JPS6034737B2 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

顕微鏡対物レンズ

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JPS6034737B2
JPS6034737B2 JP52026969A JP2696977A JPS6034737B2 JP S6034737 B2 JPS6034737 B2 JP S6034737B2 JP 52026969 A JP52026969 A JP 52026969A JP 2696977 A JP2696977 A JP 2696977A JP S6034737 B2 JPS6034737 B2 JP S6034737B2
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lens
group
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lenses
group lens
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/02Objectives

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は綾面平坦なアクロマート級顕微鏡対物レンズに
関するものである。
従来この種の顕微鏡対物レンズは後面が平坦であるとし
ても視野周辺まで十分に平坦な.ものではなく、中心部
近傍のみが像面平坦であった。
又比較的広い範囲にわたって像面が平坦なものは、閉口
数が小であった。本発明は従来のものと比較して充分周
辺まで像面の平坦性が得られ、関口数もN.A=0.7
で大きく、解像力の良い、倍率が4“音程度の顕微鏡対
物レンズを提供するものである。
本発明対物レンズは、物体側より順次凹面を物体側に向
けた正のメニスカスレンズの第1群レンズと、凹面を物
体側に向けた正のメニスカスレンズの第2群レンズと、
負レンズと両凸レンズとを接合した接合正しンズの第3
群レンズと、負レンズと両凸レンズとを接合した接合正
しンズの第4群レンズとにて前群を又正しソズと負レン
ズとからなる象側に凹面を向けた接合レンズの第5群レ
ンズにて後群を構成するレンズ系である。
そして前群および後群の合成焦点距離を夫々f,、f2
、第1群レンズの物体側の面および像側の面の曲率半径
を夫々r,、r2、第3群レンズの両レンズ、第4群レ
ンズの両レンズおよび第5群レンズの両レンズの夫々の
レンズのアッべ数をし3、し4、し5・し6・ひ7・し
6、更に第5群レンズの両レンズの8=凶二虫にて定義
されるひの値を8〜一nc7、08とする時、次の各条
件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズである
m−。
〇5≦毒≦Q。5 脚1‐3≦害≦・‐75 ‘3’ 70ミ〔(し4ーレ3)十(し6−し5)〕≦
90■争う亨害≦。
‐〇05本発明対物レンズは後群のパワーを弱くしてあ
るが、そのために俊面轡曲、コマ収差を整えるために条
件‘11が用いられている。
この条件‘1}において亀がその上限を越えるとつまり
後群が正の値でパワーが強くなると擬面琴曲が補正過剰
になり、コマの非対称性が著しく悪くなる。その上球面
収差を補正する上で著しい困難性が生ずる。また害が条
件‘1}の下限を越えてもつまり後群の負の値でパワー
が強くなり、像面費曲が悪くなり、色収差が大になり球
面収差の色収差の補正がむずかしくなる。次に条件■は
第1群レンズの凹のメニスカスレンズの屈折力を定める
条件である。
この条件はべッッバール和を補正して像面誓曲を除去し
、全系の球面収差、コマ収差を補正するために必要な条
件である。この条件■の上限を越えると像面轡曲が補正
過剰となり斜光東球面収差性のコマ収差が補正不足にな
る。この条件の下限を越えると逆に像面蜜曲が補正不足
になり、コマ収差が補正過剰となる。条件‘31‘ま前
群の色消しンズの総合の分散率差を定めた条件であって
、これによって全系の軸上の色収差と倍率の色収差との
バランスをとっている。
この条件{3}の上限を越えると倍率の色収差を充分補
正したときに短波長光の軸上の色収差の周辺光線が補正
過剰となりすぎるため像にフレアーとなって現われコン
トラストが悪くなる。条件(31の下限を越えると軸上
の色収差を充分に補正したときに倍率の色収差の補正不
足量が大きくなりすぎる。条件【4}は中心解像を著し
くさまたげる色収差の2次スペクトルを4・さくするた
めの条件である。
すなわち第5群レンズの凸レンズに部分分散比の大きな
ガラスを用い、凹レンズに部分分散比の小さなガラスを
用いることによって色収差の2次スペクトルを4・さく
し、見えに及ぼす悪影響を除くようにした。この条件t
4’から外れた場合には2次スペクトルを小さくするこ
とが出来ない。又本発明の対物レンズは次の条件側、‘
61をも満足するようにしたものである。
{5)1‐5≦l幹ーミ2‐5 ‘611‐5≦1零1≦・8 ただしr小r,.、r,3は夫々第4群レンズの嫁側の
