JPS6031014A - 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ - Google Patents
磁気抵抗体を使用してなす位置センサInfo
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- JPS6031014A JPS6031014A JP13873283A JP13873283A JPS6031014A JP S6031014 A JPS6031014 A JP S6031014A JP 13873283 A JP13873283 A JP 13873283A JP 13873283 A JP13873283 A JP 13873283A JP S6031014 A JPS6031014 A JP S6031014A
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- magnetoresistive
- magnetic
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/147—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は磁気抵抗体を使用してなす位置センサの改良に
関する。特に、２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群
）をもって構成された直列回路を少なくとも１組有し、
その埴れぞれに交流電圧を印加しておき、上記夫々２個
の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）のそれぞれが文楽
する磁界強度を交互に変化させ、上記直列回路の中間端
子の電位の変化を測定してなす位置センサにおいて、上
記中間端子の電位の変化として得られる交流電圧を正し
い正弦波となるようにする改良に関する。
関する。特に、２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群
）をもって構成された直列回路を少なくとも１組有し、
その埴れぞれに交流電圧を印加しておき、上記夫々２個
の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）のそれぞれが文楽
する磁界強度を交互に変化させ、上記直列回路の中間端
子の電位の変化を測定してなす位置センサにおいて、上
記中間端子の電位の変化として得られる交流電圧を正し
い正弦波となるようにする改良に関する。
（２）技術の背景
インジウムアンチモナイド（Ｉｎ５ｂ） 、 インジウ
ムアーセナイド（ｒｎＡｓ）等、文楽する磁界強度に対
応して自身の抵抗を変化する材料があり、磁気抵抗性材
料と呼ばれる。かかる磁気抵抗性材料よりなる素子（以
下磁気抵抗体という。）を磁界中に配置しておき、かか
る磁気抵抗体と文楽する磁路のリラクタンスに規則的な
変化を与えるような幾何学的形状を有する物体を磁気抵
抗体にそって移動させると上記の磁気抵抗体の抵抗は上
記の規則的なりラフタンスの変化に対応して変化するか
ら上記物体の位置や移動速度等の移動状態を検出するこ
とができる。
ムアーセナイド（ｒｎＡｓ）等、文楽する磁界強度に対
応して自身の抵抗を変化する材料があり、磁気抵抗性材
料と呼ばれる。かかる磁気抵抗性材料よりなる素子（以
下磁気抵抗体という。）を磁界中に配置しておき、かか
る磁気抵抗体と文楽する磁路のリラクタンスに規則的な
変化を与えるような幾何学的形状を有する物体を磁気抵
抗体にそって移動させると上記の磁気抵抗体の抵抗は上
記の規則的なりラフタンスの変化に対応して変化するか
ら上記物体の位置や移動速度等の移動状態を検出するこ
とができる。
（３）従来技術と問題点
かかる基本原理にもとづく、磁気抵抗体を使用してなす
位置センサは１個の磁気抵抗体を用いても実現しうるが
、第１図に示すように、２個の磁気抵抗体１．１’を直
列に接続してこの直列回路の二つの端子１１．１２間に
電圧を印加しておき、２個の磁気抵抗体１．１゛は共通
の磁界Ｈと叉交させておき、２個の磁気抵抗体１、ｌｏ
に対接させて規則的にスリット２３．２３°、２３″、
・φ・を有し、磁性材料よりなる物体２４を図において
Ａの方向に移動させるなり、または、第２図に示すよう
に規則的に突起２１．２１’ 、 ２１” 、・・争と
凹部２２．２２’ 、 ２２” 、・Φ・とを有し磁性
