JPS60236443A - 荷電粒子用静電レンズ - Google Patents
荷電粒子用静電レンズInfo
- Publication number
- JPS60236443A JPS60236443A JP59094104A JP9410484A JPS60236443A JP S60236443 A JPS60236443 A JP S60236443A JP 59094104 A JP59094104 A JP 59094104A JP 9410484 A JP9410484 A JP 9410484A JP S60236443 A JPS60236443 A JP S60236443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- charged particles
- electrostatic lens
- cylindrical body
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はＸ線光電子分光分析（ＢＳＣＡ）、オージェ電
子分光分析（ＡＫＳ）等の表面分析の際に適用される荷
電粒子用静電レンズに関する。
子分光分析（ＡＫＳ）等の表面分析の際に適用される荷
電粒子用静電レンズに関する。
（ロ）従来技術
一般に、ＥＳＣＡ、ＡＩ！：Ｓ等の表面分析には励起源
となる荷電粒子を試料に照射するため電子銃やイオン銃
が用いられる。このような電子銃やイオン銃には荷電粒
子のビームを収束するために静の静電レンズは、金属な
どでできた円筒電極の複数個を同軸的に配列してなる円
筒電極レンズが広く用いられている。この円筒電極レン
ズは、円筒電極と絶縁物の円筒とを交互に積層したり、
あるいは円筒電極の外周部の２，３か所に取付穴を設は
仁の取付穴にそれぞれ棒を通して各円筒電極を固定支持
するなどして製作されている。ところが、このようにし
て形成された円筒電極レンズでは加工９組立の面から各
円筒電極の中心を正確に位置合せすることが難かしく、
従って、レンズ電圧により焦点が中心軸上からはずれた
り、あるいは収差を大きくするなどの不具合を生じる。
となる荷電粒子を試料に照射するため電子銃やイオン銃
が用いられる。このような電子銃やイオン銃には荷電粒
子のビームを収束するために静の静電レンズは、金属な
どでできた円筒電極の複数個を同軸的に配列してなる円
筒電極レンズが広く用いられている。この円筒電極レン
ズは、円筒電極と絶縁物の円筒とを交互に積層したり、
あるいは円筒電極の外周部の２，３か所に取付穴を設は
仁の取付穴にそれぞれ棒を通して各円筒電極を固定支持
するなどして製作されている。ところが、このようにし
て形成された円筒電極レンズでは加工９組立の面から各
円筒電極の中心を正確に位置合せすることが難かしく、
従って、レンズ電圧により焦点が中心軸上からはずれた
り、あるいは収差を大きくするなどの不具合を生じる。
（ハ） 目的
本発明は従来のかかる問題点を解決し、レンズ電極の収
差が少なくレンズの軸合せが不要で、しかも取扱いや製
作の容易な荷電粒子用静電レンズを得ることを目的とす
る。
差が少なくレンズの軸合せが不要で、しかも取扱いや製
作の容易な荷電粒子用静電レンズを得ることを目的とす
る。
に）構成
本発明は上述の目的を達成するため、レンズ電の荷電粒
子静電レンズは、セラミック等の絶縁物でできた円筒体
を有し、この円筒体の内周面には、円筒体軸方向にわた
って複数のレンズ電極が所定の間隔を存して被覆形成さ
れていることを特徴としている。
子静電レンズは、セラミック等の絶縁物でできた円筒体
を有し、この円筒体の内周面には、円筒体軸方向にわた
って複数のレンズ電極が所定の間隔を存して被覆形成さ
れていることを特徴としている。
（ホ）実施例
以下、本発明を図面に示す一実施例に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の荷電粒子用静電レンズを熱陰極形イオ
ン銃に適用した場合の一部切欠正面図である。同図にお
いて、符号１は熱陰極形イオン銃を示し、２はイオン化
室、４はイオン化、室２を形成するケース、６はイオン
化室２にアルゴンガス等のガスを導入するガス導入管、
８は熱電子を放出させるだめのフィラメント１０はフィ
ラメント８からの熱電子を加速してガスと衝突させてイ
オン化するだめのグリッド、１２は本発明の荷電粒子用
静電レンズ、１４はイオン化室２からのイオンを荷電粒
子用静電レンズ１２に導くためのイオン通過孔、１６は
フィラメント８．グリッド１０および荷電粒子用静電レ
ンズ１２にそれぞれ電圧、を印加するための入力端子、
１８は上記入力端子１６やガス導入管６を固定するため
の支持枠である。
ン銃に適用した場合の一部切欠正面図である。同図にお
いて、符号１は熱陰極形イオン銃を示し、２はイオン化
室、４はイオン化、室２を形成するケース、６はイオン
化室２にアルゴンガス等のガスを導入するガス導入管、
８は熱電子を放出させるだめのフィラメント１０はフィ
ラメント８からの熱電子を加速してガスと衝突させてイ
オン化するだめのグリッド、１２は本発明の荷電粒子用
静電レンズ、１４はイオン化室２からのイオンを荷電粒
子用静電レンズ１２に導くためのイオン通過孔、１６は
フィラメント８．グリッド１０および荷電粒子用静電レ
ンズ１２にそれぞれ電圧、を印加するための入力端子、
１８は上記入力端子１６やガス導入管６を固定するため
の支持枠である。
上記荷電粒子用静電レンズ１２は、第２図に示すように
、セラミ□ツク等の絶縁物でできた円筒体２０を有し、
この円筒体２０の上部外周にねじ部２２が設けられ、ま
た円筒体２０の内周面には円筒体軸方向にわたって複数
（本例では３つ）のビンズ電極２４８５〜２４Ｃが所定
の間隔を存して被覆形成されている。これらの各レンズ
電極２４ａ〜２４Ｃはたとえば導電性物質を塗布あるい
