JPS6029651B2 - 光フアイバ用母材の製造装置 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造装置Info
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- JPS6029651B2 JPS6029651B2 JP10961982A JP10961982A JPS6029651B2 JP S6029651 B2 JPS6029651 B2 JP S6029651B2 JP 10961982 A JP10961982 A JP 10961982A JP 10961982 A JP10961982 A JP 10961982A JP S6029651 B2 JPS6029651 B2 JP S6029651B2
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 22
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 22
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は光フアィバ用母材の製造装置に関し、とくに反
応容器の、光フアィバ用母材の支持棒を回転引上げる支
持棒貫通部分の構造の改良に関するものである。
応容器の、光フアィバ用母材の支持棒を回転引上げる支
持棒貫通部分の構造の改良に関するものである。
技術の背景
ガラス原料の気体を酸水素バーナから噴出させて加水分
解し、該加水分解によって生成するガラス微粒子を棒状
に堆積させて多孔質の光フアィバ用母材を反応容器内で
製造する光フアィバ用母材の製造装置において、光フア
ィバ用母材を支持する支持棒を用いて製造中の該母材を
回転させながら堆積速度に合わせて上方に引き上げる光
フアィバ用母材の製造装置が一般に用いられている。
解し、該加水分解によって生成するガラス微粒子を棒状
に堆積させて多孔質の光フアィバ用母材を反応容器内で
製造する光フアィバ用母材の製造装置において、光フア
ィバ用母材を支持する支持棒を用いて製造中の該母材を
回転させながら堆積速度に合わせて上方に引き上げる光
フアィバ用母材の製造装置が一般に用いられている。
従来技術と問題点第１図は従来の光フアィバ用母材の製
造装置の全体を示す概略図である。
造装置の全体を示す概略図である。
従来の光フアィバ用母材の製造装置は、支持棒２の下端
部からガラス微粒子を堆積させ始め、以後継続して下向
きに円柱状に母村８を成長させていくが、その過程にお
いて支持榛２の下端部以外の外周面にも薄くガラス微粒
子が付着する。
部からガラス微粒子を堆積させ始め、以後継続して下向
きに円柱状に母村８を成長させていくが、その過程にお
いて支持榛２の下端部以外の外周面にも薄くガラス微粒
子が付着する。
この状態で支持榛２が反応容器１上部の母材支持榛貫通
部Ａにおいて該反応容器１またはシール材（図示せず。
以下同じ）等に接触すると、該支持榛２の外周に付着し
たガラス微粒子が剥離して落下し、母材８の表面に付着
し、母材８を次工程で加熱焼結する際に気泡の発生の原
因等により好ましくない。このため母材支持棒２の外周
と反応容器１またはシール材とは直接接触しないよう間
隙をあげて操業するのが従来の方法であった。従ってこ
の支持榛２の外周と反応容器１またはシール材との間隙
部分から反応容器１へ流入する気体（通常は空気）の流
量、さらには反応容器１へ流入する気体の全流量を確認
することが困難であるという問題があった。なお第１図
において、１２は支持榛２を回転させながら引き上げる
ためのチャック、１３は酸水素炎バーナ、１４は反応容
器１の内部で発生した塩化水素ガス、水蒸気、余剰気体
、１０等を排出するための排気管、１５は塩化水素ガス
を中和処理する洗浄塔、１６は中和液頃霧用ノズル、１
７は中和液圧送用ポンプ、１８は排気ガス吸引、放出用
のファンである。
部Ａにおいて該反応容器１またはシール材（図示せず。
以下同じ）等に接触すると、該支持榛２の外周に付着し
たガラス微粒子が剥離して落下し、母材８の表面に付着
し、母材８を次工程で加熱焼結する際に気泡の発生の原
因等により好ましくない。このため母材支持棒２の外周
と反応容器１またはシール材とは直接接触しないよう間
隙をあげて操業するのが従来の方法であった。従ってこ
の支持榛２の外周と反応容器１またはシール材との間隙
部分から反応容器１へ流入する気体（通常は空気）の流
量、さらには反応容器１へ流入する気体の全流量を確認
することが困難であるという問題があった。なお第１図
において、１２は支持榛２を回転させながら引き上げる
ためのチャック、１３は酸水素炎バーナ、１４は反応容
器１の内部で発生した塩化水素ガス、水蒸気、余剰気体
、１０等を排出するための排気管、１５は塩化水素ガス
を中和処理する洗浄塔、１６は中和液頃霧用ノズル、１
７は中和液圧送用ポンプ、１８は排気ガス吸引、放出用
のファンである。
発明の目的
本発明は上に述べた従来の問題を解決する光フアィバ用
母材の製造装置を提供するものである。
母材の製造装置を提供するものである。
以下図について説明する。発明の実施例
第２図は本発明に係る第１図において点線で囲んだ部分
Ａの詳細を示すものである。
Ａの詳細を示すものである。
反応容器１の上部に支持榛２とを接触することがないだ
けの大きさの貫通孔を有する第１シール部３と、さらに
該第１シール部３の上部に支持棒２の外周と確実に接触
し十分な気密機能を有するシール材４を有する第２シー
ル部５を設け、該第１シール部３および第２シール部５
の間に形成される小容器６には排気孔７を設けておく。
けの大きさの貫通孔を有する第１シール部３と、さらに
該第１シール部３の上部に支持棒２の外周と確実に接触
し十分な気密機能を有するシール材４を有する第２シー
ル部５を設け、該第１シール部３および第２シール部５
の間に形成される小容器６には排気孔７を設けておく。
８は母材、９はフランジ止め具、１川ま余剰気体、１１
は排出気体、１９は余剰気体の取入口である。第２図は
示す本発明による気密構造を用いると、気密はシール材
４によって確保されるとともに、該気密構造部分で支持
棒２の外周部から剥離して落下するガラス微粒子を排気
孔７から外部へ排出してしまうことが可能となる。従っ
て反応容器１へ余剰気体取入口１９から流入する余剰気
体１０と該排気孔７から排出される排出気体１１を管理
することにより、反応容器１へ流入する気体の全流量を