面、第5群レンズの物体側の面と綾側の面の曲率半径で
ある。
これら条件5}、‘6)は、ベッッバール和を補正して
象面轡曲と非点隔差を除くために必要な条件であって、
畔ー、l号俄上肢物条件の上限をこえると像面轡曲が補
正過剰になり、斜光東球面収差の輪帯収差が増大し、下
限をこえると後面轡曲、非点隔差が補正不足になる。
更に本発明の対物レンズは、以上説明した各条件の他に
下記の各条件を付することにより、一層良好なものとな
し得る。
{7’一。
‐2≦&弓1・fミ。‐〇3(8i 一〇,1ミは一1
.fミ〇,1 一 r8 一 ■肌<辛〜<f ただしも、r8は夫々第2群レンズの物体側の面、第4
群レンズの物体側の面の曲率半径、d,は第1群レンズ
の肉厚、らは第1群レンズと第2群レンズの空気間隔、
n,、n2、広は夫々第1群レンズ、第2群レンズ、第
4群レンズの物体側のレンズの屈折率である。
これら条件中、条件‘7}、(8}は非点隔差を整える
と共に非対称性コマ収差を除く条件で午;fおよび主;
fが夫々の条件の上限をこえると非点隔差が補正不足に
なり更に内側コマ性の非対称性コマが増加し、下限をこ
えると非点隔差が補正過剰になり、外側コマ性の非対称
性コマが増大する。
又条件【9}‘ま条件m、■、‘5}、‘6)、‘7}
、{8’と共に一層像面湾曲、コマ収差を良好にするた
めに有効な条件であって、この条件‘9}において上限
をこえると像面琴曲が補正不足に、斜光東性のコマ収差
が補正過剰になる。の条件の下限をこえると像面費曲が
補正過剰となり、コマ収差が補正不足になる。次に以上
説明した本発明顕微鏡対物レンズの実施例を示す。
実施例1 f=1.0.夕=40×.N.A二0.7.W.D=0
.1657r,=−0.6362d,=1.0847
n,=1.78472 y,=25.71r 2=−1
.0336d2=0.0246 r3=−15.5604 d3=0.7229 n2=1.497 〃2=8
1160r4=−1.7302d4=0.0246 「 5=−8.6105 d5一。
一2997 n3一1.5213 レ3−52.55
r6=1.8391d6三〇.9229 n4−,.4
97 レ4申81.60「7=−2.6282d7
=0.0345 r8こ75.5106 d8−〇.2462 n5=,.7847 レ5=2
6.22r9=2.3155d9=〇.6402 n6
=,.497 レ 6−−81.60rlo=−3
.7586d,o:3.9990 rl・=2.0982 d,.=1.0746 n7=1.783 y7=
36.15r12=3.3781d12=〇.4765
n6=1・6134 レ8t=43.84r13=
1.2170f ,=1.504 f2−−1
50.41887=0.5870 68=0.56
23実施例2f=1.0.夕=40×.N.A:0.7
.W.D=0.1654r,=−0.6378dl=1
.1615 n・ニーー78472 レ1=25.71
r2こ−1.0741d2−0.0246 「3=−22.5264 d3=〇.7707 n2=,.497 レ2=8
1.60r4=−1.8590d4三0.0246 r5=−80.9474 d5二〇.3532 n2=,.52682 レ3=5
1.12「6=1.8277d6=〇.9712 n4
=1.497 リ4;81.60r 7=−2.9
691d7=0.0344 r8=61.0911 d8二〇.2458 n5=,.80518 レ5=2
5.43「9=2.2709d9=0.6391 n6
=1.497 〃6二81.60「lo=−4.0
145d,o=4.0669 rl・=1.9044 dll−。
19361 n7−1.74077 レ7申27.79
r12=2.1142d12=〇.3427 n8二1
.6134 レ8コ43184r13=1.2113
f,一1.475 f2−一44.59387
=0.6060 68=0.5623実施例3f〒
1.0.クニ40×.N‐A〒○‐7.W‐Dニ0‐1
638rl=一0.5898dl−1.0492 nl
−1.78472 レ1−25.71r2二−1.00
96d2二0.0243 「3『一14.0057 d3二0.6459 n2ーー1.4925 リマ三
81.90r4=−1‐6253d4−0.0243 r5=−38.5954 d5=0.2779 n3−1.5213 ′ 〃 3
−52.55「6=1.7252d6=〇.8951
n4−1.4925 リ4〒81.90r7=−2.
6818d7=0.0341 「8=−276.8809 d8=。
・2434 n5ニー・80518 レ5=25143
f=1.0.クこ40×.N.A=0.7.W.○二0
.1638r9=2.2340d9−〇.6328 n
6−1.4925 レ6:8.1190「lo=−3
.4057dlo=3.9883 rl・=1.9127 d,.=0.9450 n7二1.72342 〃7二
37.95r12=6.4511d,2〒0.3432
n8=1.61484 〃8−−51.17r13=
1.1849f ,=1.421 f2=−16
1.56987=0.5835 68=0.557
3実施例4f=1.0.夕=40×.N.A=0.7.
