JPS602662A - セラミツクス被覆層の形成方法 - Google Patents

セラミツクス被覆層の形成方法

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JPS602662A
JPS602662A JP58110125A JP11012583A JPS602662A JP S602662 A JPS602662 A JP S602662A JP 58110125 A JP58110125 A JP 58110125A JP 11012583 A JP11012583 A JP 11012583A JP S602662 A JPS602662 A JP S602662A
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JP
Japan
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layer
ceramics
base material
heat
mask
Prior art date
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Pending
Application number
JP58110125A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Suzuki
隆夫 鈴木
Hiromitsu Takeda
博光 竹田
Kazumi Shimotori
霜鳥 一三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
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Priority to JP58110125A priority Critical patent/JPS602662A/ja
Publication of JPS602662A publication Critical patent/JPS602662A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/02Pretreatment of the material to be coated, e.g. for coating on selected surface areas
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/10Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
    • C23C4/11Oxides

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Materials Engineering (AREA)
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  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 一形成する方法に関する。
−7,:1金楓の表面を耐熱性・耐火性の各種セラミツ
、L、スで貧村して成る耐熱部材は各九業分野で多用さ
れている。金属基材の表面にセラミックス被c塘層な形
成するためには、従来から、溶射法。
焼き付は法、物理蒸着法、化学類にを法9表面酸化法な
どの方法が適用されているが、工業的で生産性の点から
して高融点材料の辱膜被々没には溶射法が一般的な方法
である。
この場合、基材金属とセラミックスとでは熱膨張係数が
約1桁異なるので、高温若しくは熱変動の激しい犯境下
にあっては、基材とセラミックス被棟層との接合界面で
は両者の熱膨張差に基づく熱応力が発生し、セラミック
ス林株層の亀裂若しくは基材からの剥離などの現象を生
起することがある。
上記した熱応力は、(t)Wt m 1mの厚みが厚い
ほど大きくなる、■抜へ1台金体の表面積が広くなるに
つれて大きくなる、■暴利とセラミックスと7“− ;I果:も大きい、σ)そしてその熱膨張係数は基材金
、:蒐。
□・い1:る。
ト、y、:、’このように、セラミックス神0の耐熱部
材に、・1′1 ′1..’、lJあっては、熱応力の性向とセラミック
ス校υ層の特徴とは全て相反していて、このことが耐熱
部材の製造にとって重大な問題であった。とくに、セラ
ミックス被覆層の熱疲グ14¥性は熱応力に大きく依存
しているため、耐熱部材の使用寿命そのものを左右する
ものであった。すなわちセラミックス彷W Wri内に
熱応力によって発生した亀裂、剥離などが当初は極めて
做細旬域での現象であったとしても、これら亀裂、剥離
現象は短時間のうちに全被口層に伝播し、結局は被覆層
を崩壊させてしまうことがある。
このようなことから、従来は、基材とセラミックス被枠
層との間に#膨張係数が両者の中間の値を有する材料の
層を介在させ、いわば熱応力のLk k IBを形成す
る方法、又は、セラミック労特性の向上には限界があっ
た。
したがって、被aF?;iの厚みが厚く、全体として広
い杉梼面積を有し、FA疲労特性に優れ使用寿命の長い
セラミックス林覆耐熱部材の製造方法は強く望まれてい
る。
〔発明の目的〕
本発明は、上記した問題点を解消し、セラミックスv1
8層の果す機能を減殺することなく該層が厚く全体とし
て面積大でかつ熱疲労特性に優れたセラミックス被覆層
の形成方法の提供を目的とする。
〔発明の概要〕
本発明者らは、以下の諸点に着目して本発明の方法を開
発するに到った。まず、第1はセラミックス被覆層の崩
壊の原因である熱応力は、該層の面内方向に発生する熱
歪みに起因して面内方向に伝播することである。このこ
