JPS6034261A - レンズ研磨装置における球芯設定機構 - Google Patents
レンズ研磨装置における球芯設定機構Info
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- JPS6034261A JPS6034261A JP14160583A JP14160583A JPS6034261A JP S6034261 A JPS6034261 A JP S6034261A JP 14160583 A JP14160583 A JP 14160583A JP 14160583 A JP14160583 A JP 14160583A JP S6034261 A JPS6034261 A JP S6034261A
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- Japan
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- polishing
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 20
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 90
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
- 241000220324 Pyrus Species 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001605 fetal effect Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 235000021017 pears Nutrition 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 210000004291 uterus Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
- B24B13/005—Blocking means, chucks or the like; Alignment devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、小、中径の精密球芯レンズの自動研磨装置に
関するものであるが、とくに研磨皿の球芯を自在に設定
する球芯設定機構に関するものである。
関するものであるが、とくに研磨皿の球芯を自在に設定
する球芯設定機構に関するものである。
従来から一般的に用いられているレンズ研磨方法４；ｔ
、■ｌ；Ｊｔ暦曲を一定にしたホルダーシャ７１ （
かんざし俸）を介して、 ＆Ｉｆ磨ホルダーを回動さ１
Ｊて研＋１ｊ９１１１１．１カレンズを研磨する方法と
。
、■ｌ；Ｊｔ暦曲を一定にしたホルダーシャ７１ （
かんざし俸）を介して、 ＆Ｉｆ磨ホルダーを回動さ１
Ｊて研＋１ｊ９１１１１．１カレンズを研磨する方法と
。
■ホルダーシャフトを介した研磨ホルダーＣ」固定して
おき、研磨皿の方を回動させて研磨冊−Ｌのレンズをω
ｆ暦する方法とに大別することができる。つまり、 −
ｔ＝軸の研磨ホルダーを回動させるか、Ｆ軸のｆｉｌＦ
ＩＮ ｆｉｌ＋を回動させるかの違いである。そして
、 ＋）ｔＪ ｎの方法によれば、研磨冊の磨耗度が非
常に篩（１，（るげかりか、安定した品質のレンズの研
磨加工をすることが困難となり。
おき、研磨皿の方を回動させて研磨冊−Ｌのレンズをω
ｆ暦する方法とに大別することができる。つまり、 −
ｔ＝軸の研磨ホルダーを回動させるか、Ｆ軸のｆｉｌＦ
ＩＮ ｆｉｌ＋を回動させるかの違いである。そして
、 ＋）ｔＪ ｎの方法によれば、研磨冊の磨耗度が非
常に篩（１，（るげかりか、安定した品質のレンズの研
磨加工をすることが困難となり。
しかも短時間の稼働でもって研磨皿の１１正等の調整が
必要となる不便さがあった。そこで２本願出℃１人が長
年のｆｉｌＦ究を重ねて開発したσ）が。
必要となる不便さがあった。そこで２本願出℃１人が長
年のｆｉｌＦ究を重ねて開発したσ）が。
先に出願したレンズ研磨装置（特願昭５７−７４２８９
号）であり、 ｎｉＪ記後考の方法である。この方法に
よれば、従来方法（前記■）に比べてｆｔ１Ｆ胎皿に無
理に力がかからないばかりか、長時間にわたり安定した
同品質のレンズを研磨加工することができ、しかも多少
のトラブル時の修正作梨もｆＲｉ便である。し１Ｊ）Ｌ
、一方この方法では、小径、小曲率半径から成る高精
度のレンズを高精度に研磨することができず、また研磨
加工そのもののＫ Ｍｉ化がはかれないので、これを解
決するために開発したのが本願発明である。すなわち２
本願発明は従来公知による研磨方法と本願出願人が先に
開示した装置を改良したものであって、研磨ホルダーを
固定しかつ研磨ｆｉｌｌを加圧して、研磨皿の支軸を回
