JPS6024534B2 - 電子顕微鏡およびその類似装置における電磁レンズ電流可変装置 - Google Patents
電子顕微鏡およびその類似装置における電磁レンズ電流可変装置Info
- Publication number
- JPS6024534B2 JPS6024534B2 JP55098063A JP9806380A JPS6024534B2 JP S6024534 B2 JPS6024534 B2 JP S6024534B2 JP 55098063 A JP55098063 A JP 55098063A JP 9806380 A JP9806380 A JP 9806380A JP S6024534 B2 JPS6024534 B2 JP S6024534B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- wave signal
- pulsating wave
- switch
- electromagnetic lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子顕微鏡およびその類似装置に関し、特に
その電磁レンズの焦点を調整したり、融合わせを行なっ
たりするために、同電磁レンズへ繰り返し信号としての
脈動波信号を基準信号に重畳させて供聯合できるように
した電子顕微鏡およびその類似装置における電磁レンズ
電流可変装置に関する。
その電磁レンズの焦点を調整したり、融合わせを行なっ
たりするために、同電磁レンズへ繰り返し信号としての
脈動波信号を基準信号に重畳させて供聯合できるように
した電子顕微鏡およびその類似装置における電磁レンズ
電流可変装置に関する。
一般に、電子顕微鏡およびその類似装置のレンズとして
電磁レンズが用いられており、従来より、その焦点調整
（焦点合わせ）や融合わせ（レンズの離合わせとはしン
ズ中心へ電子線を入射させるための調整をいう）のため
に、基準信号源からの基準信号（直流）に繰り返し信号
としての脈動波信号（例えば正弦波信号や鋸歯状波信号
）を重畳させて供給することが行なわれ、その後基準信
号値を適宜調整して焦点調整や軸合わせが終了すると、
操作員がスイッチを開いて上記脈動波信号の電磁レンズ
への供給を停止することが行なわれている。
電磁レンズが用いられており、従来より、その焦点調整
（焦点合わせ）や融合わせ（レンズの離合わせとはしン
ズ中心へ電子線を入射させるための調整をいう）のため
に、基準信号源からの基準信号（直流）に繰り返し信号
としての脈動波信号（例えば正弦波信号や鋸歯状波信号
）を重畳させて供給することが行なわれ、その後基準信
号値を適宜調整して焦点調整や軸合わせが終了すると、
操作員がスイッチを開いて上記脈動波信号の電磁レンズ
への供給を停止することが行なわれている。
ここで、レンズの焦点合わせを行なうに際しては、基準
信号に繰り返し信号を重畳させてこれらを焦ｖ点合わせ
をされるべき電磁レンズへ供給し、基準信号を適宜変え
ることにより、焦点電流のサーチを行なうが、この場合
基準信号値を変えると、ＣＲＴ上に現われるピントの合
った画像部分がスクリーン上を移動する。
信号に繰り返し信号を重畳させてこれらを焦ｖ点合わせ
をされるべき電磁レンズへ供給し、基準信号を適宜変え
ることにより、焦点電流のサーチを行なうが、この場合
基準信号値を変えると、ＣＲＴ上に現われるピントの合
った画像部分がスクリーン上を移動する。
そして例えばこのピントの合った画像部分をスクリーン
のセンタ位置に整合させると、焦点が合ったことになる
。また、レンズの融合わせを行なうに際しても、基準信
号に繰り返し信号を重畳させて融合わせをされるべき電
磁レンズに供給することが行なわれるが、この場合はＣ
ＲＴ上に現われる画像が回転する。そして、基準信号値
を変えると画像の回転中心がスクリーン上を移動するた
め、この画像回転中心を例えばスクリーンセンタ位置に
整合させると、軸合わせが行なわれたことになる。しか
しながら、従釆のこの種の脈動波信号供給・停止手段段
では、次のような問題点がある。
のセンタ位置に整合させると、焦点が合ったことになる
。また、レンズの融合わせを行なうに際しても、基準信