材料よりなる物体２を図において矢印Ａの方向に移動さ
せるなりして、上記の直列回路の中間端子１３からスリ
ット２３等または突起２１凹部２２等の交番的移動に対
応する周期と同一の周期の交流電圧を得ることが一般で
ある。
位置センサは１個の磁気抵抗体を用いても実現しうるが
、第１図に示すように、２個の磁気抵抗体１．１’を直
列に接続してこの直列回路の二つの端子１１．１２間に
電圧を印加しておき、２個の磁気抵抗体１．１゛は共通
の磁界Ｈと叉交させておき、２個の磁気抵抗体１、ｌｏ
に対接させて規則的にスリット２３．２３°、２３″、
・φ・を有し、磁性材料よりなる物体２４を図において
Ａの方向に移動させるなり、または、第２図に示すよう
に規則的に突起２１．２１’ 、 ２１” 、・・争と
凹部２２．２２’ 、 ２２” 、・Φ・とを有し磁性
材料よりなる物体２を図において矢印Ａの方向に移動さ
せるなりして、上記の直列回路の中間端子１３からスリ
ット２３等または突起２１凹部２２等の交番的移動に対
応する周期と同一の周期の交流電圧を得ることが一般で
ある。
更に、第３図、第４図に示すように上記の位置センサ２
組を互いに９０°電気角を異にする位置に配設し、互い
に８００位相を異にする二つの交流電圧を得ることにす
れば、位置の検出精度も向上し、回転の方向も容易に識
別しうることは下式よ゛ り明らかである。
組を互いに９０°電気角を異にする位置に配設し、互い
に８００位相を異にする二つの交流電圧を得ることにす
れば、位置の検出精度も向上し、回転の方向も容易に識
別しうることは下式よ゛ り明らかである。
Ａ ｃｏｓ θ ｓｉｎ ω ｔ ＋Ａｓ１ｎ θ Ｃ
ＯＳ ω ｔ＝Ｂｓｉｎ（ωを十〇） 但し、θは被検出電気角位置であり、 ωは直列回路の端子１１．１２に印加 される交流電圧の電気角速度であ る。
ＯＳ ω ｔ＝Ｂｓｉｎ（ωを十〇） 但し、θは被検出電気角位置であり、 ωは直列回路の端子１１．１２に印加 される交流電圧の電気角速度であ る。
第３図においては、磁気抵抗体１．１’の組はスリット
２３とスリットを有しない磁性材部２４とに対接し、一
方、磁気抵抗体１Ｏ１１０°の組は磁性材部２４とスリ
ット２３′ との境界とスリット２３° と磁性材部２
４との境界とに対接しており互いに８０°電気角位置が
ずれている。一方、第４図においては、磁気抵抗体１．
１’の組は突起２１と凹部２２とに対接し、一方、磁気
抵抗体１Ｏ１１０°の組は凹部２２と突起２１’ との
境界と突起２１’ と凹部２２″の境界と対接しており
、互いに８０°電気角位置がずれている。
２３とスリットを有しない磁性材部２４とに対接し、一
方、磁気抵抗体１Ｏ１１０°の組は磁性材部２４とスリ
ット２３′ との境界とスリット２３° と磁性材部２
４との境界とに対接しており互いに８０°電気角位置が
ずれている。一方、第４図においては、磁気抵抗体１．
１’の組は突起２１と凹部２２とに対接し、一方、磁気
抵抗体１Ｏ１１０°の組は凹部２２と突起２１’ との
境界と突起２１’ と凹部２２″の境界と対接しており
、互いに８０°電気角位置がずれている。
上式にもとづく機能が正しく実現されるためには、それ
ぞれの磁気抵抗体の組の中間端子から得られる交流出力
が正しい正弦波または余弦波である必要がある。
ぞれの磁気抵抗体の組の中間端子から得られる交流出力
が正しい正弦波または余弦波である必要がある。
磁気抵抗体１．１’の組（直列回路）の中間端子１３か
ら得られる交流電圧を正弦波に近づけるためには、第５
図、第６図に示すように、２個の磁気抵抗体１．１′の
中心間距離りとスリット２３または突起２１の幅Ｐ１と
スリットを有しない磁性部材２４または凹部２２の輻Ｐ
２とを同一にすることが有効ではあるが、このように配
置することは幾何学的に困難であるとともに、磁気抵抗
体１、ｌｏの幅見が大きくなるため、磁気抵抗体１、ｌ
ｏの抵抗が極端に小さくなり実用に供しえないという欠
点があり、第５図、第６図のような構造は現実的に採用
困難である。
ら得られる交流電圧を正弦波に近づけるためには、第５
図、第６図に示すように、２個の磁気抵抗体１．１′の
中心間距離りとスリット２３または突起２１の幅Ｐ１と
スリットを有しない磁性部材２４または凹部２２の輻Ｐ
２とを同一にすることが有効ではあるが、このように配
置することは幾何学的に困難であるとともに、磁気抵抗
体１、ｌｏの幅見が大きくなるため、磁気抵抗体１、ｌ
ｏの抵抗が極端に小さくなり実用に供しえないという欠
