JPS6029236A - ワイヤカット放電加工に於けるワイヤ電極ガイド装置 - Google Patents

ワイヤカット放電加工に於けるワイヤ電極ガイド装置

Info

Publication number
JPS6029236A
JPS6029236A JP11470283A JP11470283A JPS6029236A JP S6029236 A JPS6029236 A JP S6029236A JP 11470283 A JP11470283 A JP 11470283A JP 11470283 A JP11470283 A JP 11470283A JP S6029236 A JPS6029236 A JP S6029236A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide
machining
wire electrode
wire
positioning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11470283A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0425094B2 (ja
Inventor
Kiyoshi Inoue
潔 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inoue Japax Research Inc
Original Assignee
Inoue Japax Research Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inoue Japax Research Inc filed Critical Inoue Japax Research Inc
Priority to JP11470283A priority Critical patent/JPS6029236A/ja
Priority to EP84304260A priority patent/EP0130758B1/en
Priority to DE198484304260T priority patent/DE130758T1/de
Priority to DE8484304260T priority patent/DE3460699D1/de
Priority to US06/623,998 priority patent/US4611107A/en
Publication of JPS6029236A publication Critical patent/JPS6029236A/ja
Publication of JPH0425094B2 publication Critical patent/JPH0425094B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02Wire-cutting
    • B23H7/08Wire electrodes
    • B23H7/10Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 +−r八シへMIJ−+−/5−J−、、L+Jyり■
t(泪工j1三ff#FJ’rPIZlワイヤガイド装
置に関する。
ワイヤカット放電加工装置は、第1図に示すように、間
隔を置いて配置した一対のワイヤガイド56.56間に
、ワイヤ電極l を軸方向に更新送り移動させつつワイ
ヤ電極1 の軸方向に対して直角の方向から被加工物5
7を微小間隙を介して相対的に加工送りし、被加工物5
7の両側にワイヤ電極 J と同軸状に相対向して配置
した一対の加工液の噴射ノズル(図示せず)から加工液
を噴射供給せしめつつワイヤ電極1 と被加工物57間
に間歇的な電圧パルスを印加し、これにより発生する放
電によシ加工を行うものである。このようなワイヤカッ
ト放電加工装置において、ワイヤガイド56としては、
複数の交叉ビンよりなるビンガイド等もあるが、従来よ
り第2図のように、ワイヤガイド部材51にV形刃イド
溝51aを設けて該溝51aにワイヤ電極1を入れ、押
しはね53により可動ガイド部材54を介して該ワイヤ
電極1をV形刃イド溝51aに押し当てつつガイドする
ものと、第3図に示すように、円形のガイド穴55aを
