JPS6035528A - Inspection device - Google Patents
Inspection deviceInfo
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- JPS6035528A JPS6035528A JP58143867A JP14386783A JPS6035528A JP S6035528 A JPS6035528 A JP S6035528A JP 58143867 A JP58143867 A JP 58143867A JP 14386783 A JP14386783 A JP 14386783A JP S6035528 A JPS6035528 A JP S6035528A
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- JP
- Japan
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- lead
- terminal
- electronic component
- pressure piece
- contact
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、検査技術、特に、半導体装置等の電子部品(
以下、ICという。)の外部リードを測定等用の端子に
加圧接触させる技術に関し、たとえば、フラットバンク
パンケージ(以下、PPPという。)型ICについての
オートハンドラに利用して有効な技術に関する。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to inspection technology, particularly to electronic components such as semiconductor devices (
Hereinafter referred to as IC. The present invention relates to a technique for bringing the external lead of a device into pressure contact with a terminal for measurement, etc., and is effective for use in an autohandler for a flat bank pancake (hereinafter referred to as PPP) type IC, for example.
[背景技術]
FPP型ICについての選別検査が自動的に実施できる
オートハンドラの開発が要望されている。[Background Art] There is a demand for the development of an autohandler that can automatically perform screening inspections on FPP type ICs.
FPP型ICにおいては、外部リードがパンケージから
四方にアキシャルに突出しているため、外部リードを押
して端子に直角に当てがい、かつ加圧駒により外部リー
ドを反側から押して端子に加圧接触させる必要があり、
また、接触不良が発生し易いため、接触不良に対処する
必要があるという課題が、本発明者によって明らかにさ
れた。In FPP type ICs, the external leads protrude axially from the pan cage in all directions, so it is necessary to push the external leads so that they touch the terminals at right angles, and also to press the external leads from the opposite side with a pressure piece to bring them into pressure contact with the terminals. There is,
Furthermore, the inventor of the present invention has clarified the problem that poor contact is likely to occur, and thus it is necessary to deal with poor contact.
[発明の目的]
本発明の目的は、リードを押して端子に加圧接触するこ
とができるとともに、接触不良に対処することができる
検査技術を提供することにある。[Object of the Invention] An object of the present invention is to provide an inspection technique that can press a lead into contact with a terminal under pressure and can also deal with poor contact.
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
[発明の概要]
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。[Summary of the Invention] A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、リードを押して端子に接触させる加圧駒を2
段往復動するように設けるとともに、IC受は部材を加
圧駒に連動させて設け、また、ICの姿勢を検出する手
段を設けることにより、ストロークの1段目においてリ
ードと端子とを予備接触させ、この状態で姿勢良が検出
されたときに、2段目のストロークを実行させて本加圧
接触させることができるようにしたものである。In other words, two pressure pieces are used to push the lead into contact with the terminal.
The IC receiver is provided so that it can reciprocate in stages, and the IC receiver is provided so that the member is linked to the pressurizing piece. Also, by providing a means for detecting the posture of the IC, preliminary contact is made between the lead and the terminal in the first stage of the stroke. Then, when a good posture is detected in this state, the second stroke is executed to make the main pressurized contact.
[実施例]
第1図は本発明の一実施例であるFPP型ICオートハ
ンドラを示す縦断面図、第2図はその作動状態を示す縦
断面図、第3図は第2図m−m線に沿う平断面図、第4
図は第3図IV −IV線に沿う縦断面図、第5図は別
の作動状態を示す縦断面図である。[Example] Fig. 1 is a longitudinal sectional view showing an FPP type IC autohandler which is an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a longitudinal sectional view showing its operating state, and Fig. 3 is a longitudinal sectional view taken along the line m-m in Fig. 2. Plane sectional view along the line, 4th
The figure is a vertical sectional view taken along line IV--IV in FIG. 3, and FIG. 5 is a vertical sectional view showing another operating state.
本実施例において、選別検査の対象となる電子部品とし
てのICIは、正方形の平盤に形成されたPPP2を備
えており、このFPP2の4つの側面にはり−ド3が複
数本ずつ四方にアキシャルにそれぞれ突設されている。In this embodiment, the ICI as an electronic component to be subjected to selection inspection includes a PPP 2 formed in a square flat board, and a plurality of beams 3 are arranged axially on each of the four sides of the FPP 2. are protruding from each.
