JPS6037633A - 光電子銃 - Google Patents
光電子銃Info
- Publication number
- JPS6037633A JPS6037633A JP58145351A JP14535183A JPS6037633A JP S6037633 A JPS6037633 A JP S6037633A JP 58145351 A JP58145351 A JP 58145351A JP 14535183 A JP14535183 A JP 14535183A JP S6037633 A JPS6037633 A JP S6037633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric
- light source
- emission layer
- center
- photoelectron emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/021—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
- H01J3/022—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source with microengineered cathode, e.g. Spindt-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/34—Photoemissive electrodes
- H01J2201/342—Cathodes
Landscapes
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、光電子発生層を光源により照射しその光電子
をビーム状に形成して投射する新しい形式の電子銃に関
する。
をビーム状に形成して投射する新しい形式の電子銃に関
する。
（従来技術の説明）
第１図は、従来の熱電子放出形の電子銃の構成例を示す
図、第２図は、従来の熱電子放出形の電吊鎖のさらに他
の構成例を示づ図である。
図、第２図は、従来の熱電子放出形の電吊鎖のさらに他
の構成例を示づ図である。
電子源であるカソード２は、ＳｒＯのような酸化物から
形成されており、ヒータ１により加熱され、熱電子を放
出する。
形成されており、ヒータ１により加熱され、熱電子を放
出する。
このカソード２の放出した熱電子は、第１図に示す例で
は、グリッド３．アノ−１” ４の作る電界で電子ビー
ム５に形成される。
は、グリッド３．アノ−１” ４の作る電界で電子ビー
ム５に形成される。
第２図に示す例では、ヒーム形成？Ｉｉ極６および、ア
ノード４により電子ビーム５が作られ前方に投射される
。
ノード４により電子ビーム５が作られ前方に投射される
。
このような熱陰極形の電子銃において、第１図の例の場
合は、グリッド３にパルス′１′ｉ圧を印加し、第２図
の例においてはアノード４に高圧なパルスを印加するこ
とにより、パルス状の電子ビームを得ることができる。
合は、グリッド３にパルス′１′ｉ圧を印加し、第２図
の例においてはアノード４に高圧なパルスを印加するこ
とにより、パルス状の電子ビームを得ることができる。
しかしこの方法で持続時間が短く、振幅の大きいパルス
状の電子ビームを得ることは困５’ｌ［である。
状の電子ビームを得ることは困５’ｌ［である。
カソードの面積を大きくすると大量の熱電子が得られる
はずであるが、大きい面積のカソード−を一様に加熱す
ることは容易ではなく、この方法でｔｌられる電子ビー
ムの波高値は数１００１ＴＩ八が限度であり、持続時間
を、ｎａｎｏ Ｓ程度より短くすることは困難であった
。
はずであるが、大きい面積のカソード−を一様に加熱す
ることは容易ではなく、この方法でｔｌられる電子ビー
ムの波高値は数１００１ＴＩ八が限度であり、持続時間
を、ｎａｎｏ Ｓ程度より短くすることは困難であった
。
（発明の目的）
本発明の目的は大電流の高速電子ビームを得ることがで
きる光電吊鎖を提供することにある。
きる光電吊鎖を提供することにある。
（構成および作用）
前記目的を達成するために、本発明による電子銃は、光
源と、前記光源により照射され光電子を放出する光電面
と、前記光電面から１３に出された光電子をビーム状に
収束して前方に放出する電子レンズから構成されている
。
源と、前記光源により照射され光電子を放出する光電面
と、前記光電面から１３に出された光電子をビーム状に
収束して前方に放出する電子レンズから構成されている
。
前記構成によれば、大電流で高速に変化する電子ビーム
を発生ずる電子銃が得られる。
を発生ずる電子銃が得られる。
（実施例の説明）
以下図面等を参照して本発明による光電子１１ｉをさら
に詳しく説明する。
に詳しく説明する。
第３図は本発明による光電吊鎖の第１の実施例を示す図
である。
である。
光を透過するガラス基板７に光電子放出層８が形成され
ている。
ている。
電子レンズは中央に開口を持つ円筒状のグリッド３と同
様に中央に開口を持つ円筒状のアノード４から形成され
