JPS6035517A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JPS6035517A JPS6035517A JP58143865A JP14386583A JPS6035517A JP S6035517 A JPS6035517 A JP S6035517A JP 58143865 A JP58143865 A JP 58143865A JP 14386583 A JP14386583 A JP 14386583A JP S6035517 A JPS6035517 A JP S6035517A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- scanning
- amplifier
- sample
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は半導体技術のホトマスクやウェーハ等の自動外
観検査に用いて好適な検査装置に関するものである。
観検査に用いて好適な検査装置に関するものである。
半導体装置の製造工程の一つに、ホトリソグラフィ技術
にて形成されたホトマスクやウェーハのパターンに欠陥
が生じているか否かを検査する所謂外観検査工程がある
。この外観検査工程は現在では殆んど自動化されており
、被検査体としてのホトマスクやウェーハ等の試料を走
査テーブル上に載置してこれを移動させる一方、レーザ
光等を利用したパターン検出系をこの試料の移動によっ
て相対的に走査することにより試料のパターンを検出し
、検出したパターン情報をＭ／Ｔ（マスターテープ）デ
ータと比較してパターン（外観）の検査ン行なうことが
考えられる。
にて形成されたホトマスクやウェーハのパターンに欠陥
が生じているか否かを検査する所謂外観検査工程がある
。この外観検査工程は現在では殆んど自動化されており
、被検査体としてのホトマスクやウェーハ等の試料を走
査テーブル上に載置してこれを移動させる一方、レーザ
光等を利用したパターン検出系をこの試料の移動によっ
て相対的に走査することにより試料のパターンを検出し
、検出したパターン情報をＭ／Ｔ（マスターテープ）デ
ータと比較してパターン（外観）の検査ン行なうことが
考えられる。
ところでこの種の装置では、前記したパターン検出系忙
撮像素子を使用し、この撮像素子が受ける光信号を電気
信号に代えてこれを検出（ｇ号とし２て取り出すように
なっている。そして、撮像素子はその検出信号レベルが
素子の光蓄積時間と正の相関があることが判明しており
、光蓄積時間が長い程同−ツＣ信号でも検出信号レベル
は大になる。
撮像素子を使用し、この撮像素子が受ける光信号を電気
信号に代えてこれを検出（ｇ号とし２て取り出すように
なっている。そして、撮像素子はその検出信号レベルが
素子の光蓄積時間と正の相関があることが判明しており
、光蓄積時間が長い程同−ツＣ信号でも検出信号レベル
は大になる。
また、この光蓄積時間は逆に素子の走査速度と逆の相関
にあることも判明しており、速度が大きい稈元蓄積時間
は短くなる。
にあることも判明しており、速度が大きい稈元蓄積時間
は短くなる。
したがって、同一の光信号を検出する場合圧も試料に対
する撮像素子の走査速度が異なると検出信号レベルが相
違することになる。このため、走査テーブルに速度むら
が生じていると速度の大。
する撮像素子の走査速度が異なると検出信号レベルが相
違することになる。このため、走査テーブルに速度むら
が生じていると速度の大。
小によって検出信号レベルが変動し、例えば同一の光信
号でもｌ−きい値の上下で信号レベルが変動し、全く異
なったパターン検出を行なってしまうことになる。これ
により外観検査の信頼性が低下され、製品の歩留が低下
することを本発明者は見い出した。
号でもｌ−きい値の上下で信号レベルが変動し、全く異
なったパターン検出を行なってしまうことになる。これ
により外観検査の信頼性が低下され、製品の歩留が低下
することを本発明者は見い出した。
これを防ぐには速度むらのない走査テープＡ／乞使用す
ればよいが、このような走査テーブルは高価であり、し
かも速度むら乞完全に零圧することは不可能に近いのが
実情である。
ればよいが、このような走査テーブルは高価であり、し
かも速度むら乞完全に零圧することは不可能に近いのが
実情である。
本発明の目的は走査テーブルの速度むらＫかかわらず一
定の光信号からは常に一定の検出信号レベルを得ること
ができ、こｆｌ、 Ｋより検査の信頼性を晶いものＫで
きる検査装置を提供することにある。
定の光信号からは常に一定の検出信号レベルを得ること
ができ、こｆｌ、 Ｋより検査の信頼性を晶いものＫで
