JPS6025901Y2 - ウェハ−供給装置 - Google Patents
ウェハ−供給装置Info
- Publication number
- JPS6025901Y2 JPS6025901Y2 JP6511180U JP6511180U JPS6025901Y2 JP S6025901 Y2 JPS6025901 Y2 JP S6025901Y2 JP 6511180 U JP6511180 U JP 6511180U JP 6511180 U JP6511180 U JP 6511180U JP S6025901 Y2 JPS6025901 Y2 JP S6025901Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- workbench
- steel ball
- groove
- supply device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、半導体装置の製造工程に使用するウェハー供
給装置に関する。
給装置に関する。
従来のウェハー供給装置の動きを第１図の断面図を用い
て説明すると、ウェハーの供給を受ける場合、ウェハ一
作業台１は水平固定軸２を中心に水平位置よりやや上向
きの角度で供給を受ける。
て説明すると、ウェハーの供給を受ける場合、ウェハ一
作業台１は水平固定軸２を中心に水平位置よりやや上向
きの角度で供給を受ける。
この場合、ウェハ一作業台１のウェハー載置面に設置さ
れた溝８内を転がる鋼球３は、与えられた前記やや上向
きの角度により水平固定軸２の位置近くに転がっている
。
れた溝８内を転がる鋼球３は、与えられた前記やや上向
きの角度により水平固定軸２の位置近くに転がっている
。
イオン注入などの作業終了後、ウェハ一作業台１は水平
固定軸２を中心に水平位置よりやや下向きになり、ウェ
ハー４を次の所定位置に滑落移送させる。
固定軸２を中心に水平位置よりやや下向きになり、ウェ
ハー４を次の所定位置に滑落移送させる。
しか腰この構造ではウェハー４を滑落させる際、ウェハ
一作業台１が水平固定軸２を中心に動き始めると、鋼球
３がウェハー４より先にウェハ一作業台１の先端に到着
する。
一作業台１が水平固定軸２を中心に動き始めると、鋼球
３がウェハー４より先にウェハ一作業台１の先端に到着
する。
ウェハー４も滑落しようとするが、ウェハーストッパー
５により一定傾斜角度になるまで停止させられている為
滑落しない。
５により一定傾斜角度になるまで停止させられている為
滑落しない。
この状態で鋼球３がウェハ一作業台１の先端に到着する
と、溝８は先端に向って浅くなっている構造のためウェ
ハー４は鋼球３に押し上けられ、ウェハーストッパー５
が役を果さなくなると同時に、決められた位置にウェハ
ー４が供給されなくなる。
と、溝８は先端に向って浅くなっている構造のためウェ
ハー４は鋼球３に押し上けられ、ウェハーストッパー５
が役を果さなくなると同時に、決められた位置にウェハ
ー４が供給されなくなる。
このように従来の供給装置は、ウェハー４の滑落を助長
させる目的で設置しである鋼球３が有効に作用していな
い欠点があった。
させる目的で設置しである鋼球３が有効に作用していな
い欠点があった。
本案はこれらの欠点を除く為に考案されたもので、これ
を第２図の断面図につい説明する。
を第２図の断面図につい説明する。
まずウェハ一作業台１内に設置されている溝８の底面６
の一端に凹み７を設ける。
の一端に凹み７を設ける。
この凹み７をドリル等で加工しウェハ一作業台１が一定
傾斜角度に達するまで鋼球３を保持出来るよう凹み７の
深さや大きさを求める。
傾斜角度に達するまで鋼球３を保持出来るよう凹み７の
深さや大きさを求める。
このようにすると、鋼球３は凹み７の深さ及び大きさに
よりウェハ一作業台１が一定傾斜角度に達するまで係止
されて転がり出さない。
よりウェハ一作業台１が一定傾斜角度に達するまで係止
されて転がり出さない。
ウェハー４は所定傾斜角度に達するまでウェハーストッ
パー５で保持され、所定傾斜角度で鋼球３が転がり始め
る為、たとえウェハー４が摩擦などで滑落せず停止した
ままでも、落下速度の加わった鋼球３によってウェハー
４を円滑に滑落させる事が出来る。
パー５で保持され、所定傾斜角度で鋼球３が転がり始め
る為、たとえウェハー４が摩擦などで滑落せず停止した
ままでも、落下速度の加わった鋼球３によってウェハー
４を円滑に滑落させる事が出来る。
また鋼球３がウェハー４より先に動き出すことがなくな
るウェハー４が鋼球３の上に乗り上げる事も無くなり、
ウェハー４を所定位置に供給する事が出来る。
るウェハー４が鋼球３の上に乗り上げる事も無くなり、
ウェハー４を所定位置に供給する事が出来る。
前記凹み７の代わりに貫通孔や凸部を設けても同様の効
果が得られる。
果が得られる。
本考案はこのようにただ単に貫通孔や凹み７の加工を行
う簡単な構造でウェハーの移送を円滑に行なうことがで
きる。
う簡単な構造でウェハーの移送を円滑に行なうことがで
きる。
第１図は従来装置の動作を説明する断面図、第２図は本
考案装置の断面図である。 １・・・・・・ウェハ一作業台、２・・・・・・水平固
定軸、３・・・・・・鋼球、４・・・・・・ウェハー
５・・・・・・ウェハーストッパー ６・・・・・・底
面、７・・・・・・凹み、８・・・・・・溝。
考案装置の断面図である。 １・・・・・・ウェハ一作業台、２・・・・・・水平固
定軸、３・・・・・・鋼球、４・・・・・・ウェハー
５・・・・・・ウェハーストッパー ６・・・・・・底
面、７・・・・・・凹み、８・・・・・・溝。
Claims (1)
- ウェハー載置面に溝を有する傾斜自在の作業台と、この
溝中を転がりウェハーの滑落を助ける鋼球と、作業台先
端部に設けられ作業台が一定傾斜角度に達すると開くウ
ェハーストッパーとを備えたウェハー供給装置において
、前記溝の底面に作業台が一定傾斜角度になるまで鋼球
を係止しておく凹みを設けたことを特徴とするウェハー
供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6511180U JPS6025901Y2 (ja) | 1980-05-13 | 1980-05-13 | ウェハ−供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6511180U JPS6025901Y2 (ja) | 1980-05-13 | 1980-05-13 | ウェハ−供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56167547U JPS56167547U (ja) | 1981-12-11 |
| JPS6025901Y2 true JPS6025901Y2 (ja) | 1985-08-03 |
Family
ID=29659272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6511180U Expired JPS6025901Y2 (ja) | 1980-05-13 | 1980-05-13 | ウェハ−供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025901Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-05-13 JP JP6511180U patent/JPS6025901Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56167547U (ja) | 1981-12-11 |
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