リード3は中間部においてジグザグ形状に折曲され、通
常、折曲された方向が下側になる。The lead 3 is bent in a zigzag shape at the middle portion, and usually the direction of the bend is on the lower side.
このハンドラは水平に据え付けられたソケット4を備え
ており、ソケット4の中央部にはI(1を収容可能な空
所5が形成されている。空所5の底部6には複数本の端
子7が前記ICIのり一ド3に対応するように4辺に配
列されて立設されており、端子7は選別検査を実施する
テスタ(図示せず。)に接続されている。なお、図示は
省略するが、各端子7はガイド溝に嵌入され横倒れを防
止されている。This handler is equipped with a socket 4 installed horizontally, and a cavity 5 capable of accommodating an I (1) is formed in the center of the socket 4. A plurality of terminals are provided at the bottom 6 of the cavity 5. 7 are arranged upright on four sides so as to correspond to the ICI board 3, and the terminals 7 are connected to a tester (not shown) for carrying out a screening test. Although omitted, each terminal 7 is fitted into a guide groove to prevent it from falling sideways.
ソケット4の空所5の中心線上にはロッド8が中心線方
向(以下、上下方向とする。)に上下動自在に配設され
、このロッド8の上端には、IC1のFPP2を載置状
態に受ける受け部材9が水平に固着されている。ロッド
8の下端には横部材10が水平に固着され、横部材lO
の両端部には複数本のガイドロッド11が垂直に立設さ
れている。ガイドロッド11はソケット4に垂直に穿設
されたガイド孔12に摺動自在に挿通され、ソケット上
面との間に挟設された第1スプリング13により常時」
ニガに付勢されている。A rod 8 is disposed on the center line of the empty space 5 of the socket 4 so as to be movable up and down in the direction of the center line (hereinafter referred to as the vertical direction), and the FPP 2 of the IC 1 is mounted on the upper end of the rod 8. A receiving member 9 is fixed horizontally. A horizontal member 10 is horizontally fixed to the lower end of the rod 8.
A plurality of guide rods 11 are vertically erected at both ends of the rod. The guide rod 11 is slidably inserted into a guide hole 12 formed perpendicularly to the socket 4, and is always held in place by a first spring 13 sandwiched between the guide rod 11 and the upper surface of the socket.
Encouraged by niggas.
ソケット4の上方には、長ストロークを有する第1シリ
ンダ装置14が垂直に設備され、そのピストンロッド1
4aの下端には、短ストロークを有する第2シリンダ装
置15が同軸的に吊持されている。第2シリンダ15の
ピストンロッド15aの下端には加圧駒16が固着され
、加圧駒16の下面にはリード押さえ17が周辺部に突
設されている。加圧駒16の下面中央には、加熱手段と
してのヒータ18が段番ノられ、ヒータ18はIC1の
FPP2を所定温度に加熱し得るように構成されている
。加圧駒16の側部には、複数本のブツシュロッド19
が前記ガイドロッド11にそれぞれ対向するように配さ
れて上下動自在に吊持されている。ブツシュロッド19
には第2スプリング20が品時下方に付勢するように外
装されており、第2スプリング20の強さは前記第1ス
プリング13のそれよりも強くなるように設定されてい
る。A first cylinder device 14 with a long stroke is installed vertically above the socket 4, and its piston rod 1
A second cylinder device 15 having a short stroke is coaxially suspended from the lower end of 4a. A pressure piece 16 is fixed to the lower end of the piston rod 15a of the second cylinder 15, and a lead presser 17 is provided protruding from the lower surface of the pressure piece 16 around the periphery. A heater 18 as a heating means is provided in the center of the lower surface of the pressure piece 16, and the heater 18 is configured to heat the FPP 2 of the IC 1 to a predetermined temperature. A plurality of bushing rods 19 are provided on the side of the pressure piece 16.
are disposed so as to face the guide rods 11, respectively, and are suspended so as to be vertically movable. Butsch rod 19
A second spring 20 is mounted on the outside so as to urge the second spring 20 downwardly, and the strength of the second spring 20 is set to be stronger than that of the first spring 13.