転、揺動ならしめて成るレンズ研磨装置において、研磨
皿の高低位置を自在ならしめる研磨細軸の可動ボルダ−
と。
号）であり、 ｎｉＪ記後考の方法である。この方法に
よれば、従来方法（前記■）に比べてｆｔ１Ｆ胎皿に無
理に力がかからないばかりか、長時間にわたり安定した
同品質のレンズを研磨加工することができ、しかも多少
のトラブル時の修正作梨もｆＲｉ便である。し１Ｊ）Ｌ
、一方この方法では、小径、小曲率半径から成る高精
度のレンズを高精度に研磨することができず、また研磨
加工そのもののＫ Ｍｉ化がはかれないので、これを解
決するために開発したのが本願発明である。すなわち２
本願発明は従来公知による研磨方法と本願出願人が先に
開示した装置を改良したものであって、研磨ホルダーを
固定しかつ研磨ｆｉｌｌを加圧して、研磨皿の支軸を回
転、揺動ならしめて成るレンズ研磨装置において、研磨
皿の高低位置を自在ならしめる研磨細軸の可動ボルダ−
と。
研磨皿の前後左右位置を自在ならしめる固定ホルダーと
を連着せしめて、研磨皿の設定位置を自在に設定ならし
めることによって、ｆＪｆ磨■（の芯高と芯振りとを自
在に調整すると共に、レンズ研磨の高精度化、高速化を
図ることを目的としたレンズ研磨装置における設定設定
機構の提供をするものである。
を連着せしめて、研磨皿の設定位置を自在に設定ならし
めることによって、ｆＪｆ磨■（の芯高と芯振りとを自
在に調整すると共に、レンズ研磨の高精度化、高速化を
図ることを目的としたレンズ研磨装置における設定設定
機構の提供をするものである。
以下図面に従って本発明の一実施例について説明する。
第１ｖ４Ｊ本５ｒ、明のレンズ研磨装置におＩＪ６球芯
設定例（１゛ηを／ＪクシたもＪ）であり、■はその６
１ｆ Ｉ’ｉｊＩ’ｌｌ ’Ｃある。ω１胎皿１には（
＋ＩＦ Ｊ賠全面２が一体成形されているｏ３は（ｄ１
１〕皿軸２全面４ｉＶ＋シ、ｆユＦ摺動させる可動ホル
ダーであり、ｆＪＦＪＰ’皿１の高低位置を、ｓ４整さ
せる調整ネジ４が具備されている。
設定例（１゛ηを／ＪクシたもＪ）であり、■はその６
１ｆ Ｉ’ｉｊＩ’ｌｌ ’Ｃある。ω１胎皿１には（
＋ＩＦ Ｊ賠全面２が一体成形されているｏ３は（ｄ１
１〕皿軸２全面４ｉＶ＋シ、ｆユＦ摺動させる可動ホル
ダーであり、ｆＪＦＪＰ’皿１の高低位置を、ｓ４整さ
せる調整ネジ４が具備されている。
６はスピンドル軸５に螺着されている固定ホルダーであ
り、前記可動ホルダー３と連着されている０７は固定ホ
ルダー６に可動ホルダー３を連着させると同時に＋ ｇ
ｆ動ホルダー３の位１ａを調整する芯振れ調整ネジであ
る。この芯振れ調整ネジ７により、 ｏｒ動ホルダーの
着脱を自在にすると共に、研磨皿の設定位置の芯振れを
調整することができる。つまり１本図からも明らかなよ
うにｒ １ 動ホルダー３のネジ穴を固定ボルダ−６よ
りも多少大きくすることＧこよって、可動ホルダー３の
前後左右のスライド移動を自在にし、研磨細軸２を自在
にスライド調整し、所望の位１ａが設定されたならば、
芯振れ調整ネジ ５− ７を睡４“１することに仁って、研磨皿の設定位置が設
定できる。８はベアリング９を介して−（ビンドル軸５
全取付ける可動ベースであり、Ｌ字状に成形されている
。可動ヘ−ス８ハ、 −＝： −’Ａ１０の揺動軸１１
とベアリング１２を介して２前後方向に１１ｇ動される
Ｊ：うにしである。この可動ペース８の揺動によって回
転しているスピンドル軸５が同時に前後に揺動すること
になる。このようにスピンドル軸５の回転と揺動運動に
よって研磨皿１が回転しながら揺動されてレンズ（Ｌ）
が自動研磨されることになる。なお、レンズ（Ｌ）はダ
イヤルゲージ（Ｍ）付の研磨ホルダー（図示せず）によ
り、常に研磨皿の設定に対して垂直方向（矢印方向）に
加圧されているので、レンズ（Ｌ）の設定と研磨皿の設
定とが常時一定位であるので良好な研磨を行なうことが
できる。
り、前記可動ホルダー３と連着されている０７は固定ホ
ルダー６に可動ホルダー３を連着させると同時に＋ ｇ
ｆ動ホルダー３の位１ａを調整する芯振れ調整ネジであ
る。この芯振れ調整ネジ７により、 ｏｒ動ホルダーの
着脱を自在にすると共に、研磨皿の設定位置の芯振れを
調整することができる。つまり１本図からも明らかなよ
うにｒ １ 動ホルダー３のネジ穴を固定ボルダ−６よ
りも多少大きくすることＧこよって、可動ホルダー３の
前後左右のスライド移動を自在にし、研磨細軸２を自在
にスライド調整し、所望の位１ａが設定されたならば、
芯振れ調整ネジ ５− ７を睡４“１することに仁って、研磨皿の設定位置が設
定できる。８はベアリング９を介して−（ビンドル軸５
全取付ける可動ベースであり、Ｌ字状に成形されている
。可動ヘ−ス８ハ、 −＝： −’Ａ１０の揺動軸１１
とベアリング１２を介して２前後方向に１１ｇ動される
Ｊ：うにしである。この可動ペース８の揺動によって回
転しているスピンドル軸５が同時に前後に揺動すること
になる。このようにスピンドル軸５の回転と揺動運動に