点があり、第５図、第６図のような構造は現実的に採用
困難である。
そのため、従来技術においては、第７図、第８図に示す
ように、磁気抵抗体ｌ、１′の幅立を小さくし、かつ、
スリット２３または突起２１の幅Ｐ１を小さくし、スリ
ットを有しない磁性材部２４または凹部２２の幅Ｐ２を
大きくすることが一般であった。
ように、磁気抵抗体ｌ、１′の幅立を小さくし、かつ、
スリット２３または突起２１の幅Ｐ１を小さくし、スリ
ットを有しない磁性材部２４または凹部２２の幅Ｐ２を
大きくすることが一般であった。
その結果、従来技術において、磁気抵抗体の直列回路の
中間端子１３から得られる電圧波形は第９図にＥをもっ
て示すように、位相が反転している第３高周波を含む傾
向が避は難いという欠点があった。
中間端子１３から得られる電圧波形は第９図にＥをもっ
て示すように、位相が反転している第３高周波を含む傾
向が避は難いという欠点があった。
（４）発明の目的
本発明の目的はこの欠点を解消することにあり、２個の
磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）をもって構成された
直列回路を少なくとも１組有し、そのそれぞれに交流電
圧を印加しておき、上記それぞれ２個の磁気抵抗体（ま
たは磁気抵抗体群）のそれぞれが叉交する磁界強度を交
互に変化させ、上記夫々の直列回路の中間端子の電位の
変化を測定してなす位置センサにおいて、上記夫々２個
の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）の直列回路の中間
端子から正しい正弦波状の信号電圧を供給しうる、磁気
抵抗体を使用してなす位置センサを提供することにある
。
磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）をもって構成された
直列回路を少なくとも１組有し、そのそれぞれに交流電
圧を印加しておき、上記それぞれ２個の磁気抵抗体（ま
たは磁気抵抗体群）のそれぞれが叉交する磁界強度を交
互に変化させ、上記夫々の直列回路の中間端子の電位の
変化を測定してなす位置センサにおいて、上記夫々２個
の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）の直列回路の中間
端子から正しい正弦波状の信号電圧を供給しうる、磁気
抵抗体を使用してなす位置センサを提供することにある
。
（５）発明の構成
本発明の構成は、特定の方向に移動しその磁界強度を周
期的に変化する磁束と叉交する領域に該磁束の移動方向
とおおむね平行するように配設され該磁束の移動方向と
交わる端面は該磁束の移動方向とおおむね直交する直方
体の板状部材よりなる２個の磁気抵抗体（または磁気抵
抗体群）よりなり中間端子の設けられた直列回路を少な
くとも１組配設し、夫々の回路に交流電圧を印加してお
き、夫々２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）と文
楽する磁界強度に対応して変化する前記２個の磁気抵抗
体（または磁気抵抗体群）の抵抗値の変化に対応して発
生する前記夫々の中間端子の電位を測定して前記移動す
る磁束の移動状態を検出してなす、磁気抵抗体を使用し
てなす位置センサにおいて、前記移動する磁束が変化す
る時期は前記磁気抵抗体の端面に対して不整となるよう
になされていることを特徴とする磁気抵抗体を使用して
なす位置センサにある。
期的に変化する磁束と叉交する領域に該磁束の移動方向
とおおむね平行するように配設され該磁束の移動方向と
交わる端面は該磁束の移動方向とおおむね直交する直方
体の板状部材よりなる２個の磁気抵抗体（または磁気抵
抗体群）よりなり中間端子の設けられた直列回路を少な
くとも１組配設し、夫々の回路に交流電圧を印加してお
き、夫々２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）と文
楽する磁界強度に対応して変化する前記２個の磁気抵抗
体（または磁気抵抗体群）の抵抗値の変化に対応して発
生する前記夫々の中間端子の電位を測定して前記移動す
る磁束の移動状態を検出してなす、磁気抵抗体を使用し
てなす位置センサにおいて、前記移動する磁束が変化す
る時期は前記磁気抵抗体の端面に対して不整となるよう
になされていることを特徴とする磁気抵抗体を使用して
なす位置センサにある。
本発明の依拠する技術思想は、第１０図、第１１図に示
