JPS6039559U - ビ−ム電流制御装置 - Google Patents

ビ−ム電流制御装置

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JPS6039559U
JPS6039559U JP13127583U JP13127583U JPS6039559U JP S6039559 U JPS6039559 U JP S6039559U JP 13127583 U JP13127583 U JP 13127583U JP 13127583 U JP13127583 U JP 13127583U JP S6039559 U JPS6039559 U JP S6039559U
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JP
Japan
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beam current
control device
current control
monitor
abstract
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Pending
Application number
JP13127583U
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English (en)
Inventor
若宮　哲郎
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP13127583U priority Critical patent/JPS6039559U/ja
Publication of JPS6039559U publication Critical patent/JPS6039559U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Control Of Voltage And Current In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のビーム電流制御装置の説明図である。第
２図は本考案の１実施例であるビーム電流制御装置の説
明図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ビーム電流設定用の関数発生回路からのビーム電流設定
    信号とビーム電流検出信号をモニタ回路に入力し、電子
    ビーム装置におけるワーク加工中のビーム電流をモニタ
    出来るようにしたビーム電流制御装置。
JP13127583U 1983-08-25 1983-08-25 ビ−ム電流制御装置 Pending JPS6039559U (ja)

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JPS6039559U true JPS6039559U (ja) 1985-03-19

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