JPS6032308B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6032308B2 JPS6032308B2 JP9041278A JP9041278A JPS6032308B2 JP S6032308 B2 JPS6032308 B2 JP S6032308B2 JP 9041278 A JP9041278 A JP 9041278A JP 9041278 A JP9041278 A JP 9041278A JP S6032308 B2 JPS6032308 B2 JP S6032308B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- analysis tube
- mass spectrometer
- ion
- analysis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、質量分析計装置に係り、特に高分解熊質量分
析計に使用するに好適な分析管に関する。
析計に使用するに好適な分析管に関する。
質量分析装置においては、従来イオンビームの縦方向（
磁場のＮＳ方向）の収束性は持たないイオン光学系が多
用されてきた。
磁場のＮＳ方向）の収束性は持たないイオン光学系が多
用されてきた。
しかるに近年高分解能を有し、しかも感度（イオン源か
らイオンコレクタへの透過率）の高い装置が求められ、
この対策として前記縦方向にも収束性を有するイオン光
学系（以下立体収束形と呼称）が提案されている。この
ような装置においてはイオン源、軍場電極、磁場、イオ
ンコレクタなどのそれぞれの縦方向中心が正しく同一平
面内に設置されることにより所期の性能を発揮できるも
のであるが、実際には各部品の加工時、組立時の誤差な
どにより、実現が困難である。したがって必要な各部分
（たとえばイオン源、磁場位置、コレクタスリツトなど
）を調整することにより最適点を見出し設定する手段が
とられている。第１図は、このような従来の質量分析装
置の要部平面図で、Ｓハウジングー、雷場２、分析管４
、Ｃハウジング５は一体的岡山体的に組立てられて装置
架台（図示せず）に固定される。
らイオンコレクタへの透過率）の高い装置が求められ、
この対策として前記縦方向にも収束性を有するイオン光
学系（以下立体収束形と呼称）が提案されている。この
ような装置においてはイオン源、軍場電極、磁場、イオ
ンコレクタなどのそれぞれの縦方向中心が正しく同一平
面内に設置されることにより所期の性能を発揮できるも
のであるが、実際には各部品の加工時、組立時の誤差な
どにより、実現が困難である。したがって必要な各部分
（たとえばイオン源、磁場位置、コレクタスリツトなど
）を調整することにより最適点を見出し設定する手段が
とられている。第１図は、このような従来の質量分析装
置の要部平面図で、Ｓハウジングー、雷場２、分析管４
、Ｃハウジング５は一体的岡山体的に組立てられて装置
架台（図示せず）に固定される。
磁場３のェアギャツプ（図示せず）とその内に装着され
る分析管４との間隙（通常１側程度）の範囲内で磁場３
を移動させることにより前記調整が行なわれるものであ
る。このとき前記磁場３の位置調整は最も重要な事項で
あるが、磁石の空隙部に挟みこまれて存在する分析管４
が固定であるため次のような欠点、不都合がある。
る分析管４との間隙（通常１側程度）の範囲内で磁場３
を移動させることにより前記調整が行なわれるものであ
る。このとき前記磁場３の位置調整は最も重要な事項で
あるが、磁石の空隙部に挟みこまれて存在する分析管４
が固定であるため次のような欠点、不都合がある。
■ 立体収束形イオン光学系においては、前記の如く各
部分の縦方向中心を同一平面内に置きたいが、特に磁石
空隙部中心と分析管中心を一致させることが難しくなり
、この結果イオンビームの分析管上下内壁への衝突、反
射、散乱などが起り、分解館や感度の低下をきたす。
部分の縦方向中心を同一平面内に置きたいが、特に磁石
空隙部中心と分析管中心を一致させることが難しくなり
、この結果イオンビームの分析管上下内壁への衝突、反
射、散乱などが起り、分解館や感度の低下をきたす。
■ 当然磁石空隙部の方が分析管外矩よりも大きいとい
う関係にあり、その差分を大きくすれば、磁石調整中を
拡げることができるが、磁石空隙部を大にすると磁場３
が弱まり、分析管外矩（当然内矩も）を小さくするとイ
オンビームの通過性が悪くなる。
う関係にあり、その差分を大きくすれば、磁石調整中を
拡げることができるが、磁石空隙部を大にすると磁場３
が弱まり、分析管外矩（当然内矩も）を小さくするとイ
オンビームの通過性が悪くなる。
本発明の目的は、磁場を貫通する分析管部の両端に可榛
接続手段を設けて磁場と分析警部とを同時一体的に移動
可能とすることにより、イオンビーム通過性の良い質量
分析装置を提供するにある。
接続手段を設けて磁場と分析警部とを同時一体的に移動
可能とすることにより、イオンビーム通過性の良い質量
分析装置を提供するにある。
本発明は、立体収束形イオン光学系の質量分析装置のイ
オンビーム通過性を悪くする原因が経路中最も狭くて長
いトンネルである分析管にあることに着目し、この解決
手段として分析警部を他の固定部分と可捺接続し、かつ
磁石と同時一体的に移動可能にするようにしたものであ
る。