すように、垂直方向に配設された直方体状の磁気抵抗体
１、ｌｏの端面と、リラクタンスの変化を起因するスリ
ット２３等または突起２１等の端面各部が対接を開始す
る時期に時間差を発生させるこ１ ととし、全体として高調波の発生を防止することとした
ものである。
すように、垂直方向に配設された直方体状の磁気抵抗体
１、ｌｏの端面と、リラクタンスの変化を起因するスリ
ット２３等または突起２１等の端面各部が対接を開始す
る時期に時間差を発生させるこ１ ととし、全体として高調波の発生を防止することとした
ものである。
要すれば、移動する磁束が交番する時期が磁気抵抗体の
端面の各部に対して不整となるようにし、全体として、
高調波の発生を防止し、上記の移動する磁界の波形が正
弦波状になるようにしたものである。
端面の各部に対して不整となるようにし、全体として、
高調波の発生を防止し、上記の移動する磁界の波形が正
弦波状になるようにしたものである。
この技術思想を実現するには、上記せるとおり磁気抵抗
体１等の端面とスリット２３等または突起２１等の端面
とを一致させず、これらのスリット２３等または突起２
１等の端面を磁束の移動方向に対して不整形にすればよ
い。
体１等の端面とスリット２３等または突起２１等の端面
とを一致させず、これらのスリット２３等または突起２
１等の端面を磁束の移動方向に対して不整形にすればよ
い。
几体的には、スリット２３等または突起２１等を有する
物体２４または２（リラクタンスを変化させる物体）が
線状部材すなわち棒状部材であるときは、第１０図、第
１１図に示すように、スリット２３等または突起２１等
の端面を磁気抵抗体１．１’の端面と傾斜させておくな
り、第１２図、第１３図に示すように、スリット２３等
または突起２１等の端面を磁気抵抗体１．１’の端面に
対して蛇行させておくな２ す、第１４図、第１５図に示すように、スリット２３等
または突起２１等の端面の中央部を磁気抵抗体１゜ｌｏ
の端面に対して大きくしておくなり、第１８図、第１７
図に示すように、スリット２３等または突起２１等の端
面を磁気抵抗体ｌ、１゛の端面に対して階段状にしてお
くなりすればよい。
物体２４または２（リラクタンスを変化させる物体）が
線状部材すなわち棒状部材であるときは、第１０図、第
１１図に示すように、スリット２３等または突起２１等
の端面を磁気抵抗体１．１’の端面と傾斜させておくな
り、第１２図、第１３図に示すように、スリット２３等
または突起２１等の端面を磁気抵抗体１．１’の端面に
対して蛇行させておくな２ す、第１４図、第１５図に示すように、スリット２３等
または突起２１等の端面の中央部を磁気抵抗体１゜ｌｏ
の端面に対して大きくしておくなり、第１８図、第１７
図に示すように、スリット２３等または突起２１等の端
面を磁気抵抗体ｌ、１゛の端面に対して階段状にしてお
くなりすればよい。
又、スリット２３等または突起２１等を有する物体（リ
ラクタンスを変化させる物体）は円筒状部材でもよく、
その場合は、円筒状部材の周面がそれぞれ、上記第１０
７１７図のように磁束の移動方向に対して不整にされて
いればよい。
ラクタンスを変化させる物体）は円筒状部材でもよく、
その場合は、円筒状部材の周面がそれぞれ、上記第１０
７１７図のように磁束の移動方向に対して不整にされて
いればよい。
（６）発明の実施例
本発明の構成は比較的明瞭であるから、以下、図面を参
照しつつ、本発明の代表的実施例に係る磁気抵抗体を使
用してなす位置センサについて更に説明する。
照しつつ、本発明の代表的実施例に係る磁気抵抗体を使
用してなす位置センサについて更に説明する。
第１８図、１９図参照
図はそれぞれ特許請求の範囲第２項と第４項記載の磁気
抵抗体を使用してなす位置センサ２例（第１８図は前者
すなわちスリットまたは突起を有する物体が線状部材す
なわち棒状部材である場合であり、第１９図は後者すな
わちスリットまたは突起を有する物体が円筒状部材であ
る場合である）の平面図である。なお、直列回路の数は
２組とする。
抵抗体を使用してなす位置センサ２例（第１８図は前者
すなわちスリットまたは突起を有する物体が線状部材す
なわち棒状部材である場合であり、第１９図は後者すな
わちスリットまたは突起を有する物体が円筒状部材であ
る場合である）の平面図である。なお、直列回路の数は
２組とする。
図において、４は永久磁石であり、約１キロガウス程度
の平行磁界Ｈを形成する。３はフェライト等強磁性体よ
りなるヨーク兼支持体であり、本例においては高さが数