端子7群の上端付近を通る水平面内には、ICIの上下
方向(Z方向)の姿勢を検出するための姿勢検出装置2
1が設けられている。この装置2■は3組の投光器(発
光ダイオード等)と受光器(ホトセンザ等)22xと2
3x、22yと23y、22dと23dを備えており、
各組の投光器 ゛と受光器は、端子7群の上端付近を通
る水平面内におけるソケット4のX軸線、YiIIJ線
および対角線に沿って穿設された3組の透孔24X、2
4yおよび24dを通して対向するようにソケット4の
外方にそれぞれ配設されている。In the horizontal plane passing near the upper end of the group of terminals 7, there is an attitude detection device 2 for detecting the attitude of the ICI in the vertical direction (Z direction).
1 is provided. This device 2■ consists of 3 sets of emitters (light emitting diodes, etc.) and receivers (photosensors, etc.) 22x and 2
Equipped with 3x, 22y and 23y, 22d and 23d,
Each set of emitter and receiver has three sets of through holes 24
They are respectively disposed outside the socket 4 so as to face each other through 4y and 24d.
ソケット4の残りの対角線上には、ICIの回転方向(
θ方向)の位置を決めるための位置決め装置25が設け
られている。この位置決め装置は、一対の修正駒26を
備えており、両駒26はソヶノl−4の所定高さにおけ
る対角線上に穿設された一対のガイド27に摺動自在に
それぞれ嵌合されている。修正駒26の内側先端には位
置決め溝28がIcIのFPP2の角部に整合するよう
に直角の■溝形状に切設されている。修正駒26とガイ
ド27との間にはリターンスプリング29が修正駒を外
方へ常時付勢するように介設されている。On the remaining diagonal of the socket 4, the direction of rotation of the ICI (
A positioning device 25 is provided for determining the position in the θ direction). This positioning device is equipped with a pair of correction pieces 26, and both pieces 26 are slidably fitted into a pair of guides 27 bored diagonally at a predetermined height of Sogano L-4. . A positioning groove 28 is cut in the inner tip of the correction piece 26 in the shape of a right-angled ■ groove so as to match the corner of the FPP 2 of IcI. A return spring 29 is interposed between the correction piece 26 and the guide 27 so as to always urge the correction piece outward.
修正駒26の上面には従動側方向変換部材3゜が固定的
に立設され、この部材3oの上端には伸斜面が111記
加圧駒16に下向きに突設された原動側方向変換部材3
1の下端に慴接するように形成され、これにより、修正
駒26は内方向に押し出されるようになっている。A driven side direction conversion member 3° is fixedly erected on the upper surface of the correction piece 26, and an extension surface is provided at the upper end of this member 3o. 3
1, so that the correction piece 26 is pushed inward.
次に作用を説明する。Next, the action will be explained.
ICIが移送装置32によってソケット4の真上に搬入
されるとき、第1図に示されるように、受は部材9はガ
イドロッド11を第1スプリング13によって押し上げ
られることによりIC111人位置まで持ち上げられて
いる。移動装置32の保持が解除されると、ICIは受
け部材9上に静粛に受け渡される。When the ICI is carried directly above the socket 4 by the transfer device 32, as shown in FIG. ing. When the holding of the moving device 32 is released, the ICI is quietly transferred onto the receiving member 9.
ICIが受け渡されると、第2図に示されるように、第
1シリンダ装置14が伸長動作されて加圧駒16が第1
段下降される。この下降により、加圧駒16のブツシュ
ロッド19がガイドロッド11に突合し、第1スプリン
グ13が第2スプリング20より弱く設定されているた
め、ガイドロッド11は押し下げられる。これに伴って
、ガイドロッド11に一体となった受け部材9は所定位
置まで第1段下降される。この第1段下降により、受は
部材9に受けられたICIのり一部3はソケット4にお
ける端子7に軽く予備接触する状態になる。When the ICI is delivered, the first cylinder device 14 is extended and the pressure piece 16 is moved to the first position, as shown in FIG.
