JPS6032309B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6032309B2 JPS6032309B2 JP56042748A JP4274881A JPS6032309B2 JP S6032309 B2 JPS6032309 B2 JP S6032309B2 JP 56042748 A JP56042748 A JP 56042748A JP 4274881 A JP4274881 A JP 4274881A JP S6032309 B2 JPS6032309 B2 JP S6032309B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- mass spectrometer
- deflection angle
- aberration
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 32
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 20
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 2
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/30—Static spectrometers using magnetic analysers, e.g. Dempster spectrometer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は質量分析装置、特に単収束質量分析装置に関
するものである。
するものである。
単収束質量分析装置はデンプスター
（Ｄｅｍｐｓｔｅｒ）にはじまり、その後一次近似のイ
オン光学がヘルツオーク（日Ｍｚｏｇ）により完成され
、現在では広く利用されている。
オン光学がヘルツオーク（日Ｍｚｏｇ）により完成され
、現在では広く利用されている。
そして実用化されている装置の多くは６００あるいは９
０ｏの扇形一様磁場を直角入出射方式で用いるものであ
る。また一方では、イオン光学的考察により装置の性能
を上げようという試みはケルピィン（Ｋｅｒｗｉｎ）の
広角収束等いくつか試みられたが、いずれも実用化され
ていない。
０ｏの扇形一様磁場を直角入出射方式で用いるものであ
る。また一方では、イオン光学的考察により装置の性能
を上げようという試みはケルピィン（Ｋｅｒｗｉｎ）の
広角収束等いくつか試みられたが、いずれも実用化され
ていない。
これは次のような理由によると考えられる。すなわち、
これらの提案の根拠となる計算では軌道平面内のイオン
軌道のみを取扱い、端緑場（ｆｒｉｎｇｉｎｇｆｉｅｌ
ｄ）の影響を無視していることによる。
これらの提案の根拠となる計算では軌道平面内のイオン
軌道のみを取扱い、端緑場（ｆｒｉｎｇｉｎｇｆｉｅｌ
ｄ）の影響を無視していることによる。
ところが、一様磁場であっても端縁場では軌道平面から
外れると磁場の分布が異り、したがってイオン軌道がず
れることとなり、これが収差の原因となる。このため、
実際に装置を作ってみると思ったほど性能の向上が認め
られず、実用化されないのであろう。これに対し、最近
端緑場を通るイオンの軌道を３次の近似で計算する軌道
計算法が開発され、任意のイオン光学係の２次および３
次の収差を求めることができる計算法が確立され、これ
を用いて単収束質分析計のイオン光学を調べた結果、従
来のものでは収差の点で問題があることが判明した。
外れると磁場の分布が異り、したがってイオン軌道がず
れることとなり、これが収差の原因となる。このため、
実際に装置を作ってみると思ったほど性能の向上が認め
られず、実用化されないのであろう。これに対し、最近
端緑場を通るイオンの軌道を３次の近似で計算する軌道
計算法が開発され、任意のイオン光学係の２次および３
次の収差を求めることができる計算法が確立され、これ
を用いて単収束質分析計のイオン光学を調べた結果、従
来のものでは収差の点で問題があることが判明した。
したがって、種々の単収束質分析計についてその収差を
検討するとともに、この収差に関連して、非対称配置、
曲線境界、斜入出射などの各項目について検討した。
検討するとともに、この収差に関連して、非対称配置、
曲線境界、斜入出射などの各項目について検討した。
なお、収差については次式ｍで与えられ、扇形一様磁場
は第１図に示されるようなものを考えた。
は第１図に示されるようなものを考えた。
まず、扇形一様磁場について説明すると、第１図におい
て、１は磁場、２はイオン源、３はスリット、４はイオ
ン源２からのイオンビーム、５はコレクタスリツト、６
はイオンコレクタである。
て、１は磁場、２はイオン源、３はスリット、４はイオ
ン源２からのイオンビーム、５はコレクタスリツト、６
はイオンコレクタである。
また、マｍは磁場１の偏向角、ｎｎはイオンビーム４の
