JPS6027656A - 圧電セラミクスの焼成方法 - Google Patents
圧電セラミクスの焼成方法Info
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- JPS6027656A JPS6027656A JP58136399A JP13639983A JPS6027656A JP S6027656 A JPS6027656 A JP S6027656A JP 58136399 A JP58136399 A JP 58136399A JP 13639983 A JP13639983 A JP 13639983A JP S6027656 A JPS6027656 A JP S6027656A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、セラミクス材料の焼成方法に関する。
（従来技術）
ジルコン酸鉛−チタン酸鉛（以下ＰＺＴと称する）系セ
ラミクスは、代表的な圧電材料である。
ラミクスは、代表的な圧電材料である。
このＰＺＴの焼成体は・所定の形状に成形した原料（生
素地という）を所定の最高温度で数時間焼成して、製造
される。この際、生素地に含まれる酸化鉛の蒸発が、焼
成した材料に種々の影響を及ぼすことが知られている。
素地という）を所定の最高温度で数時間焼成して、製造
される。この際、生素地に含まれる酸化鉛の蒸発が、焼
成した材料に種々の影響を及ぼすことが知られている。
純酸化鉛の融点は８８８℃でアシ、生素地に当初台まれ
ている酸化鉛は、融点以上の高温で、液相を生じ、また
蒸発する。
ている酸化鉛は、融点以上の高温で、液相を生じ、また
蒸発する。
このため、焼結が部分的に急速に起こり、まだ、焼成収
縮に伴う変形やそりが発生しやすい。
縮に伴う変形やそりが発生しやすい。
（１発明の目的）
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもの
であり、変形やそりの少ない、鉛を含む圧電セラミクス
材料の、焼成方法を提供することである。
であり、変形やそりの少ない、鉛を含む圧電セラミクス
材料の、焼成方法を提供することである。
（発明の構成）
鉛を含む圧電セラミクス材料の焼成方法において、成形
した原料を所定の最高温度に昇温して焼成するが、この
昇温の際、９００°Ｃから上記の所定最高温度までの温
度範囲において、１１００ｄｅ／時間以上の速度で昇温
させる。
した原料を所定の最高温度に昇温して焼成するが、この
昇温の際、９００°Ｃから上記の所定最高温度までの温
度範囲において、１１００ｄｅ／時間以上の速度で昇温
させる。
（実施例）
鉛を含む圧電セラミクスの焼成を、本発明による焼成方
法に関連して、説明する。酸化鉛を含むＰＺＴ圧電セラ
ミクスの２生素地を、乾式グレス成形法を用いて、所定
の形状に成形する。この成形した原料を、４５０℃から
６５０℃の間の温度に保ち、生素地に含まれている有機
バインダーを蒸発させる。次にこうして予め処理した成
形原料を、焼成中に酸化鉛が蒸発するのを防ぐために、
密閉箱に入れる。９００°Ｃまでは、４０ｄｅｇ／時間
からｌＱＱｄｅｇ／時間までの範囲内の速度で昇温させ
る。次いで、９００℃から、１１５０℃から１２５０°
Ｃまでの範囲内に設定した最高温度にまでは、１１００
ｄｅ／時間以上の高速度で昇温する。
法に関連して、説明する。酸化鉛を含むＰＺＴ圧電セラ
ミクスの２生素地を、乾式グレス成形法を用いて、所定
の形状に成形する。この成形した原料を、４５０℃から
６５０℃の間の温度に保ち、生素地に含まれている有機
バインダーを蒸発させる。次にこうして予め処理した成
形原料を、焼成中に酸化鉛が蒸発するのを防ぐために、
密閉箱に入れる。９００°Ｃまでは、４０ｄｅｇ／時間
からｌＱＱｄｅｇ／時間までの範囲内の速度で昇温させ
る。次いで、９００℃から、１１５０℃から１２５０°
Ｃまでの範囲内に設定した最高温度にまでは、１１００
ｄｅ／時間以上の高速度で昇温する。
第１図に、１５ｍｍｘ １５ｍｖ×７ｍｍの角板の形状
に成形した原料を、９００℃から、最高温度１２００℃
まで、種々の昇温速度で昇温した場合の、焼成したセラ
ミクスのそフと変形との両者の測定値を示す。ここで、
上記のそシと変形とは、次のように定義する。第２図は
、焼成しだＰＺＴ材料の厚み方向の断面図である。そり
は、厚みの最大寸法Ｔと厚みの最小寸法ｔとの差、つま
シ〜そシ＝’ｌ’−ｔとして定義する。第２図には、上
に凸にそった場合を示しているが、上記の最大寸法を測
定するときの基準線は、下側の面の両端Ｓ１と８２とを
通る線とする。また、この角板の面の両辺をＡ辺及びＢ
辺と名づけると、焼成体の両辺の変形は、上記のそシと
同様に定義する。Ａ辺の変形は、Ａ辺の最大寸法とＡ辺
の最小寸法との差と定義し、まだＢ辺の変形は、Ｂ辺の
最大寸法とＢ辺の最小寸法との差として定義する。第１
図において、Ｏはそシ、ΔはＡ辺変形、×はＢ辺変形を
それぞれ示す。
に成形した原料を、９００℃から、最高温度１２００℃
まで、種々の昇温速度で昇温した場合の、焼成したセラ
ミクスのそフと変形との両者の測定値を示す。ここで、
上記のそシと変形とは、次のように定義する。第２図は
、焼成しだＰＺＴ材料の厚み方向の断面図である。そり
は、厚みの最大寸法Ｔと厚みの最小寸法ｔとの差、つま
シ〜そシ＝’ｌ’−ｔとして定義する。第２図には、上
に凸にそった場合を示しているが、上記の最大寸法を測
定するときの基準線は、下側の面の両端Ｓ１と８２とを
通る線とする。また、この角板の面の両辺をＡ辺及びＢ
辺と名づけると、焼成体の両辺の変形は、上記のそシと
同様に定義する。Ａ辺の変形は、Ａ辺の最大寸法とＡ辺