Steps are lowered. Due to this lowering, the bushing rod 19 of the pressurizing piece 16 abuts against the guide rod 11, and since the first spring 13 is set to be weaker than the second spring 20, the guide rod 11 is pushed down. Accordingly, the receiving member 9 integrated with the guide rod 11 is lowered by the first step to a predetermined position. By this first step of lowering, the ICI glue part 3 received by the member 9 of the receiver comes into a state in which it makes preliminary contact with the terminal 7 of the socket 4.
一方、第3図、第4図に示されるように、加圧駒16の
第1段下降に伴ない、原動側方向変換部材31および従
動側方向変換部材30の働きにより、一対の修正駒26
は内方向に互いに等しい設定距離だけ摺動され、ICの
FPP2の対角に対向力を軽く付勢する。このとき、修
正駒26の位置決め溝28がPPP2O対角にそれぞれ
整合するため、受は部材9に載置されたICIはθ方向
の位W(姿勢)を正しく決められることになる。On the other hand, as shown in FIGS. 3 and 4, as the pressure piece 16 descends to the first stage, the pair of correction pieces 26
are slid inward by a set distance that is equal to each other, and lightly applies a counterforce to the diagonal corners of the FPP 2 of the IC. At this time, since the positioning grooves 28 of the correction piece 26 are aligned with the diagonals of the PPP 20, the position W (attitude) of the ICI placed on the receiver member 9 in the θ direction can be determined correctly.
前記ICリード3の端子7への接触状態において、片寄
りがあると、ICIは高さ方向において1頃斜する。こ
のように、ICIが高さ方向に傾斜すると、X、Y軸線
および対角線上の3組の投光器22x、22F、22d
における投光のうち少なくとも1つがICIの一部によ
って遮蔽されることになるため、3組の受光器23x、
23y、23dのうち少なくとも1つにおいて受光が検
出されないことになる。かかる非受光状態が検出された
場合にはICIが傾斜し、リード3と端子7との接触に
不良があると判定される。When the IC lead 3 is in contact with the terminal 7, if there is deviation, the ICI will be tilted about 1 in the height direction. In this way, when the ICI is tilted in the height direction, three sets of projectors 22x, 22F, 22d on the X and Y axes and diagonally
Since at least one of the light emitted in is blocked by a part of the ICI, three sets of light receivers 23x,
No light reception is detected in at least one of 23y and 23d. When such a non-light receiving state is detected, the ICI is tilted, and it is determined that the contact between the lead 3 and the terminal 7 is defective.
この接触不良の検出により、第1シリンダ装置14が一
度短縮動作された後、再度伸長動作される。この往復動
により、受は部材9が上昇および下降され、修正駒26
が外方移動および内方移動される。この複合動作により
、ICIは高さ方向および回転方向の姿勢を再調整され
る。この調整操作は、ICIの姿勢が修正されるか、ま
たはあらかじめ設定された回数が終了するまで実施され
る。ICの姿勢が修正されない場合には、FPP2やリ
ード3に欠陥がある等と判定され、欠陥品として移送装
置32等によりソケット4から取り除かれる。Upon detection of this poor contact, the first cylinder device 14 is once shortened and then extended again. Due to this reciprocating movement, the member 9 of the receiver is raised and lowered, and the correction piece 26
is moved outward and inward. This combined operation causes the ICI to readjust its posture in the height direction and rotational direction. This adjustment operation is performed until the attitude of the ICI is corrected or a preset number of times is completed. If the posture of the IC is not corrected, it is determined that there is a defect in the FPP 2 or the lead 3, and the IC is removed from the socket 4 by the transfer device 32 or the like as a defective product.
受光器23x、23y、23dの全部において受光が検
出されると、第5図に示されるように、第2シリンダ装
置15が伸長動作され、加圧駒16が第2段下降される
。これにより、加圧駒16のリード押さえ17はICl
7−ド3を押さえて端子7に所定の付勢力をもって加圧
接触させる。また、加圧駒16のヒータ18はICIの
FPP2を所定の温度に加熱する。この加熱が効果的に
実行されるように、ICIは逆向き(下面を上向き)に
して受り部jrA9上に受け渡すことが望ましい。When light reception is detected in all of the light receivers 23x, 23y, and 23d, the second cylinder device 15 is extended and the pressure piece 16 is lowered to the second stage, as shown in FIG. As a result, the lead presser 17 of the pressure piece 16 is
7- Hold down the wire 3 and press it into contact with the terminal 7 with a predetermined biasing force. Further, the heater 18 of the pressure piece 16 heats the FPP 2 of the ICI to a predetermined temperature. In order for this heating to be carried out effectively, it is desirable that the ICI be delivered onto the receiving part jrA9 in the opposite direction (with the lower surface facing upward).