号に繰り返し信号を重畳させて融合わせをされるべき電
磁レンズに供給することが行なわれるが、この場合はＣ
ＲＴ上に現われる画像が回転する。そして、基準信号値
を変えると画像の回転中心がスクリーン上を移動するた
め、この画像回転中心を例えばスクリーンセンタ位置に
整合させると、軸合わせが行なわれたことになる。しか
しながら、従釆のこの種の脈動波信号供給・停止手段段
では、次のような問題点がある。
すなわち、電磁レンズへの電流を、第１図に示すごとく
、零から十ｌｍへ増やし、その後零を経て−ｌｍへ至ら
しめ、再び零を経て＋ｌｍに戻すときの磁束密度Ｂの特
性（ヒステリシス環線）に起因する問題点である。これ
を更に具体的に第２図を用いて説明すると、コイル電流
１＾で電磁レンズの磁束密度がＢ＾，のとき、コイルに
脈動波信号（１＾→１８→１＾→ｌｃ→１＾）を流すと
、点ＡＩ，Ｂ，Ａ２，Ｃ，ＡＩを結ぶヒステリシスルー
プを描くが、このとき脈動波信号を、点ＡＩ−Ｂ−Ａ２
の間でオフすると、Ａ２点で止まって、磁束密度はＢ＾
２になり、又点Ａ２一Ｃ−ＡＩの間でオフすると、ＡＩ
点で止まって、磁束密度はＢ＾，となる。
、零から十ｌｍへ増やし、その後零を経て−ｌｍへ至ら
しめ、再び零を経て＋ｌｍに戻すときの磁束密度Ｂの特
性（ヒステリシス環線）に起因する問題点である。これ
を更に具体的に第２図を用いて説明すると、コイル電流
１＾で電磁レンズの磁束密度がＢ＾，のとき、コイルに
脈動波信号（１＾→１８→１＾→ｌｃ→１＾）を流すと
、点ＡＩ，Ｂ，Ａ２，Ｃ，ＡＩを結ぶヒステリシスルー
プを描くが、このとき脈動波信号を、点ＡＩ−Ｂ−Ａ２
の間でオフすると、Ａ２点で止まって、磁束密度はＢ＾
２になり、又点Ａ２一Ｃ−ＡＩの間でオフすると、ＡＩ
点で止まって、磁束密度はＢ＾，となる。
このように脈動波信号をオンオフするタイミングによっ
て電磁レンズにおける磁束密度の値が異なるため、かえ
って焦点調整操作や軸合わせ操作が困難になるという問
題点があるのである。
て電磁レンズにおける磁束密度の値が異なるため、かえ
って焦点調整操作や軸合わせ操作が困難になるという問
題点があるのである。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
、出力値の調整可能な基準信号に繰り返し信号としての
脈動波信号を重畳させて、電磁レンズへ供給することに
より、焦点調整や軸合わせのためのサーチを行なう際に
、脈動波信号をオンオフするタイミングとは無関係に、
脈動波信号の供給前と供給の停止後とで電磁レンズにお
ける磁束密度の値を必ず一定の値にすることができるよ
うにして、ヒステリシスの影響を受けないようにするこ
とにより、焦点調整操作や軸合わせ操作等を容易且つ確
実に行なえるようにした電子顕微鏡およびその類似装置
における電磁レンズ電流可変装置を提供することを目的
とする。このため、本発明の電磁レンズ電流可変装置は
、電磁レンズに出力値の調整可能な基準信号源が接続さ
れとともに、同基準信号源からの基準信号に繰り返し信
号としての脈動波信号を重畳させるべく、上記電磁レン
ズに第１のスイッチを介して脈動波信号源が接続された
電子顕微鏡およびその類似装置において、上記脈動波信
号源からの脈動波信号における基準値を検出して同脈動
波信号がその基準値になったときにオンする同期トリガ
パルス列信号を出力する基準値検出手段と、上記脈動波
信号の供給および停止を指令する第２のスイッチとをそ
なえ、上記第２のスイッチからの指令信号と上記基準値
検出手段からの同期トリガパルス列信号とに基づいて上
記電磁レンズへ上記脈動波信号を上記基準値の状態から
供給させ始めるとともに上記脈動波信号を上記基準値の
状態で供給を停止させるべく、上記第１のスイッチをオ
ンオフするエッジトリガ同期回路が、その入力側を上記
の基準値検出手段と第２のスイッチとに接続されるとと
もに、その出力側を上記第１のスイッチに接続されたこ
とを特徴としている。
、出力値の調整可能な基準信号に繰り返し信号としての
脈動波信号を重畳させて、電磁レンズへ供給することに
より、焦点調整や軸合わせのためのサーチを行なう際に
、脈動波信号をオンオフするタイミングとは無関係に、