ている。
様に中央に開口を持つ円筒状のアノード４から形成され
ている。
光電子放出層８がガラス基板７側から図示されていない
光源により照射されると光電子放出層８から光電子が発
生ずる。この光電子は前記電子レンズにより収束されて
電子ビーム５となり、前方に投射される。
光源により照射されると光電子放出層８から光電子が発
生ずる。この光電子は前記電子レンズにより収束されて
電子ビーム５となり、前方に投射される。
第４図は本発明による光電吊鎖の第２の実施例を示す図
である。
である。
光を透過するガラス基板７に光電子放出層８が形成され
ている。
ている。
電子レンズはガラス基板７に支持された椀状のビーム形
成電極６と、中心にＢ旧コを有する椀状のアノード′か
ら構成されている。
成電極６と、中心にＢ旧コを有する椀状のアノード′か
ら構成されている。
光電子放出層８がガラス基板７側から図示されていない
光源により照射されると光電子放出層８から光電子が発
生ずる。この光電子は前記電子レンズにより収束されて
電子ビーＡ ５となり、前方に投射される。
光源により照射されると光電子放出層８から光電子が発
生ずる。この光電子は前記電子レンズにより収束されて
電子ビーＡ ５となり、前方に投射される。
第５図は本発明による光電吊鎖の第３の実施例を示す図
である。
である。
光を透過するガラス基板７に光電子放出層８が形成され
ている点は前述した２例と異ならない。
ている点は前述した２例と異ならない。
電子レンズはメソシ工状のグリッド９と、中心に開口を
有する板状のアノード４から構成されている。
有する板状のアノード４から構成されている。
第６図は本発明による光電吊鎖の第４の実施例を示す図
である。
である。
光電子放出層８は光を透過するガラス基板７に形成され
ている。
ている。
電子レンズは前記光電面と略等しい経の円環状の第１収
束電極１１と、前記第１収束電極１１より小径の９！′
８２収束電極１２と、中央に開］」を持つ板状のアノー
ド４から構成されている。
束電極１１と、前記第１収束電極１１より小径の９！′
８２収束電極１２と、中央に開］」を持つ板状のアノー
ド４から構成されている。
第７図は本発明による光電吊鎖の第５の実施例を示す図
である。
である。
この実施例は前述の各実施例と異なり反射形の光電子放
出層８を用いたものである。
出層８を用いたものである。
光電子放出層８は不透明な基板１４に形成されている。
光源からの光は椀状のビーム形成電極６と椀状のアノ−
１” ４の間から光電子放出層を照射する。
１” ４の間から光電子放出層を照射する。
光電子放出層８の放出した光電子はビーム形成電極６と
椀状のアノード４により、電子ビーム５に収束されて前
方に投射される。
椀状のアノード４により、電子ビーム５に収束されて前
方に投射される。
光源の分光特性は、光電手放゛出層８を効果的に励起で
きるものを選ぶ。
きるものを選ぶ。
光源としてレーザ光を用い第５図に示した実施例で光電
子放出層の直径を２００ ｍ ｒｒｉφとしたもので実
験した結果、波高値１００Δでパルス幅がｐｉｃｏ Ｓ
台のパルス状の電子ビームが得られることが６′Ｗ認で
きた。
子放出層の直径を２００ ｍ ｒｒｉφとしたもので実
験した結果、波高値１００Δでパルス幅がｐｉｃｏ Ｓ
台のパルス状の電子ビームが得られることが６′Ｗ認で
きた。
なお、このときのレーザ光源の出力４；ｌ： ｎｊ／
ｐｕｌｓｅ・波長は５３０ ［）人のものを用いた。
ｐｕｌｓｅ・波長は５３０ ［）人のものを用いた。
他の光源として、ＬＥ＋）、Ｘｅ−フラッシュランプ、
Ｙへ〇 ＋／−ザ等を利用することができる。
Ｙへ〇 ＋／−ザ等を利用することができる。
（発明のすＪ果）
以上説明したように、電子源を光源で励起される光電子
放出層としたので、従来の熱電子放出形の電子源よりも
面積を大きくすることができるので、パルス状の大振幅
電子ビームを発生させることがでる。
放出層としたので、従来の熱電子放出形の電子源よりも
面積を大きくすることができるので、パルス状の大振幅
電子ビームを発生させることがでる。
第１図は、従来の熱電子放出形の電子銃の構成例を示す
図である。 第２図は、従来の熱電子放出形の電子銃のさらに他の構
成例を示す図である。 第３図は本発明による光電吊鎖の第１の実施例を示す図
である。 第４図は本発明による光電吊鎖の第２の実施例を示す図
である。 第５図は本発明による光電吊鎖の第３の実施例を示す図
である。 第６図は本発明による光電吊鎖の第４の実施例を示す図
である。 第７図は本発明による光電吊鎖の第５の実施例を示す図
である。 ■・・・ヒータ ２・・・カソード ３・・・グリッド ４・・・アノード ５・・・電子ビーム ６・・・ビーム形成電極７・・・
ガラス基板 ８・・・光電子放出面９・・・メソシュグ
１ルノド １ｏ・・・収束電極１１・・・第１収束電極
１２・・・第２収束電極１３・・・励起光 １４・・
・不透明基板特許出願人 浜松ホＩ・ニクス株式会社代
理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 １′１図 Ａ オ・２図 ｘ、３ｉ ”” ４ ２６図 オ・７図
