JPS60237202A - 流体圧サ−ボシリンダ - Google Patents
流体圧サ−ボシリンダInfo
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- JPS60237202A JPS60237202A JP9392684A JP9392684A JPS60237202A JP S60237202 A JPS60237202 A JP S60237202A JP 9392684 A JP9392684 A JP 9392684A JP 9392684 A JP9392684 A JP 9392684A JP S60237202 A JPS60237202 A JP S60237202A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 134
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、高粘度ポンプ等に使用されるオープンループ
制御の流体圧サーボシリンダに関するものである。
制御の流体圧サーボシリンダに関するものである。
従来のオープンループ制御の流体圧サーボシリンダは、
特開昭54−190号公報に示されるように、シリンダ
本体の内部に軸方向摺動自在に嵌合したピストンの中心
部にめねじを設け、このめねじに螺合したねじ棒を制御
モータによって回転することにより、このねじ棒ととも
にねじ棒の端部に設けたスプールを軸方向移動し、この
スプールを主とした制御弁によりピストンの一側面にか
かる流体圧を制御し、ピストンの他側面にかかる流体圧
との相対的関係によって、ピストン負荷を制御モータの
回転量に応じて進退するものである。
特開昭54−190号公報に示されるように、シリンダ
本体の内部に軸方向摺動自在に嵌合したピストンの中心
部にめねじを設け、このめねじに螺合したねじ棒を制御
モータによって回転することにより、このねじ棒ととも
にねじ棒の端部に設けたスプールを軸方向移動し、この
スプールを主とした制御弁によりピストンの一側面にか
かる流体圧を制御し、ピストンの他側面にかかる流体圧
との相対的関係によって、ピストン負荷を制御モータの
回転量に応じて進退するものである。
このように従来は、スプールを用いた制御弁によって流
体制御を行なっているが、このスプールを弁本体内に装
着する場合、実際は、弁本体の穴内にOリングを介して
精密仕上のライナ(スリーブ)を嵌合し、このライナ内
に精密仕上のスプールを嵌合しなければならない。した
がってこのスプールによる制御弁構造は、加工、組立に
おいて困難性をともなうのが普通である。また従来のス
プールによる制御弁は、弁本体に3種類のボートが不可
欠であるとともにスプールに2個の環状凹溝が不可欠で
あり、制御弁構造が複雑になる傾向があるし、また弁本
体に上記3ポートに連通ずる流体通孔を穿設する必要が
あり、このため弁本体が大形化するとともに重くなる欠
点がある。
体制御を行なっているが、このスプールを弁本体内に装
着する場合、実際は、弁本体の穴内にOリングを介して
精密仕上のライナ(スリーブ)を嵌合し、このライナ内
に精密仕上のスプールを嵌合しなければならない。した
がってこのスプールによる制御弁構造は、加工、組立に
おいて困難性をともなうのが普通である。また従来のス
プールによる制御弁は、弁本体に3種類のボートが不可
欠であるとともにスプールに2個の環状凹溝が不可欠で
あり、制御弁構造が複雑になる傾向があるし、また弁本
体に上記3ポートに連通ずる流体通孔を穿設する必要が
あり、このため弁本体が大形化するとともに重くなる欠
点がある。
(発明の目的〕
本発明は、流体圧サーボシリンダにおける制御弁構造を
従来のスプール構造から全く新しい構造のものに改良し
、従来の問題点を解消しようとするものである。
従来のスプール構造から全く新しい構造のものに改良し
、従来の問題点を解消しようとするものである。
本発明の流体圧サーボシリンダは、シリンダ本体の内部
に軸方向摺動自在に嵌合したピストンの中心部にめねじ
を設け、このめねじに螺合したねじ棒を制御モータによ
って回転することにより、このねじ棒とともにねじ棒の
端部に設けた流体制御部材を軸方向移動し、この流体制
御部材によりピストンの一側面にかかる流体圧を制御し
、ピストンの他側面にかかる流体圧との相対的関係によ
って、ピストン負荷を制御モータの回転量に応じて進退
