JPS6039248U - 板状物の吸着チャック - Google Patents

板状物の吸着チャック

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JPS6039248U
JPS6039248U JP13105283U JP13105283U JPS6039248U JP S6039248 U JPS6039248 U JP S6039248U JP 13105283 U JP13105283 U JP 13105283U JP 13105283 U JP13105283 U JP 13105283U JP S6039248 U JPS6039248 U JP S6039248U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
suction chuck
shaped objects
chuck
suction
Prior art date
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Pending
Application number
JP13105283U
Other languages
English (en)
Inventor
稔 田中
仁志 窪田
進 相内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS6039248U publication Critical patent/JPS6039248U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の例を説明するための断面図、第２図は本
考案の一実施例を説明するための主要部分の断面図であ
る。 １・・・板状物、２・・・圧力源、３・・・バルブ、４
・・・孝ヤツク本体、５・・・真空吸着用孔、６・・・
チャック面、７・・・ごみ、８・・・真空ポンプ、９・
・・配管、１０・・・鋼球、１１・・・弾性体、１２・
・・ねじ、１３・・・ホルダ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 弾性体によって支持された小片をチャック面より微小量
    突出して取付けたことを特徴とする板状物の吸着チャッ
    ク。
JP13105283U 1983-08-26 1983-08-26 板状物の吸着チャック Pending JPS6039248U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018006362A (ja) * 2016-06-27 2018-01-11 日亜化学工業株式会社 半導体装置の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4918468B1 (ja) * 1970-05-18 1974-05-10

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