設けたダイスガイド55を有するワイヤガイドとが普に
用いられている。
第2図のようなV形ガイドIlj 5 ] aを有する
ものは、ワイヤガイド部材51としてWC部材、サファ
イア部材、ダイヤモンド部側、T乙N等の硬質材のコー
ティングした部材等が提案されているが、ワイヤ電極1
の走行による摩耗、または電融によシ、あるいはワイヤ
電極の毛状ば9等の刺着によって精度が低下するという
欠点がある。一方、前記ガイド穴55aを有するものは
、通常ダイヤモンドダイスが慣用され、一般に例えば直
径0.207Lrnのワイヤ電極1の場合、ガイド穴5
5aの直径は例えば0.21〜0227馴とするという
ように、ワイヤ電極1とガイド穴55aのガイド面との
間に約10〜20μm前後の間隙が設けられる。ガイド
穴55aの直径がこれより小さいとワイヤ電極1は通し
にくくなり、かつ放電痕の広がりや溶融ビードの突出に
よって穴から出られず、ワイヤ電極1が突然切断するこ
とがある。従って、前記間隙を設けることは必要なこと
であるが、穴の内面のワイヤ電極1との接触面に突出し
た部分や凹んだ部分があったりすると、加工進行方向の
変更によってワイヤ電極をガイドする位置が変わシ、こ
のことが加工精度を低下させる原因となっている。
本発明は、前記のよう々ガイド穴を有するワイヤガイド
において、ワイヤ電極のぶれがなく高精度の加工が可能
となるものを提供することを目的とする。
この目的を達成するため、本発明のワイヤガイド装置は
、少なくとも一方の位置決めガイドをノズル本体に対し
て回動可能に取付けると共に、加工進行方向の変更に伴
なってワイヤ電極が放電圧力によって位置決めガイドの
ガイド穴の加工進行方向の後面部の同−箇所又は領域に
押し付けられるように回動させる回動制御手段を設けた
ことを特命とする。
才だ、木兄IJ]は、位置決めガイドのうち少なくとも
1つを、円形をなすガイド穴が互いに偏心したワイヤ電
極の軸方向に所望の間隔を置いた2段の位置決めガイド
に分割し、各位置決めガイドを保持するガイドホルダは
ノズル本体等の固定部のホルダ支持部に対して回動可能
に取利け、該各位置決め゛ガイドのガイドホルダの回動
制御手段は、両ガイド穴の組合わせで形成される略長円
形の穴の長径方向と加工進行方向とが一致するようにガ
イドホルダを回動させるもので在ることを特徴とする。
以下本発明の詳細を図面に示す実施例により説明する。
第4図ないし第7図は本発明の一実施例であシ、第4図
において、1はワイヤ電極、2゜3は該ワイヤ電極1の
ガイドローラ4,5を数句けた上アームおよび下アーム
であり、これらは図示しないカラム等の装置本体に取付
けられる。6゜7は手動ハンドルまたはモータ8,9に
よって上下位置調節可能にアーム2,3に数句けられた
支持部材、10は 枯支持部材6に数句けられて面1摩
性て通常は絶縁性の押付ピン10′により抑圧変位した
ワイヤ電極1と接触することによりワイヤ電極1に電圧
を印加する上部通電装置としての通電ビン、11は下部
ガイドローラを兼用する下部通電装置としての通電ロー
ラであって、ワイヤカット放電加工に供されたワイヤ電
極1と接触して通電するものであるため、上部の清浄ワ
イヤ電極1に対する固定通電ピン10に対して回転ロー
ラとしたものであって、接触面積を大きくするだめにビ
ン10に対して充分径が大きく、また通電ローラ11に
対するワイヤカット放電加工電源からの通電は、ローラ
11又は該ローラ11の回転軸に対するグラッシ通電に
よシ行なわれている。12.13はそれぞれ支持部材6
,7に微小位置調整可能に、または固定して取付けられ
た中空円筒状のノズル本体でアシ、上方のノズル本体1
2の上下端面には開口部14.15が形成され、下方の
開口部15には、必要に応じてスプリング22Aを介設
して上ノズル22がワイヤ電極1軸方向の」−下動可能
にかつフランジ22aにょシ脱落不能に装着されている
。該上ノズル22はノズル本体12に固定して取付けら
れるか、一体に形成されることもちる。また、該ノズル
本体12の内部にはワイヤ電極1のダイス状上位置決め
ガイド18を下端に有し、かつ加工液通過孔20aを有
する中空筒状のガイドホルダ20が取付けられておシ、
さらに、該ノズル本体12内に所定の加圧された加工液
を導入する加圧供給ホース25がノズル本体12に接続
して設けである。
一方、下方のノズル本体13の上下端にも開口部13A
