JPS6034683B2 - 質量流量測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は大体において流れ計測装置、とくに片持ちレバ
ー式にビーム状に取付けられ導管内の流体材料の密度、
導管を通る流量の割合また従ってその他の従属的流れパ
ラメータを測定するように配置されたＵ字形の流れ計測
装置に関する。

従来本発明が関係のある一般型の流れ計測装置はジャイ
。スコープ式流量計またはコリオリの力による流量計と
して知られていた。重要な点においてはこれら両型の流
量計の機能は同じ原理に基いている。簡単にいえばそれ
はコリオリの力は回転体の第１の点から第２の点への質
量の半径方向運動を伴うということである。このような
運動の結果として質量の周速度は変化する。すなわち質
量は加速される。この質量の加速は回転の平面において
瞬間的な半径方向運動に垂直な１つの力を生ずる。この
ような力はジヤィロスコープの前進にとって重要なもの
である。この要領で流量を計測しようとする従来の試み
は圧力に敏感なべローズまたは他の同様な機械的旋廻装
置を必要とした。流量を計測するのにコリオリの力を利
用する場合数種の特別な工夫がなされた。

たとえば、古くはロス（Ｒｏ比）の米国特許第２８６５
２０１号及び３１３２５１２号‘こ連続回転し（ＤＣ型
）または揺動する（ＡＣ型）の完全ループを使うジャィ
ロスコープ流量計が記載してある。もう１つの流量計で
実質的に同じ力を利用してはいるが１８００よりも小さ
いループを使って流れの逆行を避けるようにしたものが
シピン（Ｓｉｐｉｎ）の米国特許第３４８５０９８号に
記載してある。

どちらの側においても装置はいわゆるＡＣ型のものであ
って、導管は１つの軸のまわりに揺動させられこの導管
を経て流れる流体は先づ回転の中心から流れ去りそれか
ら回転の中心に向って流れる。このようにしてループを
通じての流体の流量割合の函数としてコリオリの力を発
生する。コリオリの力を発生する手段は１つしかないか
り、ジャィロスコープとコリオリの力に基〈従来型の装
置はすべて同じ力を発生するのであるが、この力を計測
するためには種々の手段を規定している。このようにし
て概念的に簡単で直裁的であるが、正確な流量計測とい
う点で実際の成果はなかなかわかりにくい。たとえば、
ロスの流量計は読取り装置として変換器式または回転式
カップリングを使う。

この回転式カップリングはロスの特許では複雑なように
述べてあり、変換器式カップリングはべローズのような
高度のたわみ性の導管が必要であると規定している。ロ
ス特許のこの後者は主としてそのようなたわみ性のべロ
ーズの配置に関するものである。流量に比例する力の計
測に関するもう１つの古い試みは先づ導管構造をある鞄
心のまわりの回転運動によって駆動しまたは揺動させる
。

それから流体がこの導管を通って流れるときにこの導管
を駆動するのに必要な附加的ェネルギを計測する。残念
ながらコリオリの力は駆動力に比べては極めて小さいの
で、大きな駆動力に関連してこのような小さな力を正確
に計測するのは全くむずかしい。さらに別の計測手段が
シピンの米国特許第３４８５０９８号の第７欄第１−２
３行に記載してある。

この装置では駆動装置とは無関係な速度感知器が設けて
あって、コリオリの力による導管の擬れの結果としての
導管の速度を計測する。このような計測によってよい情
報が得られるであろうけれども、速度感知器は非常に大
きな管の揺動速度に重なり合った微細な差動速度を計測
する必要がある。従って回転力の全く正確な測定は以下
述べるような限定され特定された状況のもとでの速度計
側と取組まなければならない。数学的分析によると、速
度計側はうまくいっても有効でない結果を生ずることが
たしかである。本発明は従来の流量計測装置以上に今ま
で得られなかった改善をなしとげたものであって、支持
部片と、Ｕ字形の導管であってこのＵ字形の開いた端部
を前記の支持部片に固く取付けられ、この支持部片から
関節ないこ片持しバー式に延びる連続した導管と、この
導管を前記支持部片に相対的にＵ字形導管の静止時の平
面のいづれの側にも第１の揺動軸線のまわりにおいて揺
動させる揺動装置と、Ｕ字形導管をこの導管の両側脚の
間のほぼ中央に位置しかつ前記の揺動軸線を通ずる第２
の偏向軸線のまわりに弾性的に換るようにしてコリオリ
の力を計測する計測装置とを備えている。

揺動装置は固有振動数、実質的にはＵ字形導管の振動数
を持つ別の腕部片に取付けるのがよい。従ってこれら２
つの部片は丁度音叉の歯が揺動するように互いに相対向
する位置を以て揺動しかつ音叉のように支持部片のとこ
ろでは振動をなくする。特に好適な実施例では、Ｕ字形
導管の振れは導管の本体と脚との交点に隣接して位置さ
せた感知器によって計測される。この感知器は揺動のほ
ぼ中心点を通ずる導管の先行縁部および後続緑部の間の
時差をコリオリの力による擬れの結果として計測する。
この装置は揺動の振動数または振幅あるいはその両者を
制御する必要がない。Ｕ字形導管を片持しバ一式にビー
ム状態に取付けることはとくに重要なことである。

涙れ計測を例にとって見れば、このような取付けをする
ことによってコリオリの力に基く涙れを導管内部の弾性
変形によってほぼ全面的に相殺し導管のたわみ以外の機
械的な枢動装置の影響を受けないようにする。このよう
にして、相対向する力の１つだけを計測することによっ
て流量メータの精度を損うのではないこ、本発明の装置
はとくに２つの計測しない相対向する力すなわち質量の
速度のおくれと加速とによって生ずる力を最少に止めま
たは無くするように構成してある。この努力の果上記の
ような力は振れによる反綾力の０．２％よりも少し、量
にまで低下した。また導管をビームの曲がりによって枢
動するビーム状に取付けることによって導管と周囲との
間の圧力差に対して反作用するべローズとかその他同様
な装置の必要を全くなくすことができた。枢動は圧力に
敏感な別個の枢動装置とは関係なく自由にできる。従っ
て本発明の利点は簡単な経費の安い構造でＬ以てきわめ
て高い精度を持つ新しくて改善された流量計測装置を提
供できることである。

