JPS6039602A - 遠赤外用ロングパスフイルタ− - Google Patents
遠赤外用ロングパスフイルタ−Info
- Publication number
- JPS6039602A JPS6039602A JP14741983A JP14741983A JPS6039602A JP S6039602 A JPS6039602 A JP S6039602A JP 14741983 A JP14741983 A JP 14741983A JP 14741983 A JP14741983 A JP 14741983A JP S6039602 A JPS6039602 A JP S6039602A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- wave number
- basic constituent
- opaque
- opaque band
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は遠赤外用ロングパスフィルターに関するもので
ある。
ある。
２０μｍ内外以上の遠赤外域を透過し、他をカットする
遠赤外用ロングパスフィルターの従来例としては、 Ｔ
ｅ、Ｇｅ等の高屈折率物質をポリエチレン等のポリマー
中に混入したものと、ＬｉＦ２． ＣａＦ２等の低屈折
率物質をポリマー中に混入したものとを交互に接着ある
いは加熱圧着したものが知られている。この例ではポリ
エチレンの膜厚０．０１μｍオーダーで制御しないとフ
ィルターの立上り波長を所望の値に管理できないという
欠点やポリエチレンを使用しているため耐熱性や耐摩耗
性に問題があった。また、その製造工程が煩雑でありコ
スト高となる欠点もあった。
遠赤外用ロングパスフィルターの従来例としては、 Ｔ
ｅ、Ｇｅ等の高屈折率物質をポリエチレン等のポリマー
中に混入したものと、ＬｉＦ２． ＣａＦ２等の低屈折
率物質をポリマー中に混入したものとを交互に接着ある
いは加熱圧着したものが知られている。この例ではポリ
エチレンの膜厚０．０１μｍオーダーで制御しないとフ
ィルターの立上り波長を所望の値に管理できないという
欠点やポリエチレンを使用しているため耐熱性や耐摩耗
性に問題があった。また、その製造工程が煩雑でありコ
スト高となる欠点もあった。
他の従来例としては、高屈折率及び低屈折率の層を交互
に連続された単層系を不規則な表面構造のＫＲ５ｓ（タ
リウムブロマイドヨウ化物）から成るポリ結晶物質担体
上に順次蒸着し、さらに、この担体を複数サンドイッチ
し、加圧結合された多重層から成るフィルターが知られ
ている。この従来のフィルターも担体にＫＲ３ｇを使用
しているため湿気によって曇ったり蒸着膜の剥離がおこ
る等の欠点があった。
に連続された単層系を不規則な表面構造のＫＲ５ｓ（タ
リウムブロマイドヨウ化物）から成るポリ結晶物質担体
上に順次蒸着し、さらに、この担体を複数サンドイッチ
し、加圧結合された多重層から成るフィルターが知られ
ている。この従来のフィルターも担体にＫＲ３ｇを使用
しているため湿気によって曇ったり蒸着膜の剥離がおこ
る等の欠点があった。
また一般に第１図に示すようにある波数例えば５００以
下の長波長側を透過し、それよりも低い波長域をカット
する太線イで示したような模式的な透過特性を有するロ
ングパスフィルターを作る場合、従来は、１次不透過帯
域の中心波数ＩＫ１とその幅Δに１ をもつ第１基本構
成膜口を、次に１次不透過帯域の中心波数ＩＫ２とその
幅Δに２ をもつ第２基本構成膜八を、以下同様に順に
１次不透過帯域の中心波数ＩＫｎとその幅Δｋｎをもつ
第ｎ基本構成膜二を蒸着することにより、これら１次不
透過帯域を総合して所定波数以上の波数帯域をカットす
るように構成していた。
下の長波長側を透過し、それよりも低い波長域をカット
する太線イで示したような模式的な透過特性を有するロ
ングパスフィルターを作る場合、従来は、１次不透過帯
域の中心波数ＩＫ１とその幅Δに１ をもつ第１基本構
成膜口を、次に１次不透過帯域の中心波数ＩＫ２とその
幅Δに２ をもつ第２基本構成膜八を、以下同様に順に
１次不透過帯域の中心波数ＩＫｎとその幅Δｋｎをもつ
第ｎ基本構成膜二を蒸着することにより、これら１次不
透過帯域を総合して所定波数以上の波数帯域をカットす
るように構成していた。
このように従来は基本構成膜の１次不透過帯域のみを利
用していたため、遠赤外のような長波長域のロングパス
フィルターを作る場合カットしなければならない波長域
が極めて広い場合には、非常に多数の基本構成膜を使わ
なければならずその構成層数も膨大なものとなり、製造
