JPS6026928A - 光制御素子 - Google Patents
光制御素子Info
- Publication number
- JPS6026928A JPS6026928A JP58136331A JP13633183A JPS6026928A JP S6026928 A JPS6026928 A JP S6026928A JP 58136331 A JP58136331 A JP 58136331A JP 13633183 A JP13633183 A JP 13633183A JP S6026928 A JPS6026928 A JP S6026928A
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- JP
- Japan
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- light
- control element
- electrode
- light control
- mask
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/055—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic
- G02F1/0551—Constructional details
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、各種光情報処理機器に用いられ、光信号を連
続的に制御する光制御素子に関するものである。
続的に制御する光制御素子に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、情報処理技術の分野の発展は目ざましいものがあ
る。こういう情勢の中で、情報の出力機器としてのプリ
ンターの役割が重要になってきている。現在、各種のプ
リンターが開発されてきているが、その中で最も注目さ
れているのが非画一的（ノンインパクト形）のプリンタ
ーであり、その中でも固体の電気光学効果を用いた光制
御素子（光シヤツター素子）が注目を集めている。この
ような光制御素子として従来知られているもの（よＬａ
添加のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＬＺＴ ）等の透光性
磁器の平板上に、少なくとも片面に複数個の帯状電極を
設けた基板を、前記帯状電極に電圧を印加した時に生じ
る電界ベクトルの方向に対して±４５°の偏光軸を有す
る偏光板で挾んだ構造を有したものである。このような
従来の光ｉｉ、＋制御素子について第１図を用いて説明
する。第１四回は従来の光制御素子の分解斜視図で、（
１）はＰＬＺＴ平板、（２）はＰＬＺＴ平板（１）上に
設けられた共通電極、（３）は電圧印加用電極群、（４
）は光シヤツタ一部である。
る。こういう情勢の中で、情報の出力機器としてのプリ
ンターの役割が重要になってきている。現在、各種のプ
リンターが開発されてきているが、その中で最も注目さ
れているのが非画一的（ノンインパクト形）のプリンタ
ーであり、その中でも固体の電気光学効果を用いた光制
御素子（光シヤツター素子）が注目を集めている。この
ような光制御素子として従来知られているもの（よＬａ
添加のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＬＺＴ ）等の透光性
磁器の平板上に、少なくとも片面に複数個の帯状電極を
設けた基板を、前記帯状電極に電圧を印加した時に生じ
る電界ベクトルの方向に対して±４５°の偏光軸を有す
る偏光板で挾んだ構造を有したものである。このような
従来の光ｉｉ、＋制御素子について第１図を用いて説明
する。第１四回は従来の光制御素子の分解斜視図で、（
１）はＰＬＺＴ平板、（２）はＰＬＺＴ平板（１）上に
設けられた共通電極、（３）は電圧印加用電極群、（４
）は光シヤツタ一部である。
（５）は偏光子、（６）は検光子であり、共通電極（２
）と電圧印加用電極群（３）との間に電圧を印加した時
に生じる電界ベクトルの方向に対して±４５°の方向に
細光軸を有する様に構成されている。（７）は光源であ
る。第１図Ｃｌ５）は光制御素子の光シヤツタ一部（４
）の動作状態の説明図で、（８）は動作部（理論的シャ
