JPS6025749U - 蒸着ヒ−タ - Google Patents

蒸着ヒ−タ

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Publication number
JPS6025749U
JPS6025749U JP11375383U JP11375383U JPS6025749U JP S6025749 U JPS6025749 U JP S6025749U JP 11375383 U JP11375383 U JP 11375383U JP 11375383 U JP11375383 U JP 11375383U JP S6025749 U JPS6025749 U JP S6025749U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
heater
deposition heater
winding
electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP11375383U
Other languages
English (en)
Inventor
重野　和男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS6025749U publication Critical patent/JPS6025749U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の小型バスケット型蒸着ヒータでの構成図
、第２図は従来の巻線型蒸着ヒータの構成図、第３図は
第２図のヒータでの蒸着ソース溶融後の電流経路を示す
図、第４図は本考案による巻線型蒸着ヒータの一実施例
の三面図、第５図は第４図のヒータでの蒸着ソース溶融
後の電流経路を示す図である。゛ ３１・・・・・・電流経路、３２・・・・・・溶融蒸着
ソース、５１・・・・・・電流経路、５２・・・・・・
溶融蒸着ソース。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ヒータを構成する撚線の一方の端は巻線の中央下部より
    極性の電極への導線となり、撚線の他方の端は巻線の端
    部より逆極性の電極への導線になっていることを特徴と
    する蒸着ヒータ。
JP11375383U 1983-07-22 1983-07-22 蒸着ヒ−タ Pending JPS6025749U (ja)

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JP11375383U JPS6025749U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 蒸着ヒ−タ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11375383U JPS6025749U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 蒸着ヒ−タ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6025749U true JPS6025749U (ja) 1985-02-21

Family

ID=30263204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11375383U Pending JPS6025749U (ja) 1983-07-22 1983-07-22 蒸着ヒ−タ

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JP (1) JPS6025749U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017020099A (ja) * 2015-07-15 2017-01-26 アイシン精機株式会社 蒸着装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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