JPS6025299A

JPS6025299A - 搬送方式

Info

Publication number: JPS6025299A
Application number: JP58133267A
Authority: JP
Inventors: 圭一柴田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1983-07-21
Filing date: 1983-07-21
Publication date: 1985-02-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は被搬送物、たとえば半導体基板の収納容器を前
段の処理装置から後段の処理装置に受け渡す搬送方式に
関する。

〔発明の技術的背景〕

従来、半導体製造工程において、半導体基板を前段の工
程から後段の工程に供給する場合には第１図で示すよう
に行なわれる。すなわち、複数の半導体基板１・・・を
収納容器２に入れ、この各収納容器２・・・を搬入用の
ベルトコンベア３によって１列に並べて順次運ばれ、移
載機構４によりて供給ポジション５に設置される。そし
て、この供給ポジション５において取出し゛ベルト６・
・・によシ上記収納容器２から１枚ずつ半導体基板１・
・・を取シ出して、後段の工程に送る。

空となった収納容器２は搬出用のベルトコンベア７によ
シ順次搬出される。

〔背景技術の問題点〕

上記従来の搬送方式では各収納容器が１列に並んでその
順序で運ばれる。したがって、搬入用のベルトコンベア
３に乗せた順序でしか後段の処理工程へ送ることができ
ない。

しかし、現実には処理すべき順序を変更する必要が生じ
たとき、あるいは緊急に処理すべきものを割シ込ませて
優先的に処理する必要が生じても、それに対応できなか
った。このように自動化された工程を結ぶ一貫した装置
としては７レキシビリテイがなく生産管理上不都合であ
ったＯ〔発明の目的〕本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的
とするところは供給する被搬送物の受渡し順序を自由に
変更できるフレキシビリティのある搬送方式を提供する
ことにある。

〔発明の概要〕

本発明は搬入路と搬出路との間のポジションにおいて、
搬入路からの被搬送物を受け取シ移動して搬出路へ送シ
渡す複数のテーブルを入れ換え自在にして搬出路へ送シ
渡す順序を変更できるようにした搬送方式である。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を説明する。第２図ないし第５
図は本発明の方式に使用する搬送装置を示すものである
。まず、この搬送装置の構成について説明する。

第２図中１１はベルトコンベアであシ、その中間部位を
境として搬入路１２と空容器排出路１３を構成している
。ベルトコンベア１１の中間部位の左側方には後述する
受渡しポジション１４が形成され、中間部位の右側方に
は２台の移載機構１５，１６が設置されている。第１の
移載機構１５は搬入路１２側に位置して設置されていて
、搬入路１２によって順次搬送されてくる被搬送物、た
とえば複数枚の半導体基板１７・・・を第３図で示すよ
うに収容した収納容器１８・・・を受渡しポジション１
４側へ送υ出すようになっている。第２の移載機構１６
は空容器排出路１３側に位置して設置されていて、空と
なった収納容器１８を受渡しポジション１４から受け取
って空容器排出路１３に渡すようになっている。なお、
との各移載機構１５．１６は収納容器１８を把持するハ
ンド部１９とこれを進退移動操作するためのシリンダ２
０とからなっている。

上記受渡しポジション１４は第２図で示すように上記ベ
ルトコンベア１１の走行方向に並ぶ２個の小ポジション
が３組上記走行方向に直角の向きで並んで配置されてい
る。つまシ、受渡しポジション１４は６個の小ポジショ
ン２１ａ。

２１ｂ、２１Ｃ，２１ｄ、２１ｃ、２１ｆからなり、そ
のうち２個の小ポジション２１ａ。

２１ｂはベルトコンベア１１に隣接している。

そして、小、＋２ノシヨン２１ａは第１の移載機構１５
と近接対向しており、また、別の小ポジション２１ｂは
第２の移載機構１６に近接対向している。さらに、反対
側の小ポジション２１ｆは搬出路２２の搬入端（供給端
）に近接対向している。との搬出路２２は丸ベルト２３
・・・によって構成されている。