は蒸着することにより形成される。さらに、円筒体２０
には各レンズ電極２４ａ〜２４Ｇに対応して、円筒体２
０の内外を貫通するねじ穴２′６が設けられ、このねじ
穴２６にも導電性物質が塗布あるいは蒸着されている。
、セラミ□ツク等の絶縁物でできた円筒体２０を有し、
この円筒体２０の上部外周にねじ部２２が設けられ、ま
た円筒体２０の内周面には円筒体軸方向にわたって複数
（本例では３つ）のビンズ電極２４８５〜２４Ｃが所定
の間隔を存して被覆形成されている。これらの各レンズ
電極２４ａ〜２４Ｃはたとえば導電性物質を塗布あるい
は蒸着することにより形成される。さらに、円筒体２０
には各レンズ電極２４ａ〜２４Ｇに対応して、円筒体２
０の内外を貫通するねじ穴２′６が設けられ、このねじ
穴２６にも導電性物質が塗布あるいは蒸着されている。
また、各レンズ電極２４ａ〜２４０の間隙２８には電荷
が蓄積しないようにカーボン等の高抵抗物質が塗布され
ている。
が蓄積しないようにカーボン等の高抵抗物質が塗布され
ている。
従って、荷電粒子用静電レンズ１２の取付けに際しては
そのねじ部２２をケース４の下部にねじ込み、次いで入
力端子１６に接続されたリード線３０の一端を円筒体２
０の外周部にねじ穴２６にねじ３２を螺合することによ
り固定する。これにより入力端子１６．リード線３０．
ねじ３２を介して各レンズ電極２４ａ〜２４Ｃに所定の
電圧を加えることができるのでイオン化室２から放出さ
れたイオンビームは各レンズ電極２４ａ〜２４Ｃによっ
て収束される。
そのねじ部２２をケース４の下部にねじ込み、次いで入
力端子１６に接続されたリード線３０の一端を円筒体２
０の外周部にねじ穴２６にねじ３２を螺合することによ
り固定する。これにより入力端子１６．リード線３０．
ねじ３２を介して各レンズ電極２４ａ〜２４Ｃに所定の
電圧を加えることができるのでイオン化室２から放出さ
れたイオンビームは各レンズ電極２４ａ〜２４Ｃによっ
て収束される。
なお、第３図および第４図に示すように、第２図の荷電
粒子用静電レンズ１２の円筒体２０下端部を延設して、
その延設部内面に偏向電極３４゜３６を設ければ、ビー
ム走査用のデフレクタをも一体化した電子銃やイオン銃
を形成することが可能となる。また、上記実施例では熱
陰極形イオン銃に適用した場合について説明したが、こ
れに限定されるものではないのは勿論である。
粒子用静電レンズ１２の円筒体２０下端部を延設して、
その延設部内面に偏向電極３４゜３６を設ければ、ビー
ム走査用のデフレクタをも一体化した電子銃やイオン銃
を形成することが可能となる。また、上記実施例では熱
陰極形イオン銃に適用した場合について説明したが、こ
れに限定されるものではないのは勿論である。
（へ）効果
以上のように本発明によれば、レンズ電極を−Ｉ−ｊ４
＋−□□＋−ノ□□倉＋Ｉ−１，−□」−嚢合せも不要
な高精度のレンズが得られる。しかも、構造簡単で、製
作も容易であり、電子銃やイオン銃へ取付やすく、全体
をコンパクト化できるなどの優れた効果が得られる。
＋−□□＋−ノ□□倉＋Ｉ−１，−□」−嚢合せも不要
な高精度のレンズが得られる。しかも、構造簡単で、製
作も容易であり、電子銃やイオン銃へ取付やすく、全体
をコンパクト化できるなどの優れた効果が得られる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は熱陰極形イオ
ン銃を一部切欠いて示す正面図、第２図は荷電粒子用静
電レンズを一部切欠いて示す正面図、第３図は本発明の
応用例を示す一部切欠正面図、第４図は第３図のＩＶ−
ＩＶ線に沿う断面図である。 １２・・荷電粒子用静電レンズ、２０・・円筒体、２４
ａ〜２゛４Ｃ・・レンズ電極。 出 願 人 株式会社島津製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀 第１図 １ 第２図 ２ 第３図 第４図
ン銃を一部切欠いて示す正面図、第２図は荷電粒子用静
電レンズを一部切欠いて示す正面図、第３図は本発明の
応用例を示す一部切欠正面図、第４図は第３図のＩＶ−
ＩＶ線に沿う断面図である。 １２・・荷電粒子用静電レンズ、２０・・円筒体、２４
ａ〜２゛４Ｃ・・レンズ電極。 出 願 人 株式会社島津製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀 第１図 １ 第２図 ２ 第３図 第４図
Claims (1)
- ｆｉｌ セラミック等の絶縁物でできた円筒体を有し、
この円筒体の内周面には円筒体軸方向にわたって複数の
レンズ電極が所定の間隔を存して被覆形成されているこ
とを特徴とする荷電粒子用静電レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59094104A JPS60236443A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 荷電粒子用静電レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59094104A JPS60236443A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 荷電粒子用静電レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60236443A true JPS60236443A (ja) | 1985-11-25 |
Family
