JPS6034582A - 流体作動のサーボ弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は流体作動のサーボ弁と、流体作動のサーボと流
体作動のサーボ弁用のエラストマーダイヤフラムとに係
るものである。

最も関連のある分野は飲料自動販売機、特に、の如き数
種の香味入り飲料７有している。一般には各飲料毎に押
しボタンがある。各香味入り飲料はシロップの流れを制
御する個別の弁またはポンプを有している。一般には炭
酸水用に１つの弁を設けた１つの導管がある。この１つ
の水弁は典型的には電気的ルノイド弁であり連動機構を
介して選択スイッチに接続されている。電気的ルノイド
弁は電気と連動回路と乞必要とするので、筒価でありま
た故障しやすく、かさはりまた重い。

これらソレノイド弁はしばしば騒音を立て断続的にかち
かち音を立てしばしば飲料の味を洛しＩこりまたは泡立
てる原因となるかもしくはその両方の原因となる。水弁
はオア論理乞必要とし、ｉｆ？に飲料１か２かろか等々
を選択する時弁を開く必賢かある。現在のところ、水用
の流体作動のサーボ弁は誰も開発しなかったので、今日
の弁と。面理とは電気的か電気機械的である。

本発明の１つの目的は、流体用の流体作動の弁乞提供す
ることである。

本発明の他の１つの目的は、数棟の飲料のいづれか１種
を受け入れる流体作動のサーボ弁を提供することである
。

本発明の他の１つの目的は、個別の装置乞作動させる新
規で改良された多入力流動作動のサーボを提供すること
である。

本発明の他の１つの目的は、流動作動の弁用のエラスト
マーダイヤフラム乞提供することである。

本発明のこれらの目的とその他の目的とは以下に説明す
ることにより明かになることと思う。

本発明の原理によれば、流体作動の弁は人口。

出口、弁座、弁および弁作動子乞有し、流体サーボは弁
Ｚ作動させる操作子と、作動子乞推進させる第１のバリ
ヤと、第１のバリヤ馨作動させる第２のハＩＪヤと、第
２のバリヤのそれぞれの側に設けた個別の流体推進体至
とを有している。

流体作動のサーボは操作子ン設けた基部と、操作子を推
進させる第１のダイヤフラムと、第１のダイヤフラムを
推進させる第２のダイヤフラムと、ダイヤフラム間の第
１の室と、第２のダイヤフラムを越えた第２の里と各ダ
イヤフラム用の個別の推進体口孔とを有している。

エラストマーの流体サーボダイヤフラムは出カバンマー
および人力アンヴイル、ピストンの周囲にそれから間隔
乞あけた懸垂リングとピストンとリングとを接続するね
じれ膜と７有している。

本発明の原理は流体作動のサーボ弁に具体比すると特に
有用で、好ましい具体例が第１図に総体的に符号１０で
示しである。サーボ弁１０は総体的に符号１１で示した
弁と弁１１を作動させる総体的に符号１２で示した流体
作動のサーボと７有している。

弁１１は人口ダクト１６と出口ダクト１７とを設けた弁
体１５を有している。ダクト１６．１７間には通常では
弁エレメント１９により閉じである弁座１８が設けであ
る。弁エレメント１９は弁作動子２０により作動される
よう接続され、弁作動子２０は弁エレメント１９と一体
に成形するのが好ましいエラストマーのシールリング２
１に枢着懸垂されている。人口ダクト１６．出口ダクト
１７゜弁エレメント１９および弁座１８はすべて共通の
弁軸線２２上にある。ばね２５が弁作動子２ｏと弁体１
５から外方に延びている軸受台２６との間に圧縮して配
置されている。ばね２５は弁座１８乞閉じるよう弁エレ
メント１９乞偏倚されている。

