JPS603169A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS603169A JPS603169A JP11139383A JP11139383A JPS603169A JP S603169 A JPS603169 A JP S603169A JP 11139383 A JP11139383 A JP 11139383A JP 11139383 A JP11139383 A JP 11139383A JP S603169 A JPS603169 A JP S603169A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- desiccant
- package
- laser oscillator
- box body
- gas laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、着脱できる扉板を備えた密閉された箱体内
に、所定圧力のレーザ媒質ガスを封入した状態で運転す
るガスレーザ発振器に関するものである。
に、所定圧力のレーザ媒質ガスを封入した状態で運転す
るガスレーザ発振器に関するものである。
従来この種のガスレーザ発振器としては、第１図（ａ）
に示すものがあった。第１図＜ａ＞は従来のガスレーザ
発振器の構成を示す断面図である。図において、１は炭
酸ガスレーザ発４辰器などのガスレーザ発振器の箱体、
２は箱体１の両側面に着脱自在に取り付けられた扉板、
３は一対の高圧放電電極、４は一対の高圧放電電極３に
よる放電で熱量を持ったレーザ媒質ガスを冷却するだめ
の熱交換器、５はレーザ媒質ガスを図の矢印方向へ循環
させるブロア（送風機）、６ａは箱体１内に設置された
乾燥剤パッケージである。
に示すものがあった。第１図＜ａ＞は従来のガスレーザ
発振器の構成を示す断面図である。図において、１は炭
酸ガスレーザ発４辰器などのガスレーザ発振器の箱体、
２は箱体１の両側面に着脱自在に取り付けられた扉板、
３は一対の高圧放電電極、４は一対の高圧放電電極３に
よる放電で熱量を持ったレーザ媒質ガスを冷却するだめ
の熱交換器、５はレーザ媒質ガスを図の矢印方向へ循環
させるブロア（送風機）、６ａは箱体１内に設置された
乾燥剤パッケージである。
第１図の）は、第１図（ａ）の乾燥剤パッケージの構成
を示す斜視図である。図において、１０は乾燥剤パッケ
ージ６ａの容器、７は容器１０内に収納された乾燥剤、
９は容器１０の蓋体、８は蓋体９に設けられた金網であ
る。
を示す斜視図である。図において、１０は乾燥剤パッケ
ージ６ａの容器、７は容器１０内に収納された乾燥剤、
９は容器１０の蓋体、８は蓋体９に設けられた金網であ
る。
次に、上記第１図（ａ）及びΦ）の動作について説明す
る。ガスレーザ発振器の箱体１の両側面には、扉板２が
密閉状態となる様に取り付けられ、この箱体１内にはレ
ーザ媒質ガスが封入されろう封入されたレーザ媒質ガス
は、ブロア５により図の矢印方向へ循環され、一対の高
圧放電電極３の放電間隙を通過する。この時、一対の高
圧放電電極３の放電により、レーザ媒質ガスの分子は励
起状態となり、これにより、増幅された光がレーザビー
ムとして外部に取り出される。次いで、一対の高圧放電
電極３の放電間隙を通過したレーザ媒質ガスは熱交換器
４で冷却され、ブロア５より吐き出さｎ１再び一対の高
圧放電電極３の放電間隙へ導かれる。一方、ガスレーザ
発］辰イＩＫの箱体１内では、化学反応により生成され
る水分、あるいは冷却水配管からの透過水分により露点
が悪化し、ガスレーザ発振器のレーザ発振に悪影響を及
ぼす。これを防止するだめに、第１図（ｂ）に示す様な
構成を有する乾燥剤パッケージ６ｂが、ガスレーザ発振
器の箱体１内に設置されている。
る。ガスレーザ発振器の箱体１の両側面には、扉板２が
密閉状態となる様に取り付けられ、この箱体１内にはレ
ーザ媒質ガスが封入されろう封入されたレーザ媒質ガス
は、ブロア５により図の矢印方向へ循環され、一対の高
圧放電電極３の放電間隙を通過する。この時、一対の高
圧放電電極３の放電により、レーザ媒質ガスの分子は励
起状態となり、これにより、増幅された光がレーザビー
ムとして外部に取り出される。次いで、一対の高圧放電
電極３の放電間隙を通過したレーザ媒質ガスは熱交換器
４で冷却され、ブロア５より吐き出さｎ１再び一対の高
圧放電電極３の放電間隙へ導かれる。一方、ガスレーザ
発］辰イＩＫの箱体１内では、化学反応により生成され