本発明の別の利点は、周囲の圧力と被計測流体との間の
圧力差にほぼ不感の新しくて改善された計測装置を提供
できることである。

以下本発明の好適とする実施例を図面について詳細に説
明する。

以下の説明中で第１図の線Ｗ−Ｗまたは第９図の線Ｗ′
−Ｗ′の各軸線は「第１の轍線」または「振動軸線」と
称する軸線である。

すなわち、これは実質上支持部材に対する導管の固設部
位において該導管の両端部分を通る軸線を言う。また、
第１図の線○−○の位置における鞠線は「第２の軸線」
、「たわみ鯛線」さらには「対称軸線」と称する軸線で
ある。すなわち、これは第１の軸線に直交していて、第
１図の軸線○−０のように導管を実質上対称的に二分す
るような鞠線を言う。第１図に示す実施例において流量
計装置は参照数字１０で示してある。流量計１０には固
定の支持部片１２とこれに片持しバー式ビーム状に取付
けたＵ字形導管１４とを備えている。Ｕ字形導管１４は
べりリュウム、銅、なましたアルミニューム、鋼、プラ
スチックのような材料に通常見られる弾性を持つ管状材
料で作るのがよい。Ｕ字形導管といっているけれども導
管１４は収数する脚、末広がりの脚または実質的に斜に
なった胸を持つものでもよい。要は連続的な曲線を持つ
ことである。Ｕ字形導管１４は入口１５と出口１６とを
備えそれらを入口脚１８、ベース脚１９および出口脚２
川こよって互に連結してある。入口胸１８と出口脚２０
とは互に平行でベース脚１９がそれらに垂直であるのが
最も好ましい。しかし、上述の最善の形状よりかなり偏
椅した形すなわち５０位の収赦や末広がりは著しく悪い
結果をもたらさない。有効な結果は総体偏椅３０ｏ ま
たは４００程度になっても得られる。しかし、ここに述
べている実施例ではこのような偏椅を持たせても得ると
ころは殆どないので、一般的には入口胸１８と出口脚２
０とをほぼ平行な関係に保つのが好ましい。導管１４は
便利なように連続したまたは部分的な曲線の形にするこ
とができる。Ｕ字形導管１４の物理的形状は臨界的なも
のではないが、その周波数特性は重要である。

第１図の実施例は涙れを許すものであって軸線Ｗ−Ｗの
まわりの共振振動数が鞠線○−○のまわりのそれとは異
ることが臨界的であり、轍線Ｗ−Ｗのまわりの共振振動
数が低い共振振動数であることが最も好ましい。ばね腕
部片２２が入口脚１８と出口脚２０とに取付けてあって
フオースコィル２４とセンスコイル２３とをベース脚に
隣接する端部に支承している。

磁石２５はフオースコイル２４とセンスコイル２３との
中にはまり込んでいて本体脚１９によって支承されてい
る。駆動回路２７がセンスコイル２２に応答してＵ字形
導管１４を鞠線Ｗ−Ｗのまわりに固有振動数で揺動的に
駆動する増幅した力を生ずるように設けてある。Ｕ字形
導管１４は支持部片１２にビーム状に取付けてあるけれ
ども、事実上それが共振振動数で揺動するので、鞠線Ｗ
−Ｗのまわりのビーム状揺動には大きな振幅を生じさせ
る。Ｕ字形導管１４は入口１５出口１６のところで鼠線
Ｗ−Ｗのまわりに枢動することが大切である。好適な実
施例としては、第１の感知器４３と第２の感知器４４と
がそれぞれベース脚１９と入口脚１８および出口脚２０
との交点に支えてある。

感知器４３，４４は光学式のものがよいのであるが、一
般には近接型感知器で、ビーム揺動のほぼ中点にあるい
わゆる基準平面をＵ字形導管１４が通過するときに作動
させられる。謙取り回路３３は流量計測値を感知器４４
および４３によって生じた信号の時差の函数として指示
するように設けてある。流量メータ１０の作動は第２，
３および４図によって一層容易に理解できる。

これらの図は本発明の基本原理を簡単に示している。導
管１４が流れのない状態で揺動させられると、入口脚１
８と出口脚２０とは樋線Ｗ−Ｗのところで純粋なビーム
の形態で、すなわち振れなしで曲る。従って、第２図に
見られるように、ベース脚１９は揺動中を通じて鞠線○
−○のまわりに一定の角位置を保つ。しかし、流体の流
れが初まると、入口脚１８を経て軸線Ｗ−Ｗから半径方
向に動く流体は流れの方向に垂直で軸線Ｗ−Ｗに垂直な
第１のコリオリの力を生ずる。一方出口脚２０内の流れ
はやはり流れの半径方向に垂直な第２のコリオリの力を
生ずる。但し第２のコリオリの力の方向は流れの方向が
第１の力の場合と反対であるから第１の力とは反対の向
きである。従って第３図に見られるように、ベース脚１
９が揺動の中点を通過するときには出口脚１８および出
口脚２０内に生ずるコリオリの力はＵ字形導管１４に力
の偶力を生じこれによってベース胸を軸線○−○のまわ
りに角度旋回をさせる。この握れはいづれもビームを曲
げる湊れであり、しかも入口脚１８および出口脚２０‘
こおける顕著な湊れである。Ｕ字形導管１４の周波数と
形状の選択の結果、コリオリの力の偶力に抵抗する力の
殆どすべては弾性的なばねの振れの性格を持っており、
従って速度お〈れを復原させる力や初めに抵抗する力を
計測する必要やその煩わしさを除くことができる。ほぼ
一定の振動数や振幅が与えられているので、揺動のいわ
ゆる中点におけるベース脚１９の軸線○−○のまわりの
角度的振れを計測することにより流量の正確な指示が得
られる。これは従来技術に優る大きな改善である。しか
し、本発明の最も顕著な部面としては、先行脚（第３図
の場合入口脚）が中点平面を通過する瞬間と後続胸（第
３図の場合出口脚）が同じ平面を通過する瞬間との間の
時差に基〈ベース脚１９の、涙れを生じない中点平面に
関係的な振れを測定することにより、一定の振動数や振
幅を維持する必要が避けられることである。振幅の変化
はベース脚１９の速度の変化を補償することによって達
成できるからである。従って、単にＵ字形導管１４をそ
の共振振動数で駆動することによって以下述べるような
要領で振幅の同時調整を考えることなしに時間計測を行
うことができる。しかし、計測が唯１つの方向すなわち
第３図において上向きの方向にだけ計測が行われる場合
は本体脚１９のいわゆる中点平面に対する正確な角度的
整合を維持する必要がある。但しこの要求も第３図の上
向き方向における時間計測および第４図の下向き方向に
おけるそれを減ずることによって避けることができる。
当業者には容易に理解できることであるが、第４図のよ
うに下向き方向の運動はコリオリの力の偶力の方向を逆
転し、従って同図に示すようにコリオリの力の偶力に基
〈擦れの方向を逆転する。これを要するに、大雑把にい
って、Ｕ字形導管１４は単に物理的形態上の特性に過ぎ
ないとはいえ特定の振動数特性を持って単に軸線Ｗ−Ｗ
のまわりに揺動するだけである。