きる検査装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的ｌＬものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、走査テーブルの速度を検出し２、この速度の
変化に応じて撮像素子の検出信号レベルの利得を変化で
きるよう構成することにより、走査テーブルの速度変化
にかかわらず一定の光信号からは常に一定のレベルの検
出信号を得ることができ、これＫより検査の信頼性の向
上を達成するものである。
変化に応じて撮像素子の検出信号レベルの利得を変化で
きるよう構成することにより、走査テーブルの速度変化
にかかわらず一定の光信号からは常に一定のレベルの検
出信号を得ることができ、これＫより検査の信頼性の向
上を達成するものである。
図は本発明の一実施例を示しており、１は被検査体とし
てホトマスクで例示する試料である。この試料１はＸＹ
テーブルからなる走査テーブル２上に載置され、送すモ
ータ３．ウメーム軸４等の駆動機構により駆動される走
査テーブル２と共に水平Ｘ、 Ｙ方向に移動される。前
記試料１のパターンないし外観を検査するパターン検出
系５は、前記走査テーブル２の上方に配置ｌ−だ対物レ
ンズ６および撮像素子７を有すると共に、この撮像素子
７に接続されるアンプ８．コンパレータ９を有している
。アンプ８は撮像素子７の検出信号を増幅シ、コンパレ
ータ９はこの検出信号をＭ ／ Ｔ テーク１０と比較
して検出パターンの良否を判定するものである。ＩＩは
結果を表示するだめのディスプレイである。
てホトマスクで例示する試料である。この試料１はＸＹ
テーブルからなる走査テーブル２上に載置され、送すモ
ータ３．ウメーム軸４等の駆動機構により駆動される走
査テーブル２と共に水平Ｘ、 Ｙ方向に移動される。前
記試料１のパターンないし外観を検査するパターン検出
系５は、前記走査テーブル２の上方に配置ｌ−だ対物レ
ンズ６および撮像素子７を有すると共に、この撮像素子
７に接続されるアンプ８．コンパレータ９を有している
。アンプ８は撮像素子７の検出信号を増幅シ、コンパレ
ータ９はこの検出信号をＭ ／ Ｔ テーク１０と比較
して検出パターンの良否を判定するものである。ＩＩは
結果を表示するだめのディスプレイである。
一方、前記走査テーブル２には、走査速度、換直すれば
テーブル移動速度を検出する走査速度検出手段１２乞近
接配置している。この走査速度検出手段１２は、テーブ
ル２に向けてレーザ光を投射しその反射光によりテーブ
ル２との間の距離を測定する測長器１３と、この測長器
１３から出力されるパルス数をｆｌ数するカウンタ１４
と、このカウント１４の作動を制御するザングリング１
５および言１数パルス数を一時保持するラッグ°１６と
ｙｔｍえ、これらの作用によって走イ［テーブル２の速
度を順次検出する８更に、この走査速度検出手段１２に
は前記パターン検出系５のアンプ８の増幅率、つまり利
得を変化制御Ｊる料量制御手段１７を接続し゛〔いる。
テーブル移動速度を検出する走査速度検出手段１２乞近
接配置している。この走査速度検出手段１２は、テーブ
ル２に向けてレーザ光を投射しその反射光によりテーブ
ル２との間の距離を測定する測長器１３と、この測長器
１３から出力されるパルス数をｆｌ数するカウンタ１４
と、このカウント１４の作動を制御するザングリング１
５および言１数パルス数を一時保持するラッグ°１６と
ｙｔｍえ、これらの作用によって走イ［テーブル２の速
度を順次検出する８更に、この走査速度検出手段１２に
は前記パターン検出系５のアンプ８の増幅率、つまり利
得を変化制御Ｊる料量制御手段１７を接続し゛〔いる。
この利得制御手段１７は例えばＤ／Ａコンバータ１８を
有し、前記ラッグ′１６に保持されたパルス情報を比例
的にアナログ化し、このアナログ信号によって自動的に
利得ヲ変化させるＡＧＣ（自動利得制御）として構成さ
れている。
有し、前記ラッグ′１６に保持されたパルス情報を比例
的にアナログ化し、このアナログ信号によって自動的に
利得ヲ変化させるＡＧＣ（自動利得制御）として構成さ
れている。
以上の構成によれば、駆動機構により走査デープル２を
移動して試料１を撮像素子７に対して走査させれば、撮
像素子７は試料パターンをｌ：ｌｒｉ次撮像し、光信号
に応じた検出Ｍ号乞出力する。この′とき、走査テーブ
ル２に速度むらが生じていればそれに応じた光の蓄積時
間となり、検出レベルは若干変動される。検出信号はア
ンプ８により増幅された上でコンパレータ９において基
準信号としてのＭ ／ Ｔデータ１０と比較され、パタ
ーンの良否が判定されてディスプレイ１１に表示される
。
移動して試料１を撮像素子７に対して走査させれば、撮
像素子７は試料パターンをｌ：ｌｒｉ次撮像し、光信号
に応じた検出Ｍ号乞出力する。この′とき、走査テーブ
ル２に速度むらが生じていればそれに応じた光の蓄積時
間となり、検出レベルは若干変動される。検出信号はア