ｍ層幅が数層■で厚さが０．５鵬腫程度である。
の平行磁界Ｈを形成する。３はフェライト等強磁性体よ
りなるヨーク兼支持体であり、本例においては高さが数
ｍ層幅が数層■で厚さが０．５鵬腫程度である。
１．１’、１０．１０°はインジウムアンチモナイド（
Ｉｒ＋Ｓｂ）よりなる磁気抵抗体であり、厚さは約５１
Ｌｍである。その幅見は０．３ｍｓであり、その高さｈ
は１．Ｆ＋＋＋ｍ程度である。磁気抵抗体ｌと１′及び
１０．１０°とは銅膜をもって形成された導電路５をも
って直列に接続されており双方の端子１１．１２と中間
端子１３とが設けられている。磁気抵抗体ｌ、１°、１
０、ｌＯｏ と導電路５とはフォトリソグラフィー法と
イオンブレーティング法、スパッタリング法、真空蒸着
法等と接着材を使用してなる接着法との組み合わせでも
って容易に形成しうる。なお、かかる構造の磁気抵抗体
の組が２対第４図に示すように配設されていることは云
うまでもない。２４はスリットを有する板状部材であり
、２４１はスリット２３１を有する円筒状部材であり、
軸６を中心として回転し、磁気抵抗体１．１’、１Ｏ１
１０′とは０゜３ｍｓ程度の距離を隔てて配設される。
Ｉｒ＋Ｓｂ）よりなる磁気抵抗体であり、厚さは約５１
Ｌｍである。その幅見は０．３ｍｓであり、その高さｈ
は１．Ｆ＋＋＋ｍ程度である。磁気抵抗体ｌと１′及び
１０．１０°とは銅膜をもって形成された導電路５をも
って直列に接続されており双方の端子１１．１２と中間
端子１３とが設けられている。磁気抵抗体ｌ、１°、１
０、ｌＯｏ と導電路５とはフォトリソグラフィー法と
イオンブレーティング法、スパッタリング法、真空蒸着
法等と接着材を使用してなる接着法との組み合わせでも
って容易に形成しうる。なお、かかる構造の磁気抵抗体
の組が２対第４図に示すように配設されていることは云
うまでもない。２４はスリットを有する板状部材であり
、２４１はスリット２３１を有する円筒状部材であり、
軸６を中心として回転し、磁気抵抗体１．１’、１Ｏ１
１０′とは０゜３ｍｓ程度の距離を隔てて配設される。
第１０図再参照
いづれの場合もスリット２３．２３１等の端面は第１１
図に示すように、直方体状の磁気抵抗体ｌ、１゛、１０
．１０’ の端面とは傾斜している。
図に示すように、直方体状の磁気抵抗体ｌ、１゛、１０
．１０’ の端面とは傾斜している。
上記のような構造の磁気抵抗体を使用してなす位置セン
サの端子１１．１２間に５ビ程度の電圧を印加すると中
間端子１３の電位はスリット２３．２３１等が磁気抵抗
体１．１°と対接する周期と同一の周期をもって±０．
２ｖの極めて正弦波に近い波形をもって交番する。
サの端子１１．１２間に５ビ程度の電圧を印加すると中
間端子１３の電位はスリット２３．２３１等が磁気抵抗
体１．１°と対接する周期と同一の周期をもって±０．
２ｖの極めて正弦波に近い波形をもって交番する。
本発明の構成は比較的明瞭であるから特許請求の範囲の
すべてに対して記述する繁を避ける。
すべてに対して記述する繁を避ける。
（７）発明の効果
５
以上説明せるとおり、本発明によれば、２個の磁気抵抗
体（または磁気抵抗体群）をもって構成された直列回路
を少なくとも１組有し、そのそれぞれに交流電圧を印加
しておき、上記それぞれ２個の磁気抵抗体（または磁気
抵抗体群）のそれぞれが文楽する磁界強度を交互に変化
させ、上記夫々の直列回路の中間端子の電位の変化を測
定してなす位置センサにおいて、上記夫々２個の磁気抵
抗体（または磁気抵抗体群）の直列回路の中間端子から
正しい正弦波状の信号電圧を供給しうる、磁気抵抗体を
使用してなす位置センサを提供することができる。
体（または磁気抵抗体群）をもって構成された直列回路
を少なくとも１組有し、そのそれぞれに交流電圧を印加
しておき、上記それぞれ２個の磁気抵抗体（または磁気
抵抗体群）のそれぞれが文楽する磁界強度を交互に変化
させ、上記夫々の直列回路の中間端子の電位の変化を測
定してなす位置センサにおいて、上記夫々２個の磁気抵
抗体（または磁気抵抗体群）の直列回路の中間端子から
正しい正弦波状の信号電圧を供給しうる、磁気抵抗体を
使用してなす位置センサを提供することができる。
第１図、第２図は従来技術における磁気抵抗体を使用し
てなす位置センサの一例の斜視図である。第３図、第４
図は磁気抵抗体の直列回路を２組有する従来技術におけ
る磁気抵抗体を使用してなす位置センサの一例の平面図
である。第５図、第６図、第７図、第８図は、平面図を