Ｕ字形導管１４を通過する流れはこの導管内にばね型嫁
れを誘発しその結果、便利な計測装置として、初めに揺
動の一時相中にべ−ス脚１９の第１の角度方向における
角運動を鞠線Ｗ−Ｗのまわりにもたらし、次いで揺動の
他の時相中に反対方向の角連動を起す。振幅を制御する
ことによって、擦れの直接計測で流量計測をすることも
できる、すなわち揺動の中点においてベース脚１９をス
トローブで、たとえばベース脚１９の端部部分に隣接し
て固定したアナログ計尺およびベース脚１９によって支
承した指針を持つストローブである。しかし好適な計測
方式はベース脚１９のそれぞれ先行緑部と後続緑部とが
中点平面を通過する瞬間の時差測定を伴う。これによっ
て振幅を制御する必要がなくなる。さらにこの時間計測
方式において上向き揺動涙れと下向き揺動湊れとを計測
することによって、Ｕ字形導管１４の中点平面に対する
物理的不整合から来る異常は計測結果から除去される。
本発明の目的のところで前述した本発明の通常の電子関
係部面は第５図ないし第８図を参照することによって容
易に理解できる。

第５図に示すように、駆動回路２７はセンスコイル２３
内の磁石２５の運動によって生ずる信号を検知する簡単
な装置である。

検知器３９はセンスコイル２３によって生ずる基準電圧
電源を電圧３７と対比する。その結果、フオースコィル
増幅器４１の利得はセンスコイル２３内の磁石２５の電
圧の函数である。従ってＵ字形導管の揺動の振幅は容易
に制御される。導管１４とばね腕２２とはその共振振動
数で揺動させられるから振動数の制御は必要がない。第
５図の回路は附加的な情報を提供するものである。

フオースコィル増幅器４１の出力はＵ字形導管１４の共
振振動数における正弦波信号である。共振振動数はばね
定数と揺動装置の質量とによって決まり、またばね定数
は固定で質量は導管を通って流れる流体の密度変化によ
ってのみ変る（導管自体の質量が変らないのは明らかで
ある）という事実があるから、振動数のいかなる変化も
導管を通って流れる流体の密度変化の函数であることが
判る。このようにして、揺動の周期を決めることができ
るから、密度係数を測定するために該周期中に固定振動
数揺動装置の計数を行うことは簡単なことである。密度
計数は一旦測定されるとこれはたとえばチャートまたは
グラフによって流体密度に変換することができる。この
流体密度では上記の周期は密度の線形函数ではなくて、
密度の１つの測定可能な函数にすぎない。直綾読取りが
望ましいならば、マイクロプロセッサを密度係数を流体
密度に直接変換するように容易に段取りすることができ
る。読取り回路３３の性格と機能とは第６図の論理回路
と第７，８図のタイミングダイヤグラムを参照するとよ
く判る。

読取り回路３３は感知器４３と感知器４４とに連結して
ある。これらの感知器４３，４４はベース脚１９に支承
されたフラグ４５，４６がＵ字形導管１４の揺動の平面
Ａ−Ａの中点近くでそれぞれの感知器のそばを通るとき
に信号を発する。図示のように入口側感知器４３は反転
増幅器４７および変流器４８に連結されており、他方感
知器４４は変流増幅器４９および反転器５０‘こ連結さ
れている。変流器５０からの出力側の導線５２は２重反
転の結果としてフリツプ・フロップ５４のセット側に正
の信号を送り、同様に導線５６は反転器４８からの出力
側となってフリツプ・フロツプ５４のセット側に同じく
正の信号を送る。従ってフリップ・フロップ５４は感知
器４４からの正の信号の出力でセットされかつ次いで生
ずる感知器４３からの正の信号の出力にリセツトされる
。同様な要領で、導線５８は感知器４３からの反転信号
を反転増幅器４７を経てフリップ・フロツプ６０のセッ
ト側に送り、他方導線６２は反転増幅器４９の出力をフ
リップ・フロップ６０のリセット側に送る。

このようにして、フリツプ・フロツプ６川ま感知器４３
からの負の信号の出力でセットされ次いで生ずる感知器
４４からの負の信号の出力でリセットされる。フリツプ
・フロツプ５４の出力は導線６３を介してＡＮＤゲート
６４のような論理ゲートに連結してある。ＡＮＤゲート
６４，６６はいづれも発振器６７の出力側に連結されて
おり、従ってフリツプ・フロップ５４からの出力がある
と発振器６７からの信号はＡＮＤゲート６４を経て導線
６８にそしてアップダウン計数器７０のダウン計数側に
ゲートされる。同様にして、フリップ・フロツプ６０か
らの信号の出力があると、発振器６７の出力はＡＮＤゲ
ート６６を経てアップダウン計数器７０のアップ計数側
に連結された導線６９にゲートされる。従って作動にお
いては、読取り回路３３はＵ字形導管１４の下降運動中
感知器４３の作動に先だって感知器４４が作動している
期間中発振器６７の振動数でダウン計数信号をアップ・
ダウン計数器７０‘こ送る。

一方Ｕ字形導管１４の上昇運動中感知器４４の作動に先
だって感知器４３が作動している期間中アプ計数信号が
アップ・ダウン計数器７川こ送られる。読取り回路３３
の顕著な点は第７図および第８図にタイミングダイヤグ
ラムで一層よく判る。