の最小寸法との差と定義し、まだＢ辺の変形は、Ｂ辺の
最大寸法とＢ辺の最小寸法との差として定義する。第１
図において、Ｏはそシ、ΔはＡ辺変形、×はＢ辺変形を
それぞれ示す。
第１図に示したデータから明らかなように、焼成体のそ
シと変形とは、昇温速度が１ｏ０ａｅｇ／時間を越えた
場合に、その他の場合と較べて、かなり小さく、できる
。
シと変形とは、昇温速度が１ｏ０ａｅｇ／時間を越えた
場合に、その他の場合と較べて、かなり小さく、できる
。
この高速昇温による効果は、次のように理解できる。高
速で昇温すると、蒸発した酸化鉛は成形体中を均一に分
布し、こうして焼成反応が均一に生じる。一方、従来の
ように低速で昇温すると、例えば液相酸化鉛による局所
的焼結のように、不均一な焼成反応が生じ、そりの原因
となる。
速で昇温すると、蒸発した酸化鉛は成形体中を均一に分
布し、こうして焼成反応が均一に生じる。一方、従来の
ように低速で昇温すると、例えば液相酸化鉛による局所
的焼結のように、不均一な焼成反応が生じ、そりの原因
となる。
（発明の効果）
鉛を含むセラミクスの焼成方法において、９００℃から
所定最高温度までの温度範囲で、１１００ｄｅ／時間以
上の速度で急速に昇温することにより、原料の均一焼結
を促進し、そりや変形の小さい焼成体を得ることが出来
だ・
所定最高温度までの温度範囲で、１１００ｄｅ／時間以
上の速度で急速に昇温することにより、原料の均一焼結
を促進し、そりや変形の小さい焼成体を得ることが出来
だ・
第１図は、ＰＺＴ焼結体のそシと変形との、９００℃以
上での昇温速度に対する依存性を示すグラフである。 第２図は、第１図に示したそシの定義を示す図である。 特許出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 青 山 葆ほか２名１、事件の表
示 昭和ぢ８護持 許 願第１）いゴゴ 号２、発明の名称 圧電セラミクスの焼成方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 京都府長岡京市天神二丁目２６番１０号名称 （
６２３）株式会社 杓 １）製 作 所自発 ７、補正の内容 （１）明細書、第３頁、第４行 「蒸発させる。」を「燃焼蒸発させる。」に訂正します
。 （２〉明細書、第３頁、第６行 「密閉箱」を「密閉匣」に訂正しまず。 以上
上での昇温速度に対する依存性を示すグラフである。 第２図は、第１図に示したそシの定義を示す図である。 特許出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 青 山 葆ほか２名１、事件の表
示 昭和ぢ８護持 許 願第１）いゴゴ 号２、発明の名称 圧電セラミクスの焼成方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 京都府長岡京市天神二丁目２６番１０号名称 （
６２３）株式会社 杓 １）製 作 所自発 ７、補正の内容 （１）明細書、第３頁、第４行 「蒸発させる。」を「燃焼蒸発させる。」に訂正します
。 （２〉明細書、第３頁、第６行 「密閉箱」を「密閉匣」に訂正しまず。 以上
Claims (1)
- （１）所定の形に成形した原料を所定の最高温度で焼成
する。鉛を含む圧電セラミクス材料の、焼成方法におい
て、上記の所定最高温度にまで昇温させる際、９００℃
から上記の所定最高温度までの温度範囲においては、１
１００ｄｅ／時間以上の速度で昇温させることを特徴と
する焼成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136399A JPS6027656A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 圧電セラミクスの焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136399A JPS6027656A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 圧電セラミクスの焼成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6027656A true JPS6027656A (ja) | 1985-02-12 |
Family
ID=15174251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58136399A Pending JPS6027656A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 圧電セラミクスの焼成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6027656A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05162903A (ja) * | 1991-12-14 | 1993-06-29 | Kawanoe Zoki Kk | ウエブ巻取り装置におけるウエブ切断装置 |
-
1983
- 1983-07-25 JP JP58136399A patent/JPS6027656A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05162903A (ja) * | 1991-12-14 | 1993-06-29 | Kawanoe Zoki Kk | ウエブ巻取り装置におけるウエブ切断装置 |
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