JPS6037185A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
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- JPS6037185A JPS6037185A JP58145009A JP14500983A JPS6037185A JP S6037185 A JPS6037185 A JP S6037185A JP 58145009 A JP58145009 A JP 58145009A JP 14500983 A JP14500983 A JP 14500983A JP S6037185 A JPS6037185 A JP S6037185A
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- JP
- Japan
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- mirror
- window
- laser
- beams
- laser oscillator
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- Granted
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 3
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、不安定共振器を収納したガスレーザ発振器
に関するものであり、特に不安定形共振器から発した大
出力レーザビームの大気中への取出し部分の改良に関す
るものである。
に関するものであり、特に不安定形共振器から発した大
出力レーザビームの大気中への取出し部分の改良に関す
るものである。
従来、不安定形共振器を配したガスレーザ発振器の構成
としては第１図に示すものがあった。第１図において、
（１）は密閉状態の筐体、（２）はレーザビーム、（３
）は筐体（１）内部からレーザビーム（２）を大気中へ
出力させるべく配設されたウィンドウ、（４）・１フロ
ントミラー、（５）はフロントミラー（４）に対向・装
置されたバックミラー、（６）はフロントミラー（４）
とく（ツクミラー（５）とからなる一対のミラー間に配
設された穴あきミラーであり、フロントミラー（４）。
としては第１図に示すものがあった。第１図において、
（１）は密閉状態の筐体、（２）はレーザビーム、（３
）は筐体（１）内部からレーザビーム（２）を大気中へ
出力させるべく配設されたウィンドウ、（４）・１フロ
ントミラー、（５）はフロントミラー（４）に対向・装
置されたバックミラー、（６）はフロントミラー（４）
とく（ツクミラー（５）とからなる一対のミラー間に配
設された穴あきミラーであり、フロントミラー（４）。
バックミ２−（団及び穴あきミ７− ＩＧ）により不安
定共振器を構成している。（７）はレーザビーム（２）
を収束させる加工レンズ、り８）は加工対象物である。
定共振器を構成している。（７）はレーザビーム（２）
を収束させる加工レンズ、り８）は加工対象物である。
次に動作について説明する。フロントミラー（４）。
バックミラー ＋５１ ｅ穴あきミラー（６）により構
成される不安定形共振器から出射されたレーザビーム（
２）は、穴あきミラー（６）からほぼ平行ビームでウィ
ンドウ（３）を通過し、加工レンズ（７）を通り加工対
象物（８）に照射される。このようなガスレーザ発振器
において−１１１度のよい良好な加工な実施するためＫ
は、加工レンズ（７）に入射されるビーム（２）の径を
レーザ装置としての出力によらず、一定圧保つ必要があ
る。
成される不安定形共振器から出射されたレーザビーム（
２）は、穴あきミラー（６）からほぼ平行ビームでウィ
ンドウ（３）を通過し、加工レンズ（７）を通り加工対
象物（８）に照射される。このようなガスレーザ発振器
において−１１１度のよい良好な加工な実施するためＫ
は、加工レンズ（７）に入射されるビーム（２）の径を
レーザ装置としての出力によらず、一定圧保つ必要があ
る。
ところで、従来のガスレーザ発振器は以上のように構成
されているので、大出力レーザを得ようとした相合、ウ
ィンドウ（３）のレーザ光吸収にもとづく発熱によって
、ウィンドウ（３）の熱変形あるいは屈折率変化が生じ
、ウィンドウ（３）Ｋ熱レンズ作用が発生することがあ
った。このため、加工レン〆（７）に入射されるビーム
外径のレーザ出力による（変化２時間経過による変化、
出力の変動、ビーム穐度分布の不均一性などの欠点が生
ずるととがあ・・つた・ この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、ウィンドウに入射ドウに凸レンズ
作用を持たせるととＫより、大出力レーザにおい【も安
定なビーム径になり、安定した出力が得られるガスレー
ザ発揚器を提供することを目的とするものである。
されているので、大出力レーザを得ようとした相合、ウ
ィンドウ（３）のレーザ光吸収にもとづく発熱によって
、ウィンドウ（３）の熱変形あるいは屈折率変化が生じ
、ウィンドウ（３）Ｋ熱レンズ作用が発生することがあ
った。このため、加工レン〆（７）に入射されるビーム
外径のレーザ出力による（変化２時間経過による変化、
出力の変動、ビーム穐度分布の不均一性などの欠点が生
ずるととがあ・・つた・ この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、ウィンドウに入射ドウに凸レンズ
作用を持たせるととＫより、大出力レーザにおい【も安
定なビーム径になり、安定した出力が得られるガスレー