第７図において、Ｕ字形導管１４が流体流れのない状態
で揺動しているがフラグ４５，４６は平面Ａ−Ａと正確
にかつ静的には整合していない状態の波形が示してある
。このタイミングダイヤグラムでは、感知器４４が初め
に、上昇行程に竪線で表わした理想的時限に対しては早
く正に切換わり、そしてフラグ４６の整合外れの結果下
降行程ではお〈れて負に切換わる。他方感知器４３は上
昇行程でおそく正に切換わり下降行程で早く負に切換わ
る。しかし、フリツプ・フロツプ５４および６０からの
出力を分析すると、そしてまたこれらのフリツプ・フロ
ツプがそれぞれアップ・ダウン計数器７０１こダウン計
数信号かあるいはアップ計数信号かのいづれかを送るこ
とを考えると、フリップ・フロップ５４は感知器４３，
４４の信号の正のすなわち先行の緑で作動して上昇行程
で出力を出し、一方フラグ４５，４６の向きは変らない
ということから、フリップ・フｏップ６川ま下降行程で
同様な出力を出すことが判る。従って、サイクル全体に
わたって、アップ・ダウン計数器は最初にフリツブ・フ
ロツプ５４の出力によってゲ−ト６４を経て計数のある
一定数だけダウン計数され、それからフリツプ・フロツ
プ６０の出力によってゲート６６を経てアップ計数され
る。また従って、アップ・ダウン計数器における最後の
計数は零であってこれは流体流れのない状態を表わすも
のである。第８図は流体の流動状態即ち流体の流れが前
記導管の右側から左側に行なわれている状態の正弦波形
のタイミングダイヤグラムを示す。

第８図では、第１図に示すような導管内を流れが右側か
ら左側に向って流動しており、従ってこの第８図に関連
して言えば流れが左側から右側に流動することになると
きには感知器４４が感知器４３よりも先に作動すること
になる。感知器４３は流体流れに基くコリオリの力の偶
力によって生ずるベース脚１９の嫁れの結果として第７
図におけるよりも早く作動させられる。これは上述した
とおりである。同様にして感知器４４は上記と同じ理由
によっておそく作動させられる。こうして上昇行程では
、フリップ・フロップ５４は第７図の状態におけるより
もかなり長い期間にわたって作動させられる。これは上
昇運動においてベース脚１９のコリオリの力の偶力によ
る振れの上にフラグ４５，４６の不整合が加わるからで
ある。これに反し下降行程になると、すなわち感知器４
３，４４からの信号の負のすなわち後続緑ができると、
コリオリの力の偶力は逆転して感知器４３をより早く非
作動状態にしかつ感知器４４をよりおそく非作動状態に
する。従ってフリップ・フロップ６０は短縮した時間だ
け作動させられる。２つのフリップ・フロップの相対作
動時間から明らかなようにアップ・ダウン計数器７０の
ダウン計数の期間はフリップ・フロップ６０の作動の結
果によるアップ計数期間よりかなり長い。

その結果アップ・ダウン計数器７０のダウン計数側に生
ずる増大した計数は揺動期間にわたっての流れの正確な
指示になる。ある与えられた数の揺動の後のアップ・タ
ウン計数器７０の計数はその期間中におけるＵ字形導管
１４内の流量に正比例する。揺動の数はたとえば代表的
な例として、フリップ・フロップ５４の出力側に導線７
２によって連結したダウン計数器７１でのフリップ・フ
ロツプ５４の作動回数を計数することによって測定でき
る。このようにして、フリツプ・フロツプ５４から「Ｎ
」出力が出ると、ダウン計数器７１が作動させられ惹て
は論理順序装置７４を作動させる。この順序装置７４は
発振器６７に連結されており、発振器６７の振動数で先
づ導線７８を介して掛け止め式の解読器駆動装置を掛け
止め、それから導線７５を介してアップ・ダウン計数器
７０をリセットする。こうしてフリツプ・フロツプ５４
から「Ｎ」が出た後論理順序装置７４が再び作動させら
れるまで表示器８０がアップ・ダウン計数器の呼掛けの
時にこの計数器の集計した計数を示す。従って「Ｎ」揺
動の期間に対する流量を表示することになる。ある選定
されたりセット期間に対する全流量は同様にして提供さ
れる。

すなわち、アップ・ダウン計数器７０からの出力は水晶
発振器８４に連結されたデジタル積算器８２に供給され
る。こうしてアップ・ダウン計数器７０からの計数は時
間すなわち発振器８４の固定し安定した振動数および掛
止め式の解読器駆動装置８５に送られる積算値について
積算される。駆動装置８５は表示器８７にも連結されて
セット装置８８すなわちデジタル積算器８２に連結した
スイッチのこの前の作動時からの期間に対する全流量の
読取りができるようにする。以上述べたように、密度係
数はまたフリップ・フロップ９０を導線９２を介してフ
リップ・フロップ５４の出力のクロツク振動数で作動さ
せることによって流量計測とは別に測定することもでき
る。

フリツプ・フロツプ９０の出力はＡＮＤゲート９４に送
られる。このゲート９４はフリツプ・フロップ９０の作
動時に水晶発振器８４の計数を計算器掛け止め駆動装置
９６に送る。このようにして、水晶発振器８４からの計
数で表わした時間情報とフリップ・フロップ９０から揺
動のデータが得られる期間と共に計数器掛け止め駆動装
置９６における計数はＵ字形導管内の流体の密度の１つ
の函数であって、従って表示器９８における読取りは上
述の密度計数を提供するものである。密度係数はＵ字形
導管１４の揺動周期の線形函数ではないから、表示器９
８における読取りはグラフによって手動でするか或いは
マイクロプロセッサを使うかしてさらに処理して密度ま
たは比重そのものを出さなければならない。前述したと
ころを要約すると、本発明の流量メーター０の最も好適
な実施例は所望に応じ瞬間的な流量割合、与えられた期
間にわたっての集計流量割合、流体に関する密度情報お
よび若し所望ならば流量割合を密度で除することによっ
て容積による流量割合をも提供する。

実験的試験によれば上記のことは０．１〜０．２％の精
度を以て達成でき、たとえばかなり低い流量で流れるガ
ス量でも正確に計測できる。好適な実施例では流量計１
０の振動数や振幅を調整する必要はない。すなわち一方
の感知器の出力から他方の感知器の出力までの時間間隔
を計る場合に振幅などを調整する必要はないのである。
本発明の他の実施例を第９図に示す。

この実施例においては、質量流量計１００は、多くの点
において前記した流量計１０‘こ類似している。図示す
るように質量流量計１０川ま、台１０２と、Ｕ字形の導
管１０４を備えている。このＵ字形の導管１０４は、台
１０２から延び、この台に実質的に固定的に取り付けら
れており、すなわち松動装置には拘束されない。Ｕ字形
の導管１０４は、入口脚１０８と出口脚１０９とにそれ
ぞれ連通する入口１０５と出口１０６とを備えている。
ベース脚１１６は、入口脚１０８と、出口脚１０９とを
締結し、したがってＵ字形の導管１０４を完成する。流
量計１０の好適な構成とは反対に、Ｕ字形の導管１０４
は、振動の軸線Ｗ′−Ｗ′のまわりよりも、コリオリの
力のゆがみ軸線のまわりの屈曲に対する一層少ない抵抗
を持つのが有利である。

