JPS6025746U - 薄膜形成装置 - Google Patents

薄膜形成装置

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Publication number
JPS6025746U
JPS6025746U JP11471783U JP11471783U JPS6025746U JP S6025746 U JPS6025746 U JP S6025746U JP 11471783 U JP11471783 U JP 11471783U JP 11471783 U JP11471783 U JP 11471783U JP S6025746 U JPS6025746 U JP S6025746U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
mask
film forming
forming apparatus
band
Prior art date
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Pending
Application number
JP11471783U
Other languages
English (en)
Inventor
西山　康彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP11471783U priority Critical patent/JPS6025746U/ja
Publication of JPS6025746U publication Critical patent/JPS6025746U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のスパッタ装置の説明図、第２図はそのマ
スク斜視図、第３図は本考案の第１の実施例を示すスパ
ッタ装置の要部の斜視図、第４図は本考案の第２の実施
例を示すスパッタ装置の要部の斜視図、第５図及び第６
図は本考案の第３の実施例を示すスパッタ装置の要部の
斜視図及び断面図である。 １・・・・・・薄膜形成対象物としての基板、５，６・
・・・・・薄膜素材、１１・・・・・・マスク帯、１．
３ａ、１３ｂ１１＠ＩＩ＠６１１窓孔、２１　ａ、−２
ｌｂ、　　２１　ｃ、　　２１ｄ＝マスク帯、２３・・
・・・・窓孔、３１ａｔ　３１ｂ・・・・・・マスク帯
、３３ａ、３３ｂ・・・・・・窓孔、３４・・・・・・
薄膜形成対象物としての基板。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）薄膜形成対象物の薄膜形成面にマスクを対向し、
    このマスクの窓孔を介して上記薄膜形成面に薄膜素材を
    付着させて薄膜を形成する薄膜形成装置であって、 上記マスクを１ないし複数枚の長尺マスク帯で構成し、
    このマスク帯を上記薄膜形成対象物の薄膜形成面に対向
    して与スク帯の長さ方向に間けつ的あるいは連続的に移
    動可能に形成したことを特徴とする薄膜形成装置。
  2. （２）上記マスクを１枚のマスク帯で構成し、この１枚
    のマスク帯にその長手方向に所定のピッチをおいて複数
    の窓孔を形成し、このマスク帯を所定のピッチで間けつ
    的に移動することを特徴とする実用新案登録請求の範囲
    第１項記載の薄膜形成装置。
  3. （３）上記マスクを複数枚のマスク帯で構成し、この複
    数枚の各マスク帯の縁部間に上記窓孔を形゛　成し、こ
    の各マスク帯をそれぞれ連続的あるいは間けつ的に移動
    することを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
    載の薄膜形成装置。
JP11471783U 1983-07-22 1983-07-22 薄膜形成装置 Pending JPS6025746U (ja)

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JP11471783U JPS6025746U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 薄膜形成装置

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JP11471783U JPS6025746U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 薄膜形成装置

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JPS6025746U true JPS6025746U (ja) 1985-02-21

Family

ID=30265076

Family Applications (1)

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JP11471783U Pending JPS6025746U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 薄膜形成装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009101795A1 (ja) * 2008-02-15 2009-08-20 Panasonic Corporation 薄膜形成方法および成膜装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009101795A1 (ja) * 2008-02-15 2009-08-20 Panasonic Corporation 薄膜形成方法および成膜装置

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