第３図、第４図に示す従来技術における磁気抵抗体を使
用し６ てなす位置センサの一例の欠点すなわち本発明の詳細な
説明するために書いた従来技術における磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの一例の平面図である。第９図は
第７図、第８図に示す従来技術における磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの一例の中間端子から得られる出
力電圧を示す図である。第１Ｏ図、第１１図は、それぞ
れ、特許請求の範囲第６項によって限定された特許請求
の範囲第２項及び第３項にかかる磁気抵抗体を使用して
゛なす位置センサの動作原理を説明するための斜視図で
ある。第１２図、第１３図、第１４図、第１５図、第１
８図、第１７図は本発明の実施例に係る磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの磁気抵抗体と移動物体との正面
図である。第１８図、第１９図は本発明の実施例に係る
磁気抵抗体を使用してなす位置センサの平面図である。 ｌ、１°、１０．１０°、・・・磁気抵抗体、 １１．
１２・φ・磁気抵抗体の端子、 ！３・φ・磁気抵抗体
の中間端子、２．２４・・ψ移動物体、 ２４１−・−
回転体、 ２１．２ビ、 ２１” 、 １２１ 、１２
１’・φ・突起、 ２２．２２’ 、 ２２”、 １２
２ 、１２２′、ψ・・凹部、 ２３．２３°、２３”
、２３１．２３１、・・・スリット、 Ｈ・・φ磁界方
向、 Ａ−・・物体の移動方向、 立・・ｅ磁気抵抗体
の幅、 Ｌ・・・組をなす磁気抵抗体の中心間距離、
Ｐｌ・・・突起の幅、Ｐ ・・・四部の幅、 Ｅ＠・・
従来技術における磁気抵抗体を使用してなす位置センサ
の中間端子から得られる電圧波形、 ３・・・ヨーク兼
支持部材、４・・・永久磁石、５・・・導電路、６・拳
・回転体の軸。 代理人 弁理氏 寒 川 誠 −
てなす位置センサの一例の斜視図である。第３図、第４
図は磁気抵抗体の直列回路を２組有する従来技術におけ
る磁気抵抗体を使用してなす位置センサの一例の平面図
である。第５図、第６図、第７図、第８図は、平面図を
第３図、第４図に示す従来技術における磁気抵抗体を使
用し６ てなす位置センサの一例の欠点すなわち本発明の詳細な
説明するために書いた従来技術における磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの一例の平面図である。第９図は
第７図、第８図に示す従来技術における磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの一例の中間端子から得られる出
力電圧を示す図である。第１Ｏ図、第１１図は、それぞ
れ、特許請求の範囲第６項によって限定された特許請求
の範囲第２項及び第３項にかかる磁気抵抗体を使用して
゛なす位置センサの動作原理を説明するための斜視図で
ある。第１２図、第１３図、第１４図、第１５図、第１
８図、第１７図は本発明の実施例に係る磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの磁気抵抗体と移動物体との正面
図である。第１８図、第１９図は本発明の実施例に係る
磁気抵抗体を使用してなす位置センサの平面図である。 ｌ、１°、１０．１０°、・・・磁気抵抗体、 １１．
１２・φ・磁気抵抗体の端子、 ！３・φ・磁気抵抗体
の中間端子、２．２４・・ψ移動物体、 ２４１−・−
回転体、 ２１．２ビ、 ２１” 、 １２１ 、１２
１’・φ・突起、 ２２．２２’ 、 ２２”、 １２
２ 、１２２′、ψ・・凹部、 ２３．２３°、２３”
、２３１．２３１、・・・スリット、 Ｈ・・φ磁界方
向、 Ａ−・・物体の移動方向、 立・・ｅ磁気抵抗体
の幅、 Ｌ・・・組をなす磁気抵抗体の中心間距離、
Ｐｌ・・・突起の幅、Ｐ ・・・四部の幅、 Ｅ＠・・
従来技術における磁気抵抗体を使用してなす位置センサ
の中間端子から得られる電圧波形、 ３・・・ヨーク兼
支持部材、４・・・永久磁石、５・・・導電路、６・拳
・回転体の軸。 代理人 弁理氏 寒 川 誠 −
Claims (9)
- （１）特定の方向に移動しその磁界強度を周期的に変化
する磁束と文楽する領域に該磁束の移動方向とおおむね
平行するように配設され該磁束の移動方向と交わる端面
は該磁束の移動方向とおおむね直交する直方体の板状部