任意の電気スイッチ２７を軸受台２乙に装着できスイッ
チ作動子２８が弁作動子２０に係合しそれにより駆動さ
れる。

流体作動のサーボ１２は構造的基部ろ５を有し、この基
部は弁体１５の一体の部品であり弁作動子２０を操作す
るプランジャ６６を収容している。

プランジャろ６はプランジャばねろ７により負荷され通
常では基ｓ５５内にへこまされている。第１図に示した
如（基部′５５の背後には第１の室セグメント３Ｂ、外
方すなわち第２のセグメント口９および室端キャップ４
０が設けてあり、セグメント３８．５９およびキャップ
４０はねじ４１により基部６５に締め付けである。

サーボ１２内には１つまたはそれ以上の数のダイヤフラ
ム５０が設けてあり、第１図にはそのようなダイヤフラ
ムが２個示してあり、第２図には６個示しである。ダイ
ヤフラム２０は第５図と第６図とに拡大して詳細に示し
てあり中実の中心ピストン５１、周辺の懸垂リング５４
およびピストン５１をリング５４に接続する無孔のねじ
れ膜５５を有している。リング５４はピストン５１のま
わりにそれと同心にした円形であるのが好ましくアンヴ
イル１則に第１のビード５６とハンマー１則に第２のビ
ード５７とを有している。ビード５６　、５７は共に同
じでリング５４のそれぞれの側とビード５６．５７およ
び截頭円錐形であるねじれ膜５５間にあるリング−膜基
部ウェブ５８のそれぞれの側とに対称的である。膜５５
と）・ンマー５２との間は鋭角５９にしである。ノ・ン
マーｂ２はｊ換５５に接続する部分の方を大きい寸法に
して截頭円錐であるのが好ましい。ハンマー５２と膜５
５との接合部には膜５５の厚味より犬な厚味の内側半径
６１にしである。たとえば、膜は０．５ｍｍ（０，０２
１１インチ）の厚味で内側半径は０．７５ｍｍ（０，０
５インチ）で良い。

膜５５とアンヴイル５３との交差個所では一般に膜５５
の厚味と同じかそれより小さい外側半径６２にしである
。たとえば、前記した寸法の膜に対して、外側半径６２
は０．４ｍｍ（０，０１６インチ）で良い。

膜５５は截頭円錐形であることが好ましくその突出した
頂点６０はアンヴイル５５の外面６５とほぼ同じ平面に
ある。アンヴイル５５はハンマー５２より直径が大きく
、内側半径６１と外側半径６２とは共に膜５５０両側の
同じ個所で膜５５に対し接線馨なしている。更に詳細（
ＩＣ，いえば、半径６１゜６２０軌跡間に引いた豚は膜
５５に対しほぼ垂直である。懸垂リング基部ウェブ５８
は平たく、平たいハンマー面６４とほぼ同じ平面にある
。膜５５は双安定性で、第５図には成形され待（幾して
いる通常の状態で示してあり第６図には変形して出力状
態で示しである。ハンマー面６４とアングイル囲６５と
は互いに平行でダイヤフラム５０が通常の形状から膨張
した状態にまた通常の状態に戻り変化しても互いに平行
のままである。ピストン５１０ストロークはピストンの
厚味と室セグメント５８の厚味とに等しい。ピストン５
１が＋を張状態にあると、アンヴイル面６ろは懸垂リン
グとウェブ５８とほぼ同じ平面になる。

サーボ１２において、ダイヤフラム５０はセグメント５
８．５９により圧縮状態に保持される。各セグメントろ
８は前向きのダイヤフラム受け４４と後ろ向きダイヤフ
ラム受け４５と乞有して（・ろ。

外側セグメント３９は後ろ向きダイヤフラム受け４５の
みを有している。各セグメン）５８．５９は環４ろを貫
通した人口々孔４７を設けたへロ４６乞有している。各
セグメント６Ｂ、６９は符号４８で示した如（食い違い
如なっている。ダイヤフラム５０は円形でサーボ１２の
軸緋ヲ中心とするあたかも（Ｊ　ＩＪングであるがいづ
れの方向にも回わせるよう半径方向に屈折されない。セ
グメント５８゜ろ９にはそれぞれ第４図に詳細に示した
如（軸線４２暑中心としてファスナ４１が規則正しく配
置され、第４図には四角形のファスナ４１か４個示しで
ある。ファスナの数は５個、５個、６個またはそれ以上
でも良い。ファスナの数に関係な（、人口４６は非対称
的で軸緋４２から測定して隣接するファスナ４１間の半
径方向角度の２等分線から符号４８で示した如く片冨っ
ている。第４図に示した端部のセグメントろ９は４つの
異なる個所のいづれの１つにも配置でき、この端部セグ
メントの配置個所の数はファスナ４１の数に等しい。