その理由はコリオリの力のゆがみは無効にされるからで
ある。支持部村１１９によってベース胸１１６上に支え
られた磁石１１８は駆動コイル１２０と相互に作用して
Ｕ字形の導管１０４を振動させる。できれば駆動コイル
１２０を、軸線Ｗ′−Ｗ′に隣接して枢動自在に取り付
けた片持ばり状の板はね１２２上に支持し、この板ばね
の固有振動数を、意図する流体を内部に納めたＵ字形の
導管１０４の固有振動数に実質的に等しくする。もちろ
ん、磁石１１８と駆動コイル１２０とのそれぞれ導管１
０４の板ばね１２２上への取り付けを逆にしてもよい。
また、台０２が、Ｕ字形の導管１０４の質量及びこれを
流通する流動物質の質量に比べてかな大きい質量である
ときには、板ばね１２２を完全に除いてもよい。しかし
多くの場合、Ｕ字形の導管１０４と板ばね１２２とを共
通の振動数であるが、１８００位相をずらせて振動させ
、流量計１００内の力を内部的につり合わせて台１０２
の振動を避けることが好適である。ベース胸１１６は、
これから下向きに垂下している磁石１２５，１２６を支
えている。磁石１２５を、台１０２に取り付けたセンス
コイル（ｓｅｎｓｅｃｏｉｌ）１ ２８内に配置すると
共に、同様に磁石１２６を、台１０２に取り付けたセン
スコイル１２９内に配する。

磁石１２５は、センスコイル１２８と対称的に配置した
フオースコィル（ｂｒｃｅｃｏｉｌ）内に延ばすと共に
、磁石１２６を、センスコイル１２９に対して同様に取
り付けたフオースコィル１３２内に延ばす。たわみ感知
（ｓｅｎｓｉｎｇ）手段１３３，１３４〔第９図には簡
略化して示してあるが、第１１図ないし第１３図には一
層詳細に示してある〕を、入口胸１０８及び出口脚１０
９と、ベース脚１１６との交さ箇所に隣接して配置する
。第１０図には、第９図に示していない回路の細部が示
されており、磁石１２５，１２６のセンスコイル１２８
，１２９内への移動により、Ｕ字形の導管１０４の速度
に比例する振幅を待つ正弦波信号Ａを発生するように、
センスコイル１２８，１２９を直列に接続する。

この正弦波信号の大きさは、磁石１２５，１２６の移動
速度に比例し、したがってＵ字形の導管１０４の振動の
振幅の関数であって、この正弦波信号はＡＣ増幅器１
３５及びダイオード１３６に供給され、このダイオード
により、正弦波信号の正部分だけがコンデンサ１３７を
充電する。したがってダイオード１３６及びコンデンサ
ー３７から差動増幅器１３８への入力は、正弦波信号Ａ
の大きさによって定められる。差動増幅器１３８は、こ
のような入力を基準電圧ＶＲ，と比較する。したがって
、コンデンサ１３７の電圧が基準電圧ＶＲ，を越えるな
らば、差動増幅器１３８は一層強い信号出力を出す。Ａ
Ｃ増幅器１３５からの出力は、もちろんＵ字形の導管１
０４の振動と位相を合わせた正弦波信号であって、差動
増幅器１３８により生じる利得制御により定まる大きさ
を持っており、ＡＣ増幅器１ ３５からの出力は、駆動
コイル１２０を駆動してＵ字形の導管１０４の所望の振
動を保持する。また正弦波信号Ａは、抵抗器１４０，１
４１，１４２とホトレジスタ（ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ
ｏｒ）１４３とから成るブリッジに加られる。抵抗器１
４４は、抵抗器１４０，１４２の間の帰還ループ内にあ
って、抵抗器１４０，１４２，１４４の相互接続からの
出力は、たとえば、蓋動増幅器１４５の負入力に接続さ
れる。ＬＥＤのような可変光源１４７を、抵抗器１４８
を経てサーボ増幅器１５０の出力に接続する。サーボ補
償器１５２は、西暦１９６６王マグローヒル（ＭｃＧｒ
ａｗＨｉｌｌ〉により出版されたディー・アゾ（Ｄ．Ａ
ｚｏ）及びホーピュイ（Ｈｏｐｕｉｓ）毒害「フイード
バツク・コントロール・システムズ、アナリシス、アン
ド、シンセシス」（Ｆｅｅｄｂａｃｋ Ｃｏｎｔｒｏｌ
Ｓ＄ｔｅｍＳ，Ａ岬ｌｙＳｊＳ ＡｎｄＳ飢ｔｈｅｓ
ｉｓ）に記載されたサーボ系における周知の手段であっ
て、サーボ増幅器１５０の一方の入力と、これからの出
力との間の帰還ループを構成する。