る水分、あるいは冷却水配管からの透過水分により露点
が悪化し、ガスレーザ発振器のレーザ発振に悪影響を及
ぼす。これを防止するだめに、第１図（ｂ）に示す様な
構成を有する乾燥剤パッケージ６ｂが、ガスレーザ発振
器の箱体１内に設置されている。
従来ガスレーザ発振器は以上の様に構成さｎているが、
特に、乾燥剤パッケージ６ｂについて着目すると、ガス
レーザ発掘器の箱体ｌの内部は水分により著しくその出
力が影響を受け、例えば１１０００ｐｐの水（Ｈ２Ｏ）
が存在すれば、出力が約１０〜２０％だけ低下すること
が実験により確められている。このため、水分を吸着す
る乾燥剤７はガスレーザ発振器にとって必須のものとな
り、この乾燥剤７の水分吸着能力が低下した際には、速
やかに乾燥剤７を取り換える必要がある。しかるに、上
記した従来のガスレーザ発振器の構成では、乾燥剤７を
取り換える時には、箱体１の扉板２ｆ：取り外してから
箱体１内にある乾燥剤パッケージ６ｂを取り出さなけれ
ばならず、このため、乾燥剤７の交換作業には多くの時
間を消費する欠点があった。また、扉板２を取り外すこ
とにより、カスレーザ発掘器の内部が外気にさらされる
ことになるから、新しい乾燥剤７と交換しても、既に交
換ヲした時点で乾燥剤７は大気中の水分を吸着し、この
結果、乾燥剤７の寿命を著しく短縮してし１うなどの欠
点があった。
特に、乾燥剤パッケージ６ｂについて着目すると、ガス
レーザ発掘器の箱体ｌの内部は水分により著しくその出
力が影響を受け、例えば１１０００ｐｐの水（Ｈ２Ｏ）
が存在すれば、出力が約１０〜２０％だけ低下すること
が実験により確められている。このため、水分を吸着す
る乾燥剤７はガスレーザ発振器にとって必須のものとな
り、この乾燥剤７の水分吸着能力が低下した際には、速
やかに乾燥剤７を取り換える必要がある。しかるに、上
記した従来のガスレーザ発振器の構成では、乾燥剤７を
取り換える時には、箱体１の扉板２ｆ：取り外してから
箱体１内にある乾燥剤パッケージ６ｂを取り出さなけれ
ばならず、このため、乾燥剤７の交換作業には多くの時
間を消費する欠点があった。また、扉板２を取り外すこ
とにより、カスレーザ発掘器の内部が外気にさらされる
ことになるから、新しい乾燥剤７と交換しても、既に交
換ヲした時点で乾燥剤７は大気中の水分を吸着し、この
結果、乾燥剤７の寿命を著しく短縮してし１うなどの欠
点があった。
この発明は上記の様な従来のものの欠点を除去するため
になされたもので、着脱できる扉板金儲えた密閉された
箱体内に、所定圧力のレーザ媒質ガスを封入した状態で
運転するガスレーザ発振器において、前記扉板全装着し
たままで、外部より交換可能な乾燥剤パッケージを、前
記箱体に設けて成る構成を有し、乾燥剤パッケージの交
換時に、ガスレーザ発振器内の露点を急激に悪化させる
ことなく、しかも、乾燥剤自体の寿命を長くすると共に
、保守に手間のかからなめガスレーザ発振器を提供する
ことを目的としている。
になされたもので、着脱できる扉板金儲えた密閉された
箱体内に、所定圧力のレーザ媒質ガスを封入した状態で
運転するガスレーザ発振器において、前記扉板全装着し
たままで、外部より交換可能な乾燥剤パッケージを、前
記箱体に設けて成る構成を有し、乾燥剤パッケージの交
換時に、ガスレーザ発振器内の露点を急激に悪化させる
ことなく、しかも、乾燥剤自体の寿命を長くすると共に
、保守に手間のかからなめガスレーザ発振器を提供する
ことを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図（、ｌ）はこの発明の一実施例であるガスレーザ発振
器の一部の構成上水す斜視図、第２図（ｂ）は、第１図
（ａ）の乾燥剤パッケージの構成を示す斜視図である。
図（、ｌ）はこの発明の一実施例であるガスレーザ発振
器の一部の構成上水す斜視図、第２図（ｂ）は、第１図
（ａ）の乾燥剤パッケージの構成を示す斜視図である。
上記各図において、１は炭酸ガスレーザ発振器などのガ
スレーザ発振器の箱体、２は箱体１の両側面に着脱自在
に取り付けられた扉板、６ｂはこの発明による乾燥剤パ
ッケージであり、仁の乾燥剤パッケージ６ｂは、箱体１
に穿設された取り付は用の孔部１３内に着脱自在に嵌着
される構成とされる。この乾燥剤パッケージ６ｂの構成
は、第２図ル）に示す様に、乾燥剤７は金網８を備えた
容器１０内に収納されており、この容器１０は、その一
方何に蓋体９が、また、他の一方側に取っ手１２を有す
るフランジ１１がそｉｔぞれ取り付けられている。