軌道半径、ご，，ご２ はイオンビーム４のそれぞれ入
射角、出射角、１，‘まスリット３から磁場１までの距
離、１２は磁場１からコレクタスリット５までの距離、
Ｒ，，Ｒ２は磁場１の境界面の曲率半径である。また、
イオン源２を出てコレクタ６に達するイオンの光軸から
のずれ、いわゆる収差×ｆは２次の近似で、Ｘｆ＝Ａｘ
Ｘ十ＡＱＱ十Ａｙｙ＋ＡＱＱＱ２十ＡｙｙＹ２十ＡｙＢ
Ｙ８十Ａ８８３２ ………（１’により与えられる。
軌道半径、ご，，ご２ はイオンビーム４のそれぞれ入
射角、出射角、１，‘まスリット３から磁場１までの距
離、１２は磁場１からコレクタスリット５までの距離、
Ｒ，，Ｒ２は磁場１の境界面の曲率半径である。また、
イオン源２を出てコレクタ６に達するイオンの光軸から
のずれ、いわゆる収差×ｆは２次の近似で、Ｘｆ＝Ａｘ
Ｘ十ＡＱＱ十Ａｙｙ＋ＡＱＱＱ２十ＡｙｙＹ２十ＡｙＢ
Ｙ８十Ａ８８３２ ………（１’により与えられる。
ここで、Ｘ，Ｙはイオンがスリット３に入射するときの
軌道平面内、およびそれに垂直な方向における光軸から
のずれ、Ｑ，Ｂはイオンビーム４の傾きの角度である。
軌道平面内、およびそれに垂直な方向における光軸から
のずれ、Ｑ，Ｂはイオンビーム４の傾きの角度である。
なお、単収束質量分析装置を考えているから、イオンの
エネルギーのずれ６はないものとする。ソは質量のずれ
の割合である。Ａｘは像倍率、Ａｙは質量分散係数であ
る。残りの係数は収差を与えるるので、できるだけ４・
さし、ことが望ましい。また、普通の条件ではＱ，８は
０．０１以下であり、分解能が数１０００以下の装置を
考えるときは、３次係数は１０の華度以下の大きさであ
れば問題にする必要はない。したがって、ここではｍ式
のように２次の収差係数を問題とする。そこで、まず収
差を小さくする手段として、１・と１２を非対称とする
ことが考えられる。
エネルギーのずれ６はないものとする。ソは質量のずれ
の割合である。Ａｘは像倍率、Ａｙは質量分散係数であ
る。残りの係数は収差を与えるるので、できるだけ４・
さし、ことが望ましい。また、普通の条件ではＱ，８は
０．０１以下であり、分解能が数１０００以下の装置を
考えるときは、３次係数は１０の華度以下の大きさであ
れば問題にする必要はない。したがって、ここではｍ式
のように２次の収差係数を問題とする。そこで、まず収
差を小さくする手段として、１・と１２を非対称とする
ことが考えられる。
１，と１２を非対称にすると像倍率Ａｘを任意の大きさ
にすることができることは知られている。
にすることができることは知られている。
そして、質量分析計の分解熊Ｒはイオン源のスリットの
幅をｓとすると、次式【２｝‘こより与えられる。Ａｙ
………■Ｒ＝公ｓＡｘ＋△） ここで、△は収差による像の拡がりである。
幅をｓとすると、次式【２｝‘こより与えられる。Ａｙ
………■Ｒ＝公ｓＡｘ＋△） ここで、△は収差による像の拡がりである。
■式において、△を無視すると、Ａｘを小さくするほう
が大きな分解能が得られることがわかる。ところが、異
るＡｘについてそれぞれ収差係数を計算してみると、Ａ
ｘが小さくなるとともに急速に大きくなることが認めら
れた。
が大きな分解能が得られることがわかる。ところが、異
るＡｘについてそれぞれ収差係数を計算してみると、Ａ
ｘが小さくなるとともに急速に大きくなることが認めら
れた。
いま、その一つの代表例として、◇ｍ＝９００、磁極間
隙０．０５８ｍの場合について、各収差係数の舷に対す
る変化を第２図に示した。
隙０．０５８ｍの場合について、各収差係数の舷に対す
る変化を第２図に示した。
第２図から、ＡＸ＝０．５のときは、Ａｘ＝１に〈らべ
てＡＱＱが３倍、Ａｙ８とＡ８３は約２倍大きくなって
いることがわかる。
てＡＱＱが３倍、Ａｙ８とＡ８３は約２倍大きくなって
いることがわかる。
このことから、■式の収差△が大きくなると、分解能が
かえって悪くなり、１，と１２を非対称とすることは好
ましくないと判断できる。なお、図中において収差係数
をＡｙを割った値を示したが、これは分解能を考えると
き、質量分散の大きさと収差の大きさの比が問題となる
からである。次いで、磁場の曲線境界と収差について検
討した。
かえって悪くなり、１，と１２を非対称とすることは好
ましくないと判断できる。なお、図中において収差係数
をＡｙを割った値を示したが、これは分解能を考えると
き、質量分散の大きさと収差の大きさの比が問題となる
からである。次いで、磁場の曲線境界と収差について検
討した。
扇形磁場について、両境界面に曲率半径
Ｒ．＝Ｒ２＝ｒｍＣ。
ｔ３１／２つｍ ………【３｝の曲りをつける
と、Ｑに関する２次収束が得られる。このときの条件は
、０ｍ＝９００のときはＲ・＝Ｒ２＝ｒｍであり、Ｊｍ
＝６００のときはＲ，＝Ｒ２＝０．１９公ｍである。こ
のとき、他の収差係数の計算の結果を第１表に示した。
なお、比較のため直線境界のデータも示した。第１表 第１表から、曲線境界のものはＡＱＱが０となるが、他
の収差係数は直線境界のものに〈らべていずれも大きな