信号Ｂは、第１１図、第１２図及び第１３図に関して後
述するように生ずるＵ字形の導管の小さいが零ではない
ゆがみに比例するＤＣ信号である。この信号Ｂは、抵抗
器１５３を経てサーボ増幅器１５０の入力に接続される
。サーボ増幅器の出力は、電圧ＶＲ２に関連しており、
抵抗器１４８を経てＬＥＤ１４７に接続される。したが
ってサーボ増幅器１５０を駆動する電圧ＶＲ２に関係的
な信号Ｂの大きさの関数として、ＬＥＤ１ ４７の強さ
が調整される。たとえば、ホトレジスタ１４３の抵抗率
はＬＥＤ１４７の強さの増加に伴なって減少することに
より、差動増幅器１４５の正の入力に供給される信号を
、抵抗器１４０，１４２を経てその負の入力に供給され
る信号に相対的に減少させる。したがって、差動増幅器
１４５の出力は、信号Ａと１８００位相がずれている。
その理由は、差動増幅器１４５への正の入力は減少させ
られるが、負の入力は減少させられないからである。要
するに、信号Ｂが増大するときは、ＬＥＤ１４７は薄暗
くなり、ホトジスタ１４の抵抗率が増加し、この結果信
号Ａと同相の差動増幅器１４５の出力が増加する。差動
増幅器１４５の出力をフォースコイル１３１，１３２に
接続する。前述したように、フオースコイル１３１，１
３２は、／台１０２上に支持され、直列にではあるが位
相をずらして接続される。したがってフオースコィル１
３１，１３２を通る電流は、たとえば第９図において磁
石１２５を引きつけ、磁石１２６を反発することによっ
てトルクを生じさせる。これら磁石はベース脚１１６に
連結されている。ベース脚１１６を横切るこのトルクは
、Ｕ字形の導管１０４を通る流れによって生ずるコリオ
リの力の結果として、べ−ス脚１１６のゆがみを無効に
する。スイッチ１５９によって、抵抗器１５５，１５６
，１５７をフオースコィル１３１，１３２に接続自在に
することにより、スケールフアクタを調整するように選
択自在な負荷を供給し、ベース脚１１６により大きいま
たはより少ないトルクが加えられる。また直列接続のフ
オースコィル１３１，１３２からの出力は、同期式復調
器１６２に１つの入力として接続される。同期式復調器
は、第１４図に関して一層詳細に説明される。この同期
式復調器１６２の出力は質量流量に比例するＤＣ信号で
あり、したがって質量流量の大きさを提供する。図示し
てないＤＣボルトメータ（ｖｏｌｔｍｅｔｅｒ）を、同
期式復調器１６２の出力に接続して、Ｕ字形の導管１０
４を通る質量流量の可視読み取りを行なうようにしても
よいし、またはＤＣ信号を、直接に、たとえば他の装置
の制御ループに使用してもよい。第１１図に示すように
、たわみセンサ１３３，１３４は、たとえば導管１０４
から垂下している左側のプラグ（ｆｌａｇ）１６４及び
右側のフラグ１６５を備えている。

左側のフラグ１６６及び右側のフラグ１６７を台１０２
に固定する。したがって、ベース胸１１６が振動すると
き、フラグ１６４，１６５は光源１６９，１７０からの
光が、それぞれホトセンサ１８１，１８２に達するのを
妨げる。できれば、フラグ１６４一１６６，１６５−１
６７が光を阻止するように交さする箇所をベース脚１１
６の振動のほぼ中央の点にするが、１組のフラグを、こ
の干渉点に関係的に他方の組のフラグから幾分か片寄せ
てもよい。Ｕ字形の導管１０４を通る流れにより生ずる
コリオリの力の結果として台１０２に相対的なべース脚
１１６の角度的なゆがみの場合に、時間経過に伴なう変
化が、フラグ１６４，１６６及びフラグ１６５，１６７
によるおおし、隠しの間に存在することは明らかである
。この時間差及び向きは、ベース脚１１６の一定の振動
速度において、発生するコリオリの力及び振動の方向に
依存する。ホトセンサ１８１をフリツプ・フロツプ１８
５，１８６のリセットに接続し、フリップフロップ１８
６に対してはィンバータ反転器１８８を経て接続する。
同機にホトセンサ１８２を、フリツプフロツプ１８５の
セット側に接続すると共にィンバータ１８９を経てフリ
ップフロップ１８６のセット側に接続し、差動コンデン
サー９３，１９４を同様に入力回路に取り付ける。した
がってフラグ１６４，１６６が閉じるときは、正信号が
ホトセンサ１８１により発生し、フリツプフロツプ１８
５のリセット側を動作させ、フラグ１６５，１６７が閉
じるときは、同様に正信号がホトセンサ１８２により発
生し、フリップフロップ１８５のセット側を動作させる
。したがってフリツプフｏツプ１８５は、このような各
組のフラグの閉鎖の間の期間にわたって動作させられる
。他方において、フラグ１６４−１６６，１６５−１６
７の開放によって、それぞれホトセンサ１８１，１８２
からの立下り緑（ｆａｌｌｉｎｇｅｄｇｅ）すなわち負
信号が発生し、同様にしてインバータ１８８，１８９を
経てフリツプフロップ１８６を動作させる。したがって
フリップフロップ１８６は、このような一方の組のフラ
グの開放と、他方の組のフラグの開放との間の期間にわ
たって動作させられる。フリップフロップ１８５，１８
６からの出力は、それぞれ抵抗器１９５，１９６を経て
差動積算器１９８の入力に供給される。積算容量を生ず
るような入力側において積分コンデンサ２００を、抵抗
器１９５に関連して設けると共に積分コンデンサ２０１
を、抵抗器１９６に関連して設ける。したがって差動積
算器１９８からの出力信号Ｂは、フリップフロップ１８
５，１８６の動作期間に依存する。

ベース脚１１６がゆがみなしで振動するにすぎない場合
には、フラグの開放と閉鎖との間の時間差は実質的に一
定であり、差動積算器１９８への入力は本質的に同一で
あるから、信号Ｂは生じない。他方において、コリオリ
の力が発生する場合には、ベース脚１１６は、振動の一
方の行程においては時計の針と同じ方向にゆがめられ、
振動の他方の行程においては時計の針と反対の方向にゆ
がめられる。したがって、フラグの一方の組の閉鎖は振
動の一方の行程においては早くなり、他の行程において
は遅くなるが、他方の粗の閉鎖は、一方の行程において
は遅くなり、他方の行程においては早くなる。それゆえ
フリップフロップ１８５，１８６の動作は、等しい長さ
の時間にわたって行なわれるのではなく、差動積算器１
９８は、アップーダウン行程に関係的なべース脚１１６
のゆがみの位相に依存する所望の正または負の向きの適
当なＤＣ信号Ｂを生じさせる。同じ結果を生ずる他の構
成を第１２図に示す。図示するように、ひずみ計２０４
，２０５を、入口脚１０８とベース脚１１６との交さ箇
所及び出口脚１０９とベース脚１１６との交さ箇所にそ
れぞれ隣接して取り付ける。ひずみ計２０４，２０５を
、Ｕ字形の導管１０４の隣接部分のゆがみに依存する可
変抵抗器として示してあるが、これらひずみ計２０４，
２０５を抵抗器２０７，２０８に接続して、図示するよ
うに電圧源と通じるブリッジ回路を構成し、さらにこれ
らひずみ計２０４，２０５を、ＡＣ差動増幅器２ １
０に接続する。Ｕ字形の導管１０４の簡単な振動の場合
には、ひずみ計２０４，２０５の抵抗率は等しく変化す
ることにより、本質的に同一の入力をＡＣ差動増幅器２
１０に供給する。しかし、コリオーＪの力に基づくゆが
みの生ずる場合には、ひずみ計２０４，２０５のうちの
一方の抵抗率は増大するが他方の抵抗率は減少すること
により、異なる入力をＡＣ差動増幅器２１０に供給し、
ひずみ計２０４，２０５に加えられる異なるひずみに、
大きさ及び向きが比例するＡＣ信号の形の出力を生ずる
。ＡＣ差動増幅器２１０からの出力は、同期式復調器２
１１に供給され、信号Ａと関連して、コリオリの力の結
果として生ずるＵ字形の導管１０４のゆがみに、大きさ
及び向きが比例するＤＣ出力を生ずる。同期式復調器２
１１は、前述した同期式復調器１６２に類似しているが
、第１４図に関してはさらに詳細に説明する。信号Ｂを
発生する幾分か類似した構成を、第１３図に図示する。