ザ発揚器を提供することを目的とするものである。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図はこの発明の一実施例装置を示し２図において、（１
は筐体（１１内に収納された例えばビーム拡大用ミラー
からなる光学素子、（１っけベンディングミラー、（１
２）は補正用ミラー、 （１３）は伝送用ミラー、（２
ａ）はビーム拡大用ミラー（１０） Ｋより拡大された
拡大ビーム、（ｂ）は凸レンズ作用を持たせたウィンド
ウ（３）を通過した後の収束ビーム。
図はこの発明の一実施例装置を示し２図において、（１
は筐体（１１内に収納された例えばビーム拡大用ミラー
からなる光学素子、（１っけベンディングミラー、（１
２）は補正用ミラー、 （１３）は伝送用ミラー、（２
ａ）はビーム拡大用ミラー（１０） Ｋより拡大された
拡大ビーム、（ｂ）は凸レンズ作用を持たせたウィンド
ウ（３）を通過した後の収束ビーム。
（２Ｃ）は補正用ミ９− （１２）により補正された平
行ビームである。なお２図中、第１図と同一符号は同一
または相当部分を示す。
行ビームである。なお２図中、第１図と同一符号は同一
または相当部分を示す。
次に、第２図に示した実施例装置の動作について説明す
る。先ず、不安定共振器の穴あきミラーヨ）り出射され
たレーザビームは、収差を無祝で虹る角度だけ傾けられ
たビーム拡大用ミラーＧＩＩＣより、方向を変えると同
時に拡大され、ベンゾイングミ２−（１りによりウィン
ドウ（３）に導かれる。
る。先ず、不安定共振器の穴あきミラーヨ）り出射され
たレーザビームは、収差を無祝で虹る角度だけ傾けられ
たビーム拡大用ミラーＧＩＩＣより、方向を変えると同
時に拡大され、ベンゾイングミ２−（１りによりウィン
ドウ（３）に導かれる。
このビーム拡大用ミｔ−０１によりビームが拡大されて
いるため、レーザビームのパワー密度が低減され、ウィ
ンドウ（３）のレーザ光吸収忙もとづく熱レンズ作用は
発生せず、ウィンドウ（３）通過後のビーム（２ｂ）の
径のレーザ出力による変化、及びビーム強度分布の不均
一性などは発生しない０次に。
いるため、レーザビームのパワー密度が低減され、ウィ
ンドウ（３）のレーザ光吸収忙もとづく熱レンズ作用は
発生せず、ウィンドウ（３）通過後のビーム（２ｂ）の
径のレーザ出力による変化、及びビーム強度分布の不均
一性などは発生しない０次に。
ウィンドウ（３）を通過後のビーム（２ｂ）は、ビーム
拡大用ミラー（１０）により拡大されたビームを補正す
るように、予め設計された凸レンズウィンドウ（３）に
より非点収差を生じることなく、収束しつつ大気中へ導
かれる。その後補正用ミ９− （ｆ２） Ｋより。
拡大用ミラー（１０）により拡大されたビームを補正す
るように、予め設計された凸レンズウィンドウ（３）に
より非点収差を生じることなく、収束しつつ大気中へ導
かれる。その後補正用ミ９− （ｆ２） Ｋより。
適切な径の平行ビーム（２ｃ）とされ、伝送用ミラー（
１３）を経由して加工レンズ（７）まで伝送される。補
正用ミラー（１２）に入射されるビーム（２ｂ）は、凸
レンズウィンドウ（３）により適切にゆるやかな収束角
で収束されて伝送されるため、補正用ミラー（１２）と
して、大きな曲率半径を有するミラーの使用が生を抑え
ることができることになる。
１３）を経由して加工レンズ（７）まで伝送される。補
正用ミラー（１２）に入射されるビーム（２ｂ）は、凸
レンズウィンドウ（３）により適切にゆるやかな収束角
で収束されて伝送されるため、補正用ミラー（１２）と
して、大きな曲率半径を有するミラーの使用が生を抑え
ることができることになる。
なお、第２図に示した実施例では、レンズ作用ｕ４−持
たせたウィンドウ（３）通：Ａ後のビームを収束ビ十ム
（２ｂ）としたが、ｍ３図に示すごとく、ウィン＼Ｖつ
（３）通過後のビームが平行ビーム＜２ｄ＞ｂなるよう
にウィンドウ（３）のレンズ作用を設定してもよい。
たせたウィンドウ（３）通：Ａ後のビームを収束ビ十ム
（２ｂ）としたが、ｍ３図に示すごとく、ウィン＼Ｖつ
（３）通過後のビームが平行ビーム＜２ｄ＞ｂなるよう
にウィンドウ（３）のレンズ作用を設定してもよい。
この場合、補正用ミラー（１２）と伝送用ミラー（１３
）とは不要となる。
）とは不要となる。
以上のように、この発明によれば発振器内でレーザビー
ムを積極的に拡大して大気中ヘレーザビームを出力する
ウィンドウを通過させるように構成しているので、ウィ
ンドウの熱変形、熱レンズ効果の発生を抑えることがで
き、ウィンドウにあらかじめレンズ作用を持たせること
により、ウィンドウ通過後のビームを収差なく加工レン
ズまで適切なビーム径で長距離伝送できる。大出力レー
ザを安定に得ることができる効果がある。
ムを積極的に拡大して大気中ヘレーザビームを出力する
ウィンドウを通過させるように構成しているので、ウィ
ンドウの熱変形、熱レンズ効果の発生を抑えることがで
き、ウィンドウにあらかじめレンズ作用を持たせること
により、ウィンドウ通過後のビームを収差なく加工レン
ズまで適切なビーム径で長距離伝送できる。大出力レー
ザを安定に得ることができる効果がある。
第１図社従来の不安定形共振器を配した大出力施例によ
る大出力レーザ発振器を示す図、第３図はこの発明の他
の実施例を示す大出力レーザ発振器を示す図である。 ＋１＋・・・筐体、（２）・・・レーザビーム、＋３１
−・・ウィンドウ。 （４）・・・７０ｙ）ミラー ｐ ｆ５１バックミラー
・（６）・・・穴あき、ｌ’ｐ−１７）・・・加工レン
ズ、 ＋Ｉ＋）・・・拡大用ミラー。 ［１１）−・・ベンディングミラー、（１２）・・・補
正用ミラー。 り（５）・・・伝送用ミラー さ°なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す