ンプ８により増幅された上でコンパレータ９において基
準信号としてのＭ ／ Ｔデータ１０と比較され、パタ
ーンの良否が判定されてディスプレイ１１に表示される
。
ところが、このとき走査テーブル２の速度は走査速度検
出手段１２により時々検出されているため、テーブル速
度が所定の速度（基準速度）Ｋ対して大又は小になる速
度むらが生じると、この速度の変動に応じて利得制御手
段１７がアンプ８の増幅率を変化させろ。具体的には速
度が低下すれば増幅率を下げ、速度が増えれば増幅率を
上げる。
出手段１２により時々検出されているため、テーブル速
度が所定の速度（基準速度）Ｋ対して大又は小になる速
度むらが生じると、この速度の変動に応じて利得制御手
段１７がアンプ８の増幅率を変化させろ。具体的には速
度が低下すれば増幅率を下げ、速度が増えれば増幅率を
上げる。
したがって、同一１７ベルの光信号を撮像素子７が受け
てその出力レベルが走査テーブル２の速度によって増減
されても、これに応じ−〔アンプ８の増幅率が逆の方向
に変化されるので、アンプ８からの出力は同一レベルと
なる。これにより、走査テーブル２の速度むらに起因さ
れる誤検査は防止され、正確な検査が実現されるｄ。
てその出力レベルが走査テーブル２の速度によって増減
されても、これに応じ−〔アンプ８の増幅率が逆の方向
に変化されるので、アンプ８からの出力は同一レベルと
なる。これにより、走査テーブル２の速度むらに起因さ
れる誤検査は防止され、正確な検査が実現されるｄ。
なお、パターン検出系５は検出信号をＡ／Ｄコンバータ
によってデジタル化したーヒでこれをＭ／Ｔデータと比
較する構成でもよく、この場合には走査速度検出手段Ｊ
２のラッテ１６の出力をそのままＡ’／Ｄコンバークに
入力させ゛ＣＡ／Ｄコンバータの基準値（しきい値）制
御を行ない、これにより走査速度に対応した相対的な利
得制御を行なうようにしてもよい。
によってデジタル化したーヒでこれをＭ／Ｔデータと比
較する構成でもよく、この場合には走査速度検出手段Ｊ
２のラッテ１６の出力をそのままＡ’／Ｄコンバークに
入力させ゛ＣＡ／Ｄコンバータの基準値（しきい値）制
御を行ない、これにより走査速度に対応した相対的な利
得制御を行なうようにしてもよい。
（１）走査速度検出手段と、これに応動Ｊる利得制御手
段とを有し、走査速度に応じ“Ｃパターン検出系の出力
信号の利得を変化できるように構成し゛〔いるので、同
一レベルのブＣ信号ならば走査テーブルの速度の違いに
かかわらず常に一定レベルの出力を得ることができ、基
準信号との比較を正確に行なって高精度のパターン積立
を行なうことができる。
段とを有し、走査速度に応じ“Ｃパターン検出系の出力
信号の利得を変化できるように構成し゛〔いるので、同
一レベルのブＣ信号ならば走査テーブルの速度の違いに
かかわらず常に一定レベルの出力を得ることができ、基
準信号との比較を正確に行なって高精度のパターン積立
を行なうことができる。
（２１走査速度を走査テーブルの移動速度からめている
ので、既存する測長器をそのまま利用でき、また利得制
御手段も所謂ＡＧＣ回路を利用できるので、容易に構成
できるという利点がある。
ので、既存する測長器をそのまま利用でき、また利得制
御手段も所謂ＡＧＣ回路を利用できるので、容易に構成
できるという利点がある。
（３）ハルス検出糸は検出信号のアナログ処理、デジタ
ル処理と任意構成にできるので、周辺機器との関係で好
適な構成にできる。
ル処理と任意構成にできるので、周辺機器との関係で好
適な構成にできる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではな（、その要旨を逸脱しない範囲で神々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、走査速度検
出手段は走査テーブルのＸ又はＹ方向の一方向のみなら
ずＸ、 Ｙの両方向、場合によっ゛〔はθ方向の速度を
検出できるようＫｍ成してもよく、またそのオｈ成は種
々に変化できる。更に、試料を固定して検出系を移動走
査させる構成の装置にも走査速度検出手段の構成を変え
るだけで同様に構成できる。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではな（、その要旨を逸脱しない範囲で神々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、走査速度検
出手段は走査テーブルのＸ又はＹ方向の一方向のみなら
ずＸ、 Ｙの両方向、場合によっ゛〔はθ方向の速度を
検出できるようＫｍ成してもよく、またそのオｈ成は種
々に変化できる。更に、試料を固定して検出系を移動走
査させる構成の装置にも走査速度検出手段の構成を変え
るだけで同様に構成できる。