上多くの問題点を有していた。
用していたため、遠赤外のような長波長域のロングパス
フィルターを作る場合カットしなければならない波長域
が極めて広い場合には、非常に多数の基本構成膜を使わ
なければならずその構成層数も膨大なものとなり、製造
上多くの問題点を有していた。
本発明は係る従来の遠赤外用ロングパスフィルターの欠
点を解消するためになされたもので、その第１の目的は
光学的モニタが利用でき、それにより膜厚を精度良く制
御し立上り波長を再現性良く製造でき、しかも赤外域で
吸収が少なく、さらに耐久性の良い、より実用性の高い
遠赤外用ロングパスフィルターを提供することにある。
点を解消するためになされたもので、その第１の目的は
光学的モニタが利用でき、それにより膜厚を精度良く制
御し立上り波長を再現性良く製造でき、しかも赤外域で
吸収が少なく、さらに耐久性の良い、より実用性の高い
遠赤外用ロングパスフィルターを提供することにある。
また、その第２の目的は、従来のフィルターに比べ構成
層数が少なく低コスト、高作業性のある遠赤外用ロング
パスフィルターを提供することにある。
層数が少なく低コスト、高作業性のある遠赤外用ロング
パスフィルターを提供することにある。
これら目的を達成するための本発明に係る遠赤外用ロン
グパフイルターの構成上の特徴は、高屈折率物質をＨ１
低屈折率物質をＬとするとき、折率物質と低屈折率物質
との交互層を有する基本構成膜をＮ個（Ｎは自然数）有
する遠赤外用ロングパスフィルターにおいて、 前記基本構成膜のそれぞれはｎ次（ｎは自然数）の不透
過帯域を有し、少なくとも１つの前記基本構成膜の高次
の不透過帯域と協働するように構成したことにより予め
定めた波長域のみを透過するようにした点にある。
グパフイルターの構成上の特徴は、高屈折率物質をＨ１
低屈折率物質をＬとするとき、折率物質と低屈折率物質
との交互層を有する基本構成膜をＮ個（Ｎは自然数）有
する遠赤外用ロングパスフィルターにおいて、 前記基本構成膜のそれぞれはｎ次（ｎは自然数）の不透
過帯域を有し、少なくとも１つの前記基本構成膜の高次
の不透過帯域と協働するように構成したことにより予め
定めた波長域のみを透過するようにした点にある。
これにより、従来のフィルターに比して少ない暦数で充
分な特性が得られＳまた膜厚制御がしやすく、かつ耐久
性にすぐれた遠赤外用ロングパスフィルターを提供する
ことができる。
分な特性が得られＳまた膜厚制御がしやすく、かつ耐久
性にすぐれた遠赤外用ロングパスフィルターを提供する
ことができる。
まず本発明の構成原理を説明する。今、基本となる膜構
成を とする。ここでｐ、α、βは所望の透過特性を得るため
に高屈折率物質Ｈと、低屈折率物質しに何を選択したか
により、それらの物質の屈折率に応じて定まる係数であ
る。この基本となる膜の分光特性を孜式図に示したのが
第２図の太線１である。
成を とする。ここでｐ、α、βは所望の透過特性を得るため
に高屈折率物質Ｈと、低屈折率物質しに何を選択したか
により、それらの物質の屈折率に応じて定まる係数であ
る。この基本となる膜の分光特性を孜式図に示したのが
第２図の太線１である。
図かられかるようにこの膜は中心波数ｘＫ１でその幅を
Δに１ とする１次不透過帯域１１と、中心波数２に１
で、その幅Δに２をもつ２次不透過帯域１２と、中心波
数３に１その幅Δｋａ の３次不透過帯域１３を有し、
以下同様に中心波数ｎＫ１でその幅Δｋｎのｎ次不透過
帯域を有している。ここで、２次不透過帯域の中心波数
２に１ は１次不透過帯域の中心波数ｘＫｘ の３倍、
３１に１の波数を有し、第３次不透過帯域の中心波数ａ
Ｋｉ は１次不透過帯域の中心波数ｘＫ、ｘの５倍、５
１に１の波数を有している。以下、ｎ次の不透過帯域の
中心波数ｎｕ１は１次不透過帯域の中心波数１に１の（
２ｍ＋１）倍（ここでｍは自然数）の波数をもつ関係に
ある。
Δに１ とする１次不透過帯域１１と、中心波数２に１
で、その幅Δに２をもつ２次不透過帯域１２と、中心波
数３に１その幅Δｋａ の３次不透過帯域１３を有し、
以下同様に中心波数ｎＫ１でその幅Δｋｎのｎ次不透過
帯域を有している。ここで、２次不透過帯域の中心波数
２に１ は１次不透過帯域の中心波数ｘＫｘ の３倍、
３１に１の波数を有し、第３次不透過帯域の中心波数ａ
Ｋｉ は１次不透過帯域の中心波数ｘＫ、ｘの５倍、５
１に１の波数を有している。以下、ｎ次の不透過帯域の
中心波数ｎｕ１は１次不透過帯域の中心波数１に１の（
２ｍ＋１）倍（ここでｍは自然数）の波数をもつ関係に
ある。
今、上述の（１）の膜構成により波数に０を立上り波数
とするロングパスフィルターを考えると、（１）の膜構
