JPS6024535A - スリツト露光用照明装置 - Google Patents
スリツト露光用照明装置Info
- Publication number
- JPS6024535A JPS6024535A JP58133457A JP13345783A JPS6024535A JP S6024535 A JPS6024535 A JP S6024535A JP 58133457 A JP58133457 A JP 58133457A JP 13345783 A JP13345783 A JP 13345783A JP S6024535 A JPS6024535 A JP S6024535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bulb
- slit
- light
- reflecting mirror
- halogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/32—Projection printing apparatus, e.g. enlarger, copying camera
- G03B27/52—Details
- G03B27/54—Lamp housings; Illuminating means
- G03B27/542—Lamp housings; Illuminating means for copying cameras, reflex exposure lighting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はノ・ロゲン電球を備えた複写機、ファクスなど
のスリット露光用照明装置に関するものである。
のスリット露光用照明装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来の複写機のスリット露光用照明装置の概略的縦断面
は第１図に示すとおシのものであった。
は第１図に示すとおシのものであった。
すなわち、ノ・ロゲン電球１から放射された光は第１の
反射鏡２および第２の反射鏡３で集光され、コンタクト
ガラス４上に置かれた原稿６をスリット状に照明し、こ
のスリットＰからの反射光はレンズ６を通って感光体（
図示せず）に導かれる。
反射鏡２および第２の反射鏡３で集光され、コンタクト
ガラス４上に置かれた原稿６をスリット状に照明し、こ
のスリットＰからの反射光はレンズ６を通って感光体（
図示せず）に導かれる。
複写機用ノ・ロゲン電球は第２図（ａ）にその−例を示
すように、フィラメント７を数個に分割した構造（セグ
メシト構造）になっている。ノ・ロゲン電球は細い線状
光源であるため、配光制御が容易であり、またセグメン
トの構成比を変えることによって管長方向（スリットの
長手方向）の配光特性を容易に変更でき、またハロゲン
電球の長さ、使用電圧、明るさく電力）も広範囲に設定
できるところから、複写機の露光用光源として多く使用
されている。
すように、フィラメント７を数個に分割した構造（セグ
メシト構造）になっている。ノ・ロゲン電球は細い線状
光源であるため、配光制御が容易であり、またセグメン
トの構成比を変えることによって管長方向（スリットの
長手方向）の配光特性を容易に変更でき、またハロゲン
電球の長さ、使用電圧、明るさく電力）も広範囲に設定
できるところから、複写機の露光用光源として多く使用
されている。
露光用照明装置としては、スリット面の照度が高く、か
つスリットの長手方向の照度むらの少ないことが要求さ
れる。
つスリットの長手方向の照度むらの少ないことが要求さ
れる。
バルブが透明なハロゲン電球（以下クリア形ハロゲン電
球という）のバルブ面から一定の距離における管長方向
の照度分布（配光特性）は第２図（ｂ）の曲線やに示す
ように、小さな凹凸変化が多く、照度むらも大きい。こ
のようなハロゲン電球を照明装置に使用すると、スリッ
トの長手方向の照度分布（スリット面照度分布）も当然
照度むらが大きくなシ、コピーの現像画質を著しく低下
させる原因となる。この対策として、第１図に示す第１
の反射鏡２、第２の反射鏡３に少し拡散性をもたせるか
、バルブ全表面にフロスト加工を施したハロゲン電球（