する流体圧サーボシリンダにおいて、上記シリンダ本体
の一端部に設けたヘッドカバーからピストンの一側面に
対する流体室の内部に軸方向に円柱形の凸部を一体的に
突設し、この凸部の内部に上記ヘッドカバーの流体゛供
給口および流体排出口にそれぞれ別個に連通ずる軸方向
の流体供給穴および流体排出穴を設け、この流体供給穴
および流体排出穴から上記凸部の外周面にそれぞれ別個
に流体供給孔および流体排出孔を軸方向に位置をずらし
て開口し、この凸部の外周面に上記ねじ棒と一体的に軸
方向移動する円筒状の流体制御部材を摺動自在に嵌合し
、この流体制御部材は上記流体供給孔または流体排出孔
に選択的に連通ずる通孔を設けてなり、この通孔を経て
上記ピストンの一側面にかかる流体を給排制御すること
を特徴とするものである。
に軸方向摺動自在に嵌合したピストンの中心部にめねじ
を設け、このめねじに螺合したねじ棒を制御モータによ
って回転することにより、このねじ棒とともにねじ棒の
端部に設けた流体制御部材を軸方向移動し、この流体制
御部材によりピストンの一側面にかかる流体圧を制御し
、ピストンの他側面にかかる流体圧との相対的関係によ
って、ピストン負荷を制御モータの回転量に応じて進退
する流体圧サーボシリンダにおいて、上記シリンダ本体
の一端部に設けたヘッドカバーからピストンの一側面に
対する流体室の内部に軸方向に円柱形の凸部を一体的に
突設し、この凸部の内部に上記ヘッドカバーの流体゛供
給口および流体排出口にそれぞれ別個に連通ずる軸方向
の流体供給穴および流体排出穴を設け、この流体供給穴
および流体排出穴から上記凸部の外周面にそれぞれ別個
に流体供給孔および流体排出孔を軸方向に位置をずらし
て開口し、この凸部の外周面に上記ねじ棒と一体的に軸
方向移動する円筒状の流体制御部材を摺動自在に嵌合し
、この流体制御部材は上記流体供給孔または流体排出孔
に選択的に連通ずる通孔を設けてなり、この通孔を経て
上記ピストンの一側面にかかる流体を給排制御すること
を特徴とするものである。
以下、本発明を図面に示す実施例を参照して詳細に説明
する。
する。
第1図ないし第3図は本発明の第1実施例を示し、シリ
ンダ本体1の内部にピストン2を軸方向摺動自在に嵌合
し、このピストン2の中心部に設けためねじ3にねじ棒
4を螺合し、このねじ棒4を伸縮カップリング5、シャ
フト6およびカップリング7を介してパルスモータ、ス
テッピングモータまたはサーボモータ等の制御モータ8
によって回転するように設ける。上記伸縮カップリング
5は、複数の可撓性板部材のたとえばX方向位置とY方
向位置とを交互に互いちがいにリベット止めしてなるも
のであり、各可撓性板部材の変形により、一方の軸9に
対し他方の軸10は伸縮可能であり、一方の軸9の回転
のみを他方の軸10に伝達する。この伸縮カップリング
5はベローズ構造のもので代替することもできる。
ンダ本体1の内部にピストン2を軸方向摺動自在に嵌合
し、このピストン2の中心部に設けためねじ3にねじ棒
4を螺合し、このねじ棒4を伸縮カップリング5、シャ
フト6およびカップリング7を介してパルスモータ、ス
テッピングモータまたはサーボモータ等の制御モータ8
によって回転するように設ける。上記伸縮カップリング
5は、複数の可撓性板部材のたとえばX方向位置とY方
向位置とを交互に互いちがいにリベット止めしてなるも
のであり、各可撓性板部材の変形により、一方の軸9に
対し他方の軸10は伸縮可能であり、一方の軸9の回転
のみを他方の軸10に伝達する。この伸縮カップリング
5はベローズ構造のもので代替することもできる。
また上記シリンダ本体1の左端部に設けたヘッドカバー
13から上記ピストン2の左端面に対する流体室14の
内部に軸方向に円柱形の凸部15を一体的に突設し、こ
の凸部15の内部に、上記ヘッドカバー13の流体供給
口16および流体排出口17にそれぞれ別個に連通ずる
軸方向の流体供給穴18および流体排出穴19を設け、
この流体供給穴18および流体排出穴19から上記凸部
15の外周面にそれぞれ別個に流体供給孔20および流
体排出孔21を軸方向に位置をずらして開口する。
13から上記ピストン2の左端面に対する流体室14の
内部に軸方向に円柱形の凸部15を一体的に突設し、こ
の凸部15の内部に、上記ヘッドカバー13の流体供給
口16および流体排出口17にそれぞれ別個に連通ずる
軸方向の流体供給穴18および流体排出穴19を設け、
この流体供給穴18および流体排出穴19から上記凸部