ちなみに、ICIを逆向きに受け渡すと、重心が下がる
ため、前述したIC1の姿勢の検出も効果的に実行され
ることになる。Incidentally, if the ICI is transferred in the opposite direction, the center of gravity will be lowered, so that the above-mentioned attitude detection of the IC1 will also be effectively executed.
このようにして、リード3が端子7に遡正に加圧接触さ
れ、かつPPP2が所定温度に加熱されると、テスタか
ら端子7にテスト信号が入力され所定の検査が適宜実行
される。In this way, when the lead 3 is brought into contact with the terminal 7 under pressure and the PPP 2 is heated to a predetermined temperature, a test signal is input from the tester to the terminal 7 and a predetermined test is executed as appropriate.
検査終了後、第1、第2シリンダ装置14.15が短縮
動作されると、加圧駒16が上昇され、受は部材9が第
1スプリング13によって差し上げられ、修正輪26が
リターンスプリング29によって外方向に押し戻される
。受は部材9上のIC1は移送装置32等により所定の
場所へ移送され、選別検査が完了する。After the inspection, when the first and second cylinder devices 14 and 15 are shortened, the pressure piece 16 is raised, the member 9 of the receiver is raised by the first spring 13, and the correction ring 26 is moved by the return spring 29. pushed back outwards. The IC 1 on the receiver member 9 is transferred to a predetermined location by the transfer device 32 or the like, and the sorting inspection is completed.
以後、前記動作が繰り返されて1? P P型ICにつ
いての選別検査が自動的かつ個別的に実施されて行く。After that, the above operation is repeated until 1? Screening tests for PP type ICs will be carried out automatically and individually.
[効果]
(1)、加圧駒を2段往復動するように設け、電子部品
受は部材を加圧駒に連動させて設け、さらに電子部品の
姿勢の良否を検出する手段を設けることにより、第1段
ストロークにより電子部品のリードを端子に予備接触さ
せ、かつこのときの電子部品の姿勢の良否が検出できる
ため、第2段ストロークさせたときにリードと端子とを
常に適正に加圧接触させることができる。[Effects] (1) By providing the pressure piece so as to reciprocate in two stages, providing the electronic component receiver so that the member is interlocked with the pressure piece, and further providing means for detecting whether the posture of the electronic component is good or bad. , the first stage stroke brings the lead of the electronic component into preliminary contact with the terminal, and it is possible to detect whether the electronic component's posture is good or bad at this time, so the lead and terminal are always properly pressurized when the second stage stroke is performed. can be brought into contact.
(2)、加圧駒を2段ストロークにするように構成する
ことにより、端子側を固定構造とすることができるため
、電気配線構造等が簡素化することができ、かつ、電子
部品を受け部材に受け渡すための空間を十分に確保する
ことができる。(2) By configuring the pressurizing piece to have a two-step stroke, the terminal side can be made into a fixed structure, so the electrical wiring structure etc. can be simplified and the electronic components can be received. Sufficient space can be secured for delivery to the members.
(3)、電子部品受は部材の外方に一対の修正輪を電子
部品に対向力を付勢するように設けることにより、電子
部品の回転方向の姿勢を修正することができるため、受
は部材上に電子部品を位置決めするためのガイド突起を
設ける必要がなくなり、位置決め作業の効率が良くなる
。また、リード先端群による位置決めでないため、リー
ドの折り曲げ誤差に影響されず、正確な位置決めが確保
できる。(3) The electronic component receiver can correct the orientation of the electronic component in the direction of rotation by providing a pair of correction wheels on the outside of the member so as to apply a counterforce to the electronic component. There is no need to provide a guide protrusion for positioning the electronic component on the member, improving the efficiency of positioning work. Furthermore, since positioning is not performed by a group of lead tips, accurate positioning can be ensured without being affected by lead bending errors.