以上の説明では主とじ又本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるホトマスクの検査装
置に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、レチクルやウェーハの外観検査やその
他の物品の外観を検査する技術等にも適用することがで
きる。
をその背景となった利用分野であるホトマスクの検査装
置に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、レチクルやウェーハの外観検査やその
他の物品の外観を検査する技術等にも適用することがで
きる。
図は本発明の実施例の一つである装置の全体棺成図であ
る。 ｌ・・・試料、２・・・走査テーブル、５・・・パター
ン検出系、７・・・撮像素子、８・・・アンプ、９・・
・コンパレータ、１０・・・Ｍ／Ｔデータ、１２・・・
走査速度検出手段、１３・・・測長器、１７・・・利得
制御手段。
る。 ｌ・・・試料、２・・・走査テーブル、５・・・パター
ン検出系、７・・・撮像素子、８・・・アンプ、９・・
・コンパレータ、１０・・・Ｍ／Ｔデータ、１２・・・
走査速度検出手段、１３・・・測長器、１７・・・利得
制御手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検査体としてのホトマスクやウェーハ等の試料を
載置する走査テーブルと、この走査テーブルに対向配置
した撮像素子により前記試料面を走査して光信号を検出
しかつこれを基準信号と比較して試料のパターン検査を
行なう°パターン検出系と、前記試料と撮像素子の相対
的な走査速度を検出する手段と、この走査速度検出手段
の出力に応じて前記パターン検出系の信号利得を変化さ
せる利得制御手段とを備えることを特徴とＪ−る検査装
置。 ２、走査速度検出手段は、パターン検出系に対して移動
される走査テーブルの速度を検出し得る特許請求の範囲
第１項記載の検査装置。 ３、利得制御手段はＡＧＯ（自動利得制御）回路からな
る特許請求の範囲第１項又は第２項記載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143865A JPS6035517A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143865A JPS6035517A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035517A true JPS6035517A (ja) | 1985-02-23 |
Family
ID=15348782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143865A Pending JPS6035517A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035517A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358138A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Sony Corp | パタ−ン検査装置 |
| EP1944958A3 (en) * | 2007-01-09 | 2009-12-23 | Fujifilm Corporation | Image capturing device and method of capturing an image |
-
1983
- 1983-08-08 JP JP58143865A patent/JPS6035517A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358138A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Sony Corp | パタ−ン検査装置 |
| EP1944958A3 (en) * | 2007-01-09 | 2009-12-23 | Fujifilm Corporation | Image capturing device and method of capturing an image |
| US8031255B2 (en) | 2007-01-09 | 2011-10-04 | Fujifilm Corporation | Image capturing device with field limiting parts and method of capturing an image using field limiting parts |
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