15の外周面にそれぞれ別個に流体供給孔20および流
体排出孔21を軸方向に位置をずらして開口する。
上記凸部15は、中央部に前記シャフト6を挿入する穴
22を設け、この穴22の周囲に上記流体供給穴18お
よび流体排出穴19を交互に3個づつ設け、その各供給
穴18への入口孔23はヘッドカバー13の環状凹溝2
4を介し1個の流体供給口16に連通し、また各排出穴
19からの出口孔25は環状凹溝26を介し1個の流体
排出口17に連通する。上記流体供給穴18および排出
穴19はそれぞれ1個づつ設けるだけでもよい。
22を設け、この穴22の周囲に上記流体供給穴18お
よび流体排出穴19を交互に3個づつ設け、その各供給
穴18への入口孔23はヘッドカバー13の環状凹溝2
4を介し1個の流体供給口16に連通し、また各排出穴
19からの出口孔25は環状凹溝26を介し1個の流体
排出口17に連通する。上記流体供給穴18および排出
穴19はそれぞれ1個づつ設けるだけでもよい。
さらに上記凸部15の外周面に上記ねじ棒4と一体的に
軸方向移動する円筒状の流体制御部材31を摺動自在に
嵌合する。
軸方向移動する円筒状の流体制御部材31を摺動自在に
嵌合する。
この流体制御部材31は、上記流体供給孔20または流
体排出孔21に選択的に連通ずる通孔32を全周にわた
って複数設けてなる。この通孔32は1個でもよく、凸
部15に設けた環状凹溝33.34を介して上記孔20
または孔21と連通する。さらにこの流体制御部材31
は、上記伸縮カップリング5の外周部に位置する円筒部
35を一体に形成してなり、この円筒部35に一体取付
の端板部36を上記ねじ棒4の端部に回動自在に嵌着す
る。上記各部35.36には流体通孔37.38を穿設
しておく。
体排出孔21に選択的に連通ずる通孔32を全周にわた
って複数設けてなる。この通孔32は1個でもよく、凸
部15に設けた環状凹溝33.34を介して上記孔20
または孔21と連通する。さらにこの流体制御部材31
は、上記伸縮カップリング5の外周部に位置する円筒部
35を一体に形成してなり、この円筒部35に一体取付
の端板部36を上記ねじ棒4の端部に回動自在に嵌着す
る。上記各部35.36には流体通孔37.38を穿設
しておく。
このサーボシリンダの作動流体としては例えば油を使用
し、油圧シリンダとする。
し、油圧シリンダとする。
そうして、外部ポンプによって加圧供給された油の圧は
、シリンダ本体1の右端部に設けたロッドカバー41の
外部供給口42から供給パイプ43、前記流体供給01
6を経て凸部15の供給穴18内に作用すると同時に、
上記ロッドカバー41に設けた流体給排穴44を経てピ
ストン2の右側の流体室45に作用する。
、シリンダ本体1の右端部に設けたロッドカバー41の
外部供給口42から供給パイプ43、前記流体供給01
6を経て凸部15の供給穴18内に作用すると同時に、
上記ロッドカバー41に設けた流体給排穴44を経てピ
ストン2の右側の流体室45に作用する。
この状態で、流体制御部材31の通孔32が流体供給孔
20の環状凹溝33とオーバーラツプする位置に移動す
ると、油圧は上記通孔32を経て左側の流体室14にも
作用する。ここにおいてピストン右側面よりピストン左
側面の受圧面積の方が大きいので、ピストン2の左側面
にかかる油圧による力が、ピストン2の右側面にかがる
油圧にょる力およびピストン負荷の和よりも勝り、ピス
トン2およびピストンロンド46は右方に移動する。
20の環状凹溝33とオーバーラツプする位置に移動す
ると、油圧は上記通孔32を経て左側の流体室14にも
作用する。ここにおいてピストン右側面よりピストン左
側面の受圧面積の方が大きいので、ピストン2の左側面
にかかる油圧による力が、ピストン2の右側面にかがる
油圧にょる力およびピストン負荷の和よりも勝り、ピス
トン2およびピストンロンド46は右方に移動する。
また流体制御部材31の通孔32が流体排出孔21の環
状凹溝34とオーバーラツプする位置に移動すると、左
側の流体室14内の油は、上記通孔32を通って排出穴
19に流込み、さらに排出口17および排出バイブ47
を経てロッドカバー41の外部排出口48から外部に流
出するため、ピストン2は右側の流体室45の油圧によ
って左方に移動する。
状凹溝34とオーバーラツプする位置に移動すると、左
側の流体室14内の油は、上記通孔32を通って排出穴
19に流込み、さらに排出口17および排出バイブ47