スレーザ発振器の箱体、２は箱体１の両側面に着脱自在
に取り付けられた扉板、６ｂはこの発明による乾燥剤パ
ッケージであり、仁の乾燥剤パッケージ６ｂは、箱体１
に穿設された取り付は用の孔部１３内に着脱自在に嵌着
される構成とされる。この乾燥剤パッケージ６ｂの構成
は、第２図ル）に示す様に、乾燥剤７は金網８を備えた
容器１０内に収納されており、この容器１０は、その一
方何に蓋体９が、また、他の一方側に取っ手１２を有す
るフランジ１１がそｉｔぞれ取り付けられている。
上述した様に、通常、ガスレーザ発振器の箱体１の内部
は、ごく微量の水分の存在により、著しくレーザ発振出
力の性能に影響を与えることが分かつているので、これ
らの水分全吸着する目的で、乾燥剤パッケージ６ｂがガ
スレーザ発振器の箱体１内に備えられているが、長時間
の運転により、乾燥剤パッケージ６ｂ内部の乾燥剤７の
水分吸着能力は低下するために取シ換える必訝がある。
は、ごく微量の水分の存在により、著しくレーザ発振出
力の性能に影響を与えることが分かつているので、これ
らの水分全吸着する目的で、乾燥剤パッケージ６ｂがガ
スレーザ発振器の箱体１内に備えられているが、長時間
の運転により、乾燥剤パッケージ６ｂ内部の乾燥剤７の
水分吸着能力は低下するために取シ換える必訝がある。
ところで、この発明による乾燥剤パッケージ６ｂは上記
した構成を有するので、その乾燥剤７を交換する時には
、ガスレーザ発振器の運転を停止させ、その内部を、例
えば十分に乾燥した窒素ガスの様な置換用のガスで大気
圧に１で戻した後、窒素ガスを置換パージさせながら乾
燥剤パッケージ６ｂのみを箱体１から取り出し、その蓋
体９を取り除いて新しい乾燥剤７と交換し、再び蓋体９
を取り付けて、乾燥剤パッケージ６ｂ全箱体１の孔部１
３内に嵌着する。そして、箱体１の内部全真空に近い状
態にした後、レーザ媒質カスを箱体１の内部に充てんし
、再びレーザ発４ｉ ｆｆｉ行わせる。
した構成を有するので、その乾燥剤７を交換する時には
、ガスレーザ発振器の運転を停止させ、その内部を、例
えば十分に乾燥した窒素ガスの様な置換用のガスで大気
圧に１で戻した後、窒素ガスを置換パージさせながら乾
燥剤パッケージ６ｂのみを箱体１から取り出し、その蓋
体９を取り除いて新しい乾燥剤７と交換し、再び蓋体９
を取り付けて、乾燥剤パッケージ６ｂ全箱体１の孔部１
３内に嵌着する。そして、箱体１の内部全真空に近い状
態にした後、レーザ媒質カスを箱体１の内部に充てんし
、再びレーザ発４ｉ ｆｆｉ行わせる。
なお、上記実施例では、ガスレーザ発掘器の箱体１に穿
設された取り付は用の孔部１３内に、乾燥剤パッケージ
６ｂを着脱自在に嵌着させる構成としたが、カスレーザ
発振器の内部全体にわたｐより良い効果を持たせるため
、さらに数個の取り付は用の孔部１３全設けても良い。
設された取り付は用の孔部１３内に、乾燥剤パッケージ
６ｂを着脱自在に嵌着させる構成としたが、カスレーザ
発振器の内部全体にわたｐより良い効果を持たせるため
、さらに数個の取り付は用の孔部１３全設けても良い。
また、箱体１の本体に取り付は用の孔部１３のスペース
が確保できない場合には、箱体１の扉板２に乾燥剤パッ
ケージ６ｂを取り付けても良い。さらに、乾燥剤パッケ
ージ６ｂｌ直接に、箱体１にネジ込むことにより固定で
きる構成としても良い。
が確保できない場合には、箱体１の扉板２に乾燥剤パッ
ケージ６ｂを取り付けても良い。さらに、乾燥剤パッケ
ージ６ｂｌ直接に、箱体１にネジ込むことにより固定で
きる構成としても良い。
以上の様に、この発明のガスレーザ発振器によれば、着
脱できる扉板金儲えた密閉された箱体を有するガスレー
ザ発振器で、前記扉板全装着したままで、外部より交換
可能な乾燥剤パッケージを、前記箱体に設けて成る構成
としたので、乾燥剤パッケージの交換を極めて容易に、
かつ簡単に行うことができると共に、交換時におけるガ
スレーザ発振器内の露点の劣化を最小限に抑え、しかも
、乾燥剤自体の寿命を著しく長く保つことができるなど
の優れた効果を奏するものである。
脱できる扉板金儲えた密閉された箱体を有するガスレー
ザ発振器で、前記扉板全装着したままで、外部より交換
可能な乾燥剤パッケージを、前記箱体に設けて成る構成
としたので、乾燥剤パッケージの交換を極めて容易に、
かつ簡単に行うことができると共に、交換時におけるガ
スレーザ発振器内の露点の劣化を最小限に抑え、しかも
、乾燥剤自体の寿命を著しく長く保つことができるなど
の優れた効果を奏するものである。