脈動波信号の供給前と供給の停止後とで電磁レンズにお
ける磁束密度の値を必ず一定の値にすることができるよ
うにして、ヒステリシスの影響を受けないようにするこ
とにより、焦点調整操作や軸合わせ操作等を容易且つ確
実に行なえるようにした電子顕微鏡およびその類似装置
における電磁レンズ電流可変装置を提供することを目的
とする。このため、本発明の電磁レンズ電流可変装置は
、電磁レンズに出力値の調整可能な基準信号源が接続さ
れとともに、同基準信号源からの基準信号に繰り返し信
号としての脈動波信号を重畳させるべく、上記電磁レン
ズに第１のスイッチを介して脈動波信号源が接続された
電子顕微鏡およびその類似装置において、上記脈動波信
号源からの脈動波信号における基準値を検出して同脈動
波信号がその基準値になったときにオンする同期トリガ
パルス列信号を出力する基準値検出手段と、上記脈動波
信号の供給および停止を指令する第２のスイッチとをそ
なえ、上記第２のスイッチからの指令信号と上記基準値
検出手段からの同期トリガパルス列信号とに基づいて上
記電磁レンズへ上記脈動波信号を上記基準値の状態から
供給させ始めるとともに上記脈動波信号を上記基準値の
状態で供給を停止させるべく、上記第１のスイッチをオ
ンオフするエッジトリガ同期回路が、その入力側を上記
の基準値検出手段と第２のスイッチとに接続されるとと
もに、その出力側を上記第１のスイッチに接続されたこ
とを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としての電子顕微鏡
およびその類似装置における電磁レンズ電流可変装置に
ついて説明すると、第３図はそのフロック系統図、第４
図ａ〜ｇはいずれもその作用を説明するための波形図で
ある。
およびその類似装置における電磁レンズ電流可変装置に
ついて説明すると、第３図はそのフロック系統図、第４
図ａ〜ｇはいずれもその作用を説明するための波形図で
ある。
第３図に示すように、電磁レンズＬのレンズコィルーに
は、レンズ電源２が接続されており、このレンズ電源２
には、出力値の調整が可能な基準電圧源３が接続される
とともに、第１のスイッチ４を介して脈動波信号源５が
接続されている。
は、レンズ電源２が接続されており、このレンズ電源２
には、出力値の調整が可能な基準電圧源３が接続される
とともに、第１のスイッチ４を介して脈動波信号源５が
接続されている。
これにより、第１のスイッチ４をオンする前は、基準信
号源としての基準電圧源３からの基準電圧信号（直流）
がレンズ電源２の増幅器で増幅されてレンズコィルーへ
供給され、又第１のスイッチ４をオンすると、基準電圧
源３からの基準電圧信号と、脈動波信号源５からの繰り
返し信号としての脈動波信号とがレンズ電源で加えられ
て、その増幅器で増幅されてから、レンズコイル１へ供
給されるようになっている。なお、本実施例においては
、脈動波信号源５からの信号として、第４図ａに示すよ
うな正弦波信号Ｓｐが用いられるが、その他第４図ｂ，
ｃに示すような鏡歯状波信号Ｓｐ′あるいはパルス列信
号Ｓｐ″など適宜の繰り返し信号を用いることができる
。
号源としての基準電圧源３からの基準電圧信号（直流）
がレンズ電源２の増幅器で増幅されてレンズコィルーへ
供給され、又第１のスイッチ４をオンすると、基準電圧
源３からの基準電圧信号と、脈動波信号源５からの繰り
返し信号としての脈動波信号とがレンズ電源で加えられ
て、その増幅器で増幅されてから、レンズコイル１へ供
給されるようになっている。なお、本実施例においては
、脈動波信号源５からの信号として、第４図ａに示すよ
うな正弦波信号Ｓｐが用いられるが、その他第４図ｂ，
ｃに示すような鏡歯状波信号Ｓｐ′あるいはパルス列信
号Ｓｐ″など適宜の繰り返し信号を用いることができる
。
ところで、脈動波信号源５からの脈動波信号Ｓｐは、基
準値検出手段としての比較回路６へも入力されるように
なっており、この比較回路６は、上記脈動波信号Ｓｐと
、基準電源７からの上記脈動波信号Ｓｐにおける基準値
に対応する信号とを比較して、即ち上記脈動波信号Ｓｐ
における基準値を検出して、この脈動波信号Ｓｐがその
基準値となったときにオンする第４図ｄに示すような同