オンビーム通過性を悪くする原因が経路中最も狭くて長
いトンネルである分析管にあることに着目し、この解決
手段として分析警部を他の固定部分と可捺接続し、かつ
磁石と同時一体的に移動可能にするようにしたものであ
る。
本発明の一実施例を第２図に示す。
Ｓハウジング１、雷場２、Ｃハウジング５は従釆例と同
様に装置架台（図示せず）に固定されるが、分析管４は
その両端に可榛部品６を介して前記電場２、Ｃハウジン
グ５に接続される。該分析管４は第３図に示す如く磁場
３のェアギャップに一致した太さ（外矩）を有しており
、分析管４をェアギャップ内に挿入した後は両者は一体
的になり、磁場３の移動に応じて分析管４も同量の移動
を行うことができるものである。すなわち、第４図にお
いて出射スリット７、露場電極８、磁場３、入射スリッ
ト９のそれぞれの中心点（または中心線）を同一平面内
に存在させるという理想状態に対して、製作、組立など
の工程で生ずる避けえない誤差の補正の手段として磁場
３の調整をすることが容易になる。前記調整においては
、イオンビーム１０の通過路において縦方向に最も狭い
場所である分析管４内を、イオンビームが効率良く通過
できるように、磁場３の中心面と分析管４の中心線が一
致されていることが望ましいが、本発明においてはそれ
が容易に実現されるものである。この結果本発明によれ
ば次のような効果がある。■ 磁場の中心面と分析管の
中心線が一致して磁場調整後もずれることがないので、
イオンビームの分析管上下内壁への衝突、反射、散乱な
どが少く感度（イオン通過量）、分解能が向上する。
様に装置架台（図示せず）に固定されるが、分析管４は
その両端に可榛部品６を介して前記電場２、Ｃハウジン
グ５に接続される。該分析管４は第３図に示す如く磁場
３のェアギャップに一致した太さ（外矩）を有しており
、分析管４をェアギャップ内に挿入した後は両者は一体
的になり、磁場３の移動に応じて分析管４も同量の移動
を行うことができるものである。すなわち、第４図にお
いて出射スリット７、露場電極８、磁場３、入射スリッ
ト９のそれぞれの中心点（または中心線）を同一平面内
に存在させるという理想状態に対して、製作、組立など
の工程で生ずる避けえない誤差の補正の手段として磁場
３の調整をすることが容易になる。前記調整においては
、イオンビーム１０の通過路において縦方向に最も狭い
場所である分析管４内を、イオンビームが効率良く通過
できるように、磁場３の中心面と分析管４の中心線が一
致されていることが望ましいが、本発明においてはそれ
が容易に実現されるものである。この結果本発明によれ
ば次のような効果がある。■ 磁場の中心面と分析管の
中心線が一致して磁場調整後もずれることがないので、
イオンビームの分析管上下内壁への衝突、反射、散乱な
どが少く感度（イオン通過量）、分解能が向上する。
■ 磁場のェアギャップと分析管との間隙が不要となる
ため、その分だけェアギャツブを狭くして磁場強度を強
くすること、または分析管の太さ（したがって内箱寸法
）を大きくしてイオンの通過量を増すようにすること、
またその両方に使うことができる。
ため、その分だけェアギャツブを狭くして磁場強度を強
くすること、または分析管の太さ（したがって内箱寸法
）を大きくしてイオンの通過量を増すようにすること、
またその両方に使うことができる。
磁場３のェアギャップと分析管４の厚さ関係はそのおの
おのに適切な公差をつけてハメ合い方式とするほか無公
差とし磁場３に分析管４を固定する方式としても同じ効
果が得られる。
おのに適切な公差をつけてハメ合い方式とするほか無公
差とし磁場３に分析管４を固定する方式としても同じ効
果が得られる。
第１図は従来の質量分析装置の要部平面図、第２図は本
発明の１実施例の平面図、第３図はその要部の断面図、
第４図は質量分析装置における鞄調整を説明するための
概略図である。 １……Ｓハウジング、２…・・・露場、３…・・・磁場
、４・・・・・・分析管、５…・・・Ｃハウジング、６
…・・・可榛手段。 第１図 第２図 第３図 第４図
発明の１実施例の平面図、第３図はその要部の断面図、
第４図は質量分析装置における鞄調整を説明するための
概略図である。 １……Ｓハウジング、２…・・・露場、３…・・・磁場
、４・・・・・・分析管、５…・・・Ｃハウジング、６
…・・・可榛手段。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 磁場位置を調整可能とした質量分析装置において、
磁場を貫通する分析管部の両端に可撓接続手段を設ける
ことにより、前記分析管部と磁場が一体的に移動するよ
うに構成したことを特徴とする質量分析装置。 ２ 前記分析管部の外矩と磁場のエアギヤツプとが等し
いことを特徴とする第１項記載の質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9041278A JPS6032308B2 (ja) | 1978-07-26 | 1978-07-26 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9041278A JPS6032308B2 (ja) | 1978-07-26 | 1978-07-26 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5517926A JPS5517926A (en) | 1980-02-07 |