値を示し、したがって、磁場の境界面に曲りをつけるこ
とも収差を小さくする上で効果的でないと言える。
と、Ｑに関する２次収束が得られる。このときの条件は
、０ｍ＝９００のときはＲ・＝Ｒ２＝ｒｍであり、Ｊｍ
＝６００のときはＲ，＝Ｒ２＝０．１９公ｍである。こ
のとき、他の収差係数の計算の結果を第１表に示した。
なお、比較のため直線境界のデータも示した。第１表 第１表から、曲線境界のものはＡＱＱが０となるが、他
の収差係数は直線境界のものに〈らべていずれも大きな
値を示し、したがって、磁場の境界面に曲りをつけるこ
とも収差を小さくする上で効果的でないと言える。
さらに、直線境界の磁場について、入出射の角度‘，，
ど２および偏向角◇ｍを変えたとき、４個の２次収差係
数と他の重要なイオン光学的パラメーターがどのように
変化するかを測定した。
ど２および偏向角◇ｍを変えたとき、４個の２次収差係
数と他の重要なイオン光学的パラメーターがどのように
変化するかを測定した。
第３図ａ，ｂ，ｃはその測定結果を示したものである。
第３図ａはぐｍ＝６００、磁極間隙０．０２５ｒｍのも
の、第３図ｂはめｍ＝９００ 、磁極間隙０．０２８ｍ
のもの、第３図ｃはぐｍ＝１３００、磁極間隙０．１３
３３ｍのものである。第３図ａ，ｂ，ｃから、従来の偏
向角めｍが６００、９０ｏのものにくらべて、偏向角◇
ｍが１３０ｏのものについて、その入出射角度ご，，ご
２ を斜入出射することによって、質量分散が大きく、
収差係数の小さいものが得られることを確認した。
第３図ａはぐｍ＝６００、磁極間隙０．０２５ｒｍのも
の、第３図ｂはめｍ＝９００ 、磁極間隙０．０２８ｍ
のもの、第３図ｃはぐｍ＝１３００、磁極間隙０．１３
３３ｍのものである。第３図ａ，ｂ，ｃから、従来の偏
向角めｍが６００、９０ｏのものにくらべて、偏向角◇
ｍが１３０ｏのものについて、その入出射角度ご，，ご
２ を斜入出射することによって、質量分散が大きく、
収差係数の小さいものが得られることを確認した。
この発明はかかる知見にもとづいてなされたもので、収
差係数が小さく、したがって分解能のすぐれた単収束質
量分析装置を提供するものである。また、この発明は小
型化が図れる単収束質量分析装置を提供するものである
。
差係数が小さく、したがって分解能のすぐれた単収束質
量分析装置を提供するものである。また、この発明は小
型化が図れる単収束質量分析装置を提供するものである
。
すなわち、この発明の要旨とするところは、扇形一様磁
場による質量分析装置において、磁場の偏向角を１１０
ｏ〜１３５ｏの範囲とし、かつ入出射角を４０ｏ〜６０
０の範囲に選定したことを特徴とする質量分析装置であ
る。
場による質量分析装置において、磁場の偏向角を１１０
ｏ〜１３５ｏの範囲とし、かつ入出射角を４０ｏ〜６０
０の範囲に選定したことを特徴とする質量分析装置であ
る。
以下、この発明を実施例に従って詳細に説明する。
実施例
この発明にかかる単収束の質量分析装置について、その
概略的な構造例は第１図のものと同じであるので、以下
第１図にもとづいて説明する。
概略的な構造例は第１図のものと同じであるので、以下
第１図にもとづいて説明する。
第１図に示した質量分析装置において、偏向角でｍ、入
射角ご，、および出射角ご２の各値を第２表に示すとお
りとした。そして、ｒｍ／Ｒ，、肌／Ｒ２、ｌ，；１２
、Ａｙ、ＡＱＱ／Ａｙ、ＡＷ／Ａｙ、Ａｙ３／Ａｙ、Ａ
８６／Ａｙ、Ａｙ、Ａ８の各値について示した。
射角ご，、および出射角ご２の各値を第２表に示すとお
りとした。そして、ｒｍ／Ｒ，、肌／Ｒ２、ｌ，；１２
、Ａｙ、ＡＱＱ／Ａｙ、ＡＷ／Ａｙ、Ａｙ３／Ａｙ、Ａ
８６／Ａｙ、Ａｙ、Ａ８の各値について示した。
第２表なお、第２表中、Ａｙ、Ａ８はｙ方向のビームの
拡がりを与える係数、ｒｍ／Ｒ，、ｒｍ／Ｒ２はイオン
ビームの軌道半径ｒｍを磁場の両境界面の曲率半径Ｒ，
，Ｒ２で除したもので、ｒｍ／Ｒ，、ｒｍ／Ｒ２が０の
値を示すものは磁場の両境界面が直線状を意味する。
拡がりを与える係数、ｒｍ／Ｒ，、ｒｍ／Ｒ２はイオン
ビームの軌道半径ｒｍを磁場の両境界面の曲率半径Ｒ，
，Ｒ２で除したもので、ｒｍ／Ｒ，、ｒｍ／Ｒ２が０の
値を示すものは磁場の両境界面が直線状を意味する。
また、磁極間隙は０．１３３ｍである。また、各収差係
数についてはすでに上記したが、Ａｙで除した値で示し
た。第２表から明らかなように、偏向角◇ｍを、１１０
ｏ〜１３５ｏとし、入射角ご，，ご２を３５０〜６００
の範囲に選択することによって、分解館のすぐれた値を
示し、収差係数も小さい値を示していることがわかる。
数についてはすでに上記したが、Ａｙで除した値で示し
た。第２表から明らかなように、偏向角◇ｍを、１１０
ｏ〜１３５ｏとし、入射角ご，，ご２を３５０〜６００
の範囲に選択することによって、分解館のすぐれた値を
示し、収差係数も小さい値を示していることがわかる。
したがって、この発明において、偏向角Ｊｍ、入出射角
ご，，ご２ の数値を限定した根拠は上記したことから
明らかである。