材よりなる２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）よ
りなり中間端子の設けられた直列回路を少なくとも１組
配設し、夫々の回路に交流電圧を印加しておき、夫々２
個体（または磁気抵抗体群）の抵抗値の変化に対応して
発生する前記夫々の中間端子の電位を測定して前記移動
する磁束の移動状態を検出してなす、磁気抵抗体を使用
してなす位置センサにおいて、前記移動する磁束が変化
する時期は前記磁気抵抗体の端面に対して不整となるよ
うになされていることを特徴とする磁気抵抗体を使用し
てなす位置センサ。 - （２）前記特定の方向に移動しその磁界強度を周期的に
変化する磁束は、前記少なくとも１組の磁気抵抗体回路
の一方の面に対向して配設された磁束発生手段と、前記
２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）と対向して移
動し規則的に形成されたスリットを有する棒状部材の前
記特定方向への移動に起因するりラフタンスの変化とに
よって実現される、特許請求の範囲第１項記載の磁気抵
抗体を使用してなす位置センサ。 - （３）前記特定の方向に移動しその磁界強度を周期的に
変化する磁束は、前記少なくとも１組の磁気抵抗体回路
の一方の面に対向して配設された磁束発生手段と、前記
２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）と対向して移
動し規則的に形成されたラック状凹凸を有する棒状部材
の前記特定方向への移動に起因するりラフタンスの変化
とによって実現される、特許請求の範囲第１項記載の磁
気抵抗体を使用してなす位置センサ。 - （４）前記特定の方向に移動しその磁界強度を周期的に
変化する磁束は、前記少なくとも１組の磁気抵抗体回路
の一方の面に対向して配設された磁束発生手段と、前記
２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）と対向して移
動し規則的に形成されたスリットを有する円筒状部材の
回転に起因するりラフタンスの変化とによって実現され
る、特許請求の範囲第１項記載の磁気抵抗体を使用して
なす位置センサ。 - （５）前記特定の方向に移動しその磁界強度を周期的に
変化する磁束は、前記少なくとも１組の磁気抵抗体回路
の一方の面に対向して配設された磁束発生手段と、前記
２個の磁気抵抗体（または磁気抵抗体群）と対向して移
動し規則的に形成された歯車状凹凸を有する円筒状部材
の回転に起因するりラフタンスの変化とによって実現さ
れる、特許請求の範囲第１項記載の磁気抵抗体を使用し
てなす位置センサ。 - （６）前記移動する磁束が前記磁気抵抗体の端面に対し
て変化する時期は、前記棒状部材のスリットもしくはラ
ック状凹凸または前記円筒状部材のスリットもしくは歯
車状凹凸の端面が前記移動する磁束の移動方向に対して
傾斜していることにより不整とされる、特許請求の範囲
第２項、第３項、第４項または第５項記載の磁気抵抗体
を使用してなす位置センサ。 - （７）前記移動する磁束が前記磁気抵抗体の端面に対し
て変化する時期は、前記棒状部材のスリットもしくはラ
ック状凹凸または前記円筒状部材のスリットもしくは歯
車状凹凸の端面が前記移動する磁束の移動方向に対して
蛇行していることにより不整とされる、特許請求の範囲
第２項、第３項、第４項または第５項記載の磁気抵抗体
を使用してなす位置センサ。 - （８）前記移動する磁束が前記磁気抵抗体の端面に対し
て変化する時期は、前記棒状部材のスリットもしくはラ
ック状凹凸または前記円筒状部材のスリットもしくは歯
車状凹凸の中央部が膨大していることにより不整とされ
る、特許請求の範囲第２項、第３項、第４項または第５
項記載の磁気抵抗体を使用してなす位置センサ。 - （９）前記移動する磁束が前記磁気抵抗体の端面に対し
て変化する時期は、前記棒状部材のスリ・ントもしくは
ラック状凹凸または前記円筒状部材のスリットもしくは
歯車状凹凸の端面が階段状をなすことにより不整とされ
る、特許請求の範囲第２項、第３項、第４項または第５