各内方のセグメント５８は通に回わすことができ、従っ
て、端部セグメント６９の配置個所の数の２倍数の配置
個所に配置できる。１つ置きの内方のセグメントろ８？
：動かすことにより、人口４６を容易に第４図に示した
食い違いの配置にできる。

内方のセグメント６Ｂはすべて同じでダイヤフラム受け
４４．４５とダイヤフラムビード５６．５７とが対称的
であるので動かせる。サーボ基部の背後には前向きのダ
イヤフラム受け４４が設けである。

サーボ１２７組み立てろと、ダイヤフラム５０はすべて
同じ方向に向く。特に、ノ・ンマー５２はプランジャろ
６に向きアンヴイル５５はキャップ４０に向（。プラン
ジャ３６とばね５７と（ま基部ろ５に位置決めし、第１
のダイヤフラム５０＆ま基部３５に位置決めし、内側の
セグメ：／）３８に１第１のダイヤプラム５０に位置決
めし、第２０．）夕゛イヤフラム５２はセグメントろ８
に位置決めし仄σ）セグメント３８または５９は次のへ
ロ４６乞第１の人口４４と食い違いにして第２の夕゛イ
ヤフラム５０に位置決めする等して各予定の人口しＵ　
差Ｊ　シ１つのダイヤフラムを位置決めするまでこび）
手１１Ｋを繰り返す。最後のセグメントろ９は内側σ〕
上セグメントＢと同様であるが、外側グ）セグメントろ
８に設ける前向きのダイヤフラム受けをまキャップ゛４
０がセグメント６９に密封衝合できろようＭｙ、り除℃
・である。各セグメント５８　、３９はピストン５１と
正確に同じ厚味を有し、従って、セグメント５Ｂ。

ろ９とダイヤフラム５０とは互（・に輿０高状にＭＡ２
合わせできる。各隣接した対０ダイヤフラム５０間には
最も外側のダイヤフラム５０’ｒ越え（同号１１σ）流
体推進体室７０が設けである。（・（・代え」ｔ（王、
各ダイヤフラム５０用に１つの個別のヒコイ本］市進１
本室７０が設けである。もしサーボ１２が第４図に示し
た如く４つのファスナ４１ン有していれば、セグメン）
３８．５９の重ね合わせ体はサーボ１２の寸法７小さく
しまた人口４６に流体導管（図示せず）乞容易にしかも
確実に接続できるよう人口４６７食い違いにして４つの
半径方向位置のいづれか１つに回わすことができる。

プランジャろ６に最も近いダイヤフラム５０はそれに向
いて直接衝合している。もしこの最も近いダイヤフラム
５０のすぐ外側の推進体室７０が加圧されると、ピスト
ン５１は右方に運動してハンマー５２はプランジャ５６
４Ｃ係合してそれを外方に押す。プランジャろ６が押し
出されると、このプランジャは弁作動子２Ｄに係合して
それ？動かし流体弁１１を開きまた任意のスイッチ２７
のモードを変える。