ご，，ご２ の数値を限定した根拠は上記したことから
明らかである。
また、第２表の下段に示したように、偏向角？ｍ、入出
射角ど，，ど２をこの発明範囲内で選定した上で、磁場
の境界面に曲率をつけることによって、すべての収差係
数がきわめて小さくなっていることが理解できる。
射角ど，，ど２をこの発明範囲内で選定した上で、磁場
の境界面に曲率をつけることによって、すべての収差係
数がきわめて小さくなっていることが理解できる。
さらに、偏向角◇ｍが６０ｏの従釆のものと、この発明
にかかる偏向角でｍ１３０ｏの斜入出射型（ご，＝ご２
＝５５ｏ）のものについて、同じ質量分散としたとき
、その大きさを比較したところ、第４図ａ，ｂに示すと
おりであった。
にかかる偏向角でｍ１３０ｏの斜入出射型（ご，＝ご２
＝５５ｏ）のものについて、同じ質量分散としたとき
、その大きさを比較したところ、第４図ａ，ｂに示すと
おりであった。
したがって、この発明によればづ・型の質量分析装置の
得られることがわかる。さらにまた、この発明によれば
磁極間隙の大きさの影響が直角入出射のものにくらべて
２次収差係数に大きく現われる。
得られることがわかる。さらにまた、この発明によれば
磁極間隙の大きさの影響が直角入出射のものにくらべて
２次収差係数に大きく現われる。
ところが幸いなことに磁極間隙の大きい方が収差係数は
小さくなる結果が得られた。このことは次のような好結
果をもたらす。というのは、この発明のものによれば、
質量分散が従来の直角入出射のものにくらべて３倍もあ
り、同じ性能を得るのに磁場半径を１／３に小さくする
ことができる。しかし磁極間隙も同じ比率で小さくした
のでは、磁極間に分析管を介在させることも難しくなり
、イオンの透過率も悪くなる。したがって、磁極間隙を
相対的に大きくしなければならないが、これが収差係数
を小さくする効果に結びつくのであり、小型化とともに
収差係数の改善を図ることができるのである。以上この
発明によれば、偏向角０ｍを大きくするとともに、入出
射角ご，，ご２を斜入出射型とすることにより、質量分
散を大きくすることができるとともに、収差係数を小さ
くすることができる。また、イオンビームの軌道半径を
小さくすることができるため小型化が図れる質分析装置
を提供することができる。
小さくなる結果が得られた。このことは次のような好結
果をもたらす。というのは、この発明のものによれば、
質量分散が従来の直角入出射のものにくらべて３倍もあ
り、同じ性能を得るのに磁場半径を１／３に小さくする
ことができる。しかし磁極間隙も同じ比率で小さくした
のでは、磁極間に分析管を介在させることも難しくなり
、イオンの透過率も悪くなる。したがって、磁極間隙を
相対的に大きくしなければならないが、これが収差係数
を小さくする効果に結びつくのであり、小型化とともに
収差係数の改善を図ることができるのである。以上この
発明によれば、偏向角０ｍを大きくするとともに、入出
射角ご，，ご２を斜入出射型とすることにより、質量分
散を大きくすることができるとともに、収差係数を小さ
くすることができる。また、イオンビームの軌道半径を
小さくすることができるため小型化が図れる質分析装置
を提供することができる。
第１図は扇形一様磁場の概略図、第２図はＡｘと各収差
係数の関係図、第３図ａ，ｂ，ｃは入出射の角度ど，，
ご２と２次収差係数、および他の重要なイオン光学的パ
ラメーターの関係図であり、第３図ａは偏向角６０ｏの
もの、第３図ｂは偏向角９０ｏのもの、第３図ｃは偏向
角１３０ｏのものである。 第４図は偏向角が６０ｏの従来のものと、この発明にか
かる偏向角１３０ｏの斜入出射型の扇形一様磁場を示し
、ａは従来のもの、ｂはこの発明のものである。１・・
…・磁場、２・・・・・・イオン源、３・・・・・・ス
リット、４……イオンビーム、５……コレクタスリツト
、６・・・・・・イオンコレクタ、マｍ・・・・・・偏
向角、肌・・・・・・軌道半径、ご．・・・・・・入射
角、ご２・…・・出射角。 篤１図 第２図 篤３図■ 拳３図（ｂ） 第３図（Ｃ） 篤ム図
係数の関係図、第３図ａ，ｂ，ｃは入出射の角度ど，，
ご２と２次収差係数、および他の重要なイオン光学的パ
ラメーターの関係図であり、第３図ａは偏向角６０ｏの
もの、第３図ｂは偏向角９０ｏのもの、第３図ｃは偏向
角１３０ｏのものである。 第４図は偏向角が６０ｏの従来のものと、この発明にか
かる偏向角１３０ｏの斜入出射型の扇形一様磁場を示し
、ａは従来のもの、ｂはこの発明のものである。１・・
…・磁場、２・・・・・・イオン源、３・・・・・・ス
リット、４……イオンビーム、５……コレクタスリツト
、６・・・・・・イオンコレクタ、マｍ・・・・・・偏
向角、肌・・・・・・軌道半径、ご．・・・・・・入射
角、ご２・…・・出射角。 篤１図 第２図 篤３図■ 拳３図（ｂ） 第３図（Ｃ） 篤ム図
Claims (1)
- １ 扇形一様磁場による質量分析装置において、磁場の
偏向角を１１０°〜１３５°の範囲とし、かつ入出射角
