JPS6033348B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS6033348B2 JPS6033348B2 JP54104432A JP10443279A JPS6033348B2 JP S6033348 B2 JPS6033348 B2 JP S6033348B2 JP 54104432 A JP54104432 A JP 54104432A JP 10443279 A JP10443279 A JP 10443279A JP S6033348 B2 JPS6033348 B2 JP S6033348B2
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- JP
- Japan
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- state imaging
- imaging device
- amorphous silicon
- image
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はファクシミリの読取走査などを行なうため、寸
法の大きい画像を画素に分解し、画像情報を電流の変化
とした画像信号を得る固体撮像装置に関する。
法の大きい画像を画素に分解し、画像情報を電流の変化
とした画像信号を得る固体撮像装置に関する。
ファクシミリの読取走査方式としては、回転円筒、回転
ミラーあるいは可動光フアィバを用いて機械的に走査す
る機械走査方式があるが、可動部があるため高速化が難
しい。
ミラーあるいは可動光フアィバを用いて機械的に走査す
る機械走査方式があるが、可動部があるため高速化が難
しい。
電気式読取装置としては、フライングスポット管、ピジ
コン撮像管のような電子管を用いたものがあるが高価で
あり、保守も面倒であるので高速のものでは多数のホト
ダィオードにより構成されるホトダィオードアレィを用
いた固体撮像装置が用いられる。しかし多数のホトダィ
オードで構成されているため高価であり、また寸法の大
きいものは製作困難である。そのため原画を１／１０〜
１／Ｉ０００に縮小して画像信号をとり出していた。本
発明は、寸法の大きい画像から小さい縮小率で画像信号
を得ることのできる固体撮像装置を得ることを目的とす
る。
コン撮像管のような電子管を用いたものがあるが高価で
あり、保守も面倒であるので高速のものでは多数のホト
ダィオードにより構成されるホトダィオードアレィを用
いた固体撮像装置が用いられる。しかし多数のホトダィ
オードで構成されているため高価であり、また寸法の大
きいものは製作困難である。そのため原画を１／１０〜
１／Ｉ０００に縮小して画像信号をとり出していた。本
発明は、寸法の大きい画像から小さい縮小率で画像信号
を得ることのできる固体撮像装置を得ることを目的とす
る。
この目的を達成するため、本発明の装置は、導電性基板
上に一様に形成されたヲＥ晶質シリコンからなる光電活
性領域と、該非晶質シリコン層上に列をなして配置され
た４・面積の透明導電腰と、該各透明導電膜をそれぞれ
取囲むように設けられた接続導体とを備え、画像よりの
光の照射により各電極と基板の間に流れる光電流を接続
導体を介して順次取出すことを特徴とする。
上に一様に形成されたヲＥ晶質シリコンからなる光電活
性領域と、該非晶質シリコン層上に列をなして配置され
た４・面積の透明導電腰と、該各透明導電膜をそれぞれ
取囲むように設けられた接続導体とを備え、画像よりの
光の照射により各電極と基板の間に流れる光電流を接続
導体を介して順次取出すことを特徴とする。
以下本発明を図を用いて実施例について説明する。
第１，２図において、１は例えばステンレス鋼から成る
基板を示し、この上にモノシラン（Ｓｉ比）をグロー放
電で分解することにより非晶質シリコン層２が形成され
ている。基板の表面の平坦度をよくすれば、長さが３０
仇帆もある基板の上に均一に約ｌｒｍの厚さの非晶質シ
リコン膜を生成することができる。非晶質シリコン層２
はｎ形であり、その上にショットキーバリア金属（例え
ば白金薄膜）３を被着して光の照射により起電力を生ず
る光電活性領域１１を形成している。ショットキーバリ
ア金属の代りにｎ形非晶質シリコン膜を設けてｐ形膜と
の間にｐｎ接合を形成し、光電活性領域１１としてもよ
い。ショットキーバリア金属３の上に第１図および第２
図に示すように小面積の例えば７００Ａの厚さの透明電
極４を一列に設ける。透明電極４は例えばＳｎ０２ある
いはｌｎ２０３から成り、マスクを用いた蒸着によるか
あるし・は一面に蒸着した後の選択エッチングにより小
面積にされる。透明電極４の寸法は解像度に応じて一辺
１０〜５００仏ｍに選ぶことができる。各透明電極４に
、蒸着でつくられた例えば銀から成る接続導体５が接続
されている。接続導体５は電極４との接続のために電極
４を取囲むように設けられる。これにより各画素の周辺
部において光が遮蔽され、画素間に光の当たらない高抵
抗領域が形成される。このように接続導体を設けること
によって、隣接する電極（画素）間の分離がより一層完
全になされ、解像度が向上する。このようにすれば一列
の長さ１０〜３００側、幅１０〜５００ｒｍのホトダィ
オードアレィを形成することができるので、この上に原
画あるいは原画を縮尺した画像を投射して画像情報を与
え各電極４をクロックパルスによりスキャンすることに
よって、１ライン分の画像信号を接続端子６を基板１か
ら日頃次取出すことができる。さらに画像情報を電極４
の幅だけ移動させることによ靴頂次１ライン毎の画像信
号を取出し、一枚の画像信号を得ることができる。なお
図示していないがホトダィオードアレーの上を反射防止
膜で被覆すれば光電変換効率を高めることができる。上
述のように本発明は、非晶質シリコンを用いた太陽電池
の製作技術を固体撮像装置の製造に応用したものであり
、原画をそのままあるいは２／１〜１／１０の縮尺にお
いて画像信号を取出すことのできる長尺の固体撮像装置
を安価に作ることを可能とする。
基板を示し、この上にモノシラン（Ｓｉ比）をグロー放