圧力が減少すると、作動子ばね２５は作動子２０乞押し
戻しそれによりプランジャ６６を押し戻す。

作動子ばね２５は弁１５を閉じ次いでプランジャばね６
７がプランジャ５６ン押しすべてのピストン５１が互い
に重なり合いダイヤフラム５０とプランジャろ６とが原
位置に戻るまでピストン５１を膨張させる。作動子ばね
２５はプランジャばねろ７の約６倍の強さを有し、たと
えば、作動子ばね２５は１゜５ポンドの力を有し、プラ
ンジャはねろ７は０５ボンドの力乞有している。作動子
ばね２５はダイヤフラム５０乞双女定の膨張位置から通
常位置にばちりと動かずため使用され次いでプランジャ
ばねろ７がプランジャ５６ケ元位１ｅに戻す。２つのば
ねの力がこのように異なると重ね合わせたピストンに低
い静負荷がかかり、低（・圧力でサーボ弁１０を作動さ
せ力の多くを弁１８を着座すぜダイヤフラムぞオーツく
センターにばちつと動かすため使用できるので有利であ
ると判った。

第１図に示しであるように、プランジャろ６は通常では
作動子２０と作動子ばね２５とから離れている。

第２図には第２のダイヤフラム５０の外１ｕｌｌの推進
体冨７０が加圧された状態における弁Ｊ）状１軒か示し
である。第２のダイヤフラム５０が第１σ）ダイヤフラ
ム５０に向は運動し、第２のダイヤフラムハンマー５２
が第１のダイヤフラムハンマール５６に係合しそれを推
進させ第１および第２のピストン５１が共にプランジャ
ろ６に向は運動し第１のハンマー５２が前記した如くプ
ランジャろ６に係合してそれを押し出す。すべてのピス
トン５１゜プランジャ３６および弁作動ばね２５と？作
用させ弁の軸線に平行であるのが好ましいサーボ軸線４
２上にありそれに沿い可動である。第２図に示したグロ
（、第１．第２．第６．第４．第５．第６等々のダイヤ
フラム５０がある。もし第３の室７０が加圧されると、
第６のピストンが第２および第１のピストン５１乞押す
等々を行う。どの室７０が加圧されるかに関係なく、１
つまたはそれ以上の数のピストン５１が運動せしめられ
プランジャ５６が押し出されて流体弁１１を開く。圧力
を解放すると、作動子ばね２５とプランジャばねろ７と
がプランジャ５６を押し戻しすべてのピストン５１を第
６図の膨張状態から第１図と第５図とに示した通常の状
態に押す。ダイヤフラムはエラストマー乞第５図に示し
た通常の形状に成形されろ。

サーボ１２において共に紀２図で示したダイヤフラムが
通常状態か膨張状態かいづれかにすると、双安定性であ
る。截頭円錐形の膜５５は固定に保持されたリング５４
乞介してオーツ（センターに（ｉちっと動く必要がある
のでダイヤフラム５０を双安定にする。この双安定状態
ではサーボ１２７’Ｊ・（＝１勢する時ばたばたしたり
かたがたしたりすることはなくサーボ１２はプランジャ
ろ６か押し出たり元に戻る時に共にばちつと作動する。

ダイヤフラム５０が通常状態にあると、膜５５は後向き
σ）受け４ろにより支えられ、ダイヤフラム５０が変形
して膨張した状態にあると、膜５５は前向きび）受け４
４により支えられる。加圧されると、Ｉ［５５は丸味乞
イづした環状面４６のまわりでふくらむ傾向かある。サ
ーボ１２の論理は第１の口孔か第２の口孔か両刀の口孔
か第５の口孔に人力ヲ有していると出力乞出すようにし
てあり、このことＧまオア論理には好ましい。サーボ出
口１２を１また弁１１ン常開にすることにより通にする
こともできる。

サーボ１２はあるいはまたすべての人力がオフになるま
で出力火山す。加圧するには二ｍｔヒ炭素か至気の叩き
気体を使用して行うが水か液圧流体で行うこともできる
。流体弁１１は特に酸酸水用であるが異なる流体には別
の型式の弁を使用できる。

サーボ弁１０は多くの利点２有していて流体処理装置に
使用すると非常に利点がある。たとえば、多香味冷温飲
料自動販売機は電動水弁な有する必要は最早ヤな（、衝
撃の危険もなく装置は敏速で騒音乞立てない。サーボ弁
は熱しないで流体を冷たく保持するので冷凍型に使用す
るには理想的である。サーボ弁１Ｄは非常に小さく、小
型として一般に好ましい寸法である。スイッチ２７は弁
の流体内容物から完全に電気的に絶縁されている。