以下クロスト形ハロゲン電球という）を使用する。
球という）のバルブ面から一定の距離における管長方向
の照度分布（配光特性）は第２図（ｂ）の曲線やに示す
ように、小さな凹凸変化が多く、照度むらも大きい。こ
のようなハロゲン電球を照明装置に使用すると、スリッ
トの長手方向の照度分布（スリット面照度分布）も当然
照度むらが大きくなシ、コピーの現像画質を著しく低下
させる原因となる。この対策として、第１図に示す第１
の反射鏡２、第２の反射鏡３に少し拡散性をもたせるか
、バルブ全表面にフロスト加工を施したハロゲン電球（
以下クロスト形ハロゲン電球という）を使用する。
７０スト形ハロゲン電球の配光特性は第２図（ｂ）の曲
線Ｆに示すようにきわめて平坦であシ、したがってスリ
ット面の照度むらも少なくなる。また、クリア形ハロゲ
ン電球ではフィラメントの偏心や、第１の反射鏡に対す
るハロゲン電球の取付位置のずれなどによって、スリシ
ト面の照度分布は大きく変化するのに対し、フロスト形
ノ・ロゲン電球ではこれらの影響が比較的少ないなどの
特長がある。
線Ｆに示すようにきわめて平坦であシ、したがってスリ
ット面の照度むらも少なくなる。また、クリア形ハロゲ
ン電球ではフィラメントの偏心や、第１の反射鏡に対す
るハロゲン電球の取付位置のずれなどによって、スリシ
ト面の照度分布は大きく変化するのに対し、フロスト形
ノ・ロゲン電球ではこれらの影響が比較的少ないなどの
特長がある。
しかし、スリット面照度はクリア形ノ・ロゲン電球に比
して３０〜６０％と大巾に低下するだめ、所定のスリッ
ト面照度を得るにはワット数の大きなハロゲン電球を使
用しなければならない。
して３０〜６０％と大巾に低下するだめ、所定のスリッ
ト面照度を得るにはワット数の大きなハロゲン電球を使
用しなければならない。
一方、反射鏡の鏡面性を落とし拡散性にすると、集光性
が落ち、照明装置の効率が低下するため、反射鏡の鏡面
性を低下させることは得策でない。
が落ち、照明装置の効率が低下するため、反射鏡の鏡面
性を低下させることは得策でない。
発明の目的
本発明はスリット面照度を低下させることなく、スリッ
トの長手方向の配光特性を改善できるスリット露光用照
明装置を提供するものである。
トの長手方向の配光特性を改善できるスリット露光用照
明装置を提供するものである。
発明の構成
本発明はハロゲン電球を半ば包囲する形状をした第１の
反射鏡をスリットからレンズに至る光路の片側に設け、
この光路を挾んで第１の反射鏡と反対側に第２の反射鏡
を設けて、コンタクトガラス上の原稿面をスリット状に
照明するスリット露光用照明装置において、前記ハロゲ
ン電球のパルプ面を管軸に沿う帯状のフロスト面とクリ
ア面とに分け、ハロゲン電球のスリットに面する側のパ
ルプ面の部分と、第１の反射鏡の反射面に面し、この反
射光でスリットを照明するパルプ面の部分とをフロスト
面とし、第１の反射鏡の反射面に面し、この反射光が第
２の反射鏡を経てスリットを照明するパルプ面の部分と
、この反射光がバルブに戻されるパルプ面の部分とをク
リア面となる位置関係にハロゲン電球を配置したことを
特徴とするものである。
反射鏡をスリットからレンズに至る光路の片側に設け、
この光路を挾んで第１の反射鏡と反対側に第２の反射鏡
を設けて、コンタクトガラス上の原稿面をスリット状に
照明するスリット露光用照明装置において、前記ハロゲ
ン電球のパルプ面を管軸に沿う帯状のフロスト面とクリ
ア面とに分け、ハロゲン電球のスリットに面する側のパ
ルプ面の部分と、第１の反射鏡の反射面に面し、この反
射光でスリットを照明するパルプ面の部分とをフロスト
面とし、第１の反射鏡の反射面に面し、この反射光が第
２の反射鏡を経てスリットを照明するパルプ面の部分と
、この反射光がバルブに戻されるパルプ面の部分とをク
リア面となる位置関係にハロゲン電球を配置したことを
特徴とするものである。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例について図面とともに説明する
。
。
第３図（ａ） 、 （ｂ）はハロゲン電球のバルブ表面
、この例ではバルブ半面にフロスト加工を施すことによ
シ、フロスト面８とクリア面（末フロスト面）９とに分
けた構造になっている（以下この電球を半面フロスト形