成からなる立上り波数Ｋ。を決定する特性用膜１の波数
ＫＯ以上の波数領域にある透過率Ａ。
とするロングパスフィルターを考えると、（１）の膜構
成からなる立上り波数Ｋ。を決定する特性用膜１の波数
ＫＯ以上の波数領域にある透過率Ａ。
Ｂ、Ｃ・・・を不透過にするために以下の方法をとる・
膜の構成物質で定まる中心波数にと不透過帯域幅Δにと
の間に Δｋ なる関係をもっとき、膜１の１次不透過帯域の中心波数
１に１に対し、 なる関係をもつ１次中心波数１に２でその帯域幅をΔＰ
１ とする膜２を膜１に重ねる。この膜２は波数ＩＫｚ
の３倍の３１に２の位置に幅ΔＰ２ の２次不透過帯域
２１をもち、これは膜１の第２の透過帯域Ｂと重なって
いる５次に、 なる関係をもつ１次中心波数ｉＫ３でその幅ΔＱ１の゛
膜３を重ねる。この膜２、及び＠３により特性膜１の第
１の透過、帯域Ａは不透過帯域とされる。
膜の構成物質で定まる中心波数にと不透過帯域幅Δにと
の間に Δｋ なる関係をもっとき、膜１の１次不透過帯域の中心波数
１に１に対し、 なる関係をもつ１次中心波数１に２でその帯域幅をΔＰ
１ とする膜２を膜１に重ねる。この膜２は波数ＩＫｚ
の３倍の３１に２の位置に幅ΔＰ２ の２次不透過帯域
２１をもち、これは膜１の第２の透過帯域Ｂと重なって
いる５次に、 なる関係をもつ１次中心波数ｉＫ３でその幅ΔＱ１の゛
膜３を重ねる。この膜２、及び＠３により特性膜１の第
１の透過、帯域Ａは不透過帯域とされる。
次に、膜１の第２透過帯域Ｂの内、膜２の２次不透過帯
域２１によっても不透過帯域とされ得なかったｂｘ 、
ｂ２ 領域を不透過帯域とするために。
域２１によっても不透過帯域とされ得なかったｂｘ 、
ｂ２ 領域を不透過帯域とするために。
なる関係をもつ１次中心波数１に４でその幅ΔＲ１のｒ
ｌＡ４と の関係をもつ１次中心波数１にＳでその幅ΔＳ１を有す
る＠５を重ねる。この膜５は特性膜１の第３透過帯域Ｃ
の内、膜３の２次不透過帯域３２で不透過帯域とされ得
なかった領域Ｃ１の部分も不透過帯域にするよう作用す
る。
ｌＡ４と の関係をもつ１次中心波数１にＳでその幅ΔＳ１を有す
る＠５を重ねる。この膜５は特性膜１の第３透過帯域Ｃ
の内、膜３の２次不透過帯域３２で不透過帯域とされ得
なかった領域Ｃ１の部分も不透過帯域にするよう作用す
る。
このように本発明は特性膜１の所望の立上り波数に０よ
り大きな波数帯域、すなわち短波長域Ｘは、自己の２次
、３次、・・・の不透過帯域と膜２゜３・・・の他の１
次および高次の不透過帯域との協働によって全て不透過
帯域となり理想的なロングパスフィルターを従来よりも
少ない層数で実現することができる。
り大きな波数帯域、すなわち短波長域Ｘは、自己の２次
、３次、・・・の不透過帯域と膜２゜３・・・の他の１
次および高次の不透過帯域との協働によって全て不透過
帯域となり理想的なロングパスフィルターを従来よりも
少ない層数で実現することができる。
次に本発明の詳細な説明する。第３図に模式的に示すよ
うにシリコン基板１００の片面１０１には所望の立上り
波数を出すための特性用膜１０２が蒸着されている。こ
の特性用膜１０２は の膜構成をもつ、その透過特性を第４図に示す。
うにシリコン基板１００の片面１０１には所望の立上り
波数を出すための特性用膜１０２が蒸着されている。こ
の特性用膜１０２は の膜構成をもつ、その透過特性を第４図に示す。
他方シリコン基板１００の他面１０３には上記特性膜の
立上り波数以上の透過帯域をカッ１へするためのカット
用膜１０４が蒸着されている。そのカッ１−用膜の膜構
成は の構成をもつ。その透過特性を第５図に実線ａで示す。
立上り波数以上の透過帯域をカッ１へするためのカット
用膜１０４が蒸着されている。そのカッ１−用膜の膜構
成は の構成をもつ。その透過特性を第５図に実線ａで示す。
上記の特性膜及びカット用膜のいずれもその膜構成中Ｈ
は高屈折率物質を示し、例えばＰｂＴｅやＰｂ５ｅが使
われる。一方、Ｌは低屈折率物質を示し、例えばＣｄＴ
ｅ、 ＺｎＴｅ、 Ｃ’ｄＳｅ、またはＺｎ５ｅが使わ
わる。
は高屈折率物質を示し、例えばＰｂＴｅやＰｂ５ｅが使
われる。一方、Ｌは低屈折率物質を示し、例えばＣｄＴ
ｅ、 ＺｎＴｅ、 Ｃ’ｄＳｅ、またはＺｎ５ｅが使わ
わる。
第４図、第５図にそれぞれ示した本実施例の特性膜、カ
ット用膜のＨはＰｂＴｅを、ＬはＣｄＳｅを使った場合
の透過特性を示している。なお、カット用膜の膜厚は４
０ｄ＝１４．０μｍ、特性用膜の膜厚は４ｎｄ ＝２１
μｍを基準としている。− なお、第５図のカット用膜の透過特性に波数１．３８０
、及び２，２４０のリークｂ、ｃを有しているが、この
リーク部分は第４図に示す特性膜の２次不透過帯域と３