を経てロッドカバー41の外部排出口48から外部に流
出するため、ピストン2は右側の流体室45の油圧によ
って左方に移動する。
次にこのサーボシリンダの制御方法を説明すると、前記
制御モータ8によってねじ棒4を回動すると、ピストン
2は油圧バランスおよび負荷によって容易には動かない
ので、ねじ棒4の方が反作用でカップリング5の伸縮作
用をともなって軸方向に移動し、このねじ棒4の端部に
設けた流体制御部材31も軸方向移動し、この流体制御
部材31によりピストン2の左側面にかかる油圧を上記
の要領で供給または排出制御し、ピストン2の右側面に
かかる油圧との相対的関係によって、ピストン負荷を制
御モータ8の回転量に応じたストロークだけ進退駆動す
る。そし、てねじ棒4の回転が停止すると、上記流体制
御部材31は第1図に示す中立位置に復帰し、ピストン
2を定位置に保つ。なおねじ棒4はピストンロンド46
の中空部51内で進退され、中空部51の容積が変化す
るので、この中空部51が密封状態とならないようにピ
ストン2に通孔52を設けておく。
制御モータ8によってねじ棒4を回動すると、ピストン
2は油圧バランスおよび負荷によって容易には動かない
ので、ねじ棒4の方が反作用でカップリング5の伸縮作
用をともなって軸方向に移動し、このねじ棒4の端部に
設けた流体制御部材31も軸方向移動し、この流体制御
部材31によりピストン2の左側面にかかる油圧を上記
の要領で供給または排出制御し、ピストン2の右側面に
かかる油圧との相対的関係によって、ピストン負荷を制
御モータ8の回転量に応じたストロークだけ進退駆動す
る。そし、てねじ棒4の回転が停止すると、上記流体制
御部材31は第1図に示す中立位置に復帰し、ピストン
2を定位置に保つ。なおねじ棒4はピストンロンド46
の中空部51内で進退され、中空部51の容積が変化す
るので、この中空部51が密封状態とならないようにピ
ストン2に通孔52を設けておく。
このサーボシリンダの組立は、左端のへラドカバー13
と右端のロッドカバー41との間に上記シリンダ本体1
およびパイプ43.47を嵌着した上で、゛この両端の
カバー13.41を第2図に示す複数のタイロッド53
により相互に近づけるように締付ける。
と右端のロッドカバー41との間に上記シリンダ本体1
およびパイプ43.47を嵌着した上で、゛この両端の
カバー13.41を第2図に示す複数のタイロッド53
により相互に近づけるように締付ける。
ロッドカバー41にはこのサーボシリンダの取付板54
が固定されている。
が固定されている。
次に、第4図ないし第6図は本発明の第2実施例を示し
、上記第1実施例と同様に、シリンダ本体1の内部に軸
方向摺動自在に嵌合したピストン2の中心部にめねじ3
を設け、このめねじ3にねじ棒4を螺合するなどしたサ
ーボシリンダにおいて、上記シリンダ本体1の左端部に
設けたヘッドカバー13からピストン2の左側面に対す
る流体室14の内部に軸方向に円柱形の凸部15を一体
的に突設し、この凸部15の内部に上記ヘッドカバー1
3の流体供給口16および流体排出口17にそれぞれ別
個に連通ずる軸方向の流体供給穴18および流体排出穴
19を設け、この流体供給穴18および流体排出穴19
から上記凸部15の外周面にそれぞれ別個に流体供給孔
20および流体排出孔21を軸方向に位置をずらして開
口し、この凸部15の外周面に上記ねじ棒4と一体的に
軸方向移動する円筒状の流体制御部材31を摺動自在に
嵌合し、この流体制御部材31は上記流体供給孔20ま
たは流体排出孔21に選択的に連通ずる通孔32を設け
てなり、この通孔32を経て上記ピストン2の左側面に
かかる流体を給排制御するものである。
、上記第1実施例と同様に、シリンダ本体1の内部に軸
方向摺動自在に嵌合したピストン2の中心部にめねじ3
を設け、このめねじ3にねじ棒4を螺合するなどしたサ
ーボシリンダにおいて、上記シリンダ本体1の左端部に
設けたヘッドカバー13からピストン2の左側面に対す
る流体室14の内部に軸方向に円柱形の凸部15を一体
的に突設し、この凸部15の内部に上記ヘッドカバー1
3の流体供給口16および流体排出口17にそれぞれ別
個に連通ずる軸方向の流体供給穴18および流体排出穴
19を設け、この流体供給穴18および流体排出穴19
から上記凸部15の外周面にそれぞれ別個に流体供給孔
20および流体排出孔21を軸方向に位置をずらして開
口し、この凸部15の外周面に上記ねじ棒4と一体的に