(4)、修正輪を加圧駒の往復動に連動させることによ
り、リード、端子間の予備接触、加圧接触動作と姿勢修
正動作とのマ・/ランクが簡単に、しかも通正に行われ
る。(4) By linking the correction wheel with the reciprocating movement of the pressure piece, preliminary contact between the leads and terminals, and the ma/rank between the pressure contact action and the posture correction action can be easily and accurately performed. .
(5)、電子部品の姿勢不良が検出されたときに、受は
部材および加圧駒を往復動させることにより、電子部品
の姿勢の再修正が実施されるため、姿勢不良の都度、電
子部品の入れ替え作業を初めからやり直す必要がなく、
作業全体における能率が良好になる。(5) When a poor posture of an electronic component is detected, the receiver re-corrects the posture of the electronic component by reciprocating the member and pressure piece. There is no need to start over from the beginning to replace the
The efficiency of the entire work will be improved.
(6)、加圧駒に加熱手段を設けることにより、端子側
の加熱手段が省略できるため、端子の長さが短縮化でき
、したがって高周波電子部品についての電気特性試験等
も実行できる。すなわち、端子が長いと、線間容量が大
きくなるため、高周波電子部品の電気特性試験は不能な
いしは回器になる。(6) By providing a heating means on the pressure piece, the heating means on the terminal side can be omitted, so the length of the terminal can be shortened, and therefore electrical property tests on high-frequency electronic components can also be performed. That is, if the terminals are long, the line capacitance increases, making it impossible or difficult to test the electrical characteristics of high-frequency electronic components.
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.
たとえば、加熱手段は加圧駒に設けるに限らず、受は部
材またはこれら双方に設げ°ζもよい。For example, the heating means is not limited to being provided on the pressure piece, but the receiver may be provided on the member or both of them.
電子部品の姿勢を検出する手段は光学的手段に限らず、
マイクロスイッチ等を使用することもでき、また、XY
軸および対角線の3方に設けるに限らず、少なくとも1
つに設けて十分なこともある。The means for detecting the posture of electronic components is not limited to optical means.
You can also use a micro switch etc.
At least one
Sometimes it is sufficient to set it up.
修正輪は加熱駒に連動させるに限らず、受は部拐上の電
子部品が所定位置に来たときに自動的に移動するように
してもよい。The correction wheel is not limited to being linked to the heating piece, and the receiver may be configured to move automatically when the electronic component on the piece comes to a predetermined position.
加圧駒と受け部材との連携構造は、ブツシュロソドおよ
びガイドロッドによる連携構造に限らない。The cooperation structure between the pressurizing piece and the receiving member is not limited to the cooperation structure using the bushing rod and the guide rod.
加圧駒の駆動手段は、シリンダ装置に限らず、ビニオン
ランク装置や送りねし装置等が使用できる。The driving means for the pressurizing piece is not limited to a cylinder device, but a binion rank device, a feed screw device, etc. can be used.
し利用分野]
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるFPP型ICのオー
トハンドラに通用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、たとえば、アキシャルリード
型抵抗器やコンデンサ、シングルインラインパッケージ
型IC、デュアルインラインパッケージ型IC等のリー
ドを渕足端子に加圧接触させる場合等に通用できる。Field of Application] In the above explanation, the invention made by the present inventor was mainly applied to an autohandler of an FPP type IC, which is the field of application that formed the background of the invention, but it is not limited to this, and for example, It can be used in cases where the leads of axial lead type resistors, capacitors, single inline packaged ICs, dual inline packaged ICs, etc. are brought into pressure contact with the foot terminals.