ッタ一部）、（９）は光シヤツタ一部（４）の実際の）
助作時の光の透過部を示す。偏光子（５）の後部に設け
られた５４００人の波長を有する光源（７）から光を照
射した場合、ＰＬＺＴ平沢Ｑ）−にに形成された電圧印
ＩＪロ用゛Ｔ７極群（３）と共通電極（２）との間に電
圧を印加１ノない時は、電気光学効果による複屈折は生
じず、偏光子（５）および検光子（ｔＩ）によって光は
遮断されるが、電圧印加用電極群（３）にγｄ圧を印加
すると、電気光学効果によって複屈折を生じ、光の偏光
状態が変化し、光シヤツタ一部（４）において光が透過
する。従って電圧印加用電極群（３）の任意の電極に電
圧を印加すれば任意の部分の光を透過することができ、
検光子（６）の前部に：感光体などを置いておけば、任
意のパターンを授示することが可能であり、ノンインパ
クト形の光プリンターの杓き込みヘッドとして利用でき
る。
）と電圧印加用電極群（３）との間に電圧を印加した時
に生じる電界ベクトルの方向に対して±４５°の方向に
細光軸を有する様に構成されている。（７）は光源であ
る。第１図Ｃｌ５）は光制御素子の光シヤツタ一部（４
）の動作状態の説明図で、（８）は動作部（理論的シャ
ッタ一部）、（９）は光シヤツタ一部（４）の実際の）
助作時の光の透過部を示す。偏光子（５）の後部に設け
られた５４００人の波長を有する光源（７）から光を照
射した場合、ＰＬＺＴ平沢Ｑ）−にに形成された電圧印
ＩＪロ用゛Ｔ７極群（３）と共通電極（２）との間に電
圧を印加１ノない時は、電気光学効果による複屈折は生
じず、偏光子（５）および検光子（ｔＩ）によって光は
遮断されるが、電圧印加用電極群（３）にγｄ圧を印加
すると、電気光学効果によって複屈折を生じ、光の偏光
状態が変化し、光シヤツタ一部（４）において光が透過
する。従って電圧印加用電極群（３）の任意の電極に電
圧を印加すれば任意の部分の光を透過することができ、
検光子（６）の前部に：感光体などを置いておけば、任
意のパターンを授示することが可能であり、ノンインパ
クト形の光プリンターの杓き込みヘッドとして利用でき
る。
ところで、現在プリンター等に利用される書き込み用ヘ
ッドには、少なくとも１０ライン／ｙｒｎ以上の分解能
が要求され、かつ上記固体の光シヤツターアレイを利用
する場合などでは、２００ ｍｇ以上の長尺の光シヤツ
ターヘッドが要求される。しかしながら、第１図（５）
に示すような電極（ｎ造であれば、第１図［Ｆ］）に示
すように、電界が動作部（８）以外にも印加されるため
、光のもれが発生して透過部（９）のようになり、高分
解能なパターンを感光体」−に書き込むことはできなか
った。
ッドには、少なくとも１０ライン／ｙｒｎ以上の分解能
が要求され、かつ上記固体の光シヤツターアレイを利用
する場合などでは、２００ ｍｇ以上の長尺の光シヤツ
ターヘッドが要求される。しかしながら、第１図（５）
に示すような電極（ｎ造であれば、第１図［Ｆ］）に示
すように、電界が動作部（８）以外にも印加されるため
、光のもれが発生して透過部（９）のようになり、高分
解能なパターンを感光体」−に書き込むことはできなか
った。
この、しうな欠点をなくす法として、動作部（８）のみ
光が通ｊＩＩ！ｌするように透明の絶縁物（ガラス、Ｓ
ｉ０２、Ａｌ２Ｏ３等）を介して金属の薄膜マスクを
設ければ良いと考えられる。しかし２００ ＷＭの光制
御素子には、例えば１０ライン／朋と考えると２０００
本もの電極があり、薄い絶縁膜を介して上部に金属のマ
スクがあるいわゆるサンドイッチタイプの電極構造では
、１箇所もピンホールなしに素子を作るのは非常に困雉
である。またこのＩＴＪ 部を避けるため、金属のかわ
りに絶縁物を用いようとしても、基板物質との熱膨張率
の不整合や、透光性があるなどの問題点があり、適当な
物質は１２７、つかりていない。そのほかに薄膜でない
金属のマスクを接着剤を介して貼り付けても、接着剤の
はみ出しの問題があり、また２００ｆｆｆｆ以上のマス
クを位置精度良くシャッタ一部に張り付けることも内性
である。
光が通ｊＩＩ！ｌするように透明の絶縁物（ガラス、Ｓ
ｉ０２、Ａｌ２Ｏ３等）を介して金属の薄膜マスクを
設ければ良いと考えられる。しかし２００ ＷＭの光制
御素子には、例えば１０ライン／朋と考えると２０００
本もの電極があり、薄い絶縁膜を介して上部に金属のマ
スクがあるいわゆるサンドイッチタイプの電極構造では
