記被検体と上記超音波接触媒体との超音波屈
折角度を算定して上記アレイ型探触子の各振動子の送信
タイミングを設定することにより上記被検体の所望の領
域（・Ｃ超音波集束を生じせしめ、上記アレイ型探触子
の振動子配列方向に振動子配列ピッチＰの１／Ｎ（Ｎは
整数）だけ集束位置をずらせる毎に走置し、上記振動子
配列ピッチＰのＡを越えない範囲まで集束位置を順次移
動させ、受信時には、上記各振動子からの受信信号を遅
延させることなく加算するように構成したことを特徴と
する超音波探傷装置。