１つのサーボ弁１０が神々の電圧サイクルに従ってあら
ゆる国、都市および村落に適している。サーボ弁１０は
Ｕ、Ｌ、またはＣ，Ｓ、Ａ、の如き証明団による承認も
表の必要がない。サーボ弁１０は接続が容易でとの姿勢
でも作用し衝撃吸収に非常に役立つ。ダイヤフラム５０
の形状は非常に成功し耐用寿命乞長くすると判った。サ
ーボ弁１０はほとんど完全に信頼でききわめて簡単であ
る。

他の利点も判り実現でき当業者が種々僅かに変形できる
が、それらも本発明の範囲に入るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は流体作動サーボ弁の好ましい具体例の縦断面図
、第２図は２ないし６人力にｊ膨張した第１図のサーボ
の縦断面図、第６図は第１図のサーボの１つの室セグメ
ントの端面図、第４図は第１図のサーボの端面図、第５
図は第１図のサーボ内のダイヤフラムを通常状態で示す
詳細断面図、第６図は第５図のダイヤフラムを変形した
膨張状態で示す詳細断面図である。 １０・・・・・・サーボ弁　１１・・・・・弁１２・・
・・サーボ　１５・・・弁体 １６．１７・・・・・ダ　り　ト　１９・・・・・弁　
部　拐２０・・・・・弁作動子　２２・・・・・軸脚５
５・・・・・基部　５６″・・・・・・操作手段５８　
、５９・・・・・・室セグメント４４．４５・・・・・
受　け　５０・・・・・・バ　リ　ャ５１・・・・・・
ピストン　５４・・・・・・リ　ン　グ特許出願人　ザ
・コーネリアス・カンパニー図ｉＸ、ｉバパ：ふ′内１
１゛につ：藺なＬ）第１図 第２図 手続補正書（方式） 昭和り７年　２月７５日 特許庁長官　志　賀　学殿 １、事件の表示 昭オロタフ年特玄壬願第　２グ上ρρ　号−７九４８嘴
す力め　サーボ’！ ６、補正をする者 事件との関係　出　願　人 住所 えよ不　寸パ、コーネソアス・ｊン／ζニー４、代理人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　ａ）人口ダクトならびに出ロダクトｖ設けた弁
   体、両方のダクト間の弁座、弁座な開閉するため弁体に
   可動に装着した弁部材および弁部材を動かす弁作動子乞
   有する流体弁と、ｂ）１）弁作動子乞操作する手段、 ２）作動子操作手段乞推進させる手段ぞ有する第１の可
   動のバリヤ、 ６）第１のバリャビ推進させる手段を有する第２の可動
   のバリヤおよび ４）第２のバリヤの両側に設けられ流体的に個別にした
   推進体室を有する流体作動の升サーボと乞備えているこ
   とを特徴とする流体作動のサーボ弁。 （２）作動子操作手段が弁の片側に装着したプランジャ
   である特許請求の範囲第１項のサーボ弁。 （ろ）人口および出口にダクトが共通の軸線上にあり、
   プランジャがダクト軸線に平行な軸組に浴い可動である
   特許請求の範囲第２項のサーボ弁。 （４）弁作動子が弁部材から横方向に突出しているレバ
   ーであり、該レバーがプランジャに圧接するようばね負
   荷され、レバーのばねがプランジャと共通の軸線」二で
   作動する特許請求の範囲第１項のサーボ弁。 （５）サーボが弁体と一体の構造的基部ヲ會んでいる特
   許請求の範囲第１項のサーボ弁。 （６）バリヤがエラストマーダイヤフラムである特許請
   求の範囲第１項のサーボ弁。 （７）各ダイヤスラムの推進手段がニジストマーのハン
   マーである特許請求の範囲第６項のサーボ弁。 （８）第１のダイヤフラムが第２のダイヤフラムのハン
   マーに向っているエラストマーのアンヴイルぞ有してい