）・ロゲン電球という）。このノ・ロゲン電球の管軸に
直交する平面上における配光は第４図に示すように、非
軸対称配光となる。しだがって、このノ・ロゲン電球の
管長方向の配光特性は、ハロゲン電球の軸方向によって
異なシ、フロスト面側ではフロスト形ノ・ロゲン電球の
特性を、クリア面側ではクリア形ノ・ロゲン電球の特性
をそれぞれ有する。このノ・ロゲン電球を照明装置に組
み込んだ場合、当然、ノ・ロゲン電球の軸方向によって
スリット面の照度および照度分布は顕著に変わる。
、この例ではバルブ半面にフロスト加工を施すことによ
シ、フロスト面８とクリア面（末フロスト面）９とに分
けた構造になっている（以下この電球を半面フロスト形
）・ロゲン電球という）。このノ・ロゲン電球の管軸に
直交する平面上における配光は第４図に示すように、非
軸対称配光となる。しだがって、このノ・ロゲン電球の
管長方向の配光特性は、ハロゲン電球の軸方向によって
異なシ、フロスト面側ではフロスト形ノ・ロゲン電球の
特性を、クリア面側ではクリア形ノ・ロゲン電球の特性
をそれぞれ有する。このノ・ロゲン電球を照明装置に組
み込んだ場合、当然、ノ・ロゲン電球の軸方向によって
スリット面の照度および照度分布は顕著に変わる。
第５図体）は第１図に示す照明装置に半面クロスト形ハ
ロゲン電球を組み込み、第６図（ｂ）に示すような位置
関係に、かかるノ・ロゲン電球を配置したときのスリッ
ト面照度分布を測定したものである。
ロゲン電球を組み込み、第６図（ｂ）に示すような位置
関係に、かかるノ・ロゲン電球を配置したときのスリッ
ト面照度分布を測定したものである。
曲線イはクリア形ノ・ロゲン電球、曲線口はクロスト形
ハロゲン電球、曲線ノ・、二、ホ、へは半面フロスト形
？−ロゲン電球の各照度分布である。第６図（ｂ）に示
すように、曲線イは照度は最も高いが、照度むらは大き
い。曲線口は照度むらはきわめて少ないが、照度はクリ
ア形ハロゲン電球の約％となる。曲線ハ、二、ホ、へは
クリア形ハロゲン電球とフロスト形ハロゲン電球の中間
の照度および照明むらとなる。照度と照度むらとは一般
に相反する関係にある。しかし、第５図（ａ）かられか
るように、半面フロスト形ハロゲン電球（曲線ホ）の場
合は照度をあまシ低下させることなく、フロスト形ハロ
ゲン電球に近似したむらの少ない照度分布を得ることが
できる。
ハロゲン電球、曲線ノ・、二、ホ、へは半面フロスト形
？−ロゲン電球の各照度分布である。第６図（ｂ）に示
すように、曲線イは照度は最も高いが、照度むらは大き
い。曲線口は照度むらはきわめて少ないが、照度はクリ
ア形ハロゲン電球の約％となる。曲線ハ、二、ホ、へは
クリア形ハロゲン電球とフロスト形ハロゲン電球の中間
の照度および照明むらとなる。照度と照度むらとは一般
に相反する関係にある。しかし、第５図（ａ）かられか
るように、半面フロスト形ハロゲン電球（曲線ホ）の場
合は照度をあまシ低下させることなく、フロスト形ハロ
ゲン電球に近似したむらの少ない照度分布を得ることが
できる。
半面フロスト形ハ日ゲン電球（曲線ホ）の照度むらが少
ないのは以下の理由によるものと考えられる。
ないのは以下の理由によるものと考えられる。
第６図はこの照明装置のハロゲン電球１から放射された
光がスリン）ＰＫ達するまでの光の経路を示したもので
ある。スリン）Ｐを照明する光は、Ｆｏ〔ハロゲンＩＥ
ｆｆ１→Ｐ）、Ｆｌ Ｃハロゲン電球１−第１の反射鏡
２ ａ （Ａ Ｂ ） →Ｐ ） ｔ Ｆ ２ （ハ。
光がスリン）ＰＫ達するまでの光の経路を示したもので
ある。スリン）Ｐを照明する光は、Ｆｏ〔ハロゲンＩＥ
ｆｆ１→Ｐ）、Ｆｌ Ｃハロゲン電球１−第１の反射鏡
２ ａ （Ａ Ｂ ） →Ｐ ） ｔ Ｆ ２ （ハ。
ゲン電球１→第１の反射鏡２ｂ（ａＩ））−第２の反射
鏡３→Ｐ〕の３成分からなる。このうち、Ｆｏはハロゲ
ン電球の直射光、Ｆｌは一次反射光であり、またこれら
の光はノ・ロゲン電球１からスリン）Ｐまでの光路長も
短いため、スリット面の照度分布はハロゲン電球自身の
配光特性にほぼ近似した特性となる。すなわち、半面フ
ロスト形ノλロゲン電球のスリットＰ、および、第１の
反射鏡２の反射面２ａに面する側のバルブ面がクリアの
場合はクリア形ハロゲン電球の配光特性に、フロストの
場合はフロスト形ハロゲン電球の配光特性にそれぞれ近