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第2図はそ
の作動状態を示す縦断面図、第3図は第2図m−m線に
沿う平断面図、第4図は第3図IV−IV線に沿う縦断
面図、第5図は他の作動状態を示す縦断面図であるゆ1
・・・IC(電子部品)、3・・・リード、4・・・ソ
ケット、5・・・空所、7・・9・端子、8・・・ロッ
ド、9・・・受は部材、10・・・横部材、11・・・
ガイドロッド、13,20゜29・・・スプリング、1
4.15・・・シリンダ装置、16・・・加圧駒、17
・・・リード押さえ、18・・・ヒータ、19・・・ブ
ツシュロッド、21・・・・姿勢検出装置、22x、2
2y。
22d−・・投光器、23x、23y、23d−・・受
光器、25・・・位置決め装置、26・・・修正駒、2
7・・・ガイド、28・・・位置決め溝、30.31・
・・方向変換部材。
第 1 図
6 10
第 2 図
第 3 図
第 4 図Fig. 1 is a longitudinal cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a longitudinal cross-sectional view showing its operating state, Fig. 3 is a plan cross-sectional view taken along line m-m in Fig. 2, and Fig. 4 is a longitudinal cross-sectional view showing an embodiment of the present invention. Fig. 3 is a longitudinal sectional view taken along the line IV-IV, and Fig. 5 is a longitudinal sectional view showing another operating state.
... IC (electronic component), 3... Lead, 4... Socket, 5... Blank space, 7... 9... Terminal, 8... Rod, 9... Receiver is a member, 10 ...Horizontal member, 11...
Guide rod, 13, 20° 29...Spring, 1
4.15... Cylinder device, 16... Pressure piece, 17
...Lead holder, 18...Heater, 19...Bushion rod, 21...Position detection device, 22x, 2
2y. 22d--Emitter, 23x, 23y, 23d--Receiver, 25--Positioning device, 26--Correction piece, 2
7...Guide, 28...Positioning groove, 30.31.
...Direction changing member. Figure 1 Figure 6 10 Figure 2 Figure 3 Figure 4
Claims (1)
を2段往復動するように設けるとともに、この電子部品
を受ける受け部材をこの加圧駒に連動させて設け、また
、電子部品の姿勢を検出する姿勢検出手段を設けてなる
検査装置。 2、加圧駒が、電子部品を加熱可能であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の検査装置。 3、電子部品のリードを押し”C端子に接触させる加圧
駒を2段往復動するように設けるとともに、この電子部
品を受ける受け部材をこの加圧駒に連動させて設け、さ
らに、受は部材の外方位置に一対の修正駒を電子部品に
対し互いに等しい対向力を(=J勢するように設けてな
る検査装置。 4、修正駒が、加圧駒に連携されたことを特徴とする特
許請求の範囲第3項記載の検査装置。[Scope of Claims] 1. A pressure piece that presses the lead of an electronic component to contact a terminal is provided so as to reciprocate in two stages, and a receiving member for receiving this electronic component is provided in conjunction with this pressure piece, Further, the inspection device is provided with an attitude detection means for detecting the attitude of the electronic component. 2. The inspection device according to claim 1, wherein the pressure piece is capable of heating an electronic component. 3. A pressure piece that pushes the lead of an electronic component into contact with the C terminal is provided so as to move back and forth in two steps, and a receiving member for receiving this electronic component is provided in conjunction with this pressure piece. An inspection device comprising a pair of correction pieces located outside the member so as to apply an equal opposing force (=J force) to the electronic component. 4. The correction pieces are linked to a pressure piece. An inspection device according to claim 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143867A JPS6035528A (en) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | Inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143867A JPS6035528A (en) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | Inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035528A true JPS6035528A (en) | 1985-02-23 |
Family
ID=15348834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143867A Pending JPS6035528A (en) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | Inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035528A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1126123A (en) * | 1997-07-03 | 1999-01-29 | Enplas Corp | Socket for electric component |
| US6429670B2 (en) * | 1995-07-18 | 2002-08-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of examining posture of an electronic part |
| JP2013231626A (en) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Honda Motor Co Ltd | Electrification inspection apparatus for semiconductor chip and electrification inspection method of semiconductor chip |
| WO2021149417A1 (en) * | 2020-01-21 | 2021-07-29 | 株式会社エンプラス | Socket |
-
1983
- 1983-08-08 JP JP58143867A patent/JPS6035528A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2021149417A1 (en) * | 2020-01-21 | 2021-07-29 | 株式会社エンプラス | Socket |
| JP2021114447A (en) * | 2020-01-21 | 2021-08-05 | 株式会社エンプラス | socket |
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