第１図（ａ）は従来のガスレーザ発振器の構成を示す断
面図、第１図（ｂ）は、第１図（ａ）の乾燥剤パッケー
ジの構成上水す斜視図、第２図（ａ）はこの光間の一実
施例であるガスレーザ発振器の一部の構成を示す斜視図
、第２図（１））は、第２図（ａ）の乾燥剤パッケージ
の構成を示す斜視図である。 図において、Ｉ・・・箱体、２−・・扉板、３・・・一
対の高圧放ｆ［電極、４・・・熱交換器、５・・・ブロ
ア（送風機）、５ａ、６ｂ・・・乾燥剤パッケージ、７
・・・乾燥剤、８・・・金網、９・・・蓋体、１０・・
・容器、１１・・・フランジ、１２・・・取っ手、１３
・・・孔部である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第 １ 図 （Ｇ） 第２図 （Ｇ）
面図、第１図（ｂ）は、第１図（ａ）の乾燥剤パッケー
ジの構成上水す斜視図、第２図（ａ）はこの光間の一実
施例であるガスレーザ発振器の一部の構成を示す斜視図
、第２図（１））は、第２図（ａ）の乾燥剤パッケージ
の構成を示す斜視図である。 図において、Ｉ・・・箱体、２−・・扉板、３・・・一
対の高圧放ｆ［電極、４・・・熱交換器、５・・・ブロ
ア（送風機）、５ａ、６ｂ・・・乾燥剤パッケージ、７
・・・乾燥剤、８・・・金網、９・・・蓋体、１０・・
・容器、１１・・・フランジ、１２・・・取っ手、１３
・・・孔部である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第 １ 図 （Ｇ） 第２図 （Ｇ）
Claims (1)
- 着脱できる扉板を備えた密閉された箱体内に、所定圧力
のレーザ媒質ガスを封入した状態で運転するガスレーザ
発振器において、前記扉板全装着したままで、外部より
交換可能な乾燥剤パッケージを、前記箱体に設けて成る
ことを特徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11139383A JPS603169A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11139383A JPS603169A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS603169A true JPS603169A (ja) | 1985-01-09 |
Family
ID=14560017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11139383A Pending JPS603169A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS603169A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0766474A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-10 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザ装置 |
| US5841804A (en) * | 1991-03-14 | 1998-11-24 | Jgc Corporation | Method and apparatus for regenerating gas used in carbon dioxide laser generator |
-
1983
- 1983-06-21 JP JP11139383A patent/JPS603169A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5841804A (en) * | 1991-03-14 | 1998-11-24 | Jgc Corporation | Method and apparatus for regenerating gas used in carbon dioxide laser generator |
| JPH0766474A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-10 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザ装置 |
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