期トリガパルス列Ｓｓ信号を出力できるようになってい
る。
準値検出手段としての比較回路６へも入力されるように
なっており、この比較回路６は、上記脈動波信号Ｓｐと
、基準電源７からの上記脈動波信号Ｓｐにおける基準値
に対応する信号とを比較して、即ち上記脈動波信号Ｓｐ
における基準値を検出して、この脈動波信号Ｓｐがその
基準値となったときにオンする第４図ｄに示すような同
期トリガパルス列Ｓｓ信号を出力できるようになってい
る。
さらに、脈動波信号Ｓｐの電磁レンズＬへの供給および
停止を指令すべく、第４図ｅに示すような指令信号Ｓｃ
を出力しうる第２のスイッチ８が設けられており、この
第２のスイッチ８からの指令信号Ｓｃはエッジトリガ同
期回路９の入力側へ入力されるようになっている。
停止を指令すべく、第４図ｅに示すような指令信号Ｓｃ
を出力しうる第２のスイッチ８が設けられており、この
第２のスイッチ８からの指令信号Ｓｃはエッジトリガ同
期回路９の入力側へ入力されるようになっている。
また、このエッジトリガ同期回路９の他の入力側には、
比較回路６からの同期トリガパルス列信号Ｓｓが入力さ
れるようになっている。
比較回路６からの同期トリガパルス列信号Ｓｓが入力さ
れるようになっている。
このエッジトリガ同期回路９は、その２つの入力端から
それぞれ第４図ｄ，ｅに示すような信号Ｓｓ，Ｓｃを受
けると、第４図ｅに示す指令信号Ｓｃのオンの後に最初
に立上る第４図ｄのパルスＳＳ，をとらえこのパルスＳ
ｓ，の立上りによって信号を発するとともに、第４図ｅ
に示す指令信号Ｓｃのオフの後に最初に立上る第４図ｄ
のパルスＳｓ２をとらえこのパルスＳｓ２の立上りによ
って他の信号を発するもので、このエッジトリガ同期回
路９からの信号を受けて、スイッチング電源１０が第４
図ｆに示すような制御信号Ｓｃｏを第１のスイッチ４の
制御端へ供給するようになっている。これにより、第２
のスイッチ８は、脈動波信号Ｓｐをオンオフするタイミ
ングとは無関係に、第１のスイッチ４のオンオフにより
第４図ｇに示すごとく、基準値の状態から脈動波信号Ｓ
ｐの供給を開始し、上記基準値の状態で脈動波信号Ｓｐ
の供給を停止できるようになっている。
それぞれ第４図ｄ，ｅに示すような信号Ｓｓ，Ｓｃを受
けると、第４図ｅに示す指令信号Ｓｃのオンの後に最初
に立上る第４図ｄのパルスＳＳ，をとらえこのパルスＳ
ｓ，の立上りによって信号を発するとともに、第４図ｅ
に示す指令信号Ｓｃのオフの後に最初に立上る第４図ｄ
のパルスＳｓ２をとらえこのパルスＳｓ２の立上りによ
って他の信号を発するもので、このエッジトリガ同期回
路９からの信号を受けて、スイッチング電源１０が第４
図ｆに示すような制御信号Ｓｃｏを第１のスイッチ４の
制御端へ供給するようになっている。これにより、第２
のスイッチ８は、脈動波信号Ｓｐをオンオフするタイミ
ングとは無関係に、第１のスイッチ４のオンオフにより
第４図ｇに示すごとく、基準値の状態から脈動波信号Ｓ
ｐの供給を開始し、上記基準値の状態で脈動波信号Ｓｐ
の供給を停止できるようになっている。
したがって、脈動波信号Ｓｐの供給前と供給の停止後と
で、電磁レンズＬにおける磁束密度の値を必ず一定の値
にすることができ（例えば第２図のＢ＾，）、これによ
りヒステリシスの影響をなくすことができるのであり、
その結果焦点調整操作や敵合わせ操作等を極めて容易に
しかも高い信頼性をもって行なうことができるのである
。
で、電磁レンズＬにおける磁束密度の値を必ず一定の値
にすることができ（例えば第２図のＢ＾，）、これによ
りヒステリシスの影響をなくすことができるのであり、
その結果焦点調整操作や敵合わせ操作等を極めて容易に
しかも高い信頼性をもって行なうことができるのである
。
なお、第２のスイッチ８をオフする時期は基準電圧源３
からの基準電圧に脈動波信号源５からの繰り返し信号と
しての脈動波信号を重畳させて、焦点合わせや軸合わせ
をされるべき電磁レンズＬへ供給している状態で、基準
電圧値を適宜変えることにより、ＣＲＴ上に現われるピ
ントの合った画像部分をＣＲＴのスクリーン上における
所定位置（例えばセンタ位置）へ移動させることが完了
したり、ＣＲＴ上に現われる画像の回転中心を同じくス