W.D=0.1638r,=−0.5775dl=11
0304 nl:1.78472 レ1〒25・71r
2=−0.9776d2=0.0243 r3=−127.6624 d3−〇.6167 n2−1.4925 レ2−8
1.90r4=−1.6702d4二0.0243 r5=−13.3607 d5=0.2872 n3−1.5213 〃3−5
2.55r6=1.6493d6:〇.9031 n4
二,.4925 レ4−81.90r 7=−2.6
376d7=0.0341 【8二−149.0899 d8:。
・2434 n5ご1.80518 レ5二25・43
「9=2.1982d9二0.6328 n6:1.4
925 〃6=81‐90rlo=−3.2426d
,o−3.9939 ru:1.9263 dll=〇.9516 n7=1.7495 レ7=
35.27r12=5.6938d,2−0.3517
n8−1.6134 〃8=43.84r13=1
.1734f,二1.412 f2=3360
.71367=0.5885 88二0.562
3実施例5f=1.0.クニ40×.N.A=○‐7.
W‐〇ニ0.1629rl=−0.5879d,=1.
1268 n,=1.78472 〃,=25.71r
2;−0.9712r=1.0.J=40×,N.A=
0.7.W.D=0.1629d2二0.0242r3
=−3.4741 d3−〇.5324 n2二,.497 レ2−8
1.60r4=−1.7216d4三0.0242 r5=3.4827 d5=0.3556 n3=1.5213 〃3二5
2.55「6=1.4761d6=。
−9526 n4=,.497 レ4=81.60
r7=−2.7742d7=0.0339 r 8=−15.9252 d8=〇.2420n5=,.7847 レ5二26
.22「9こ1.6468d9=0.6292 n6一
1.497 〃6=81.60で10=−4・30
63d,o−4.0024 rl・=1.9340 dll−〇.9124 n7=,.7495 レ7−
35.27r12=−80.2098d・2コ〇.29
86 n8=1.6134 レ8=43.84「13
=1‐1830f,=1.332 f2=79
.84067:0.5885 68二0.562
3ただしr,、r2・・・……r,3はしンズ各面の曲
率半径、d,、d2・・・…・・・d,2は各レンズの
肉厚およびレンズ間隔、n,、n2………増ま各レンズ
の屈折率、し1・し2..・..・…し8は各レンズの
アツべ数である。
上記実施例中実施例1および実施例2が第1図に示すレ
ンズ構成で実施例3および実施例4はr8がゆるい凹面
になっている点が第1図と異なり、又実施例5はr5が
凸面、r8が凹面更にr,2が物体に対し凸の面になっ
ている点で第1図のレンズ構成とは異なるものである。
尚各条件に対応する各実施例の値を示すと次の通りであ
る。実施例 1 2 3 4 5 f,/f2 ‐0.01 ‐0.03 ‐0.009
0.0004 0.02r2/r, 1.62
1.68 1.71 1.69 1.65■4−レシ
十■6ーリづ 84.43 86.68 85.82
85.82 84.4387‐a8 0.0032
o.oo26 o.oo2 o.00310−003
レ8一y7lr,oイr,,l 1.79 2.1
1 1.78 1.68 223!r,,イr,
3l 1.72 1.57 1.61 1.64
1.63n2‐1 −0.03 一o.o2
−oo35 ‐0.004 ‐0.14で3n5‐1 0.01 0.013 −0.003 ‐0.005‐
005r89」IM2 o.63 o.68 0‐
61 0.60 0.6601
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明対物レンズの断面図、第2図乃至第6図
は夫々本発明の実施例1乃至実施例5の各収菱曲線図で
ある。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 凹面を物体側に向けた正のメニスカスレンズの第1
    群レンズと、凹面を物体側に向けた正のメニスカスレン
    ズの第2群レンズと、負レンズと両凸レンズとを接合し
    た接合正レンズの第3群レンズと、負レンズと両凸レン
    ズとを接合した接合正レンズの第4群レンズとにて前群
    を又正レンズと負レンズとからなる像側に凹面を向けた
    接合レンズの第5群レンズにて後群を構成するレンズ系
    で、下記の各条件を満足することを特徴とする顕微鏡対
    物レンズ。 (1) −0.05≦(f_1)/(f_2)≦0.0
    5(2) 1.3≦(r_2)/(r_1)≦1.75
    (3) 70≦〔(ν_4−ν_3)+(ν_6−ν_
    5)〕≦90(4) (θ_7−θ_8)/(ν_8−
    ν_7)≦0.005(5) 1.5≦|r_1_0/
    r_1_1|≦2.5(6) 1.5≦|r_1_1/
    r_1_3|≦1.8 ただしf_1、f_2は夫々前
    群および後群の合成焦点距離、r_1、r_2は夫々第
    1群レンズの物体側の面および像側の面の曲率半径、ν
    _3、ν_4、ν_5、ν_6、ν_7およびν_8は
    夫々第3群レンズの両レンズ、第4群レンズの両レンズ
    、第5群レンズの両レンズのアツベ数、θ_7およびθ
    _8は夫々第5群レンズの各レンズのθ=(n_g−n
    _F)/(n_F−n_c)で与えられるθの値である
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