よって研磨皿１が回転しながら揺動されてレンズ（Ｌ）
が自動研磨されることになる。なお、レンズ（Ｌ）はダ
イヤルゲージ（Ｍ）付の研磨ホルダー（図示せず）によ
り、常に研磨皿の設定に対して垂直方向（矢印方向）に
加圧されているので、レンズ（Ｌ）の設定と研磨皿の設
定とが常時一定位であるので良好な研磨を行なうことが
できる。
次に１本発明の作用操作について説明する。
まず、研磨細軸２を嵌挿した可動ホルダー３を垂直状態
にして固定ホルダー６に固定する。次Ｏこ、ダイヤルゲ
ージ（特願昭５７−２００２３４号参照） ６− により研磨前１の頭部の位置を測定し、揺動中心線から
の距離を算出し２頭部の測定値と皿部の曲率半径が等（
、くなるように芯高調整ネジ４゜４を作動しながら、研
磨前１を上Ｆに摺動し。
にして固定ホルダー６に固定する。次Ｏこ、ダイヤルゲ
ージ（特願昭５７−２００２３４号参照） ６− により研磨前１の頭部の位置を測定し、揺動中心線から
の距離を算出し２頭部の測定値と皿部の曲率半径が等（
、くなるように芯高調整ネジ４゜４を作動しながら、研
磨前１を上Ｆに摺動し。
一致した点（等しくなった点）をみい出して芯高調整ネ
ジ４，４を締めつけることによって。
ジ４，４を締めつけることによって。
研磨全軸を可動ホルダー３に固定する。次に。
ダイヤルゲージはそのままの状態にして可動ベース３を
前又は後方向に３０°程度傾け、ダイヤルゲージ測定針
を研磨前１のぶち近くに当てスピンドル軸５を指で軽く
廻わして研磨前１を回転させて、研磨前の回転中心とス
ピンドル軸の中心とが一致しているかどうかを確認する
。一致していない場合は、可動ホルダー３を前後左右の
方向にスライドさせながら芯振れ調整ネジ７．７にて作
動調整し、−散点をみい出したならば固定する１１この
ようにして研磨前１の芯高と芯振れ調整をすることによ
って１球芯位置が自在かつ正確に設定できる。
前又は後方向に３０°程度傾け、ダイヤルゲージ測定針
を研磨前１のぶち近くに当てスピンドル軸５を指で軽く
廻わして研磨前１を回転させて、研磨前の回転中心とス
ピンドル軸の中心とが一致しているかどうかを確認する
。一致していない場合は、可動ホルダー３を前後左右の
方向にスライドさせながら芯振れ調整ネジ７．７にて作
動調整し、−散点をみい出したならば固定する１１この
ようにして研磨前１の芯高と芯振れ調整をすることによ
って１球芯位置が自在かつ正確に設定できる。
第２図は２本発明の研磨前と可動ホルダーの他の実施例
を示したものである。げ）は第１図に示した凸状の研磨
前１を、呻）と（ハ）は凹状の研磨ｔｉｌｌ １をそれ
ぞれ表わしたものである。（イ）は研磨前１を凸状にす
ることによって、レンズを研磨前に上からかぶせる状態
で研磨することができる。（ロ）と（ハ）は、研磨前１
を凹状に型どりすることによって、いかなるレンズでも
研磨することが可能となる。なお、可動ホルダー３は、
研磨全軸２の長短によって長さを自在にすることができ
、また芯高調整ネジ４の穴も２個ないしは１個にするこ
ともできる。このように研磨前１の形状、大きさ等を自
在にし、史にｆＩｆ動ホルダー３との挿脱を自在にする
ことによって、多種類、多目的のレンズ研磨分簡単でか
つ手軽に行うことができる。
を示したものである。げ）は第１図に示した凸状の研磨
前１を、呻）と（ハ）は凹状の研磨ｔｉｌｌ １をそれ
ぞれ表わしたものである。（イ）は研磨前１を凸状にす
ることによって、レンズを研磨前に上からかぶせる状態
で研磨することができる。（ロ）と（ハ）は、研磨前１
を凹状に型どりすることによって、いかなるレンズでも
研磨することが可能となる。なお、可動ホルダー３は、
研磨全軸２の長短によって長さを自在にすることができ
、また芯高調整ネジ４の穴も２個ないしは１個にするこ
ともできる。このように研磨前１の形状、大きさ等を自
在にし、史にｆＩｆ動ホルダー３との挿脱を自在にする
ことによって、多種類、多目的のレンズ研磨分簡単でか
つ手軽に行うことができる。
第３図は２本発明機構と従来機構とを対比して表わした
ものであり、（イ）が従来、６ｇ）が本発明である。本
図から明らかなとおり、従来機構の特徴は、研磨ｆｌＩ
Ｉ（〜とスピンドル（Ｂ）とが一体成形されており、１
１８Ｔ動ベースを上Ｆに移動させて研磨前（Ａ）の位置
決めをしている。これに対して本発明機構は、ｈ１１磨
皿（Ａ）とスピンドル（Ｂ） トを切り離し９両者を自
在に連着させ、可動ベース（本発明は５字状にしである
）はそのままにして研磨前（Ａ）のみを十ド移動させて
研磨前（Ａ）の位置決めをしている。この結果、従来方
法では微調整の研磨前の位置決めができず、研磨が粗悪
になるばかりか、研磨前（Ａ）が固定されてしまうので
高精度の研磨が不可能、困難となる。これに対し本発明
は前述のとおりいかなる微調整も可能となり、いかなる
レンズでも研磨装置１台あれば自在に研磨４−ることが
できる。
ものであり、（イ）が従来、６ｇ）が本発明である。本