クリーン上の所定位置（例えばセンタ位置）へ移動させ
ることが完了したりしたあとである。
からの基準電圧に脈動波信号源５からの繰り返し信号と
しての脈動波信号を重畳させて、焦点合わせや軸合わせ
をされるべき電磁レンズＬへ供給している状態で、基準
電圧値を適宜変えることにより、ＣＲＴ上に現われるピ
ントの合った画像部分をＣＲＴのスクリーン上における
所定位置（例えばセンタ位置）へ移動させることが完了
したり、ＣＲＴ上に現われる画像の回転中心を同じくス
クリーン上の所定位置（例えばセンタ位置）へ移動させ
ることが完了したりしたあとである。
以上詳述したように、本発明の電子顕微鏡およびその類
似装置における電磁レンズ電流可変装置によれば、電磁
レンズに出力値の調整可能な基準信号源が接続されると
ともに、同基準信号源からの基準信号に繰り返し信号と
しての脈動波信号を重畳させるべく、上記電磁レンズに
第１のスイッチを介して脈動波信号源が接続された電子
顕微鏡およびその類似装置において、上記脈動波信号源
からの脈動波信号における基準値を検出して同脈動波信
号がその基準値になったときにオンする同期トリガパル
ス列信号を出力する基準値検出手段と、上記脈動波信号
の供給および停止を指令する第２のスイッチとをそなえ
、上記第２のスイッチからの指令信号と上記基準値検出
手段からの同期トリガパルス列信号とに基づいて上記電
磁レンズへ上記脈動波信号を上記基準値の状態から供給
させ始めるとともに上記脈動波信号を上記基準値の状態
で供給を停止させるべく、上記第１のスイッチをオンオ
フするエッジトリガ同期回路が、その入力側を上記の基
準値検出手段と第２のスイッチとに接続されるとともに
、その出力側を上記第１のスイッチに接続されるという
簡素な構成で、焦点調整操作や軸合わせ操作等に際して
のヒステリシスの影響をなくすことができ、これにより
焦点調整操作や離合わせ操作等を極めて容易に能率よく
しかも高い信頼性をもって行なえる利点がある。
似装置における電磁レンズ電流可変装置によれば、電磁
レンズに出力値の調整可能な基準信号源が接続されると
ともに、同基準信号源からの基準信号に繰り返し信号と
しての脈動波信号を重畳させるべく、上記電磁レンズに
第１のスイッチを介して脈動波信号源が接続された電子
顕微鏡およびその類似装置において、上記脈動波信号源
からの脈動波信号における基準値を検出して同脈動波信
号がその基準値になったときにオンする同期トリガパル
ス列信号を出力する基準値検出手段と、上記脈動波信号
の供給および停止を指令する第２のスイッチとをそなえ
、上記第２のスイッチからの指令信号と上記基準値検出
手段からの同期トリガパルス列信号とに基づいて上記電
磁レンズへ上記脈動波信号を上記基準値の状態から供給
させ始めるとともに上記脈動波信号を上記基準値の状態
で供給を停止させるべく、上記第１のスイッチをオンオ
フするエッジトリガ同期回路が、その入力側を上記の基
準値検出手段と第２のスイッチとに接続されるとともに
、その出力側を上記第１のスイッチに接続されるという
簡素な構成で、焦点調整操作や軸合わせ操作等に際して
のヒステリシスの影響をなくすことができ、これにより
焦点調整操作や離合わせ操作等を極めて容易に能率よく
しかも高い信頼性をもって行なえる利点がある。
第１，２図はいずれも一般的な磁気ヒステリシスループ
を説明するためのヒステリシス曲線図であり、第３，４
図は本発明の一実施例としての電子顕微鏡および類似装
置における電磁レンズ電流可変装置を示すもので、第３
図はそのブロック系統図、第４図ａ〜ｇはいずれもその
作用を説明するための波形図である。 １・・・・・・レンズコイル、２・・・・・・レンズ電
源、３・・・・・・基準信号源としての基準電圧源、４
・・・・・・第１のスイッチ、５・・・・・・脈動波信
号源、６・・・…基準値検出手段としての比較回路、７
・・・・・・基準電源、８・・・…第２のスイッチ、９
……エッジトリガ同期回路、１０・・・・・・スイッチ
ング電源、Ｌ・・・・・・電磁レンズ。 第１図 第２図 第３図 第４図
を説明するためのヒステリシス曲線図であり、第３，４
図は本発明の一実施例としての電子顕微鏡および類似装
置における電磁レンズ電流可変装置を示すもので、第３