次不透過帯域にそれぞれ対応しているため、特性膜およ
びカット用膜の両者の重ね合せた実際のロングパスフィ
ルターとしての透過特性は第５図に点線ｄで示すように
まったくリークのない（０，０１％以下）フィルターが
得られる。
ット用膜のＨはＰｂＴｅを、ＬはＣｄＳｅを使った場合
の透過特性を示している。なお、カット用膜の膜厚は４
０ｄ＝１４．０μｍ、特性用膜の膜厚は４ｎｄ ＝２１
μｍを基準としている。− なお、第５図のカット用膜の透過特性に波数１．３８０
、及び２，２４０のリークｂ、ｃを有しているが、この
リーク部分は第４図に示す特性膜の２次不透過帯域と３
次不透過帯域にそれぞれ対応しているため、特性膜およ
びカット用膜の両者の重ね合せた実際のロングパスフィ
ルターとしての透過特性は第５図に点線ｄで示すように
まったくリークのない（０，０１％以下）フィルターが
得られる。
このように本発明は、特性用膜の高次の不透過帯域と、
カット用膜の複数の基本構成膜の１次あるいは高次の不
透過帯域を協働させて、所望の立上り波数以上の波数領
域を不透過帯域としているため、その層構成枚数は従来
の１次不透過帯域しか利用しない場合に比べ少なくでき
る。例えば従来の方法で本実施例のカット用膜を構成す
ると、の構成をとらなければならず、従来例では本実施
例に比べ１５層も多い膜構成を特徴とする特にＣｄＳｅ
の様に完全透明でない物質を膜物質として利用する場合
、この暦数低減は透過域の透過率向上に効果が大きい。
カット用膜の複数の基本構成膜の１次あるいは高次の不
透過帯域を協働させて、所望の立上り波数以上の波数領
域を不透過帯域としているため、その層構成枚数は従来
の１次不透過帯域しか利用しない場合に比べ少なくでき
る。例えば従来の方法で本実施例のカット用膜を構成す
ると、の構成をとらなければならず、従来例では本実施
例に比べ１５層も多い膜構成を特徴とする特にＣｄＳｅ
の様に完全透明でない物質を膜物質として利用する場合
、この暦数低減は透過域の透過率向上に効果が大きい。
また、本発明は一般的な光学コーティング技術が利用で
きるため、その膜厚制御も光学モニタリングが利用でき
前述の従来例に比べはるかに膜厚制御が容易で、且つそ
の制御精度が高いため立上り特性がよく、再現性も高い
フィルターが得られる。
きるため、その膜厚制御も光学モニタリングが利用でき
前述の従来例に比べはるかに膜厚制御が容易で、且つそ
の制御精度が高いため立上り特性がよく、再現性も高い
フィルターが得られる。
また、本実施例で使用したＰｂＴｅ、 ＣｄＳｅは吸収
が比較的少なく、しかも耐久性が良いため従来例のよう
に湿気により膜はがれがおきるようなことはない。
が比較的少なく、しかも耐久性が良いため従来例のよう
に湿気により膜はがれがおきるようなことはない。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のフィルター構成原理を模式的に示す透過
特性図、第２図は本発明のフィルターの構成原理を模式
的に示す透過特性図、第３図は本発明のフィルターの実
施例を示す断面図、第４図は上記実施例の特性用膜の透
過特性を示す図、第５図は上記実施例のカット用膜及び
フィルターの透過特性を示す図である。 １００・・・シリコン基板、１０２・・・特性用膜。 １０３・・・カット用膜。
特性図、第２図は本発明のフィルターの構成原理を模式
的に示す透過特性図、第３図は本発明のフィルターの実
施例を示す断面図、第４図は上記実施例の特性用膜の透
過特性を示す図、第５図は上記実施例のカット用膜及び
フィルターの透過特性を示す図である。 １００・・・シリコン基板、１０２・・・特性用膜。 １０３・・・カット用膜。
Claims (1)
- （１）高屈折率物質をＨ１低屈折率物質をＬとする屈折
率物質と低屈折率物質との交互層を有する基本構成膜を
Ｎ個（Ｎは自然数）有する遠赤外用ロングパスフィルタ
ーにおいて、 前記基本構成膜のそれぞれはｎ次（ｎは自然数）の不透
過帯域を有し、少なくとも１つの前記基本構成膜の高次
の不透過帯域は他の基本構成膜の少なくとも１次の不透
過帯域と協働するように構成したことにより予め定めた
波長域のみを透過することを特徴とする遠赤外用ロング
パスフィルター（２）基本構成膜は少なくとも５つであ
り、第２の基本構成膜の１次不透過帯域の中心波数ＩＫ
２と第３の基本構成膜の１次不透過帯域の中心波数ＩＫ
Ｂはそれぞれ、第１の基本構成膜の１次不透過帯域と２
次不透過帯域の間の波数をもち、゛第４の基本構成膜の
１次不透過帯域の中心波数１１いと第５の基本構成膜の
１次不透過帯域の中心波数ｉＫＩ；はそれぞｔｂ、前記
第１の基本構成膜の前記２次不透過帯域と３次子透過ｆ