、１箇所もピンホールなしに素子を作るのは非常に困雉
である。またこのＩＴＪ 部を避けるため、金属のかわ
りに絶縁物を用いようとしても、基板物質との熱膨張率
の不整合や、透光性があるなどの問題点があり、適当な
物質は１２７、つかりていない。そのほかに薄膜でない
金属のマスクを接着剤を介して貼り付けても、接着剤の
はみ出しの問題があり、また２００ｆｆｆｆ以上のマス
クを位置精度良くシャッタ一部に張り付けることも内性
である。
発明の目的
本発明は上記従来欠点を解消するもので、光シヤツタ一
部の光もれを硝実に防］トできる、高分解能な光＋１ｉ
ｌｌ ｔｊｌｌ ４子を提供することを目的とする。
部の光もれを硝実に防］トできる、高分解能な光＋１ｉ
ｌｌ ｔｊｌｌ ４子を提供することを目的とする。
発明の構成
上記目的を達成するため、本発明の光制御素子は、電気
光学効果を有する透明基板と、この透明基イ↓ｉ上に形
成された対向電極対と、この対向電極対間の所定部分の
周囲を榎うように透明絶縁膜を介してｉ’＋ｉｌ記透明
是板−１−に形成された可視光を遮断する金属製の薄膜
マスクと、これら薄膜マスク及び対向電極対が形成され
た前記透明基板を挾む一対の仰光沢とを６ｉｆｔえた構
成である。
光学効果を有する透明基板と、この透明基イ↓ｉ上に形
成された対向電極対と、この対向電極対間の所定部分の
周囲を榎うように透明絶縁膜を介してｉ’＋ｉｌ記透明
是板−１−に形成された可視光を遮断する金属製の薄膜
マスクと、これら薄膜マスク及び対向電極対が形成され
た前記透明基板を挾む一対の仰光沢とを６ｉｆｔえた構
成である。
実施例の説明
以下、本発明の一実１Ｊｆｆｆ例について、図面に基づ
いて説明する。第２図は光制御素子の分解斜視図で、０
１はＰＬＺＴ平板、α１）はＰＬＺＴ平板（ｔＩ上にフ
ォトリソグラフィー法によって設けられた共通電極、０
２は同じくフォトリソグラフィー法によって設けられた
電圧印加用電極群である。０壕はＰＬＺＴ平板ＯＱ及び
電極ａη（２）上に形成された透明絶縁膜上に形成され
、必要な所だけ光を通すようにするための、電極００（
イ）と重なり部分をもたないＣｒとＡｕとの２層からな
る金属の薄膜マスクである。０荀は偏光子、ＯＱは検光
子、０Ｉは光源である。偏光子０荀の後部に設けられた
光源０傍から光を照射した場合、電圧印加用電極群０才
に電圧を印加すると、電気光学効果によって複屈折が生
じ、その部分の光が透過する。
いて説明する。第２図は光制御素子の分解斜視図で、０
１はＰＬＺＴ平板、α１）はＰＬＺＴ平板（ｔＩ上にフ
ォトリソグラフィー法によって設けられた共通電極、０
２は同じくフォトリソグラフィー法によって設けられた
電圧印加用電極群である。０壕はＰＬＺＴ平板ＯＱ及び
電極ａη（２）上に形成された透明絶縁膜上に形成され
、必要な所だけ光を通すようにするための、電極００（
イ）と重なり部分をもたないＣｒとＡｕとの２層からな
る金属の薄膜マスクである。０荀は偏光子、ＯＱは検光
子、０Ｉは光源である。偏光子０荀の後部に設けられた
光源０傍から光を照射した場合、電圧印加用電極群０才
に電圧を印加すると、電気光学効果によって複屈折が生
じ、その部分の光が透過する。
第３図（６）は従来構成の電極構造による動作説明図、
第３図の）は本実施例におけるマスクを設けた電極構造
による動作説明図で、例えば従来の構成においては、電
圧印加用電極群（３）のうちの電極（ａ）に電圧を印加
した場合、電界のベクトルが共通電極（２）に必ずしも
垂直でないため、図中の斜線の部分のように光が透過し
てしまう。−力木実施例の構成においては、電圧印加用
電極群（２）のうちの電極（ｂ）に電圧を印加すれば、
薄膜マスク０３のために必要シャッタ一部（図中のドツ
ト部）のみ光が透過する。
第３図の）は本実施例におけるマスクを設けた電極構造
による動作説明図で、例えば従来の構成においては、電
圧印加用電極群（３）のうちの電極（ａ）に電圧を印加
した場合、電界のベクトルが共通電極（２）に必ずしも
垂直でないため、図中の斜線の部分のように光が透過し
てしまう。−力木実施例の構成においては、電圧印加用
電極群（２）のうちの電極（ｂ）に電圧を印加すれば、
薄膜マスク０３のために必要シャッタ一部（図中のドツ
ト部）のみ光が透過する。
このように従来の構成における光制御素子は、光のもれ
が大きいため、１０ライン≠ を得るのは光の漏れのために固辞であったが、本実施例