似したスリット面照度分布が得られる。
鏡３→Ｐ〕の３成分からなる。このうち、Ｆｏはハロゲ
ン電球の直射光、Ｆｌは一次反射光であり、またこれら
の光はノ・ロゲン電球１からスリン）Ｐまでの光路長も
短いため、スリット面の照度分布はハロゲン電球自身の
配光特性にほぼ近似した特性となる。すなわち、半面フ
ロスト形ノλロゲン電球のスリットＰ、および、第１の
反射鏡２の反射面２ａに面する側のバルブ面がクリアの
場合はクリア形ハロゲン電球の配光特性に、フロストの
場合はフロスト形ハロゲン電球の配光特性にそれぞれ近
似したスリット面照度分布が得られる。
一方、Ｆ２は第１の反射鏡２の反射面２ｂと第２の反射
鏡３で２回反射してきた光で、第１．第２の反射鏡も完
全な鏡面ではなく反射の回数が多くなると光は拡散され
る。また光路長もＰｌ より・はるかに長い。このため
スリット面の照度分布はハロゲン電球自身の配光特性よ
シカ−化され、照度むらも少なくなる。したがって、第
１の反射鏡の反射面２ｂに面する側のパルプ面がクリア
でもスリット面の照度むらはきわめて少なくなる。
鏡３で２回反射してきた光で、第１．第２の反射鏡も完
全な鏡面ではなく反射の回数が多くなると光は拡散され
る。また光路長もＰｌ より・はるかに長い。このため
スリット面の照度分布はハロゲン電球自身の配光特性よ
シカ−化され、照度むらも少なくなる。したがって、第
１の反射鏡の反射面２ｂに面する側のパルプ面がクリア
でもスリット面の照度むらはきわめて少なくなる。
ハロゲン電球１からの光を第１の反射鏡２で全てスリッ
トＰに向けることは構造的にも不可能である。このため
、この反射光を有効に利用できない第１の反射鏡の反射
面２ｃ（ＢＣ）の形状を通常円弧とし、ハロゲン電球１
から反射面２Ｃ側に出た光は再びハロゲン電球側に戻る
ようにしている。
トＰに向けることは構造的にも不可能である。このため
、この反射光を有効に利用できない第１の反射鏡の反射
面２ｃ（ＢＣ）の形状を通常円弧とし、ハロゲン電球１
から反射面２Ｃ側に出た光は再びハロゲン電球側に戻る
ようにしている。
第７図（ａ） 、 （ｂ）はこの円弧状の反射面での光
の反射の状態を示したもので、（ａ）は反射面２Ｃ側の
パルプ面をフロスト面８とした場合、（ｂ）は同じくク
リア面９とした場合である。（、）の場合、フィラメン
ト了から放射した光はフロスト面８の通過で拡散され、
これらの光は反射面２Ｃでさらに拡散されるため、フロ
スト面８を通ってフィラメント７またはクリア面９側に
戻される光は少なく、したがって、スリン）Ｐの照度に
はあまシ寄与しない。
の反射の状態を示したもので、（ａ）は反射面２Ｃ側の
パルプ面をフロスト面８とした場合、（ｂ）は同じくク
リア面９とした場合である。（、）の場合、フィラメン
ト了から放射した光はフロスト面８の通過で拡散され、
これらの光は反射面２Ｃでさらに拡散されるため、フロ
スト面８を通ってフィラメント７またはクリア面９側に
戻される光は少なく、したがって、スリン）Ｐの照度に
はあまシ寄与しない。
一方、（ト２の場合、フィラメント７から放射した光の
大部分は、フィラメントγ側に戻され、フロスト面８の
輝きを増加させる。輝いたフロスト面８は２次光源とな
シ、スリット面照度を増大させることになる。
大部分は、フィラメントγ側に戻され、フロスト面８の
輝きを増加させる。輝いたフロスト面８は２次光源とな
シ、スリット面照度を増大させることになる。
第５図の曲線トは部分的にフロスト加工した）・ロゲン
電球を第６図に示す配置で使用した場合のスリット面照
度分布で、照度はクリア形ノＸロゲン電球とフロスト形
ノ・ロゲン電球の中間の値であるが、照度むらはフロス
ト形ノ・ロゲン電球の場合とほぼ同等の特性が得られた
。
電球を第６図に示す配置で使用した場合のスリット面照
度分布で、照度はクリア形ノＸロゲン電球とフロスト形
ノ・ロゲン電球の中間の値であるが、照度むらはフロス
ト形ノ・ロゲン電球の場合とほぼ同等の特性が得られた
。
フロスト面はバルブ表面を化学的または機械的に粗面化
することにより得られる。フロスト面は管軸に沿って約
半面に設けるのが最も加工しやすく、本実施例の場合も
この半面フロスト形ノ・ロゲン電球について述べてきた
あ；、フロスト面は必ずしも半面でなくてもよい。第１