を４０°〜６０°の範囲に選定したことを特徴とする質
量分析装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56042748A JPS6032309B2 (ja) | 1981-03-23 | 1981-03-23 | 質量分析装置 |
| US06/360,005 US4458150A (en) | 1981-03-23 | 1982-03-19 | Mass spectrometer |
| DE19823210415 DE3210415A1 (de) | 1981-03-23 | 1982-03-22 | Massenspektrometer |
| GB8208281A GB2097180B (en) | 1981-03-23 | 1982-03-22 | Mass spectrometer |
| FR8204924A FR2502396B1 (fr) | 1981-03-23 | 1982-03-23 | Spectrographe de masse |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56042748A JPS6032309B2 (ja) | 1981-03-23 | 1981-03-23 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57157449A JPS57157449A (en) | 1982-09-29 |
| JPS6032309B2 true JPS6032309B2 (ja) | 1985-07-27 |
Family
ID=12644628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56042748A Expired JPS6032309B2 (ja) | 1981-03-23 | 1981-03-23 | 質量分析装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4458150A (ja) |
| JP (1) | JPS6032309B2 (ja) |
| DE (1) | DE3210415A1 (ja) |
| FR (1) | FR2502396B1 (ja) |
| GB (1) | GB2097180B (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017009466A (ja) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 富士電機株式会社 | 粒子複合分析装置の校正方法及び粒子複合分析装置 |
| LU92970B1 (en) * | 2016-02-08 | 2017-09-19 | Luxembourg Inst Science & Tech List | Floating magnet for a mass spectrometer |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1439064A (fr) * | 1965-02-09 | 1966-05-20 | Centre Nat Rech Scient | Perfectionnements aux analyseurs ioniques |
| US3967116A (en) * | 1975-04-15 | 1976-06-29 | Varian Mat Gmbh | Mass spectrometer |
-
1981
- 1981-03-23 JP JP56042748A patent/JPS6032309B2/ja not_active Expired
-
1982
- 1982-03-19 US US06/360,005 patent/US4458150A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-03-22 DE DE19823210415 patent/DE3210415A1/de not_active Ceased
- 1982-03-22 GB GB8208281A patent/GB2097180B/en not_active Expired
- 1982-03-23 FR FR8204924A patent/FR2502396B1/fr not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2097180B (en) | 1985-02-27 |
| DE3210415A1 (de) | 1982-09-30 |
| FR2502396B1 (fr) | 1986-01-31 |
| JPS57157449A (en) | 1982-09-29 |
| FR2502396A1 (fr) | 1982-09-24 |
| US4458150A (en) | 1984-07-03 |