では、必要な所のみ光が透過するので、１０ライン／朋
以上の解像度が得られる。
が大きいため、１０ライン≠ を得るのは光の漏れのために固辞であったが、本実施例
では、必要な所のみ光が透過するので、１０ライン／朋
以上の解像度が得られる。
第４図は本発明の一実施例における光制御素子を光プリ
ンターの書き込み用ヘッドとして用いた場合の概略斜視
図で、０ηは感光体ドラム、（１浄はセルフォックレン
ズアレイ、０１は光制御素子である。
ンターの書き込み用ヘッドとして用いた場合の概略斜視
図で、０ηは感光体ドラム、（１浄はセルフォックレン
ズアレイ、０１は光制御素子である。
５４００人の波長を有する光源ＯＱからの光は、光制御
素子ＯＩによって特定の部分のみが透過し、透過光は、
セルフォックレンズアレイ０→により感光体ドラム０η
の面上に結像される。従ってこのような構成にすれば、
第５ｒＡＱ３＞からもわかるように高分解能を有する印
字が可能となる。
素子ＯＩによって特定の部分のみが透過し、透過光は、
セルフォックレンズアレイ０→により感光体ドラム０η
の面上に結像される。従ってこのような構成にすれば、
第５ｒＡＱ３＞からもわかるように高分解能を有する印
字が可能となる。
なお、上記実施例においては、電圧印加用電極群０４の
電極幅を４０μｍとし、電圧印加用電極群０４と共通電
極０υとの間の電極間隔を８０′ｆｉｍとした。またｆ
ｆｆ極材料はＣｒとＡｕとの２層膜を、透明絶縁膜はＡ
ｌ２Ｏ２を、それぞれスパッター法により付着させｔこ
。マスク用の材料としてのＣｒとＡｕとの２層膜の作成
もスパッター法にて行なった。
電極幅を４０μｍとし、電圧印加用電極群０４と共通電
極０υとの間の電極間隔を８０′ｆｉｍとした。またｆ
ｆｆ極材料はＣｒとＡｕとの２層膜を、透明絶縁膜はＡ
ｌ２Ｏ２を、それぞれスパッター法により付着させｔこ
。マスク用の材料としてのＣｒとＡｕとの２層膜の作成
もスパッター法にて行なった。
なお上記実施例においては、マスクとしてＣｒとＡｕと
の２層膜を用いたが、これに限定されるものではなく、
Ｍｎ１Ｎ Ｉｌｌ Ａ１１Ｃｏなど、可視光を透過させ
ない金属でさえあれば何でもよい。また透明Ｐ縁膜も、
Ｓ ＋ ０２ 、ＭｇＦ ＋１ 、ガラスなど、透明な
ものでさえあればよい。
の２層膜を用いたが、これに限定されるものではなく、
Ｍｎ１Ｎ Ｉｌｌ Ａ１１Ｃｏなど、可視光を透過させ
ない金属でさえあれば何でもよい。また透明Ｐ縁膜も、
Ｓ ＋ ０２ 、ＭｇＦ ＋１ 、ガラスなど、透明な
ものでさえあればよい。
このように本実施例によれば、従来のように光制御素子
にマスクを形成せずに光プリンターに書き込みを行なっ
た場合よりもはるかに分解能の良い書き込みが行なえる
ばかりでなく、２００闘以上の長尺の素子においてもピ
ンホールの問題なしに素子が作成でき、歩留り向上にも
役立つ。またマスクとして金属薄膜を用いているため、
ＪＬ板物質との熱膨張率の差は問題にならず、マスクの
はがれなどは起こらない。
にマスクを形成せずに光プリンターに書き込みを行なっ
た場合よりもはるかに分解能の良い書き込みが行なえる
ばかりでなく、２００闘以上の長尺の素子においてもピ
ンホールの問題なしに素子が作成でき、歩留り向上にも
役立つ。またマスクとして金属薄膜を用いているため、
ＪＬ板物質との熱膨張率の差は問題にならず、マスクの
はがれなどは起こらない。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、分解能の向上を図る
ことができると共に、ピンホールによる不良がなくなる
ため歩留りの大幅な向上を実現し得る。
ことができると共に、ピンホールによる不良がなくなる
ため歩留りの大幅な向上を実現し得る。
第１図（４）は従来の光制御素子の分解斜視図、同図ω
）は同光制御素子の動作説明図、第２図は本発明の一実
施例における光制御素子の分解斜視図、第８図（ト）は
従来の光制御素子の電極構造の正面図、同図（Ｂ）は本
発明の一実施例における光制御素子の電極構造の正面図
、第４図は本発明の一実施例における光制御素子を用い
た光プリンターの斜視図である。 （１０・・・ＰＬＺＴ平板（基板） 、０１）・・・共
通電極（対向電極対）、（６）・・・電圧印加用電極（
対向電極対）、０３・・・薄膜マスク、０４・・・偏光