および第２の反射鏡の形状、大きさの異なる種々のスリ
ット露光照明装置についてバルブ全表面に対するフロス
ト面の割合を変えたノ・ロゲン電球を試作し、スリット
面照度および照度分布、ノ・ロゲン電球の取付位置のず
れなどによる影響を総合的に検討した結果、いずれの照
明装置ともフロスト面がパルプ全表面の１Ａ〜２／３の
範囲にそれぞれ最適なところのあることが確められた。
することにより得られる。フロスト面は管軸に沿って約
半面に設けるのが最も加工しやすく、本実施例の場合も
この半面フロスト形ノ・ロゲン電球について述べてきた
あ；、フロスト面は必ずしも半面でなくてもよい。第１
および第２の反射鏡の形状、大きさの異なる種々のスリ
ット露光照明装置についてバルブ全表面に対するフロス
ト面の割合を変えたノ・ロゲン電球を試作し、スリット
面照度および照度分布、ノ・ロゲン電球の取付位置のず
れなどによる影響を総合的に検討した結果、いずれの照
明装置ともフロスト面がパルプ全表面の１Ａ〜２／３の
範囲にそれぞれ最適なところのあることが確められた。
また第１の反射鏡と部分的にフロスト加工したハロゲン
電球のフロスト面との位置関係が第６図、第７図に示す
関係から多少ずれてもそれ程大きな変化のないことも確
められた。
電球のフロスト面との位置関係が第６図、第７図に示す
関係から多少ずれてもそれ程大きな変化のないことも確
められた。
発明の詳細
な説明したように、本発明はパルプ地面に管軸に沿って
帯状に部分的に７０スト加工を施したハロゲン電球を用
い、このハロゲン電球の直射光でスリットを照明する側
のハロゲン電球のパルプ面と、第１の反射鏡による反射
光でスリットを照明する反射鏡面側のパルプ面とをフロ
スト面とし、これ以外のパルプ面をクリア面とする位置
関係にハロゲン電球を配置することにより、クリア形ハ
ロゲン電球と７日スト形ハロゲン電球の両方の特長、す
なわち、高いスリット面照度と照度むらの少ない配光特
性とをもつスリット露光用照明装置を提供することがで
きるものである。
帯状に部分的に７０スト加工を施したハロゲン電球を用
い、このハロゲン電球の直射光でスリットを照明する側
のハロゲン電球のパルプ面と、第１の反射鏡による反射
光でスリットを照明する反射鏡面側のパルプ面とをフロ
スト面とし、これ以外のパルプ面をクリア面とする位置
関係にハロゲン電球を配置することにより、クリア形ハ
ロゲン電球と７日スト形ハロゲン電球の両方の特長、す
なわち、高いスリット面照度と照度むらの少ない配光特
性とをもつスリット露光用照明装置を提供することがで
きるものである。
第１図は複写機のスリット露光用照明装置の概略的縦断
面図、第２図（ａ）は露光用ノ・ロゲン電球の構造図、
同（ｂ）はクリア形およびフロスト形ハロゲン電球の配
光特性図、第３図（、）は本発明にかかる半面７０スト
形ハロゲン電球の一例を示す断面図、同（ｂ）はその要
部正面図、第４図はこの半面フロスト形ハロゲン電球の
管軸と垂直断面の配光特性を示す図、第６図（ａ）はク
リア形およびフロスト形ハロゲン電球、ならびに第１の
反射鏡と部分的にフロスト加工したハロゲン電球を第６
図（ｂ）に示す関係に配置したときのストリットの長手
方向の配光特性を示す図、第６図はハロゲン電球のフィ
ラメントからスリットまでの光の経路を示す図、第７図
（ａ） 、 （ｂ）は第１の反射鏡の円弧部分での光の
経路を示す図で、（ａ）はクロスト面を円弧側に、（ｂ
）はクリア面を円弧側にそれぞれ配置した場合を示す図
である。 １・・・・・・ハロゲン電球、２・・・・・・第１の反
射鏡、３・・・・・・第２の反射鏡、８・・・・・・フ
ロスト面、９・・・・・・クリア面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ＠２図 ハｕ’ｆ＞’１ｍ’の七ンター第１５９語秦虻第３図 （Ｑ／）（ｂ） 第５図 （ｏＪ） ＬＪＨｔ（ハｕゲンＩｔＥｔ姥シーｔ１３ｃａＲｆｉｆ
ｉ （ｍｒｒｎ４Ｔ３ 八 二 ホ ヘ 第６図 （α）（ｂ）
面図、第２図（ａ）は露光用ノ・ロゲン電球の構造図、
同（ｂ）はクリア形およびフロスト形ハロゲン電球の配
光特性図、第３図（、）は本発明にかかる半面７０スト
形ハロゲン電球の一例を示す断面図、同（ｂ）はその要
部正面図、第４図はこの半面フロスト形ハロゲン電球の