項記載の磁気抵抗体を使用してなす位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13873283A JPS6031014A (ja) | 1983-07-30 | 1983-07-30 | 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13873283A JPS6031014A (ja) | 1983-07-30 | 1983-07-30 | 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6031014A true JPS6031014A (ja) | 1985-02-16 |
Family
ID=15228867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13873283A Pending JPS6031014A (ja) | 1983-07-30 | 1983-07-30 | 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6031014A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63205514A (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-25 | Hitachi Ltd | 磁気的に位置や速度を検出する装置 |
| JPS63286710A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-24 | Ono Sokki Co Ltd | 移動量検出器 |
| WO1995009447A1 (fr) * | 1993-09-27 | 1995-04-06 | Commissariat A L'energie Atomique | Capteur de courant comprenant un ruban magnetoresistif et son procede de realisation |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS559186A (en) * | 1978-07-07 | 1980-01-23 | Sanyo Electric Co Ltd | Magnetic detector |
-
1983
- 1983-07-30 JP JP13873283A patent/JPS6031014A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS559186A (en) * | 1978-07-07 | 1980-01-23 | Sanyo Electric Co Ltd | Magnetic detector |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63205514A (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-25 | Hitachi Ltd | 磁気的に位置や速度を検出する装置 |
| JPS63286710A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-24 | Ono Sokki Co Ltd | 移動量検出器 |
| WO1995009447A1 (fr) * | 1993-09-27 | 1995-04-06 | Commissariat A L'energie Atomique | Capteur de courant comprenant un ruban magnetoresistif et son procede de realisation |
| FR2710753A1 (fr) * | 1993-09-27 | 1995-04-07 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de courant comprenant un ruban magnétorésistif et son procédé de réalisation. |
| US5708407A (en) * | 1993-09-27 | 1998-01-13 | Commissariat A L'energie Atomique | Current sensor comprising a magnetoresistive tape and its production process |
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