子（偏光板）、０篩・・・検光子（偏光板） 代理人 森本義弘 第１図 （Ａ） （Ｂ） 第２図 第３図 （Ａ） （Ｂ） Ｉ
）は同光制御素子の動作説明図、第２図は本発明の一実
施例における光制御素子の分解斜視図、第８図（ト）は
従来の光制御素子の電極構造の正面図、同図（Ｂ）は本
発明の一実施例における光制御素子の電極構造の正面図
、第４図は本発明の一実施例における光制御素子を用い
た光プリンターの斜視図である。 （１０・・・ＰＬＺＴ平板（基板） 、０１）・・・共
通電極（対向電極対）、（６）・・・電圧印加用電極（
対向電極対）、０３・・・薄膜マスク、０４・・・偏光
子（偏光板）、０篩・・・検光子（偏光板） 代理人 森本義弘 第１図 （Ａ） （Ｂ） 第２図 第３図 （Ａ） （Ｂ） Ｉ
Claims (1)
- １、 電気光学効果を有する透明基板と、この透明基板
上に形成された対゛内電極対と、この対向電極対間の所
定部分の周囲を覆うように透明絶縁膜を介して前記透明
基板上に形成された可視光を遮断する金属製の薄膜マス
クと、これら薄膜マスク及び対向電極対が形成された前
記透明基板を挾む一対の偏光板とを備えた光制御素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136331A JPS6026928A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 光制御素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136331A JPS6026928A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 光制御素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6026928A true JPS6026928A (ja) | 1985-02-09 |
Family
ID=15172720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58136331A Pending JPS6026928A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 光制御素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6026928A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003524196A (ja) * | 1999-03-12 | 2003-08-12 | コダック ポリクロム グラフィックス カンパニーリミテッド | 空間変調器におけるエッジ効果を除去するための結像装置および方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4924454A (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-04 | ||
| JPS5831315A (ja) * | 1981-08-19 | 1983-02-24 | Ricoh Co Ltd | 光シヤツタアレイの駆動方法 |
-
1983
- 1983-07-25 JP JP58136331A patent/JPS6026928A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4924454A (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-04 | ||
| JPS5831315A (ja) * | 1981-08-19 | 1983-02-24 | Ricoh Co Ltd | 光シヤツタアレイの駆動方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003524196A (ja) * | 1999-03-12 | 2003-08-12 | コダック ポリクロム グラフィックス カンパニーリミテッド | 空間変調器におけるエッジ効果を除去するための結像装置および方法 |
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