図から明らかなとおり、従来機構の特徴は、研磨ｆｌＩ
Ｉ（〜とスピンドル（Ｂ）とが一体成形されており、１
１８Ｔ動ベースを上Ｆに移動させて研磨前（Ａ）の位置
決めをしている。これに対して本発明機構は、ｈ１１磨
皿（Ａ）とスピンドル（Ｂ） トを切り離し９両者を自
在に連着させ、可動ベース（本発明は５字状にしである
）はそのままにして研磨前（Ａ）のみを十ド移動させて
研磨前（Ａ）の位置決めをしている。この結果、従来方
法では微調整の研磨前の位置決めができず、研磨が粗悪
になるばかりか、研磨前（Ａ）が固定されてしまうので
高精度の研磨が不可能、困難となる。これに対し本発明
は前述のとおりいかなる微調整も可能となり、いかなる
レンズでも研磨装置１台あれば自在に研磨４−ることが
できる。
本発明は以上のように構成しであるので、従来不可能、
困難とされていた高精度、高速度のレンズ研磨を＋４（
能とし、しかも研磨前を自在に取り替えることによって
、多種、多目的に応用できる。更に構造そのものが簡単
で、しかも操作がいたって簡便であるから、性能面は勿
論のこと操作面、取扱面、経済面、実用面等あらゆる面
からも優れたレンズ研磨装置における設定 ９− 設定機構と云える。
困難とされていた高精度、高速度のレンズ研磨を＋４（
能とし、しかも研磨前を自在に取り替えることによって
、多種、多目的に応用できる。更に構造そのものが簡単
で、しかも操作がいたって簡便であるから、性能面は勿
論のこと操作面、取扱面、経済面、実用面等あらゆる面
からも優れたレンズ研磨装置における設定 ９− 設定機構と云える。
第１図は本発明のレンズ研磨装置における設定設定機構
を示した全体のｉ要説明図、第２図は本発明機構の要部
の他の実施例を示した拡大説明図、第３図は本発明機構
の従来機構との特徴を対比させた説明図である。 １・・・・・・研磨前 ２・・・・・・研磨匣軸 ３・
・・・・・可動ホルダー４・・・・・・芯高調整ネジ
５・・・・・・スピンドル軸６・・・・・・固定ホルダ
ー ７・・・・・・芯振れ調整ネジ８・・・・・・可動
ベース ９，１２・・・・・・ベアリング１０・・・・
・・ペース １１・・・・・・揺動軸特許出願人 株式
会社 春 近 精 密代理人弁理士唐木浄治 １０− 第３図 ぐ−ｆ）
を示した全体のｉ要説明図、第２図は本発明機構の要部
の他の実施例を示した拡大説明図、第３図は本発明機構
の従来機構との特徴を対比させた説明図である。 １・・・・・・研磨前 ２・・・・・・研磨匣軸 ３・
・・・・・可動ホルダー４・・・・・・芯高調整ネジ
５・・・・・・スピンドル軸６・・・・・・固定ホルダ
ー ７・・・・・・芯振れ調整ネジ８・・・・・・可動
ベース ９，１２・・・・・・ベアリング１０・・・・
・・ペース １１・・・・・・揺動軸特許出願人 株式
会社 春 近 精 密代理人弁理士唐木浄治 １０− 第３図 ぐ−ｆ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、研磨ホルダーを固定しかつ研磨皿を加圧して研磨皿
の支軸を回転、揺動ならしめて成るレンズ研磨装置にお
いて、研磨皿の高低位置を自在ならしめる研磨皿軸の可
動ホルダーと、研磨皿の前後左右位置を自在ならしめる
固定ホルダーとを連着せしめて、研磨皿の球芯位置を自
在に設定ならしめることを特徴とするレンズ研磨装置に
おける球芯設定機構０ ２、研磨皿の球芯に対して、常に垂直方向に加圧ならし
める研磨ホルダーとした特許請求の範囲第１項記載のレ
ンズ研磨装置における球芯設定機構。 ３、研磨皿軸を上下に摺動させて球芯の移動調整を自在
ならしめる芯高調整ネジを具備せしめた可動ホルダーと
、該可動ホルダーを前後左右に移動させて１球芯の移動
調整を自在なさしめる芯振れ調整ネジを只ｎ１ｎせしめ
た固定ホルダーとから成る特許請求の範囲第１項記載の
レンズ研磨装置における球芯設定機構１゜ ４、大きさ２寸法、形状等を適宜に成形加工した研磨皿
を具備し２使用時に所望の研磨皿を可動ホルダーに自在
に嵌挿し、更に固定ホルダーに着脱自在ならしめる特許
請求の範囲第１項記載のレンズ研磨装置における球芯設
定機構。 ５、固定ホルダーを螺着せしめたスピンドル軸をＬ字状
の可動ベースにベアリングを介して取付け、かつ揺動軸
の揺動中心線とスピンドル軸の回転中心線とが直角に交
イっる位置に配設することを条件とした特許請求範囲第
１項記載のレンズ研磨装置における球芯設定機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14160583A JPS6034261A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | レンズ研磨装置における球芯設定機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14160583A JPS6034261A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | レンズ研磨装置における球芯設定機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6034261A true JPS6034261A (ja) | 1985-02-21 |