管軸と垂直断面の配光特性を示す図、第６図（ａ）はク
リア形およびフロスト形ハロゲン電球、ならびに第１の
反射鏡と部分的にフロスト加工したハロゲン電球を第６
図（ｂ）に示す関係に配置したときのストリットの長手
方向の配光特性を示す図、第６図はハロゲン電球のフィ
ラメントからスリットまでの光の経路を示す図、第７図
（ａ） 、 （ｂ）は第１の反射鏡の円弧部分での光の
経路を示す図で、（ａ）はクロスト面を円弧側に、（ｂ
）はクリア面を円弧側にそれぞれ配置した場合を示す図
である。 １・・・・・・ハロゲン電球、２・・・・・・第１の反
射鏡、３・・・・・・第２の反射鏡、８・・・・・・フ
ロスト面、９・・・・・・クリア面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ＠２図 ハｕ’ｆ＞’１ｍ’の七ンター第１５９語秦虻第３図 （Ｑ／）（ｂ） 第５図 （ｏＪ） ＬＪＨｔ（ハｕゲンＩｔＥｔ姥シーｔ１３ｃａＲｆｉｆ
ｉ （ｍｒｒｎ４Ｔ３ 八 二 ホ ヘ 第６図 （α）（ｂ）
Claims (1)
- スリットからレンズに至る光路の片側に設けたハロゲン
電球と、このハロゲン電球を半ば包囲する形状の反射面
をもつ第１の反射鏡と、前記光路を挾んで前記第１の反
射鏡と反対側に設けられた第２の反射鏡との組合せから
なるスリット露光用照明装置であって、前記ハロゲン電
球は管軸に沿う帯状のフロスト面とクリア面とをパルプ
面に有し、前記スリットに面する側のパルプ面の部分と
、前記第１の反射鏡の反射面に面し、この第１の反射鏡
による反射光で前記スリットを照明するパルプ面の部分
とが前記フロスト面となり、前記第１の反射鏡の反射面
に面し、前記反射光が前記第２の反射鏡を経て前記スリ
ットを照明するパルプ面の部分と、前記反射光が前記パ
ルプに戻されるパルプ面の部分とがクリア面となる位置
関係に前記ハロゲン電球を配置したことを特徴とするス
リット露光用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58133457A JPS6024535A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | スリツト露光用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58133457A JPS6024535A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | スリツト露光用照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6024535A true JPS6024535A (ja) | 1985-02-07 |
| JPH0444730B2 JPH0444730B2 (ja) | 1992-07-22 |
Family
ID=15105225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58133457A Granted JPS6024535A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | スリツト露光用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024535A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61179552U (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-08 |
-
1983
- 1983-07-20 JP JP58133457A patent/JPS6024535A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61179552U (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0444730B2 (ja) | 1992-07-22 |
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