しかしこの場合、ピボット部片２１５をべ−ス脚１１６
の中央に取り付け、このピボット部片により慣性榛２１
７を支持する。慣性棒２１７は、ピボット部片２１５の
まわりを自由に回動し、つりあいを保つ。水晶２１９，
２２０を、慣性綾２１７と台脚１１６との間に連結する
。したがって、ベース脚１１６が単純な振動を受ける場
合は、慣性棒２１７は、ピポット部片２１５のまわりに
回動しようとしないで単に振動に追従するにすぎない。
しかし、コリオリの力の結果として生ずるＵ字形の導管
１０４のゆがみの生ずる場合には、ベース脚１１６は、
慣性綾２１７に相対的に回動しようとする傾向が生ずる
ことにより、水晶２１９，２２０‘こ反対方向の力が加
えられ、それゆえ圧電効果の結果、水晶２１９，２２０
から信号が発生する。水晶２１９，２２０からの出力を
ＡＣ差動増幅器２２２に接続し、次いで同期式復調器２
２４に接続し、信号Ａと関連して、Ｕ字形の導管１０４
のゆがみに比例する大きさ及び向きを持つＤＣ信号Ｂを
生ずる。電圧源及びひずみ計を、水晶２１９，２２０の
代りに都合のよいように使用できるのはもちろんである
。第１０図に関連して前述した、したがって同期式復調
器２１１，２２４に類似の同期式復調器１６２を第１４
図に示す。図示するように、ＡＣ信号の形の入力信号が
、入力線路２２５において変圧器の一次巻線２２７に供
給される。共通接地の二次巻線２２８を、極性によって
示されるように反対の方向に巻く。したがって二次巻線
２２８の反対端部からの出力は、位相が１８００ずれて
いる。ＦＥＴトランジスタ２３０，２３１の形のスイッ
チング手段を、二次巻線２２８からの出力に設ける。信
号Ａに接続した比較器２３３により、信号Ａと基準電圧
ＶＲ３の関係に依存する正または負の信号を生ずる。し
たがって比較器２３３の出力は、正または負の向きの方
形波信号であって、その信号は反転するィンバータ２３
５に供給される。したがって方形波信号の一部分は、ス
イッチング手段２３０をターンオンするが、スイッチン
グ手段２３１はターンオフされる。そして方形波信号の
他の部分は、スイッチング手段２３１はターンオンする
が、スイッチング手段２３０はターンオフされる。した
がって、信号Ａと同相の入力信号２２５の一部分は、抵
抗器２３８とコンデンサ２３９とにより構成されるＲＣ
回路２３７に供給され、このＲＣ回路すなわちフィル夕
２３７は、これへの入力の平均平方根に比例するＤＣ信
号を出す。このＤＣ信号出力は、前述したように読み取
りを行なうことができる。すなわちＤＣ信号は、Ｕ字形
導管１０４を通る質量流量に比例する。要約すれば、前
述した流量計１００は、たわみセンサ１３３，１３４を
利用して、コリオリの力に起因するＵ字形の導管１０４
の小さい初期のたわみの大きさ及び向きを検出し、この
ようなたわみに比例する大きさ及び向きを持つＤＣ信号
を発生する。

このＤＣ信号、信号Ｂは、本質的には帰還信号であって
、フオースコィル１３１，１３２により生ずる無効化力
（ｎｕｌｌｉｎｇｆｏｒｃｅ）を調整して、初期の検出
されたゆがみを越えた目につくほどのゆがみを防止する
反対の力を生じさせる。センスコイル１２８，１２９は
、前述した駆動回路を介してＵ字形の導管１０４の振動
の振動数を保持すると共に、信号Ａ、コリオリの力と同
相の信号を生ずることにより、フオースコィル１３１，
１３２の適当な変調、Ｕ字形の導管１０４を駆動するた
めのＡＣ増幅器１３５の出力の適当な同期及び質量流量
に比例するＤＣ出力を生ずるためのフオースコィル１３
１，１３２の同期信号の適当な復調を行なうために設け
られている。コリオリの力を測定する好適な２つの手段
すなわち導管の弾性的なたわみを許容し、このたわみを
妨げるように力を無効化し、この無効化力を測定する好
適な２つの手段を前述したけれども、多数の他の一般的
にはあまり所望でない手段も使用できる。