| JPS632741B2 JPS632741B2 (ja) | 1988-01-20 |
Family
ID=15295897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14160583A Granted JPS6034261A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | レンズ研磨装置における球芯設定機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6034261A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347848U (ja) * | 1986-09-11 | 1988-03-31 | ||
| JPS6374263U (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-18 | ||
| WO2003059573A1 (fr) * | 2002-01-15 | 2003-07-24 | Seiko Epson Corporation | Procede et dispositif de polissage |
| WO2004071707A1 (ja) * | 2003-02-14 | 2004-08-26 | Seiko Epson Corporation | 研磨方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5020235B2 (ja) | 2005-06-03 | 2012-09-05 | サルフレックス ポリマーズ リミテッド | 能動式クッション |
| US8579325B2 (en) | 2010-11-09 | 2013-11-12 | Salflex Polymers Ltd. | Active bolster |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4313439Y1 (ja) * | 1964-10-21 | 1968-06-07 |
-
1983
- 1983-08-01 JP JP14160583A patent/JPS6034261A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4313439Y1 (ja) * | 1964-10-21 | 1968-06-07 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347848U (ja) * | 1986-09-11 | 1988-03-31 | ||
| JPS6374263U (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-18 | ||
| WO2003059573A1 (fr) * | 2002-01-15 | 2003-07-24 | Seiko Epson Corporation | Procede et dispositif de polissage |
| US6945849B2 (en) | 2002-01-15 | 2005-09-20 | Seiko Epson Corporation | Polishing method and polishing device |
| KR100581708B1 (ko) * | 2002-01-15 | 2006-05-22 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 연마 방법 및 연마 장치 |
| EP1473115A4 (en) * | 2002-01-15 | 2007-05-02 | Seiko Epson Corp | POLISHING METHOD AND POLISHING DEVICE |
| WO2004071707A1 (ja) * | 2003-02-14 | 2004-08-26 | Seiko Epson Corporation | 研磨方法 |
| US7448942B2 (en) | 2003-02-14 | 2008-11-11 | Seiko Epson Corporation | Grinding method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS632741B2 (ja) | 1988-01-20 |
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