確認することができる。発明の効果 以上述べたとおり本発明によれば反応容器内へ流入する
気体の全流量が確認できるので、該反応容器内への流入
気体の全流量を一定量に制御することが可能となるとと
もに、該全流量が反応容器に設けられた余剰気体取入口
から流入することにより余剰気体の温度制御、フィル夕
の挿入等が容易に現実できその効果顕著である。
は排出気体、１９は余剰気体の取入口である。第２図は
示す本発明による気密構造を用いると、気密はシール材
４によって確保されるとともに、該気密構造部分で支持
棒２の外周部から剥離して落下するガラス微粒子を排気
孔７から外部へ排出してしまうことが可能となる。従っ
て反応容器１へ余剰気体取入口１９から流入する余剰気
体１０と該排気孔７から排出される排出気体１１を管理
することにより、反応容器１へ流入する気体の全流量を
確認することができる。発明の効果 以上述べたとおり本発明によれば反応容器内へ流入する
気体の全流量が確認できるので、該反応容器内への流入
気体の全流量を一定量に制御することが可能となるとと
もに、該全流量が反応容器に設けられた余剰気体取入口
から流入することにより余剰気体の温度制御、フィル夕
の挿入等が容易に現実できその効果顕著である。
第１図は従来の光フアィバ用母材の製造装置の全体を示
す概略図、第２図は本発明の反応容器上部の母材支持棒
貫通部である。 １・・・・・・反応容器、２・・・・・・支持榛、３…
・・・第１シール部、４……シール材、５……第２シー
ル部、６・・・・・・小容器、７・・・・・・排気孔、
８・・・・・・母材、９・・・・・・フランジ止め具、
１０・・…・余剰気体、１１…・・・排出気体、１２・
・・・・・チャック、１３・・…・酸水素炎バーナ、１
４・・・・・・排気管、１５・・・・・・洗浄塔、１６
・・・・・・中和液頃霧用ノズル、１７・・・・・・中
和液圧送用ポンプ、１８・・・・・・ファン、１９・・
・・・・余剰気体取入口、Ａ・・・・・・母材支持榛貫
通部。 繁１図 第２図
す概略図、第２図は本発明の反応容器上部の母材支持棒
貫通部である。 １・・・・・・反応容器、２・・・・・・支持榛、３…
・・・第１シール部、４……シール材、５……第２シー
ル部、６・・・・・・小容器、７・・・・・・排気孔、
８・・・・・・母材、９・・・・・・フランジ止め具、
１０・・…・余剰気体、１１…・・・排出気体、１２・
・・・・・チャック、１３・・…・酸水素炎バーナ、１
４・・・・・・排気管、１５・・・・・・洗浄塔、１６
・・・・・・中和液頃霧用ノズル、１７・・・・・・中
和液圧送用ポンプ、１８・・・・・・ファン、１９・・
・・・・余剰気体取入口、Ａ・・・・・・母材支持榛貫
通部。 繁１図 第２図
Claims (1)
- １ ガラス原料の気体を酸水素バーナから噴出させて加
水分解し、該加水分解によつて生成する粒状ガラスを棒
状に堆積させて多孔質の光フアイバ用母材を反応容器内
で製造する光フアイバ用母材の製造装置において、 該
母材を回転させながら引き上げる支持棒が前記反応容器
上部を貫通する該反応容器の部分に、該支持棒の長手方
向に複数個所の貫通孔を設け、該貫通孔の最上部の貫通
孔は該支持棒外周と該貫通孔内周とが密接してなり、前
記貫通孔の最下部の貫通孔と該支持棒との間には該支持
棒と該貫通孔内周とが相互に接触することにない間隙を
設け、前記貫通孔の隣り合う上下の貫通孔間に形成され
る該反応容器の小容器には該小容器の内部の気体を該反
応容器の外部へ排気する排気孔を設けたことを特徴とす
る光フアイバ用母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10961982A JPS6029651B2 (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 光フアイバ用母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10961982A JPS6029651B2 (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 光フアイバ用母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS593034A JPS593034A (ja) | 1984-01-09 |
| JPS6029651B2 true JPS6029651B2 (ja) | 1985-07-11 |
Family
ID=14514879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10961982A Expired JPS6029651B2 (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 光フアイバ用母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029651B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0331576U (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-27 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100817195B1 (ko) * | 2000-10-18 | 2008-03-27 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 광섬유모재의 제조장치 |
| JPWO2002102729A1 (ja) * | 2001-06-14 | 2004-09-30 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法 |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP10961982A patent/JPS6029651B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0331576U (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS593034A (ja) | 1984-01-09 |
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