ID=14101130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59094104A Pending JPS60236443A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 荷電粒子用静電レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60236443A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6481151A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Meitec Corp | Electrostatic type charged particle beam deflecting converging device |
| JPH02230647A (ja) * | 1989-01-24 | 1990-09-13 | Ict Integrated Circuit Testing G Fur Halbleiterprueftechnik Mbh | 多極素子及びその製造方法 |
| FR2660485A1 (fr) * | 1990-03-30 | 1991-10-04 | Orsay Physics | Dispositif de focalisation d'un faisceau de particules chargees. |
| US5444256A (en) * | 1992-12-17 | 1995-08-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic lens and method for producing the same |
| JP2003028999A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-29 | Ebara Corp | 荷電粒子ビーム制御装置、及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、荷電粒子ビーム欠陥検査装置、並びに荷電粒子ビーム制御方法 |
| WO2003107383A1 (ja) * | 2002-06-13 | 2003-12-24 | Okumura Katsuya | 電子光学鏡筒およびその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5364459A (en) * | 1976-11-22 | 1978-06-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of focus lens |
| JPS57113543A (en) * | 1981-01-07 | 1982-07-15 | Hitachi Ltd | Image pickup tube |
-
1984
- 1984-05-10 JP JP59094104A patent/JPS60236443A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5364459A (en) * | 1976-11-22 | 1978-06-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of focus lens |
| JPS57113543A (en) * | 1981-01-07 | 1982-07-15 | Hitachi Ltd | Image pickup tube |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6481151A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Meitec Corp | Electrostatic type charged particle beam deflecting converging device |
| JPH02230647A (ja) * | 1989-01-24 | 1990-09-13 | Ict Integrated Circuit Testing G Fur Halbleiterprueftechnik Mbh | 多極素子及びその製造方法 |
| FR2660485A1 (fr) * | 1990-03-30 | 1991-10-04 | Orsay Physics | Dispositif de focalisation d'un faisceau de particules chargees. |
| US5444256A (en) * | 1992-12-17 | 1995-08-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic lens and method for producing the same |
| JP2003028999A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-29 | Ebara Corp | 荷電粒子ビーム制御装置、及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、荷電粒子ビーム欠陥検査装置、並びに荷電粒子ビーム制御方法 |
| WO2003107383A1 (ja) * | 2002-06-13 | 2003-12-24 | Okumura Katsuya | 電子光学鏡筒およびその製造方法 |
| US7193221B2 (en) | 2002-06-13 | 2007-03-20 | Toudai Tlo, Ltd. | Electronic optical lens barrel and production method therefor |
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