電で分解することにより非晶質シリコン層２が形成され
ている。基板の表面の平坦度をよくすれば、長さが３０
仇帆もある基板の上に均一に約ｌｒｍの厚さの非晶質シ
リコン膜を生成することができる。非晶質シリコン層２
はｎ形であり、その上にショットキーバリア金属（例え
ば白金薄膜）３を被着して光の照射により起電力を生ず
る光電活性領域１１を形成している。ショットキーバリ
ア金属の代りにｎ形非晶質シリコン膜を設けてｐ形膜と
の間にｐｎ接合を形成し、光電活性領域１１としてもよ
い。ショットキーバリア金属３の上に第１図および第２
図に示すように小面積の例えば７００Ａの厚さの透明電
極４を一列に設ける。透明電極４は例えばＳｎ０２ある
いはｌｎ２０３から成り、マスクを用いた蒸着によるか
あるし・は一面に蒸着した後の選択エッチングにより小
面積にされる。透明電極４の寸法は解像度に応じて一辺
１０〜５００仏ｍに選ぶことができる。各透明電極４に
、蒸着でつくられた例えば銀から成る接続導体５が接続
されている。接続導体５は電極４との接続のために電極
４を取囲むように設けられる。これにより各画素の周辺
部において光が遮蔽され、画素間に光の当たらない高抵
抗領域が形成される。このように接続導体を設けること
によって、隣接する電極（画素）間の分離がより一層完
全になされ、解像度が向上する。このようにすれば一列
の長さ１０〜３００側、幅１０〜５００ｒｍのホトダィ
オードアレィを形成することができるので、この上に原
画あるいは原画を縮尺した画像を投射して画像情報を与
え各電極４をクロックパルスによりスキャンすることに
よって、１ライン分の画像信号を接続端子６を基板１か
ら日頃次取出すことができる。さらに画像情報を電極４
の幅だけ移動させることによ靴頂次１ライン毎の画像信
号を取出し、一枚の画像信号を得ることができる。なお
図示していないがホトダィオードアレーの上を反射防止
膜で被覆すれば光電変換効率を高めることができる。上
述のように本発明は、非晶質シリコンを用いた太陽電池
の製作技術を固体撮像装置の製造に応用したものであり
、原画をそのままあるいは２／１〜１／１０の縮尺にお
いて画像信号を取出すことのできる長尺の固体撮像装置
を安価に作ることを可能とする。
従って、従来のホトダィオードアレィに代って高速ファ
クシミリに適用できるばかりでなく、複写機、画像認識
装置にも応用可能である。なお上述の説明では一列のダ
イオ−ドアレィについて述べたが、複数列を並列配置し
て大面積の画像情報を同時にダイオードアレイに与える
こともできる。
クシミリに適用できるばかりでなく、複写機、画像認識
装置にも応用可能である。なお上述の説明では一列のダ
イオ−ドアレィについて述べたが、複数列を並列配置し
て大面積の画像情報を同時にダイオードアレイに与える
こともできる。
第１図は本発明の一実施例の正面図、第２図は同じく平
面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・非晶質シリコン層
、３・・・・・・ショットキーバリア金属、４…・・・
透明導電膜電極、５・・・・・・接続導体、６・・・・
・・接続端子。 オ１図オ２図
面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・非晶質シリコン層
、３・・・・・・ショットキーバリア金属、４…・・・
透明導電膜電極、５・・・・・・接続導体、６・・・・
・・接続端子。 オ１図オ２図
Claims (1)
- １ 導電性基板上に一様に形成された非晶質シリコンか
らなる光電活性領域と、該非晶質シリコン層上に列をな
して配置された小面積の透明導電膜と、該各透明導電膜
をそれぞれ取囲むように設けられた接続導体とを備え、
画像よりの光の照射により前記各電極と前記基板の間に
流れる光電流を前記接続導体を介して順次取出すことを
特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54104432A JPS6033348B2 (ja) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54104432A JPS6033348B2 (ja) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5628565A JPS5628565A (en) | 1981-03-20 |
| JPS6033348B2 true JPS6033348B2 (ja) | 1985-08-02 |
Family
ID=14380504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54104432A Expired JPS6033348B2 (ja) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033348B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58125869A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-27 | Sanyo Electric Co Ltd | 感光装置 |
| JPS60113975A (ja) * | 1983-11-25 | 1985-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜光起電力素子 |
| JPH0732243B2 (ja) * | 1985-01-11 | 1995-04-10 | 株式会社リコー | 光電変換素子 |
-
1979
- 1979-08-16 JP JP54104432A patent/JPS6033348B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5628565A (en) | 1981-03-20 |
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