| JPS6032308B2 true JPS6032308B2 (ja) | 1985-07-27 |
Family
ID=13997865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9041278A Expired JPS6032308B2 (ja) | 1978-07-26 | 1978-07-26 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032308B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6052728A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-26 | Matsushita Electric Works Ltd | はんだ付不良検出方法 |
| JPH0342621Y2 (ja) * | 1984-09-06 | 1991-09-06 |
-
1978
- 1978-07-26 JP JP9041278A patent/JPS6032308B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5517926A (en) | 1980-02-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4425506A (en) | Stepped gap achromatic bending magnet | |
| US4524275A (en) | Multiple collector mass spectrometers | |
| US5449914A (en) | Imaging electron energy filter | |
| EP2681755B1 (en) | Electrostatic lenses and systems including the same | |
| EP0647960A1 (en) | Energy filter with correction of a second-order chromatic aberration | |
| US5177361A (en) | Electron energy filter | |
| JP2001523378A (ja) | 飛行時間型質量分析計におけるイオン検知器の角度をつけた配列 | |
| US4745281A (en) | Ion beam fast parallel scanning having dipole magnetic lens with nonuniform field | |
| US4823003A (en) | Charged particle optical systems having therein means for correcting aberrations | |
| EP0202117B1 (en) | Double focusing mass spectrometers | |
| TWI387992B (zh) | 具有離子束／電荷粒子束的照射系統 | |
| US4638160A (en) | High clarity mass spectrometer capable of multiple simultaneous detection | |
| JPS6032308B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| US5118939A (en) | Simultaneous detection type mass spectrometer | |
| US6015973A (en) | Energy Filter | |
| US4455489A (en) | Quadrupole singlet focusing for achromatic parallel-to-parallel devices | |
| JP3397347B2 (ja) | オメガフィルタ | |
| US3671737A (en) | Method for focusing a double focusing mass spectrometer | |
| JP3264993B2 (ja) | イオン注入装置 | |
| GB2303962A (en) | Tandem mass spectrometry apparatus | |
| JPH06131999A (ja) | イオンビームのエミッタンス測定装置 | |
| US4843239A (en) | Compact double focussing mass spectrometer | |
| US3800140A (en) | Focusing plate for magnetic mass spectrometer | |
| CA1140684A (en) | Double-focussing mass spectrometers | |
| Matsuo et al. | Enhanced mass resolution without decrease of beam intensity in a four sector mass spectrometer |