、16が設けられ、上部にはフランジ23aを有する下
ノズル23が上ノズル22と対向するように開口部13
Aに上下動自在に嵌合され、かつ必要に応じて設けられ
るスプリング17によシ下方に付勢されて数句けられ、
内部にはワイヤ電極lのダイス状下位置゛決めガイド1
9を上端に有しかつ加工液通過孔21.aを有するガイ
ドホルダ21が配設され、さらに該ノズル本体13内に
所定の加圧された、後述するように上ノ・ズル本体12
よυも高圧力の加工液を導入する加圧供給ホース26が
ノズル本体13に接続して設けである。
上ノズル22と下ノズル23との間に介在さぜる被加工
物24は、加工テーブル31に固定され、加工テーブル
31はモータ32 、.33によってワイヤ電極1の軸
と直角な平面上を数値制御装置による制御の下に所定の
輪郭形状等に沿って自在に制御移動できるようになって
いる。また、ワイヤ電極1は、図示しない装置本体のカ
ラム等に設けた貯蔵リールからブレーキローラ等を介し
て繰り出すレ、上方のアーム2のガイドローラ4を介し
て下方へ延び、下方のアーム3のガイドローラ5を介し
て図示しない巻取りローラを経てカラム本体等の巻取り
リールまたは回収容器に巻取りまたは回収されるように
なっている。そして、ノズル22.23から加工液を加
工部27に噴出させつ\被加工物24とワイヤ電極1と
の間に間歇的な電圧パルスを印加し放電加工を行うもの
である。
しかして、本発明の特徴とするところは、位置決めガイ
ド18.19の取付は構造にあシ、これらを保持する各
ガイドホルダ20.21はノズル本体12.13内に支
持アーム28.29によりノズル本体12.13と同心
状に取付けられた支持リング34 、35によって中間
部が回動自在に受持され、位置決めガイド18.19と
それぞれ反対側の部分はそれぞれ開口部14.16に回
動自在に嵌合されることによシ取付けられており、これ
らのガイドホルダ20.21がノズル本体12.13か
ら出た部分は支持リング36.37によシ支持されると
共に、歯車38、.39が固定され、ノズル本体12.
13に数句けられだモータ4o、41の出力軸ピニオン
42 、 ’43とこれらの歯車38.39が噛合され
ており、モータ40゜41を作動させることによってガ
イドホルダ20゜21を回動させることができる。
第5図および第6図はガイドホルダ20の先端の位置決
めガイド18の取付位置を説明する図でアリ、ガイドホ
ルダ20の中心すなわち回動中心44に対し、位置決め
ガイド18の中心45は偏心しておシ、第6図に示すよ
うに、その偏心量aは位置決めガイド18のガイド穴1
8aとワイヤ電極1との間のギャップbの%である。
モータ40,41の回転制御装置については図示してい
ないが、これは被加工物24の加工点座標について、今
回と次回の加工点の座標から2点間のX軸あるいはY軸
に対する傾斜角度を使用CNCやコンピュータ制御の数
値制御装置等によって容易にめることができ、その傾斜
角に応じて後述のようにモータ40,41の回転制御を
なすものである。
また、かSるモータ40,41の回転制御については、
例えば特開昭51−−.1.27,359号公報には、
加工送シの各軸分配パルスから上記傾斜角度を検知判別
することが記載されている如く、目的に応じて各種の合
目的制御が可能なものである。
なお、前記加圧供給ホース25.26からノズル本体1
2.13内に導入される加工液は、内を通るワイヤ電極
1を冷却すると共に、ガイドホルダ20.21の各開口
部20b、21bより通電ピン10.及び通電ローラ1
1へ流出してこれらを冷却し、かつガイド18,19を
冷却する役目も果たす。
また、通電ローラ11に対する冷却は、ノズル22.2
3から加工部27に噴射した加工液の流下によりはソ充
分に行表われる場合には、ガイドホルダ21の下端開口
部21bは、ワイヤ電極1を丁度挿通する程度の充分小
さなものとするか、点いはさらにシールしたり、加工液
面過孔21aを穿孔しないようにすることもある。即ち
後述するように図示実施例の構成のような場合、下部ノ
ズル23、即ち下部ノズル本体13側の加工液の供給圧
力等が上部のそれよりも高く設定され、かつその圧力等
を保つ必要があることからも開口部21bは充分小さく
又はシールされたりするのである。
この構成において、放電加工を行う場合はノズル22.