軸方向移動する円筒状の流体制御部材31を摺動自在に
嵌合し、この流体制御部材31は上記流体供給孔20ま
たは流体排出孔21に選択的に連通ずる通孔32を設け
てなり、この通孔32を経て上記ピストン2の左側面に
かかる流体を給排制御するものである。
さらにこの第2実施例は、前記伸縮カップリン・グ5を
取除くとともに、流体制御部材3,1の外周面にギヤ6
1を一体に形成し、このギヤ61と噛合するギヤ62を
制御モータ8の回転軸63に設け、そして上記流体制御
部材31の軸方向移動は、ギヤ61とギヤ62との間の
摺動によって可能にする。そうして制御モータ8の正逆
回転は、ギヤ62.61および流体制御部材31を経て
ねじ棒4に伝わり、このねじ棒4は回転によって生ずる
反作用により軸方向に移動し、このねじ棒4とともに流
体制御部材31も軸方向に移動し、第1実施例と同様に
、この流体11J I11部材31によりピストン2の
左側面にかかる油圧を制御し、ピストン2の右側面にか
かる油圧との相対的関係によって、ピストン負荷を制御
モータ8の回転量に応じて進退する。
取除くとともに、流体制御部材3,1の外周面にギヤ6
1を一体に形成し、このギヤ61と噛合するギヤ62を
制御モータ8の回転軸63に設け、そして上記流体制御
部材31の軸方向移動は、ギヤ61とギヤ62との間の
摺動によって可能にする。そうして制御モータ8の正逆
回転は、ギヤ62.61および流体制御部材31を経て
ねじ棒4に伝わり、このねじ棒4は回転によって生ずる
反作用により軸方向に移動し、このねじ棒4とともに流
体制御部材31も軸方向に移動し、第1実施例と同様に
、この流体11J I11部材31によりピストン2の
左側面にかかる油圧を制御し、ピストン2の右側面にか
かる油圧との相対的関係によって、ピストン負荷を制御
モータ8の回転量に応じて進退する。
本発明によれば、ピストンの一側面に対する流体室の内
部に軸方向に円柱形の凸部を設け、この凸部の外周面に
ねじ棒と一体的に軸方向移動する円筒状の流体制御部材
を摺動自在に嵌合することにより従来のスプール構造を
なくしたから、従来の制御弁のように弁本体の穴内にO
リングを介して精密仕上のライナ(スリーブ)を嵌合し
このライナ内に精密仕上のスプールを嵌合するという製
作上の困難性がなく、上記凸部および流体制御部材の加
工、組立が容易に行なえる。また上記凸部に設けた流体
供給孔および流体排出孔の2種類の孔を流体制御部材に
設けた通孔により選択するようにしたから制御弁構造が
シンプルになった。また上記凸部内に流体供給穴および
流体排出穴をまとめたので、I\ラッドバーに複雑な流
体通孔を穿設する必要がな(、ヘッドカバーの小形化、
軽量化を図ることができる。
部に軸方向に円柱形の凸部を設け、この凸部の外周面に
ねじ棒と一体的に軸方向移動する円筒状の流体制御部材
を摺動自在に嵌合することにより従来のスプール構造を
なくしたから、従来の制御弁のように弁本体の穴内にO
リングを介して精密仕上のライナ(スリーブ)を嵌合し
このライナ内に精密仕上のスプールを嵌合するという製
作上の困難性がなく、上記凸部および流体制御部材の加
工、組立が容易に行なえる。また上記凸部に設けた流体
供給孔および流体排出孔の2種類の孔を流体制御部材に
設けた通孔により選択するようにしたから制御弁構造が
シンプルになった。また上記凸部内に流体供給穴および
流体排出穴をまとめたので、I\ラッドバーに複雑な流
体通孔を穿設する必要がな(、ヘッドカバーの小形化、
軽量化を図ることができる。
第1図は本発明の第1実施例を示す断面図、第2図は第
1図のU−1f線断面図、第3図はその流体制御部材の
斜視図、第4図は本発明の第2実施例を示す断面図、第
5図はその凸部の断面図、第6図はその流体制御部材の
斜視図である。 1・・シリンダ本体、2・・ピストン、3・・めねじ、
4・・ねじ棒、8・・制御モータ、13・・ヘッドカバ
ー、14・・流体室、15・・凸部、16・・流体供給
口、17・・流体排出口、18・・流体供給穴、19・
・流体排出穴、20・・流体供給孔、21・・流体排出
孔、31・・流体制御部材、32・・通孔。
1図のU−1f線断面図、第3図はその流体制御部材の
斜視図、第4図は本発明の第2実施例を示す断面図、第
5図はその凸部の断面図、第6図はその流体制御部材の
斜視図である。 1・・シリンダ本体、2・・ピストン、3・・めねじ、
4・・ねじ棒、8・・制御モータ、13・・ヘッドカバ