。 出願人 工業技術院長 １１ ＹｉＪ 第１１２１ 第２図 第３図
る大出力レーザ発振器を示す図、第３図はこの発明の他
の実施例を示す大出力レーザ発振器を示す図である。 ＋１＋・・・筐体、（２）・・・レーザビーム、＋３１
−・・ウィンドウ。 （４）・・・７０ｙ）ミラー ｐ ｆ５１バックミラー
・（６）・・・穴あき、ｌ’ｐ−１７）・・・加工レン
ズ、 ＋Ｉ＋）・・・拡大用ミラー。 ［１１）−・・ベンディングミラー、（１２）・・・補
正用ミラー。 り（５）・・・伝送用ミラー さ°なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す
。 出願人 工業技術院長 １１ ＹｉＪ 第１１２１ 第２図 第３図
Claims (3)
- （１） 対向配置された一対のミ２−と、上記ミラー間
に配設された穴あきミラーとからなりレーザビームを共
振させる不安定共振器、上記不安定共振器から出射され
たレーザビームを拡大し拡大ビームとする光学素子、上
記不安定共振器と光学素子を収納しレーザガスが充填さ
れた密閉状態の筐体、上記筐体内部から大気中へレーザ
ビームを出力させるべく配設され、上記光学素子からの
レーザビームの拡大ビームを平行ビームまたは収束ビー
ムとして出力するウィンドウを備えたことを特徴とする
ガスレーザ発振器。 - （２） ウィンドウは凸し／ズ作用を有することを特徴
とする特ｉ′「＾ｉ′１求の範囲第＋１）項記載のガス
レーザ発振器。 - （３） 光学素子をビーム拡大用ミラーとしたことを特
徴とする特許請求の範囲第（２）項記載のガスレーザ発
振器
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58145009A JPS6037628B2 (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58145009A JPS6037628B2 (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6037185A true JPS6037185A (ja) | 1985-02-26 |
| JPS6037628B2 JPS6037628B2 (ja) | 1985-08-27 |
Family
ID=15375333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58145009A Expired JPS6037628B2 (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037628B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360092A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機 |
| JPH02200749A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-09 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 電解コンデンサ陰極用アルミニウム箔及びその製造方法 |
| JPH02295694A (ja) * | 1989-05-08 | 1990-12-06 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| JP2008258447A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多点出力レーザ発生装置 |
| JP2013093603A (ja) * | 2012-12-27 | 2013-05-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多点出力レーザ発生装置およびレーザ多点着火装置 |
-
1983
- 1983-08-10 JP JP58145009A patent/JPS6037628B2/ja not_active Expired
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360092A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機 |
| JPH02200749A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-09 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 電解コンデンサ陰極用アルミニウム箔及びその製造方法 |
| JPH02295694A (ja) * | 1989-05-08 | 1990-12-06 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| JP2008258447A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多点出力レーザ発生装置 |
| JP2013093603A (ja) * | 2012-12-27 | 2013-05-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多点出力レーザ発生装置およびレーザ多点着火装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6037628B2 (ja) | 1985-08-27 |
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