23を被加工物24の上下面に当接さぜるか、あるいは
第4図に示すように微小間隔Gを保ちながら加工を行う
が、この際、放電加工部27において、ワイヤ電極1は
放電圧力により、矢印46に示すように加工進行方向と
反対向きの力を受ける。そこで、加工点の位置座標から
ワイヤ電極1が位置決めガイド18のガイド穴18aの
内周面のある定まった点Cの側、すなわち本実施例にお
いて、ガイドホルダ20.21の中心線に一番近い点の
側に、ワイヤ電極1が接するようにモータ40,41を
作動させ、ガイドホルダ20゜21をワイヤ電極1の廻
シに回動させて加工を行う。すなわち、第7図に示すよ
うに、加工方向が矢印47.47’で示すように変化し
ても、ワイヤ電極lは常にガイドホルダ20の中心線に
最も近いガイド穴18aの同じ点Cの側がワイヤ電極1
に接するように、モータ40を作動させ、ガイドホルダ
20を回動させる。下ノズル本体13内のガイドホルダ
21についても同様な回動制御がなされる。
このようなガイドホルダ20.21を回動可能とし、ワ
イヤ電極lが放電圧力位置決めガイド18.19のガイ
ド穴18a、19aの同一点の側と接するようにするこ
とにより、加工精度の向上が達成できる。すなわち、放
電加工の際に加工進行方向の変更に拘らずワイヤ電極が
ガイド穴の同一点の側に接すれば、ガイド穴内面に凹凸
が存在したとしても、ワイヤ電極が接する点の位置が異
なることによシ生じるワイヤ電極の位置のずれを無くす
ることができる。また、実施例のようにワイヤ電極1が
ガイド穴18aの点Cの側に接する時にワイヤ電極1が
ガイドホルダ20の軸心に位置するようにすることによ
り、ワイヤ電極1の位置はガイドホルダ20.21の回
動にも拘らず変化せず、ガイドホルダ20回動に伴なっ
て加工座標の補正を行う必要はないという利点がある。
第8図ないし第10図は本発明の他の実施例であり、上
方の位置決めガイドについて代表して示すように、位置
決めガイド18をワイヤ電極1の軸方向に所定間隔(好
ましくは例えば約数1前後の比較的微小の間隔)を置い
た上下2段の位置決めガイド18A、18Bに分割し、
各々のガイドホルダ20A、20Bは互いに回動可能に
、かつノズル本体12′およびその支持部月6′に対し
て回動可能に取付けでなる。支持部材6′には前記各ガ
イドホルダ20A、20Bを回動させるモータ60.6
1が取付られ、その出力軸に数句けたピニオン62,6
3がガイドホルダ2OA、20BVC設けた歯車64.
65にそれぞれ噛合している。
第9図は位置決めガイド18A、18Bの各ガイド穴1
8a’、18bとガイドホルダ20A、20Bの外径と
の関係を示し、第9図(ト)に示すように、内側のガイ
ドホルダ20Aは外側のガイドホルダ20Bに対して偏
心して取付けられておシ、内側のガイドホルダ20’A
に保持される位置決めガイド18Aのガイド穴18a′
も該ガイドホルダ20Aに対して偏心している。そして
内側のガイドホルダ2OA、または外側のガイドホルダ
20Bをモータ60寸たは61の作動によシ回動させ、
第9図(B)に示すように、両ガイド穴18a′、18
bの穴の位置を一致させることができるように構成され
ている。
第10図(5)、(B)に示すように、加工を行う場合
は、矢印66.67に示す加工進行方向と、ガイド穴1
8a’、18bを重ねて見た場合にこれらによって形成
される略長円の長径の方向とが一致するようにモータ6
0,61を回動制御し、これによってワイヤ電極1の軸
線方向に見た場合、ワイヤ電極1がこれらのガイド穴1
8a’、18bによって挾まれたような状態とし、これ
によってワイヤ電極1の横ぶれを防ぐ。このようにすれ
ば、前記実施例のように常に同じガイド穴の面にワイヤ
電極が接触する上、ワイヤ電極1の横ぶれが防止される
ので、加工精度をさらに向上させることができる。
なお、第9図(B)に示すように、ガイド穴j8a’。
18bの軸心を一致させることができるようにしている
のは、第8図に示すように、ワイヤ電極挿入用具68を
挿入してワイヤ電極1を位置決めガイド18A、18B
に自動的に挿入する際、その挿入が容易に行えるように
するためである。
なお、前記実施例はいずれもノズルおよび位置決めガイ
ドが被加工物の上下に配設される例について述べたが、
被加工物を挾んで左右にこれらが配設される場合にも本
発明を適用することが可能であり、また、本発明は被加
工物のいずれか一方、特に加工作用に供されたワイヤ電
極の位置決めをする位置決めガイド側のみ、第4図の実
施例では下側位置決めガイド19に適用するようにし2
てもよい。さらに、本発明を適用するノズルは、放電加
工部へ供給する加工液の噴流の倒れを防ぐ噴流を発生さ
せるサブノズルを有するものや、ワイヤ電極の軸線方向
に対向する2つのノズルのうち、低圧側加工液を噴出す
るノズルに高圧側ノズルからの噴流がなるべく放電加工