ー、14・・流体室、15・・凸部、16・・流体供給
口、17・・流体排出口、18・・流体供給穴、19・
・流体排出穴、20・・流体供給孔、21・・流体排出
孔、31・・流体制御部材、32・・通孔。
Claims (1)
- (1) シリンダ本体の内部に軸方向摺動自在に嵌合し
たピストンの中心部にめねじを設け、このめねじに螺合
したねじ棒を制御モータによって回転することにより、
このねじ棒とともにねじ棒の端部に設けた流体制御部材
を軸方向移動し、この流体制御部材によりピストンの一
側面にかかる流体圧を制御し、ピストンの他側面にかか
る流体圧との相対的関係によって、ピストン負荷を制御
モータの回転re応じて進退する流体圧サーボシリンダ
において、上記シリンダ本体の一端部に設けたヘッドカ
バーからピストンの一側面に対する流体室の内部に軸方
向に円柱形の凸部を一体的に突設し、この凸部の内部に
上記ヘッドカバーの流体供給口および流体排出口にそれ
ぞれ別個に連通ずる軸方向の流体供給穴および流体排出
穴を設け、この流体供給穴および流体排出穴から上記凸
部の外周面にそれぞれ別個に流体供給孔および流体排出
孔を軸方向に位置をずらして開口し、この凸部の外周面
に上記ねじ棒と一体的に軸方向移動する円筒状の流体制
御部材を摺動自在に嵌合し、この流体制御部材は上記流
体供給孔または流体排出孔に選択的に連通ずる通孔を設
けてなり、この通孔を経て上記ピストンの一側面にかか
る流体を給排制御することを特徴とする流体圧サーボシ
リンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9392684A JPS60237202A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 流体圧サ−ボシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9392684A JPS60237202A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 流体圧サ−ボシリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60237202A true JPS60237202A (ja) | 1985-11-26 |
| JPS6340961B2 JPS6340961B2 (ja) | 1988-08-15 |
Family
ID=14096039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9392684A Granted JPS60237202A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 流体圧サ−ボシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60237202A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0647502A1 (en) * | 1993-10-12 | 1995-04-12 | Smc Kabushiki Kaisha | Servo cylinder apparatus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03106906U (ja) * | 1990-02-16 | 1991-11-05 |
-
1984
- 1984-05-11 JP JP9392684A patent/JPS60237202A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0647502A1 (en) * | 1993-10-12 | 1995-04-12 | Smc Kabushiki Kaisha | Servo cylinder apparatus |
| CN1064115C (zh) * | 1993-10-12 | 2001-04-04 | Smc株式会社 | 伺服压力缸装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6340961B2 (ja) | 1988-08-15 |
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