   る特許請求の範囲第７項のサーボ弁。 （９）ハンマーとアンヴイルとが平たく平行な面？有し
   ている特許請求の範囲第８項のサーボ弁。 （１０）ハンマーとアンヴイルとがダイヤフラムの中心
   におけるエラストマーのピストンの両端である特許請求
   の範囲第８項のサーボ弁。 （１１）ダイヤフラム間の室セグメント乞含み、該セグ
   メントがピストンと同じ厚味２有している特許請求の範
   囲第１０項のサーボ弁。 （１２）各ダイヤフラムが円形の平たいウェブとウェブ
   のまわりの円形の２ビードシールと７有する懸匝すング
   乞有し、ウェブのそれぞれの側に１つのビードがある特
   許請求の範囲第６項のサーボ弁。 （１ろ）ダイヤフラム間に室セグメントヲ含み、至セグ
   メントがダイヤフラム乞収容する前向きの受けと後ろ向
   きの受けとを有している特許請求の範囲第６項のサーボ
   弁。 （１４）受は間の推進体口孔を含んでいる特許請求の範
   囲第１３項のサーボ弁。 （１５）ａ）第２のダイヤフラムを推進させる手段を有
   する第ろのダイヤフラムと、 ｂ）ｍｌおよび第２のダイヤフラム間の第１の￥セグメ
   ントと第２および第６のダイヤフラム間の第２の室セグ
   メント乞含み、これらセグメントがほぼ同じで非対称の
   推進体口孔を有し、これらセグメントが推進体口孔を食
   し・違いにして互いに前後にしである特許請求の範囲第
   ６項のサーボ弁。 （１６）セグメントと口孔とがサーボの軸ＩＪｖ中心と
   して回転できるようセグメン）Ｙ弁に多位置に締め付け
   る手段７含んでいる特許請求の範囲第１５項のサーボ弁
   。 （１７）各ダイヤフラムが双安定膜を有してし・る竹言
   午請求の範囲第６項のサーボ弁。 （１Ｂ）作動子操作手段がダイヤフラムに上液するよう
   ばね負荷されている特許請求の範囲第１７項のサーボ弁
   。 （１９）操作手段により作動せしめられるスイッチ７含
   んでいる特許請求の範囲第１項のサーボ弁。 （２０）スイッチが弁作動子に係合するスイッチ作動子
   ２有している特許請求の範囲第１９項のサーボ弁。 （２１）ａ）個別の装置ケ操作する手段乞有する横這的
   基部と、 ｂ）操作手段を推進させる手段７有する第１のダイヤフ
   ラムと、 Ｃ）第１のダイヤフラム乞推進させる手段を有する第２
   のダイヤフラムと、 ｄ）ダイヤフラム間にあり第２のダイヤフラム間に推進
   体室を形成する内部環および推進体口孔をＭしている第
   １の室セグメントと、ｅ）第２のダイヤフラムを越え第
   ２のダイヤフラム用の個別の推進体室を形成する手段お
   よび第２のダイヤフラムを加圧する推進体口孔を有して
   いる第２の室セグメント欲備えていることヲ荷徴とする
   流体作動のサーボ。 （２２）推進手段がニジストマーのハンマーでアル特許
   請求の範囲第２１項のサーボ弁。 （２ろ）第１のダイヤフラムが第２のダイヤフラム推進
   手段に係合するエラストマーのアンヴイル乞有している
   特許請求の範囲第２１項のサーボ弁。 （２４）ハンマーと一体でそれに向がい合っているエラ
   ストマーのアンヴイル馨含んでいる特許請求の範囲第２
   １項のサーボ。 （２５）　＋ダイヤフラムが第１の室セグメントと同じ
   厚味を有している特許請求の範囲第２１項のサーボ。 （２６）中間セグメントがダイヤフラムの入力端を収容
   する前向きの受けとダイヤフラムの出力１１１１　乞収
   容する後ろ向きの受けとを有してり・る特許請求の範囲
   第２４項のサーボ。 （２７）推進体人口が受け間にある特許請求の範囲第２