部へ流れるように整流するパッド等を設けたもの、又は
ワイヤ電極に同軸でない加工液噴射ノズルを使用するも
の等であってもよい。
以上述べたように、本発明によれば、放電圧力、または
補助的に設けられる可動位置決めガイドの作用により、
ワイヤ電極が位置決めガイドのガイド穴の加工進行方向
の後面側にあるように回動制御されたガイド穴の一定の
点の側に押し当てられるようにしたので、ワイヤ電極の
振れがなくなシ、加工精度を上げることができる。また
、ガイド穴の組合わせでワイヤ電極の横ぶれを防ぐこと
により、加工精度をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】 第1図はワイヤガイドの作用説明図、第2図および第3
図は従来のワイヤガイドを示す平面図、第4図は本発明
の一実施例であるノズル装置の構成図、第5図は第4図
の要部拡大断面図、第6図は第5図のA−A断面図、第
7図は該実施例の作用説明図、第8図は本発明の他の実
施例であるガイド装置の構成図、第9図(A) (B)
の該実施例のガイド穴とガイドホルダの組合わせ構造を
説明する平面図、第10図(ト)(B)は該実施例の作
用説明図である。 1・・・ワイヤ電極、12.12’、13・ノズル本体
、18.18A〜18B、19・・・位置決めガイド、
18a、18a、、18b−ガイド穴、20゜20A、
20B、21・・・ガイドホルダ特許出願人 株式会社
井」ニジャパノクス研究所代理人 弁理士 若 1)勝
 − 7C 第10図 (A) (e)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、加工液を噴出する一対のノズルを対向させ、該ノズ
    ル間に被加工物を介在させ、各ノズルをそれぞれ保持す
    る各支持体にそれぞれダイスガイドでなるワイヤ電極の
    位置決めガイドを取付け、該各位置決めガイドにより案
    内されノズルに挿通したワイヤ電極と被加工物との間に
    間歇的々電圧パルスを印加し、これにより発生する放電
    により加工を行うワイヤカット放電加工において、前記
    位置決めガイドを保持するガイドホルダの少なくとも一
    方をガイドホルダの支持部に対して回動可能に数句ける
    と共に、加工進行方向の変更に伴なってワイヤ電極が放
    電圧力によって前記位置決めガイドのガイド穴の加工進
    行方向の後面部の同一点の側に押し伺けられるようにガ
    イドホルダを回動させる回動制御手段を設けた仁とを特
    徴とするワ2、加工液を噴出する一対のノズルを対向さ
    せ、該ノズル間に被加工物を介在させ、各ノズルをそれ
    ぞれ保持する各支持体にはそれぞれダイスガイドでなる
    ワイヤ電極の位置決めガイドを数句け、該各位置決めガ
    イドにより案内されノズルに挿通したワイヤ電極と被加
    工物との間に間歇的な電圧パルスを印加し、これにより
    発生する放電により加工を行うワイヤカット放電加工に
    おいて、前記位置決めガイドのうちの少なくとも1つを
    、円形をなすガイド穴が互いに偏心し、ワイヤ電極軸方
    向に間隔を置いた2段の位置決めガイドに分割し、各位
    置決めガイドを保持するガイドホルダはノブイドホルダ
    の支持部に対して回動可能に取利け、該各位置決めガイ
    ドのガイド7I;ルり゛の101動1tjll gll
    千1賃は、両ガイド穴の組合わせで形成される略長円形
    の穴の長径方向と加工進行方向とが一致するJ:うにガ
    イドホルダを回動させるものでなることを!1、T徴と
    するワイヤ電極ガイド装置。
JP11470283A 1983-06-25 1983-06-25 ワイヤカット放電加工に於けるワイヤ電極ガイド装置 Granted JPS6029236A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11470283A JPS6029236A (ja) 1983-06-25 1983-06-25 ワイヤカット放電加工に於けるワイヤ電極ガイド装置
EP84304260A EP0130758B1 (en) 1983-06-25 1984-06-25 Precision tw electroerosion with superimposed multiple opening guides
DE198484304260T DE130758T1 (de) 1983-06-25 1984-06-25 Genaues elektroerosives bearbeiten mit durchlaufelektrodendraht und mehreren uebereinanderliegenden fuehrungsoeffnungen.