| GB2097180A (en) | 1982-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Tusche et al. | Imaging properties of hemispherical electrostatic energy analyzers for high resolution momentum microscopy | |
| Nahon et al. | Determination of chiral asymmetries in the valence photoionization of camphor enantiomers by photoelectron imaging using tunable circularly polarized light | |
| US4740704A (en) | Omega-type electron energy filter | |
| JP2007266008A (ja) | 電子光学系の像収差の補正方法 | |
| JP5315033B2 (ja) | 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡 | |
| EP3084373B1 (en) | Spectrometer for generating a two dimensional spectrum | |
| JP2002510431A (ja) | レンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズの３次の開口収差を補正する装置 | |
| US6184975B1 (en) | Electrostatic device for correcting chromatic aberration in a particle-optical apparatus | |
| CN115077697B (zh) | 一种高光通量微型光纤光谱仪 | |
| EP3373059A1 (en) | Projection optical system and image projection device | |
| EP0202117B1 (en) | Double focusing mass spectrometers | |
| Shi et al. | A portable high-resolution soft x-ray and extreme ultraviolet spectrometer designed for the Shanghai EBIT and the Shanghai low energy EBITs | |
| JPS6032309B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| CA2768412C (en) | Wide angle telescope with five mirrors | |
| CN114994913B (zh) | 基于多初始点拟牛顿优化的低敏感度三反望远镜设计方法 | |
| Kobayashi et al. | Space-resolved visible spectroscopy for two-dimensional measurement of hydrogen and impurity emission spectra and of plasma flow in the edge stochastic layer of LHD | |
| JPH0354831B2 (ja) | ||
| JP3571523B2 (ja) | オメガ型エネルギーフィルタ | |
| US3944827A (en) | Virtual image type double focusing mass spectrometer | |
| US3920988A (en) | Mass spectrometer | |
| Aston et al. | LIX. Some problems of the Mass-spectrograph | |
| Schmid et al. | Correction and alignment strategies for the beam separator of the photoemission electron microscope 3 (PEEM3) | |
| JPH10241627A (ja) | エネルギーフィルタ | |
| Siday | The optical properties of axially symmetric magnetic prisms part 1: The study of rays in a plane of symmetry, and its application to the design of prism β-spectroscopes | |
| JP3153386B2 (ja) | 質量分析装置 |