図はそのブロック系統図、第４図ａ〜ｇはいずれもその
作用を説明するための波形図である。 １・・・・・・レンズコイル、２・・・・・・レンズ電
源、３・・・・・・基準信号源としての基準電圧源、４
・・・・・・第１のスイッチ、５・・・・・・脈動波信
号源、６・・・…基準値検出手段としての比較回路、７
・・・・・・基準電源、８・・・…第２のスイッチ、９
……エッジトリガ同期回路、１０・・・・・・スイッチ
ング電源、Ｌ・・・・・・電磁レンズ。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- １ 電磁レンズに出力値の調整可能な基準信号源が接続
されるとともに、同基準信号源からの基準信号に繰り返
し信号としての脈動波信号を重畳させるべく、上記電磁
レンズに第１のスイツチを介して脈動波信号源が接続さ
れた電子顕微鏡およびその類似装置において、上記脈動
波信号源からの脈動波信号における基準値を検出して同
脈動波信号がその基準値になつたときにオンする同期ト
リガパルス列信号を出力する基準値検出手段と、上記脈
動波信号の供給および停止を指令する第２のスイツチと
をそなえ、上記第２のスイツチからの指令信号と上記基
準値検出手段からの同期トリガパルス列信号とに基づい
て上記電磁レンズへ上記脈動波信号を上記基準値の状態
から供給させ始めるとともに上記脈動波信号を上記基準
値の状態で供給を停止させるべく、上記第１のスイツチ
をオンオフするエツジトリガ同期回路が、その入力側を
上記の基準値検出手段と第２のスイツチとに接続される
とともに、その出力側を上記第１のスイツチに接続され
たことを特徴とする、電子顕微鏡およびその類似装置に
おける電磁レンズ電流可変装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55098063A JPS6024534B2 (ja) | 1980-07-17 | 1980-07-17 | 電子顕微鏡およびその類似装置における電磁レンズ電流可変装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55098063A JPS6024534B2 (ja) | 1980-07-17 | 1980-07-17 | 電子顕微鏡およびその類似装置における電磁レンズ電流可変装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5723455A JPS5723455A (en) | 1982-02-06 |
| JPS6024534B2 true JPS6024534B2 (ja) | 1985-06-13 |
Family
ID=14209861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55098063A Expired JPS6024534B2 (ja) | 1980-07-17 | 1980-07-17 | 電子顕微鏡およびその類似装置における電磁レンズ電流可変装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024534B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6091540A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-22 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡における軸合せ方法 |
| JP2712184B2 (ja) * | 1987-07-29 | 1998-02-10 | 株式会社ニコン | 荷電粒子線の軸調整装置 |
-
1980
- 1980-07-17 JP JP55098063A patent/JPS6024534B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5723455A (en) | 1982-02-06 |
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