図である。 第２図は、従来の熱電子放出形の電子銃のさらに他の構
成例を示す図である。 第３図は本発明による光電吊鎖の第１の実施例を示す図
である。 第４図は本発明による光電吊鎖の第２の実施例を示す図
である。 第５図は本発明による光電吊鎖の第３の実施例を示す図
である。 第６図は本発明による光電吊鎖の第４の実施例を示す図
である。 第７図は本発明による光電吊鎖の第５の実施例を示す図
である。 ■・・・ヒータ ２・・・カソード ３・・・グリッド ４・・・アノード ５・・・電子ビーム ６・・・ビーム形成電極７・・・
ガラス基板 ８・・・光電子放出面９・・・メソシュグ
１ルノド １ｏ・・・収束電極１１・・・第１収束電極
１２・・・第２収束電極１３・・・励起光 １４・・
・不透明基板特許出願人 浜松ホＩ・ニクス株式会社代
理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 １′１図 Ａ オ・２図 ｘ、３ｉ ”” ４ ２６図 オ・７図
Claims (8)
- （１）光源と、前記光源により照射され光電子を放出す
る光電面と、前記光電面から放出された光電子をビーム
状に収束して前方に放出する電子レンズから構成した光
電吊鎖。 - （２）前記光電面は透明基板の上に光電子放出層を形成
して構成され、前記光源ば前記透明基板側から前記光電
子放出層を照射するように構成されている特許請求の範
囲第１項記載の光電吊鎖。 - （３） 前記光電面ば不透明基板の上に光電子放出層を
形成して構成され、前記光源は前記電子レンズ側から前
記光電子放出層を照射するように構成されている特許請
求の範囲第１項記載の光電吊鎖。 - （４）前記電子レンズは中央に開［Ｊを持つ円筒状のグ
リッドと中央に開口を持つ円筒状のアノードから構成さ
れている特許請求の範囲第１項記載の光電吊鎖。 - （５）前記電子レンズは椀状のビーム形成電極と、中心
に開口を有するアノードから構成されている特許請求の
範囲第１項記載の光電吊鎖。 - （６）前記電子レンズはメソシュ状のグリッドと、中心
に開口を有するアノードから構成されている特許請求の
範囲第１項記載の光電吊鎖。 - （７）前記電子レンズは前記光電面と略等しい径の円環
状の第１収束電極と、前記第１収束電極より小径の第２
収束電極と中央に開口を持つ板状のアノードから構成さ
れている特許請求の範囲第１項記載の光電吊鎖。 - （８）前記光源は光パルスを発生ずる光源であるφテ許
請求の＠凹第１項記載の光電吊鎖。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58145351A JPS6037633A (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 光電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58145351A JPS6037633A (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 光電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6037633A true JPS6037633A (ja) | 1985-02-27 |
Family
ID=15383177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58145351A Pending JPS6037633A (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 光電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037633A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4980967A (ja) * | 1972-12-11 | 1974-08-05 | ||
| JPS58108639A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-28 | サ−モ・エレクトロン・コ−ポレ−シヨン | レ−ザ励起式高電流密度形光電子発生器とその製造方法 |
-
1983
- 1983-08-09 JP JP58145351A patent/JPS6037633A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4980967A (ja) * | 1972-12-11 | 1974-08-05 | ||
| JPS58108639A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-28 | サ−モ・エレクトロン・コ−ポレ−シヨン | レ−ザ励起式高電流密度形光電子発生器とその製造方法 |
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