とから、被覆層の面積を小さくすればその面積の被接1
−内の熱応力は全体として小さくなるはずである。
fA2は、溶射法で形成されたセラミックス被り層は一
般に無気孔の層ではなくて連続した開気孔を多数分布す
る層であって、そのため、層内のこれら気孔が熱歪みを
緩和して層内の熱応力°ai生を抑制すると同時に万が
一亀裂等が層内Ki生してもそれが層全体に伝播してい
くことを姑制するということである。
以上2つの着目点から、本発ゆ1者らは、セラミックス
被梳Rツ内に上記した開気孔のe> ’Otを果し得る
空間部分を意識的に形成して被覆層の全体面積を核空間
部分で分割して小区画化すれば、熱疲労特性に優れた被
核層を形成し得るとの着想を得、鋭章研究を重ねた結果
、本発明方法を完成するに到った。
すなわち、本発明は、金属基材の表面に、所定の平面形
状を有する開口部が複数個配列するマスク手段を介して
、セラミックスを溶射することを4![とするセラミッ
クス被核層の形成方法である。
本発明において、基材としては、耐熱部材の基材となり
得る金属であってその表面にセラミックス層をVB着し
て形成1−得る金属であればその種類は問わない。また
、被覆層形成に用いるセラミックスについても同様であ
る。
本発明方法の最大の特徴は、セラミックスを溶射する際
に基材と溶射ガンの間に後述するようなマスク手段を介
在させるところにある。
本発明にかかるマスク手段は、所定の開口形状を有する
開口部が複数個配列しているものである。例えば、所定
線径の耐熱ワイヤを編み合7゛ せたメツシュ、ある幅を有する耐熱板材を交互に組合せ
た格子、ある面積の耐熱板材から所定形状の部分を規則
的に打ち抜いたもの、などをあげることができる。この
場合、間口部の形状は三角形、四角形−五角形−・1円
形など任意の形状であってよく、また、その個々の大き
さは格別限定されるものではない。しかし、開口部の配
列は規則的配列であることが好ましい。
本発明にあっては、上記したマスク手段を基材と溶射ガ
ンの間に介在させてセラミックスを溶射する。
ガンから射出された溶融若しくは半沁射状態のセラミッ
クス粒子は基材表面に突進する。そのとき、マスク手段
にまで到達したセラミックス粒子のうち、開口部を通過
するものはそのまま基材表面にまで到りそこで検相h3
を形成する。
一方、マスク手段の開口部相互の間に到達した:、:、
’)、クス被龜層が相互に独立して複数個形成されこの
とき、マスク手段の開口部相互の部分、いわばマスク手
段の骨格部分が投影された位置にはセラミックスの被覆
層が形成されないので一1mの分#帯が全体のセラミッ
クス彼校層の中に生ずることKなる。
このようにして、本発明方法では、相互に独立し、分離
帯を介してVh接する小さなセラミックス被覆層が無数
に配列した状態の被覆層を基材表面に形成することがで
きる。このときの小被覆層の平面形状、分離帯の幅など
はマスク手段の開口部模様を適宜選定することKより変
化させることがでざる。
本発明方法によって製造した耐熱部材が例えば高速流体
にさらされる場合には、被覆層の分離帯部分による該尚
速流体の流れ状態を乱さないために、該被枡層の最外表
面のみを融着させ連続面にすればよい。
(lN738LC)の板材の表面な粒径1mのアル:1
1 一蛾流値700A、fi(王位34Vの条件で’Ni−
17Cr−6AQ−0.6Y合金粉末をプラズマ溶射し
た。この溶射層は結合層である。厚み100μm0線径
1wφのSUS 304の線材を15■間隔で綿み合せ
た網目マスクを、上記板材の溶射層から2闘離してセッ
トした。ここに、溶射距離100tqn、電流f、q 
800 A *電圧値34V(7)条件でZrO,−s
y、o、セラミックス粉末を厚み300j1m−280
Gで60分間冷却とい5熱疲労試験(大気中)を施こし
、柚覆層内での亀裂発生の有無を肉眼観察した。結果を
、亀裂発生までの熱サイクル回数としてtp!1表に示
した。比較のためにマスクを用いないということを除い
ては同様・;−:実施例2 、l、(゛、板材の寸法が20m角厚み3mであったこ
と1、−2” マスク手段が線径0.5 tuaφの5US304線材
を7鶏間隔で編み合せたものであったこと、該マスク手
段を直接板材の溶射層の上に貨いたこと、を除いては実
施例1と同様にしてセラミックス被媛層を形成した。
得られた部材につき、その厚み方向の熱伝導率をレーザ
フラッシュ法で測定した。その結果を第2表に示した。
比較のため厚みが450μmであることを除いては実施
例1に記した同じ比較例試料の結果も併記した。
第2表 転する上記マスクを2枚用いて行なったこと、を除いて
は実施例1と同様の糸外でセラミックス被覆層を形成し
た。
熱疲労特性試験の結果も笑施例1と同じであった。
〔発明の効果〕
以上の説明で明らかなように、本発明方法によれば、形
成された被校層は■従来のものに比べてその熱伝導率が
大きく変化することはなく、■pAR労特性に優れてい
るものであり、得られた耐熱部材は、■したがって、セ
ラミックス被Yり層の厚みを厚くしたり全体面積を大き
くしても、該層内の亀裂若しくは基材からの弱齢などが
抑制され、■使用寿命が畏くなる、などの効果を奏する
ので、本発明方法の工業的価値は極めて大である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 金属基材の表面に、所定の開口形状を有する開口部が複
    数個配列するマスク手段を介して、セラミックスを溶射
    することを特徴とするセラミックス被機層の形成方法。
JP58110125A 1983-06-21 1983-06-21 セラミツクス被覆層の形成方法 Pending JPS602662A (ja)

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