DE8484304260T DE3460699D1 (en) 1983-06-25 1984-06-25 Precision tw electroerosion with superimposed multiple opening guides
US06/623,998 US4611107A (en) 1983-06-25 1984-06-25 Precision TW electroerosion with superimposed multiple opening guides

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11470283A JPS6029236A (ja) 1983-06-25 1983-06-25 ワイヤカット放電加工に於けるワイヤ電極ガイド装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6029236A true JPS6029236A (ja) 1985-02-14
JPH0425094B2 JPH0425094B2 (ja) 1992-04-28

Family

ID=14644480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11470283A Granted JPS6029236A (ja) 1983-06-25 1983-06-25 ワイヤカット放電加工に於けるワイヤ電極ガイド装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6029236A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62181833A (ja) * 1986-02-07 1987-08-10 Hitachi Seiko Ltd ワイヤ放電加工機のワイヤ供給装置
JPH02124226A (ja) * 1988-07-25 1990-05-11 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤガイド装置
JP2015168030A (ja) * 2014-03-07 2015-09-28 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置、薄板の製造方法および半導体ウエハの製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5525012A (en) * 1978-08-09 1980-02-22 Hitachi Ltd Automatic play electronic musical instrument

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5525012A (en) * 1978-08-09 1980-02-22 Hitachi Ltd Automatic play electronic musical instrument

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62181833A (ja) * 1986-02-07 1987-08-10 Hitachi Seiko Ltd ワイヤ放電加工機のワイヤ供給装置
JPH02124226A (ja) * 1988-07-25 1990-05-11 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤガイド装置
JP2015168030A (ja) * 2014-03-07 2015-09-28 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置、薄板の製造方法および半導体ウエハの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0425094B2 (ja) 1992-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4539459A (en) Nozzle and power-feed element for wire-cut electrical discharge machine
US4704511A (en) Traveling-wire electroerosion machine with swiveling nozzle assembly
JP2001287119A (ja) 細穴放電加工方法および細穴放電加工装置
JPH0455806B2 (ja)
JPH0346246B2 (ja)
US5057663A (en) Automatic wire extension method
KR940007084B1 (ko) 와이어 방전가공장치
JPS6029236A (ja) ワイヤカット放電加工に於けるワイヤ電極ガイド装置
JPS5988221A (ja) ワイヤカツト放電加工装置
JPS6034219A (ja) 通電加工装置
JPH0372410B2 (ja)
JPS59156623A (ja) ワイヤカツト放電加工のワイヤ電極ガイド
JPH0788721A (ja) ワイヤ放電加工装置
JPS639934B2 (ja)
JPH0325870Y2 (ja)
JP2753981B2 (ja) 放電加工機
JPS62120960A (ja) エフエムエス
JPH0356853B2 (ja)
JPS59102528A (ja) ワイヤカツト放電加工装置
JPH0478413B2 (ja)
JPS59182030A (ja) ワイヤカツト放電加工装置
JPH0455808B2 (ja)
JPS62124822A (ja) ワイヤカツト放電加工装置
JPH0790422B2 (ja) ワイヤカツト放電加工装置
JPH0248377B2 (ja)