域との１７０の波数をもつように構成されたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の遠赤外用ロングパス
フィルタ（３）基本構成膜の膜材によって決まる不透過
１）域の幅Δにと前記基本構成膜の中心波数にとの間に
Δｋ の関係をもつどき、第１番目の基本構成膜の１次不透過
帯域の中心波数をｘＫｌとするとき、第２番目の基本構
成膜の１次不透過帯域の中心波数１に２は の値をもち、第３番目の基本構成膜の１次不透過帯域の
中心波数ＩＫＢは の値をもち、第４番目の基本構成膜の１次透過帯域の中
心波数ＩＫ４は の値をもち、かつ第５番目の基本構成膜の１次不透過帯
域の中心波数ｉＫ５は の値をもつことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
の遠赤外用ロングパスフィルター６（４）高屈折率物質
はＰｂ５ｅまたはＰｂＴｅであり、低屈折率物質はＣｄ
Ｔｅ、 Ｚｎ５ｅ−ＺｎＴｅまたはＣｄＳｅであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項のいず
れかに記載の遠赤外用ロングパスフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14741983A JPS6039602A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 遠赤外用ロングパスフイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14741983A JPS6039602A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 遠赤外用ロングパスフイルタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039602A true JPS6039602A (ja) | 1985-03-01 |
Family
ID=15429882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14741983A Pending JPS6039602A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 遠赤外用ロングパスフイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039602A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016520861A (ja) * | 2013-04-19 | 2016-07-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 広範な可視光／赤外線カバレッジのための重複調波を備えた多層積層体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5828708A (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-19 | Tokyo Optical Co Ltd | ロングパスフイルタ− |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP14741983A patent/JPS6039602A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5828708A (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-19 | Tokyo Optical Co Ltd | ロングパスフイルタ− |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016520861A (ja) * | 2013-04-19 | 2016-07-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 広範な可視光／赤外線カバレッジのための重複調波を備えた多層積層体 |
| CN111158071A (zh) * | 2013-04-19 | 2020-05-15 | 3M创新有限公司 | 用于宽的可见红外覆盖的具有重叠谐波的多层叠堆 |
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