いずれの手段においても、圧力感応継手（ｐｒｅｓｓｕ
ｒｅｓｅｎｓｉｔｉｖｅＰｉｎｔ）またはピポット手段
に本質的に拘束されない固定的に取り付けたＵ字形の導
管を使用することによって、振動及びたわみを容易に完
成させ、広い圧力範囲にわたって質量流れを測定するこ
とができる。以上本発明の好適な実施例を詳細に説明し
たが、本発明はその精神を逸脱することなく各種の変化
変型を行なうことができるのは明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による流体流量メータの斜視
図、第２図は流体流れ状態で中央における揺動を示す第
１図の流量メータの正面図、第３図は第２図に示した流
量メータの中点における上向き揺動を示す正面図、第４
図は同じく下向き揺動を示す正面図、第５図は第１図の
流量メータの駆動回路を示すブロックダイヤグラム、第
６図は第１図の流量メータの読取り回路の論理ダィヤグ
ラム、第７図は流体流れのない状態での流量〆−夕の読
取り信号のタイミングダイヤグラム、第８図は流体が導
管内を左側から右側に流動する第１図に対して流体が右
側から左側へ流動する。 流体流れ状態での上記のタイミングダイヤグラム、第９
図は本発明の別の実施例による流量メータを簡単に示す
斜視図、第１図は第９図の流量メータの駆動および議取
り部分を示す回路図−但し回路の擬れ感知部分は除いて
ある。第１１図は第１０図においてラベルＢの信号を発
生するのに通した涙れ感知装置の回路ダイヤグラム、第
１２図は第１１図と同一目的のための別の回路ダイヤグ
ラム、第１３図は同じ目的のさらに別のダイヤグラム、
第１４図は第１０，１２および１３図の同期復調器の代
表的回路ダイヤグラムである。Ｆｉ９．ｌＦｉｇ．２ Ｆｉｇ．３ Ｆｉ９．４ Ｆｉｇ．５ Ｆｉｇ．６ Ｆｉｇ．７ Ｆｉ９．８ Ｆｉｇ．９ ＦＩＧ．１０ Ｆｉｑ．１１ Ｆｉｇ．１２ Ｆｉｑ．１３ Ｆｉｇ．１４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 下記の要素から成ることを特徴とする流動可能な物
   質の質量流量測定装置：（１）支持部材、 （２）二つの開端を有する湾曲形状の連続した導管であ
   つて、該導管が（i）圧力による変形に感応する継手を
   具備せず、（ii）前記両方の開端において前記支持部材
   に固設され、（iii）前記支持部材から片持ばり状に延
   びており、これによつて事実上前記支持部材への固設部
   位において前記導管の両方の開端を通る第１の軸線のま
   わりを前記支持部材に対して前記導管が振動可能であり
   、（iv）前記導管の対称軸線である第２の軸線のまわり
   に弾性変形し得ること、（v）前記第１および第２の軸
   線のそれぞれの軸線のまわりに異なる固有共振振動数を
   有すること、（３）前記第１の軸線のまわりの前記導管
   の固有共振振動数に実質的に等しい該第１の軸線のまわ
   りの固有共振振動数を有する往復動部材、（４）流動可
   能な物質が前記導管を通つて流れて該導管及び前記往復
   動部材が前記第１の軸線のまわりに振動している時、導
   管を前記対称軸線のまわりに弾性的に歪めようとするコ
   リオリ力の大きさを測定する検知手段、（５）前記検知
   手段の出力を質量流量に変換するための手段、および、
   （６）前記導管および前記往復動部材に作用して該導管
   と前記往復動部材とを前記第１の軸線のまわりにたがい
   に逆位相に駆動し得るドライバ。 ２ 前記第１の軸線のまわりの前記導管の固有共振振動
   数を、前記第２の軸線のまわりの前記導管の固有共振振
   動数より低くして成る特許請求の範囲第１項記載の流量
   計。 ３ 前記導管を振動させるドライバは、前記導管または
   前記往復動部材に取り付けた磁石と、前記往復動部材ま
   たは前記導管に取り付けたセンサコイル及びフオースコ
   イルと、前記磁石を前記センサコイルを通過して運動さ
   せることによつて定まる信号に応答して前記フオースコ
   イルに電流を供給する電源と、を具備して成る特許請求
   の範囲第１項または第２項記載の装置。 ４ 前記ドライバがさらに増幅器およびピーク振幅検出
   器を具備して成る特許請求の範囲第３項記載の装置。 ５ 前記検知手段が前記導管に隣接して対称的な位置に
   取り付けられた複数のセンサから成り、各センサは前記
   導管の隣接部分がその振動経路の所定点を通過するとき
   に信号を発生するようになされており、さらに、上記セ
   ンサによる信号出力間の時間遅れを測定するタイマを具
   備することにより、質量流量を前記時間遅れに正比例す
   る関数として測定されるようにした特許請求の範囲第１
   項ないし第４項のいずれかに記載の装置。 ６ 一方向への導管振動中になされた前記時間遅れが他
   方向への前記振動の時間遅れから減算されるようにした
   特許請求の範囲第５項記載の装置。 ７ 前記導管および前記往復動部材が一定の振動数及び
   振幅で前記第１の軸線のまわりを振動せしめられるとと
   もに、コリオリ力の大きさを測定するための前記検知手
   段が前記第２の軸線のまわりの前記導管の弾性変形の結
   果としての該導管の角度のたわみを測定する少なくとも
   一の検出器からなり、これによつて前記第２の軸線のま
   わりの前記導管の弾性変形の大きさにより流動可能な物
   質の質量流量を測定するようにして成る特許請求の範囲
   第１項記載の装置。 ８ 前記第１の軸線のまわりの前記導管の固有共振振動
   数を前記第２の軸線のまわりの前記導管の固有共振振動
   数より高くして成り、又前記ドライバが前記導管と前記
   往復動部材とを一定の振動数及び振幅でかつ逆位置で振
   動せしめるようにして成り、さらに、前記検知手段が前
   記第２の軸線のまわりの前記導管の初期ゆがみを検知す
   るとともに該検知手段に応答して前記導管の前記第２の
   軸線のまわりの変形を実質的に抑止し制限するための対
   抗力を発生せしめる手段を具備して成り、これによつて
   前記対抗力の大きさから前記流動可能な物質の質量流量
   を測定するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の装置。 ９ 下記の要素から成ることを特徴とする流動可能な物
   質の質量流量測定装置：（１）支持部材、 （２）二つの開端を有する湾曲した形状の連続した導管
   であつて、該導管が（i）圧力による変形に感応する継
   手を具備せず、（ii）前記両方の開端において前記支持
   部材に固設され、（iii）前記支持部材から片持ばり状
   に延びており、これによつて事実上前記支持部材への固
   設部位において前記導管の両方の開端を通る第１の軸線
   のまわりを前記支持部材に対して前記導管が振動可能で
   あり、（iv）前記導管の対称軸線である第２の軸線のま
   わりに弾性変形し得ること、（v）前記第１および第２
   の軸線のそれぞれの軸線のまわりに異なる固有共振振動
   数を有すること、（vi）流動可能な物質で満たされた導
   管の質量が前記支持部材の質量に比してかなり小さい導
   管であること、（３）流動可能な物質が前記導管を通つ
   て流れて該導管が前記第１の軸線のまわりに振動してい
   る時、前記導管を前記第２の軸線のまわりに弾性的に歪
   めようとするコリオリ力の大きさを測定するための検知
   手段であつて、該検知手段が前記導管に隣接して対称的
   な位置に取り付けられた複数のセンサから成り、各セン
   サが前記導管の隣接部分がその振動経路の所定点を通過
   するときに信号を発生するようになされており、さらに
   、上記センサによる信号出力間の時間遅れを測定するタ
   イマを具備して成る前記検知手段、（４）前記検知手段
   の出力を質量流量に変換するための手段、（５）前記導
   管を前記第１の軸線のまわりに振動させるドライバ。