上記受渡しポジション１４には搬入路１２から収納容器
１８を受け取シ搬出路２２に送シ渡す／ζめの４つのテ
ーブル２３　ａ　、　２３ｂ、２３ｃ。

２３ｄが用意され、これらは上記小ポジシロン２１ａ・
・・２１ｆのいずれかに位置するようになっている。上
記テーブル２３ａ・・・２３ｄは案内ガイド２４によっ
て移動できるように支持されている。案内ガイド２４は
第３図で示すようにテーブル２３ａ・・・２３ｒｌを載
置する？−ル２５・・・を有し−Ｃなシ、さらに隣シの
小ポジシロン２１ａ・・・２１ｆへのみ自転することな
く移動できるように直交する２方向へ案内するレーベ図
示しない。）を設けるとよい。また、テーブル２３ｈ・
・・２’、９ｄの底壁には駆動受は部材としての駆動杆
２６が吊下されている。この駆動杆２６には第３図ない
し第５図で示すように直交する上記移動２方向に沿って
切欠き形成した２つの案内溝２７ａ、２７ｂが設けられ
ておシ、この２つの案内溝２７　ａ　、　２７　ｂは直
交する十字状に形成されるとともに下端で開口している
・一方、上記小ポジション２１ａ１・・・２１ｆの各間
の下方部位にはそれぞれ受渡し駆動機構２８・・・が設
置されている。つまシ、上記テーブル２３ｈ・・・２３
ｄが移動する方向において互いにｖｋ＃）合う小ポジシ
ョン２１ａ・・・２１１の各境界の下方部位に位置して
設けられている。そしで、この受渡し駆動機構２８・・
・は正逆回転自在なモータ２９によって回動されるアー
ム３０の先端に保合ビン３１を設けてな多、上記係合ピ
ン３１は第３図中１点鎖線で示す円弧Ｓ上を運動するよ
うになっている。そして、上記円弧Ｓ上を下側から上昇
することによシ上記駆動杆２６の案内溝２７ｍ、２７ｂ
の一方に入シ込み、その案内１９２７　ａ　、　２７　
ｂに沿って摺動し、そのテーブル２３ｍ・・・２３１を
移動させるようになっている。そして、第３図において
実線で示す位置から２点鎖線で示す位置まで移動したと
き、上記係合ビン３１は案内溝２７ａ、２７ｂから外れ
る。つまシ、ある小ポジション２１ｂ・・・２１ｆから
これに隣接する小ポジション２１ｍ・・・２１１にテー
ブル２３＆・・・２３ｔｌを移動させるようになってい
る。なお、第３図では紙面に沿う方向（ベルトコンベア
１１の走行方向）に移動させる受渡し駆動機構２８につ
いて示したが、紙面に直交する方向に移動させる受渡し
駆動機構２８も同様に構成される。そして、この後者の
受渡し駆動機構２８についての保合−ン３１は他方の案
内溝２７ｂに係合するものである。

次に、上記搬送装置に従って搬送方式を説明する。

まず、複数の半導体基板１７・・・をあらかじめ収容し
た複数の収納容器１８が搬入路１２によって前工程から
１個ずつ順次運ばれてくる。受渡しポジション１４に対
向すると、第１の移載機構１５が作動することによシそ
のノ・ンド部１９で小ポジション２１ａにあるテーブル
２３ａ・・・２３ｄに移される。ところで、各テーブル
２３ｍ・・・２３ｄは前述したように各受渡し駆動機構
２８の作動を制御することによシ各小ポジション２１ａ
・・・２１ｆに移動でき、かつ相互の位置を変更できる
。つまシ、収納容器１８・・・をテーブル２３ｍ・・・
２３ｄごと相互に独立して各小ポジション２１ｇ・・・
２１ｆへ任意に夢勢させることができる。したがって、
輿入路１２から送シ込まれた順序で搬出路２２に対向す
る小ポジション２１ｆに送シ込むこともできるし、また
、その順序を入れ換えて送り込むこともできる。そして
、上記小ポジション２１ｆにおいて半導体基板１７・・
・を１枚ずつ搬出路２２に送シ出すことによシその収納
容器１８が空になると、小ポジション２１ｂに送られ、
第２の移載機構１６によって排出路１３に移され排出さ
れる。

しかして、上記搬送装置によれば、搬入路１２を通じて
運ばれてきた収納容器１８・・・の順序の変更が容易に
でき、また割込み優先処理の要求に対しても対応可能で
フレキシビリティのある自動化された一貫した工程を実
現できる。

まだ、上記受渡し駆動機構２８・・・は特に円弧運動す
る係合ビン３１とこの係合ビン３１が係合する案内溝２
７　ａ　ｐ　２７　ｂを有した駆動杆２６によるため、
そのモータ２９が定速回転してもテーブル２３ａ・・・
２３ｄの移動速度は移動開始から移動停止まで滑らかに
変化する。したがって、収納容器１８の半導体基板１７
・・・に衝撃を　ｌ与えず、不良品の発生原因となるご
みの発生も少なくでき、搬送による歩留り低下を防止す
る。

なお、上記実施例では収納容器を用いて半導体基板を搬
送したが、その半導体基板のそれぞれを搬送単位として
もよく、この場合にも同様の作用効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の方式は搬入路からの被搬送
物を受け取り移動して搬出路へ送り渡す複数のテーブル
を入れ換え自在にして上記搬出路へ送シ渡す順序を変更
できるようにしたものである。

したがって、被搬送物の供給順序を容易に変更できる。

また、割込み優先処理の要求に対しても簡単に対応でき
る。さらに、フレキシビリティのある自動化の実現によ
り生産性の向上が図れる。また、いわゆるクリーンルー
ム中での自動化（無人化）によってそのクリーンネスの
向上による歩留シの向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の搬送装置の平面図、第２図は本発明の一
実施例を示す搬送装置の平面図、第３図は同じくその受
渡し駆動機構の要部を示す側面図、第４図は同じくその
要部の正面図、第５図は同じく駆動杆の底面図である。１２・・・搬入路、１４・・・受渡しポジション、１７
・・・半導体基板、１８・・・収納容器、２２・・・搬
出路、２３ａ・・・２３ｄ・・・テーブル、２８・・・
受渡し駆動機構。出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第１図第２図第３図６第４図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

搬入路によって順次送シ込まれる複数の被搬送物を搬出
路に送シ渡す搬送方式において、搬入路からの被搬送物
を受け取シ移動して搬出路へ送シ渡す複数のテーブルを
入れ換えることによシ搬出路へ送シ渡す順序を変更でき
るようにした搬送方式。