   ６項のサーボ。 （２８）ａ）第２のダイヤフラムを推進させる手段７有
   する第６のダイヤフラムと、 ｂ）第５のダイヤフラムを越え第乙のダイヤフラム用の
   個別の推進体室および第ろのダイヤフラムン加圧する推
   進体ロ孔ン有ずろ第５の室セグメントとを含み、 Ｃ）第１および第２のセグメントがほぼ同じで非対称的
   推進体口孔を有し、第１およυ・第２のセグメントが推
   進体口孔を互いに食い違し・にして互いに前後にしであ
   る特許請求の範囲第２１項のサーボ。 （２９）各ダイヤフラムが双安定の截頭円錐形のｊ臭乞
   有し、操作手段がダイヤフラムを付勢状態から通常の状
   態にばちつと動かすようばね負荷されている特許請求の
   範囲第２１項のサーボ。 （５０）　各ダイヤフラムがハンマーおよびアンヴイル
   を有する中実のエラストマー製ピストンとピストンを包
   囲しているねじれ膜とを有している特許請求の範囲第２
   ４項のサーボ。 （ろ１）ａ）出力側としてハンマーを人力側としてアン
   ヴイルを有している中心ピストンと、 ｂ）中心ピストンを囲みそれがら間隔をあけである周囲
   の懸垂リングと、 リピストンとリングとを接続するねじれ膜とビ備えてい
   ることを特徴とするエラストマーの流体サーボダイヤフ
   ラム。 （５２）ピストンが中実である特許請求の範囲第３１項
   のサーボダイヤフラム。 （５６）ハンマーが悪事リングとほぼ同じ平面にある特
   許請求の範囲第６１項のサーボダイヤフラム。 （６４）膜が截頭円錐形である特許請求の範囲第３１項
   のサーボダイヤフラム。 （ろ５）截頭円錐形の突出した頂点がアンヴイル衣面と
   ほぼ同じ平面にある特許請求の範囲第５４項のサーボダ
   イヤフラム。 （５６）　＠垂すングと截頭円錐形の膜の基部ウェブと
   がハンマー面とほぼ同じ平面にある特許請求の範囲第６
   ５項のサーボダイヤフラム。 （５７）ハンマーと膜との間の鋭角２含んでいる特許請
   求の範囲第６１項のサーボダイヤフラム。 （５８）ハンマーが截頭円錐形である特許請求の範囲第
   ５１項のサーボダイヤフラム。 （３９）ハンマーとアンヴイルとがそれぞれ平たい面を
   有し、これらの面が互いに平行である特許請求の範囲第
   ６１項のサーボダイヤフラム。 （４０）アンヴイルがノ・ンマーより太きいは径欠有し
   ている特許請求の範囲第６１項のサーボダイヤフラム。 （４１）ハンマーと膜との間の内叫半径ヲ言み、この半
   径が膜より犬な厚味２有している特許請求の範囲第５１
   項のサーボダイヤフラム。 （４２）アンヴイルと膜との間の外側半径を含み、この
   外側半径が膜とほぼ同じ厚味２有している特許請求の範
   囲第４１項のサーボダイヤフラム。 （４３）内側半径と外側半径とが共に膜に対し接線乞な
   しその両側に同じ個所にある特許請求の範囲第４２項の
   サーボダイヤフラム。 （４４）　ＰＭ垂クリング膜の外１ｉｆ１１の平たい面
   のウェブと、ウェブ乞取巻く２ビードのシールとを含み
   、出力側に１つのビードを入力端に他のピードがある特
   許請求の範囲第３１項のサーボダイヤフラム。 （４５）弁作動子に関係した第１のばねと作動子操作手
   段に関係した第２のばねとを含み、第１のばねが第２の
   ばねより太きい出力２有している特許請求の範囲第１項
   のサーボ弁。 （モ）作動子操作手段が通常では作動子と第１のばねの
   力との作用を受けていない特許請求の範囲第４５項のサ
   ーボ弁。